一种晶圆片架寻边器的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆包装运输技术领域，特别是涉及一种晶圆片架寻边器。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
3.寻边器是通过手摇转轴将晶圆的定位边统一到一个平面，现在大多数的寻边器都只适用单种类型的片架，比如4寸的工具只适用4寸片架，6寸片架需要制作新的6寸工具。这种只适用单种款式的工具不适用于生产线多款产品的使用，使用起来不方便，也要耗费过多的工具和人力。


技术实现要素：

4.针对上述现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种晶圆片架寻边器，可以解决大多数的寻边器都只适用单种类型的片架的问题，具有适用于所有类型的不同片架、提升使用效率的优点。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了一种晶圆片架寻边器，包括主支撑台、支撑限位块组件以及寻边定位组件，所述支撑限位块组件和寻边定位组件都设置在所述主支撑台上，所述支撑限位块组件用于固定晶圆片，所述寻边定位组件包括寻边轴、手柄件、定边件以及调节开关，所述寻边轴与所述手柄件连接，所述手柄件控制所述寻边轴转动，所述定边件设置在所述寻边轴的一侧，所述定边件与晶圆片的定位边连接，所述调节开关与所述定边件连接，所述调节开关控制所述定边件的位置；
6.所述支撑限位块组件包括第一支撑限位块和第二支撑限位块，所述寻边轴和定边件设置在第一支撑限位块和第二支撑限位块之间，所述第一支撑限位块和第二支撑限位块上设置有晶圆片架，所述晶圆片架用于存放晶圆片；所述第一支撑限位块上设置有第一调节限位块，第一调节限位块与所述第一支撑限位块转动连接，所述第二支撑限位块上设置有第二调节限位块，第二调节限位块与所述第二支撑限位块转动连接，所述第一调节限位块、第二调节限位块与所述主支撑台之间有间距，所述晶圆片架可放置在所述第一调节限位块和第二调节限位块上。
7.优选地，所述第一调节限位块、第二调节限位块为l形，包括长端和短端，所述第一调节限位块、第二调节限位块的短端支撑所述晶圆片架，所述第一调节限位块、第二调节限位块的长端分别与所述第一支撑限位块、第一支撑限位块转动连接。
8.优选地，所述主支撑台包括第一连接板、第二连接板和固定板，所述固定板的两端分别与所述第一连接板、第二连接板连接，所述支撑限位块组件设置在所述固定板上，所述手柄件和调节开关设置在第一连接板的一侧，所述定边件和寻边轴设置在第一连接板的另一侧，所述主支撑台还包括第三连接板，所述第三连接板位于第一连接板和第二连接板之
间，所述第三连接板设置在所述固定板上，所述定边件和寻边轴的一端与所述第三连接板连接。
9.优选地，所述定边件包括转动边、限位边以及接触边，所述接触边的两端分别与所述转动边、限位边连接，所述转动边为弧形且与所述寻边轴接触，当寻找到晶圆片的定位边时，通过调节开关控制所述定边件转动，所述定边件移动至寻边轴的顶部，此时所述限位边与晶圆片的定位边接触。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过摇动手柄件转动来控制寻边轴，通过寻边轴经由摇手柄转动来寻找到晶圆的定位边，定边调节开关可以在寻边轴找到晶圆定位边之后，固定晶圆不再转动。第一支撑限位块和第二支撑限位块，所述寻边轴和定边件设置在第一支撑限位块和第二支撑限位块之间，所述第一支撑限位块和第二支撑限位块上设置有晶圆片架，所述晶圆片架用于存放晶圆片；所述第一支撑限位块上设置有第一调节限位块，第一调节限位块与所述第一支撑限位块转动连接，所述第二支撑限位块上设置有第二调节限位块，第二调节限位块与所述第二支撑限位块转动连接，所述第一调节限位块、第二调节限位块与所述主支撑台之间有间距，所述晶圆片架可放置在所述第一调节限位块和第二调节限位块上。当放置6寸外形晶圆片架时，将6寸外形晶圆片架放置在第一调节限位块、第二调节限位块上，当放置8寸外形晶圆片架时，通过转动第一调节限位块、第二调节限位块，进一步将晶圆片架放置在第一支撑限位块和第二支撑限位块上，将8寸外形晶圆片架放置在第一支撑限位块和第二支撑限位块上，通过调节第一调节限位块、第二调节限位块协调稳定不同的片架，具有适用于所有类型的不同片架、提升使用效率的优点。
附图说明
