一种半导体零件清洗承载装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体零件清洗技术领域，特别涉及一种半导体零件清洗承载装置。


背景技术：

2.在半导体板氧化再生的工艺过程当中，首先接收来自客户的待处理的板件材料，对来料部件的尺寸、膜厚和表面粗糙度进行检测，并分析评估，检测数据以作制定阳极氧化生产工艺参数和阳极氧化后的品质检测确认的依据；其次操作就是用丙酮溶液浸泡和白洁布擦拭方法把部件表面生产中沉积的膜质清洗掉，为去除氧化膜作准备；然后就是进行清洗，洗去表面的杂质、氧化物，为后续的阳极氧化镀膜做准备。
3.现如今在对半导体板清洗的时候，一般需要将半导体板放在承载装置上，然后再将承载装置浸入超声波清洗机中清洗半导体板，而半导体板在承载装置上大部分是相互紧贴布置，这样由于覆盖的面较大，导致影响清洗效果。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种半导体零件清洗承载装置，以解决目前半导体板在承载装置上大部分是相互紧贴布置，这样由于覆盖的面较大，导致影响清洗效果的问题。
5.一种半导体零件清洗承载装置，包括竖套管和固定在其左右两端上侧的横套管，所述横套管内部滑动连接有水平滑杆，所述水平滑杆末端延伸出横套管并固定有水平座，所述水平座前端固定有侧限位杆，所述侧限位杆内端水平等距开有多个侧板槽，所述竖套管内部上方安装有与水平滑杆传动连接的双向螺杆组件；
6.所述竖套管内下部滑动连接有垂直滑杆，所述垂直滑杆下端固定有垂直座，所述垂直座前端固定有底限位杆，所述底限位杆上端水平等距开有多个底板槽，所述竖套管内上部且位于双向螺杆组件下方安装有螺纹杆组件，所述螺纹杆组件与垂直滑杆传动连接。
7.作为优选的，所述竖套管上端固定有吊环。
8.作为优选的，所述竖套管内部上方设有上腔，所述双向螺杆组件包括轴承座、双向螺杆、从动锥齿轮二、主动锥齿轮二和旋钮二，所述轴承座有一对且分别固定安装在上腔内壁前端左右两侧，所述双向螺杆安装在轴承座内部之间，所述双向螺杆两端贯穿至两根所述横套管内部，所述从动锥齿轮二固定在双向螺杆外部中间，所述主动锥齿轮二啮合连接在从动锥齿轮二后部，所述旋钮二固定在主动锥齿轮二后端，所述旋钮二后部贯穿竖套管且与竖套管转动连接。
9.作为优选的，所述水平滑杆首端开有螺纹槽二，所述双向螺杆延伸入螺纹槽二内部且与水平滑杆螺纹连接。
10.作为优选的，所述竖套管下端开有下腔，所述螺纹杆组件包括轴杆、从动锥齿轮一、螺纹杆、主动锥齿轮一和旋钮一，所述轴杆轴承连接在下腔内顶部，所述从动锥齿轮一
固定在轴杆外部，所述螺纹杆固定在轴杆下端，所述主动锥齿轮一啮合连接在从动锥齿轮一后部，所述旋钮一固定在主动锥齿轮一后端，所述旋钮一后部贯穿竖套管且与竖套管转动连接。
11.作为优选的，所述垂直滑杆位于下腔内部且与下腔滑动连接，所述垂直滑杆上端开有螺纹槽一，所述螺纹杆下部延伸入螺纹槽一内部且与垂直滑杆螺纹连接。
12.该半导体零件清洗承载装置，通过将半导体板布置在侧限位杆与底限位杆之间，这样可使半导体板分开布置，提高清洗效果的同时，因为侧限位杆之间的间距可调，所以可适应不同宽度的半导体板，而且底限位杆可以升降调节，这样就可适应不同长度的半导体板，从而提高了实用性。
附图说明
13.图1为本实用新型整体示意图；
14.图2为本实用新型竖套管侧视剖面示意图；
15.图3为本实用新型竖套管俯视剖面示意图。
16.图中：1-竖套管、2-横套管、3-吊环、4-水平座、5-侧限位杆、6-侧板槽、7-垂直滑杆、8-垂直座、9-底限位杆、10-底板槽、11-下腔、12-轴杆、13-从动锥齿轮一、14-螺纹杆、15-主动锥齿轮一、16-旋钮一、17-上腔、18-轴承座、19-双向螺杆、20-从动锥齿轮二、21-主动锥齿轮二、22-旋钮二、23-水平滑杆。
