一种螺杆组件及真空泵的制作方法

1.本发明涉及干式螺杆真空泵领域，具体而言，涉及一种螺杆组件及真空泵。


背景技术：

2.干式螺杆真空泵是一种容积式真空泵，通常通过两个螺杆转子之间的同步高速反向旋转，使两个螺杆转子和泵体的内腔之间形成的工作腔的容积发生周期性变化，以实现气体的吸入、增压和排出。现有的干式螺杆真空泵结构复杂，其真空泵中的两个转子的端面型线中的渐开线及圆弧线段等线段设计不合理，会导致真空泵结构设计不良会出现啮合尖点问题，从而导致转子不能严密啮合。


技术实现要素：

3.本发明提供了一种螺杆组件及真空泵，以解决两个转子在转动过程中出现啮合尖点以及转子不能严密啮合的技术问题。
4.本发明的实施例可以这样实现：
5.第一方面，本发明提供一种螺杆组件，包括端面型线相同且旋向相反的第一螺杆转子和第二螺杆转子；
6.所述第一螺杆转子的端面型线包括依次首尾连接的摆线ab、齿根圆圆弧段bc、摆线cd、渐开线de以及齿顶圆圆弧段ea，所述第二螺杆转子的端面型线包括依次首尾连接的摆线a’b’、齿根圆圆弧段b’c’、摆线c’d’、渐开线d’e’以及齿顶圆圆弧段e’a’；
7.在所述第一螺杆转子和所述第二螺杆转子转动啮合的过程中，所述摆线ab与所述齿顶圆圆弧段ea的连接点a与所述摆线a’b’啮合，所述齿根圆圆弧段bc与所述齿顶圆圆弧段e’a’啮合，所述渐开线de以及所述齿顶圆圆弧段ea的连接点e与所述摆线c’d’啮合，所述渐开线de与所述渐开线d’e’啮合。
8.在上述实施例中，第一螺杆转子和第二螺杆转子的端面型线相同且旋向相反，以实现型线的对称性以及第一螺杆转子和第二螺杆转子的结构一致性，从而提高第一螺杆转子和第二螺杆转子匹配啮合程度，实现了两个螺杆转子在工作中能够严密啮合。
9.在可选的实施方式中，所述摆线ab的参数方程为：
10.x＝rm*sin(2*t)-2a*sin(t)；
11.y＝2a*cos(t)-rm*cos(2*t)；
12.其中，t为变量，x和y为所述摆线ab上点的直角坐标，所述齿根圆圆弧段bc所在圆与所述齿顶圆圆弧段ea所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段bc所在圆的圆心为所述第一螺杆转子100的中心，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆与所述齿顶圆圆弧段e’a’所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆的圆心为所述第二螺杆转子200的中心，2a为所述第一螺杆转子100和所述第二螺杆转子200的中心距，rm为所述螺杆转子的齿顶圆的半径。
13.在上述实施例中，以齿顶圆和齿根圆的圆心为坐标原点建立直角坐标系，根据摆线ab的参数方程，连续输入变量t即可确立摆线ab的线形。
14.在可选的实施方式中，所述t的取值范围为：0≤t≤arccos(2a/(2*rm))。
15.在上述实施例中，根据t的取值范围，以此确定摆线ab的具体曲线段。通过将t的取值范围限定在0～arccos(2a/(2*rm))，避免在端面型线的摆线ab处形成锐角尖点现象，因而提升两个螺杆转子的啮合性和密封性。
16.在可选的实施方式中，所述摆线cd的参数方程为：
17.x＝-rm*sin(2*t)-2a*sin(t)；
18.y＝2a*cos(t)-rm*cos(2*t)；
19.其中，t为变量，x和y为所述摆线cd上点的直角坐标，所述齿根圆圆弧段bc所在圆与所述齿顶圆圆弧段ea所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段bc所在圆的圆心为所述第一螺杆转子100的中心，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆与所述齿顶圆圆弧段e’a’所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆的圆心为所述第二螺杆转子200的中心，2a为所述第一螺杆转子100和所述第二螺杆转子200的中心距，rm为所述螺杆转子的齿顶圆的半径。