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
12.图1-图6是本实用新型一种晶圆片架寻边器的立体结构示意图；
13.图7-图8是本实用新型一种晶圆片架寻边器的原理结构示意图。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.还应当理解，在此本实用新型说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本实用新型。如在本实用新型说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
16.还应当进一步理解，在本实用新型说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组
合。
17.请参阅图1-2，本实用新型实施例提供一种晶圆片架寻边器10，包括主支撑台20、支撑限位块组件30以及寻边定位组件40，所述支撑限位块组件30和寻边定位组件40都设置在所述主支撑台20上，所述支撑限位块组件30用于固定晶圆片，所述寻边定位组件40包括寻边轴41、手柄件42、定边件43以及调节开关44，所述寻边轴41与所述手柄件42连接，所述手柄件42控制所述寻边轴41转动，所述定边件43设置在所述寻边轴41的一侧，所述定边件43与晶圆片的定位边连接，所述调节开关44与所述定边件43连接，所述调节开关控制44所述定边件43的位置。
18.可以理解，在本实施例中，所述支撑限位块组件30包括第一支撑限位块31和第二支撑限位块32，所述寻边轴41和定边件43设置在第一支撑限位块31和第二支撑限位块32之间，所述第一支撑限位块31和第二支撑限位块32上设置有晶圆片架33，所述晶圆片架33用于存放晶圆片；所述第一支撑限位块31上设置有第一调节限位块34，第一调节限位块34与所述第一支撑限位块31转动连接，所述第二支撑限位块32上设置有第二调节限位块35，第二调节限位块35与所述第二支撑限位块32转动连接，所述第一调节限位块34、第二调节限位块35与所述主支撑台20之间有间距，所述晶圆片架33可放置在所述第一调节限位块34和第二调节限位块35上，同时，所述晶圆片架33也可放置在第一支撑限位块31和第二支撑限位块32上。
19.请参阅图3-图5，可以理解，在本实施例中，所述第一调节限位块34、第二调节限位块35为l形，包括长端36和短端37，所述第一调节限位块34、第二调节限位块35的短端37支撑所述晶圆片架33，所述第一调节限位块34、第二调节限位块35的长端36分别与所述第一支撑限位块31、第一支撑限位块32转动连接，所述短端37凸出于所述第一支撑限位块31和第二支撑限位块32。
20.请参阅图6，可以理解，在本实施例中，所述主支撑台20包括第一连接板21、第二连接板22和固定板23，所述固定板23的两端分别与所述第一连接板21、第二连接板22连接，所述支撑限位块组件30设置在所述固定板23上，所述手柄件42和调节开关44设置在第一连接板21的一侧，所述定边件43和寻边轴41设置在第一连接板21的另一侧，所述主支撑台20还包括第三连接板24，所述第三连接板24位于第一连接板21和第二连接板22之间，所述第三连接板24设置在所述固定板23上，所述定边件43和寻边轴41远离第一连接板21的一端与所述第三连接板24连接。
21.请参阅图7-图8，可以理解，在本实施例中，所述定边件43包括转动边431、限位边432以及接触边433，所述接触边433的两端分别与所述转动边431、限位边432连接，所述转动边431为弧形且与所述寻边轴41接触，寻找晶圆片的过程中，通过手柄件42控制寻边轴41的旋转，寻边轴41与晶圆片边缘产生相对转动，进而晶圆片也发生旋转，当寻找到晶圆片的定位边时，通过调节开关44控制所述定边件43转动，所述定边件43移动至寻边轴41的顶部，此时所述限位边432与晶圆片的定位边接触，固定晶圆片不再转动。
22.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过摇动手柄件转动来控制寻边轴，通过寻边轴经由摇手柄转动来寻找到晶圆的定位边，定边调节开关可以在寻边轴找到晶圆定位边之后，固定晶圆不再转动。第一支撑限位块和第二支撑限位块，所述寻边轴和定边件设置在第一支撑限位块和第二支撑限位块之间，所述第一支撑限位块和第二支撑限位块上