具体实施方式
17.如图1-图3所示，一种半导体零件清洗承载装置，包括竖套管1和固定在其左右两端上侧的横套管2，所述横套管2内部滑动连接有水平滑杆23，所述水平滑杆23末端延伸出横套管2并固定有水平座4，所述水平座4前端固定有侧限位杆5，所述侧限位杆5内端水平等距开有多个侧板槽6，所述竖套管1内部上方安装有与水平滑杆23传动连接的双向螺杆组件，所述竖套管1内部上方设有上腔17，所述双向螺杆组件包括轴承座18、双向螺杆19、从动锥齿轮二20、主动锥齿轮二21和旋钮二22，所述轴承座18有一对且分别固定安装在上腔17内壁前端左右两侧，所述双向螺杆19安装在轴承座18内部之间，所述双向螺杆19两端贯穿至两根所述横套管2内部，所述从动锥齿轮二20固定在双向螺杆19外部中间，所述主动锥齿轮二21啮合连接在从动锥齿轮二20后部，所述旋钮二22固定在主动锥齿轮二21后端，所述旋钮二22后部贯穿竖套管1且与竖套管1转动连接，通过转动旋钮二22，可以带动主动锥齿轮二21转动，随着主动锥齿轮二21与从动锥齿轮二20啮合连接，而使从动锥齿轮二20带动双向螺杆19转动；
18.所述水平滑杆23首端开有螺纹槽二，所述双向螺杆19延伸入螺纹槽二内部且与水平滑杆23螺纹连接，当双向螺杆19转动的时候，随着双向螺杆19与水平滑杆23的螺纹槽二螺纹配合，而使水平滑杆23可以滑出或滑入横套管2内部，因为双向螺杆19外壁两侧的螺纹方向相反，所以两根水平滑杆23在移动的时候，是拉近之间的间距或拉开之间的间距移动的，这样可以根据半导体板的宽度调节侧限位杆5之间的间距。
19.所述竖套管1内下部滑动连接有垂直滑杆7，所述垂直滑杆7下端固定有垂直座8，所述垂直座8前端固定有底限位杆9，所述底限位杆9上端水平等距开有多个底板槽10，所述
竖套管1内上部且位于双向螺杆组件下方安装有螺纹杆组件，所述螺纹杆组件与垂直滑杆7传动连接，所述竖套管1下端开有下腔11，所述螺纹杆组件包括轴杆12、从动锥齿轮一13、螺纹杆14、主动锥齿轮一15和旋钮一16，所述轴杆12轴承连接在下腔11内顶部，所述从动锥齿轮一13固定在轴杆12外部，所述螺纹杆14固定在轴杆12下端，所述主动锥齿轮一15啮合连接在从动锥齿轮一13后部，所述旋钮一16固定在主动锥齿轮一15后端，所述旋钮一16后部贯穿竖套管1且与竖套管1转动连接，通过转动旋钮一16，旋钮一16可以带动主动锥齿轮一15转动，随着主动锥齿轮一15与从动锥齿轮一13啮合传动，而使从动锥齿轮一13带动轴杆12转动，这样轴杆12会带动螺纹杆14转动；
20.所述垂直滑杆7位于下腔11内部且与下腔11滑动连接，所述垂直滑杆7上端开有螺纹槽一，所述螺纹杆14下部延伸入螺纹槽一内部且与垂直滑杆7螺纹连接，当螺纹杆14转动的时候，随着螺纹杆14与螺纹槽一螺纹配合，而使垂直滑杆7可以下移或上移，这样垂直滑杆7会带动底限位杆9升降移动，从而便于根据半导体板的长度来上下调节底限位杆9，而半导体板放入侧限位杆5和底限位杆9之间的时候，需要使半导体板插入侧板槽6和底板槽10内部，这样通过将半导体板布置在侧限位杆5与底限位杆9之间，可使半导体板分开布置，提高清洗效果的同时，因为侧限位杆5之间的间距可调，所以可适应不同宽度的半导体板，而且底限位杆9可以升降调节，这样就可适应不同长度的半导体板，从而提高了实用性。
21.所述竖套管1上端固定有吊环3，吊环3的设置便于吊着整个装置浸入超声波清洗机中。