20.在上述实施例中，以齿顶圆和齿根圆的圆心为坐标原点建立直角坐标系，根据摆线cd的参数方程，连续输入变量t即可确立摆线cd的线型。
21.在可选的实施方式中，所述t的取值范围为0≤t≤arccos(2a/(2*rm))。
22.在上述实施例中，根据t的取值范围，以此确定摆线cd的具体曲线段。通过将t的取值范围限定在0～arccos(2a/(2*rm))，避免在端面型线的摆线cd处形成锐角尖点现象，因而提升两个螺杆转子的啮合性和密封性。
23.在可选的实施方式中，所述渐开线de的参数方程为：
[0024][0025][0026]
其中，t为变量，x和y为所述摆线cd上点的直角坐标，直线l为过第一螺杆转子的中心与摆线cd相切的直线，ro为所述直线l与摆线cd的相交点到所述第一螺杆转子的中心的距离，rm为所述螺杆转子的齿顶圆的半径，rd为所述螺杆转子的齿根圆的半径。
[0027]
在上述实施例中，以齿顶圆和齿根圆的圆心为坐标原点建立直角坐标系，根据渐开线de的参数方程，连续输入变量t即可确立渐开线de的线型，且ro也为渐开线de的基圆半径，基圆半径为凸轮的理论廓线的最小半径，能够保证渐开线de与摆线cd相切，确保加工过程中刀具能够平滑过渡，并且避免了出现过渡不良的现象。
[0028]
在可选的实施方式中，所述t的取值范围为：
[0029][0030]
在上述实施例中，以齿顶圆和齿根圆的圆心为坐标原点建立直角坐标系，根据t的取值范围，以此确定渐开线de的具体曲线段。通过将t的取值范围限定在(rd^2/ro^2-1)^0.5～(rm^2/ro^2-1)^0.5，避免在端面型线的渐开线de处形成锐角尖点现象，因而提升两个螺杆转子的啮合性和密封性。
[0031]
在可选的实施方式中，所述螺杆转子的螺旋线方程为：
[0032]
x＝rm*cos(t)；
[0033]
y＝rm*sin(t)；
[0034][0035]
其中，t为变量，x、y和z为所述螺杆转子的螺旋线上的点坐标，
[0036]
所述螺杆转子的螺旋线由多段依次连接的螺旋段组成，p1为第n段所述螺旋段的起始端部螺距，第n段所述螺旋段的起始端与第n-1段所述螺旋段的终止端连接，p2为第n段所述螺旋段的终止端部螺距，第n段所述螺旋段的终止端与第n+1段所述螺旋段的起始端连接，相邻两个螺旋齿之间的间隙即为螺距，z1为n-1段所述螺旋段的轴向长度，t1为第n-1段所述螺旋段的旋转角度，旋转角度为螺旋段的一个点沿其一端移动至另一端的过程中，该点在与转子的轴线垂直的投影面上以轴线为中心旋转的角度；
[0037]
其中，n≥1，且在n＝1时，z1＝0，t1＝0
°
。
[0038]
在上述实施例中，依据螺旋线参数方程，连续输入变量t即可确立螺杆转子螺旋线的线型，并可以使得两个螺杆转子所形成的螺旋线能够严密啮合。
[0039]
在可选的实施方式中，所述t的取值范围为t1《t《t2，其中，t2为第n段所述螺旋段的外周螺旋线绕自身轴线的旋转角度。
[0040]
在上述实施例中，根据t的取值范围，以此确定螺旋线的具体曲线段。通过将t限定在t1～t2，以使得两个螺杆转子所形成的螺旋线能够严密啮合。
[0041]
第二方面，本发明提供一种真空泵，包括前述实施方式任一项所述的螺杆组件。
[0042]
本发明实施例提供的螺杆组件及真空泵的有益效果包括：通过第一螺杆转子和第二螺杆转子的端面型线相同、旋向相反且能够自啮合，实现了型线的对称性以及第一螺杆转子和第二螺杆转子的结构一致性，从而提高第一螺杆转子和第二螺杆转子匹配啮合程度，提高了加工效率并且降低了加工成本，与现有的真空泵或常规泵相比，结构更加紧凑，并且避免了出现过渡不良的现象，实现了两个螺杆转子在工作中能够严密啮合。
附图说明
[0043]