设置有晶圆片架，所述晶圆片架用于存放晶圆片；所述第一支撑限位块上设置有第一调节限位块，第一调节限位块与所述第一支撑限位块转动连接，所述第二支撑限位块上设置有第二调节限位块，第二调节限位块与所述第二支撑限位块转动连接，所述第一调节限位块、第二调节限位块与所述主支撑台之间有间距，所述晶圆片架可放置在所述第一调节限位块和第二调节限位块上。当放置6寸外形晶圆片架时，将6寸外形晶圆片架放置在第一调节限位块、第二调节限位块上，当放置8寸外形晶圆片架时，通过转动第一调节限位块、第二调节限位块，进一步将晶圆片架放置在第一支撑限位块和第二支撑限位块上，将8寸外形晶圆片架放置在第一支撑限位块和第二支撑限位块上，通过调节第一调节限位块、第二调节限位块协调稳定不同的片架，具有适用于所有类型的不同片架、提升使用效率的优点。
23.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种晶圆片架寻边器，其特征在于，包括主支撑台、支撑限位块组件以及寻边定位组件，所述支撑限位块组件和寻边定位组件都设置在所述主支撑台上，所述支撑限位块组件用于固定晶圆片，所述寻边定位组件包括寻边轴、手柄件、定边件以及调节开关，所述寻边轴与所述手柄件连接，所述手柄件控制所述寻边轴转动，所述定边件设置在所述寻边轴的一侧，所述定边件与晶圆片的定位边连接，所述调节开关与所述定边件连接，所述调节开关控制所述定边件的位置；所述支撑限位块组件包括第一支撑限位块和第二支撑限位块，所述寻边轴和定边件设置在第一支撑限位块和第二支撑限位块之间，所述第一支撑限位块和第二支撑限位块上设置有晶圆片架，所述晶圆片架用于存放晶圆片；所述第一支撑限位块上设置有第一调节限位块，第一调节限位块与所述第一支撑限位块转动连接，所述第二支撑限位块上设置有第二调节限位块，第二调节限位块与所述第二支撑限位块转动连接，所述第一调节限位块、第二调节限位块与所述主支撑台之间有间距，所述晶圆片架可放置在所述第一调节限位块和第二调节限位块上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片架寻边器，其特征在于，所述第一调节限位块、第二调节限位块为l形，包括长端和短端，所述第一调节限位块、第二调节限位块的短端支撑所述晶圆片架，所述第一调节限位块、第二调节限位块的长端分别与所述第一支撑限位块、第一支撑限位块转动连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆片架寻边器，其特征在于，所述主支撑台包括第一连接板、第二连接板和固定板，所述固定板的两端分别与所述第一连接板、第二连接板连接，所述支撑限位块组件设置在所述固定板上，所述手柄件和调节开关设置在第一连接板的一侧，所述定边件和寻边轴设置在第一连接板的另一侧，所述主支撑台还包括第三连接板，所述第三连接板位于第一连接板和第二连接板之间，所述第三连接板设置在所述固定板上，所述定边件和寻边轴的一端与所述第三连接板连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆片架寻边器，其特征在于，所述定边件包括转动边、限位边以及接触边，所述接触边的两端分别与所述转动边、限位边连接，所述转动边为弧形且与所述寻边轴接触，当寻找到晶圆片的定位边时，通过调节开关控制所述定边件转动，所述定边件移动至寻边轴的顶部，此时所述限位边与晶圆片的定位边接触。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆片架寻边器，包括主支撑台、支撑限位块组件以及寻边定位组件，所述支撑限位块组件和寻边定位组件都设置在所述主支撑台上，所述支撑限位块组件用于固定晶圆片，所述寻边定位组件包括寻边轴、手柄件、定边件以及调节开关，所述寻边轴与所述手柄件连接，所述手柄件控制所述寻边轴转动，所述定边件设置在所述寻边轴的一侧，所述定边件与晶圆片的定位边连接，所述调节开关与所述定边件连接，所述调节开关控制所述定边件的位置。本实用新型公开的一种晶圆片架寻边器具有适用于所有类型的不同片架、提升使用效率等优点。点。点。


技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：义柏应用技术（深圳）有限公司
技术研发日：2023.01.17
技术公布日：2023/7/23