22.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种半导体零件清洗承载装置，包括竖套管(1)和固定在其左右两端上侧的横套管(2)，其特征在于：所述横套管(2)内部滑动连接有水平滑杆(23)，所述水平滑杆(23)末端延伸出横套管(2)并固定有水平座(4)，所述水平座(4)前端固定有侧限位杆(5)，所述侧限位杆(5)内端水平等距开有多个侧板槽(6)，所述竖套管(1)内部上方安装有与水平滑杆(23)传动连接的双向螺杆组件；所述竖套管(1)内下部滑动连接有垂直滑杆(7)，所述垂直滑杆(7)下端固定有垂直座(8)，所述垂直座(8)前端固定有底限位杆(9)，所述底限位杆(9)上端水平等距开有多个底板槽(10)，所述竖套管(1)内上部且位于双向螺杆组件下方安装有螺纹杆组件，所述螺纹杆组件与垂直滑杆(7)传动连接。2.如权利要求1所述的一种半导体零件清洗承载装置，其特征在于：所述竖套管(1)上端固定有吊环(3)。3.如权利要求1所述的一种半导体零件清洗承载装置，其特征在于：所述竖套管(1)内部上方设有上腔(17)，所述双向螺杆组件包括轴承座(18)、双向螺杆(19)、从动锥齿轮二(20)、主动锥齿轮二(21)和旋钮二(22)，所述轴承座(18)有一对且分别固定安装在上腔(17)内壁前端左右两侧，所述双向螺杆(19)安装在轴承座(18)内部之间，所述双向螺杆(19)两端贯穿至两根所述横套管(2)内部，所述从动锥齿轮二(20)固定在双向螺杆(19)外部中间，所述主动锥齿轮二(21)啮合连接在从动锥齿轮二(20)后部，所述旋钮二(22)固定在主动锥齿轮二(21)后端，所述旋钮二(22)后部贯穿竖套管(1)且与竖套管(1)转动连接。4.如权利要求3所述的一种半导体零件清洗承载装置，其特征在于：所述水平滑杆(23)首端开有螺纹槽二，所述双向螺杆(19)延伸入螺纹槽二内部且与水平滑杆(23)螺纹连接。5.如权利要求1所述的一种半导体零件清洗承载装置，其特征在于：所述竖套管(1)下端开有下腔(11)，所述螺纹杆组件包括轴杆(12)、从动锥齿轮一(13)、螺纹杆(14)、主动锥齿轮一(15)和旋钮一(16)，所述轴杆(12)轴承连接在下腔(11)内顶部，所述从动锥齿轮一(13)固定在轴杆(12)外部，所述螺纹杆(14)固定在轴杆(12)下端，所述主动锥齿轮一(15)啮合连接在从动锥齿轮一(13)后部，所述旋钮一(16)固定在主动锥齿轮一(15)后端，所述旋钮一(16)后部贯穿竖套管(1)且与竖套管(1)转动连接。6.如权利要求5所述的一种半导体零件清洗承载装置，其特征在于：所述垂直滑杆(7)位于下腔(11)内部且与下腔(11)滑动连接，所述垂直滑杆(7)上端开有螺纹槽一，所述螺纹杆(14)下部延伸入螺纹槽一内部且与垂直滑杆(7)螺纹连接。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体零件清洗承载装置，包括竖套管和固定在其左右两端上侧的横套管，横套管内部滑动连接有水平滑杆，水平滑杆末端延伸出横套管并固定有水平座，水平座前端固定有侧限位杆，侧限位杆内端水平等距开有多个侧板槽，竖套管内部上方安装有与水平滑杆传动连接的双向螺杆组件。该半导体零件清洗承载装置，通过将半导体板布置在侧限位杆与底限位杆之间，这样可使半导体板分开布置，提高清洗效果的同时，因为侧限位杆之间的间距可调，所以可适应不同宽度的半导体板，而且底限位杆可以升降调节，这样就可适应不同长度的半导体板，从而提高了实用性。从而提高了实用性。从而提高了实用性。


技术研发人员：周银龙
受保护的技术使用者：昆山弘禾机械有限公司
技术研发日：2022.12.29
技术公布日：2023/7/23