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0044]
图1为本发明实施例提供的螺杆组件结构示意图；
[0045]
图2为本发明实施例提供的螺杆转子端面型线示意图。
[0046]
图标：10-螺杆组件；100-第一螺杆转子；200-第二螺杆转子。
具体实施方式
[0047]
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0048]
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0049]
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0050]
在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0051]
此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0052]
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。
[0053]
干式螺杆真空泵是一种容积式真空泵，干式螺杆真空泵通常通过两个螺杆转子之间的同步异向双回转运动实现气体的吸入、增压和排出。
[0054]
干式螺杆真空泵多用于获得干燥、低污染的高真空环境，在现代工业中有着广泛的应用。由于自身的结构特点，10000pa-100000pa工作压力下性能稳定，因此广泛应用于半导体、光伏、液晶面板等多个领域，其中干式螺杆真空泵的螺杆转子是干式螺杆泵研发的核心。
[0055]
因此端面型线啮合性好，端面与螺旋线形成的螺杆转子凹齿面和斜齿面密封效果好，面积利用系数高，是目前螺杆泵转子设计的前沿导向。现有的干式螺杆真空泵结构复杂，其真空泵中的两个转子的端面型线中的渐开线及圆弧线段等线段设计不合理，会导致真空泵结构设计不良会出现啮合尖点问题，从而导致转子不能严密啮合。
[0056]
基于以上问题，请参阅图1和图2，本发明提供了一种真空泵(图未示)，真空泵包括泵体(图未示)以及设置于泵体的螺杆组件10，螺杆组件10包括第一螺杆转子100和第二螺杆转子200，通过使得第一螺杆转子100和第二螺杆转子200同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用，进而实现气体的运输。
[0057]
进一步地，第一螺杆转子100的端面型线包括依次首尾连接的摆线ab、齿根圆圆弧段bc、摆线cd、渐开线de以及齿顶圆圆弧段ea，第二螺杆转子200的端面型线包括依次首尾连接的摆线a’b’、齿根圆圆弧段b’c’、摆线c’d’、渐开线d’e’以及齿顶圆圆弧段e’a’。
[0058]
在本实施例中，在第一螺杆转子100和第二螺杆转子200转动啮合的过程中，摆线ab与齿顶圆圆弧段ea的连接点a与摆线a’b’啮合，即型线a点与摆线a’b’啮合，齿根圆圆弧
段bc与齿顶圆圆弧段e’a’啮合，渐开线de以及齿顶圆圆弧段ea的连接点e与摆线c’d’啮合，即型线e点与摆线c’d’啮合，渐开线de与渐开线d’e’啮合；同样地，摆线ab与型线a’点啮合，摆线cd与型线e点啮合，齿顶圆圆弧段ea与齿根圆圆弧段b’c’啮合，渐开线d’e’与渐开线de啮合，从而实现第一螺杆转子100和第二螺杆转子200相互啮合完成对气体的运输。
[0059]
需要说明的是，第一螺杆转子100和第二螺杆转子200的端面型线相同且旋向相反，以实现型线的对称性以及第一螺杆转子100和第二螺杆转子200的结构一致性，从而提高第一螺杆转子100和第二螺杆转子200匹配啮合程度，提高了加工效率并且降低了加工成本，避免了出现过渡不良的现象。
[0060]
进一步地，摆线ab的参数方程为：
[0061]
x＝rm*sin(2*t)-2a*sin(t)；
[0062]
y＝2a*cos(t)-rm*cos(2*t)；
[0063]
其中，rm为螺杆转子的齿顶圆的半径，rd为螺杆转子齿根圆的半径，齿根圆圆弧段bc所在圆与齿顶圆圆弧段ea所在圆为同心圆，齿根圆圆弧段bc所在圆的圆心为第一螺杆转子100的中心，齿根圆圆弧段b’c’所在圆与齿顶圆圆弧段e’a’所在圆为同心圆，齿根圆圆弧段b’c’所在圆的圆心为第二螺杆转子200的中心，2a为第一螺杆转子100和第二螺杆转子200的中心距，即2a＝rm+rd，t为变量，x和y为摆线ab上点的直角坐标。
[0064]
需要说明的是，在确定摆线ab之前，可以先确定齿顶圆圆弧段ea的半径rm，以及齿根圆圆弧段bc的半径rd，建立直角坐标系后，以坐标原点为圆心，根据rm和rd可获得齿顶圆和齿根圆。
[0065]
在本实施例中，以齿顶圆和齿根圆的圆心为坐标原点建立直角坐标系，根据摆线ab的参数方程，连续输入变量t即可确立摆线ab的线形。
[0066]
具体地，t的取值范围为：0≤t≤arccos(2a/(2*rm))，以此确定摆线ab的具体曲线段。通过将t的取值范围限定在0～arccos(2a/(2*rm))，避免在端面型线的摆线ab处形成锐角尖点现象，因而提升两个螺杆转子的啮合性和密封性。
[0067]
进一步地，摆线cd的参数方程为：
[0068]
x＝-rm*sin(2*t)-2a*sin(t)；
[0069]
y＝2a*cos(t)-rm*cos(2*t)；
[0070]
在本实施例中，同样地以上述坐标轴，根据摆线cd的参数方程，连续输入变量t即可确立摆线cd的线型。
[0071]
具体地，t的取值范围为0≤t≤arccos(2a/(2*rm))，以此确定摆线cd的具体曲线段。通过将t的取值范围限定在上述范围，避免在端面型线的摆线cd处形成锐角尖点现象，因而提升两个螺杆转子的啮合性和密封性。
[0072]
需要说明的是，在摆线cd确定完成后，在上述坐标轴下，过圆心即坐标原点引出一条直线l，并使得该直线l与摆线cd相切，该直线l与摆线cd的相交点到圆心的距离为ro。
[0073]
进一步地，渐开线de的参数方程为：
[0074][0075][0076]
其中，x和y为摆线cd上点的直角坐标，直线l为过第一螺杆转子的中心与摆线cd相切的直线，ro为直线l与摆线cd的相交点到第一螺杆转子的中心的距离，可以理解的是，ro也为渐开线de的基圆半径，基圆半径为凸轮的理论廓线的最小半径，rm为螺杆转子的齿顶圆的半径，rd为螺杆转子的齿根圆的半径。
[0077]
在本实施例中，同样地以上述坐标轴，根据渐开线de的参数方程，连续输入变量t即可确立渐开线de的线型；且ro也为渐开线de的基圆半径，能够保证渐开线de与摆线cd相切，确保加工过程中刀具能够平滑过渡。
[0078]
具体地，t的取值范围为：
[0079]
以此确定渐开线de的具体曲线段。通过将t的取值范围限定在前述范围内，避免在端面型线的渐开线de处形成锐角尖点现象，因而提升两个螺杆转子的啮合性和密封性。
[0080]
进一步地，螺杆转子的螺旋线方程为：
[0081]
x＝rm*cos(t)；
[0082]
y＝rm*sin(t)；
[0083][0084]
其中，x、y和z为螺杆转子的螺旋线上的点坐标，
[0085]
其中，t为变量，x、y和z为螺杆转子的螺旋线上的点坐标，螺杆转子的螺旋线由多段依次连接的螺旋段组成，p1对应第n段螺旋段的起始端部螺距，第n段螺旋段的起始端与第n-1段螺旋段的终止端连接，p2对应第n段螺旋段的终止端部螺距，第n段螺旋段的终止端与第n+1段螺旋段的起始端连接，相邻两个螺旋齿之间的间隙即为螺距，z1为n-1段螺旋段的轴向长度，t1为第n-1段螺旋段的螺旋线旋转角度，螺旋线旋转角度为螺旋段的一个点的沿其螺旋线的一端移动至另一端的过程中，该点在与转子的轴线垂直的投影面上以轴线为中心的转动角度；
[0086]
其中，n≥1，且在n＝1时，z1＝0，t1＝0
°
。
[0087]
需要说明的是，n-1段表示第n段螺旋线的前一段，n＝1的情况下说明第n段前面有没有螺旋段，此时该第n段螺旋线作为第一段螺旋段。
[0088]
在上述实施例中，依据螺旋线参数方程，连续输入变量t即可确立螺杆转子螺旋线的线型，并可以使得两个螺杆转子所形成的螺旋线能够严密啮合。
[0089]
具体地，t的取值范围为t1《t《t2，其中，t2为第n段螺旋段的螺旋线旋转角度，以此确定螺旋线的具体曲线段。
[0090]
可以理解的是，在螺杆转子的起始端的螺距p1等于螺杆转子的终止端的螺距p2的情况下，上述参数方程为等螺距方程，在螺杆转子的起始端的螺距p1不等于螺杆转子的终止端的螺距p2的情况下，上述参数方程为变螺距方程。
[0091]
另外需要说明的是，由于螺杆转子是由多段不同的螺旋线段构成，因此需要采用多段的参数方程。因此，在上述参数方程作为第一段螺旋线方程的情况下，z1为0；在上述参数方程作为第二段螺旋线方程的情况下，z1为前一段螺旋线的轴向长度；在上述参数方程作为第三段螺旋线方程的情况下，z1为前两段螺旋线的轴向长度，以此类推。
[0092]
而螺杆转子的螺旋线旋转角度为螺杆转子的最外周螺旋线绕螺杆转子的轴线旋转的角度，换言之，螺旋段上的一个点的沿其螺旋线的一端移动至另一端的过程中，该点在与转子的轴线垂直的投影面上以轴线为中心的转动角度即为螺旋线旋转角度。
[0093]
可以理解的是，在第一段螺旋线上，螺旋线的起始端可视为螺旋线旋转的起点，螺旋线在该起点的旋转角度即为起始角度，且该角度为0
°
，在第一段螺旋线沿螺杆转子的轴线螺旋延伸的轴向长度即为z1。
[0094]
例如，第一段螺旋线的起始角度t1为0，t2可以为360
°
，即螺旋段上的一点螺旋线从一端移动至另一端的过程中，该点绕转子轴线旋转一周；而在第二段螺旋线的情况下，t1为360
°
，t2可以为420
°
；而在第三段螺旋线的情况下，t1为420
°
，t2可以为720
°
，当然，角度不局限于上述设置，只要保证t1《t《t2即可，上述数据仅作说明，不做具体限定。
[0095]
因此，依据上述的螺旋线参数方程，连续输入变量t以获取多段螺旋线，即可确立螺杆转子螺旋线的线型。
[0096]
可以理解的是，由于第一螺杆转子100和第二螺杆转子200的端面型线相同，因此第二螺杆转子200的端面型线的摆线a’b’、齿根圆圆弧段b’c’、摆线c’d’、渐开线d’e’以及齿顶圆圆弧段e’a’的确定过程与第一螺杆转子100完全相同，在此不再赘述。
[0097]
具体地，请参阅图1，图1为螺杆转子端面型线部分示意图，需要说明的是，图1中的三段螺旋线以及相应参数仅为示意，并非表示实际比例关系。
[0098]
如图1中将螺杆转子的螺旋线分为依次连接的第1段、第2段以及第3段，若第1段即为螺杆转子的端部，那么在计算第1段螺旋段的情况下，n＝1，且z1＝0，t1＝0
°
，t2为第1段螺旋段绕转子轴线的旋转角度，此时p1对应图1中a处的螺距，p2对应图1中b处的螺距，通过人为确定螺距数值，并将上述参数带入上述公式中即可确定第1段螺旋段的具体线型；
[0099]
同理在计算第2段螺旋段的情况下，n＝2，此时第1段作为第2段的前一段，第3段作为第2段的后一段，p1对应图1中b处的螺距，p2对应c处的螺距，t1为第1段螺旋段绕转子轴线的旋转角度，t2为第2段螺旋段绕转子轴线的旋转角度，z1对应前一段螺旋段的轴向长度，即如图1中所示的h1，将上述参数带入上述公式中即可确定第2段螺旋段的具体线型；
[0100]
第3段的螺旋段的计算与第2段的计算同理，在此不再赘述。
[0101]
通过分别计算出第1段、第2段以及第3段的螺旋段，以确定转子的螺旋线的线型，以此可使得两个螺杆转子所形成的螺旋线能够严密啮合。
[0102]
综上所述，本发明实施例提供了一种螺杆组件10及真空泵，第一螺杆转子100和第二螺杆转子200的端面型线相同且旋向相反，以实现型线的对称性以及第一螺杆转子100和第二螺杆转子200的结构一致性，从而提高第一螺杆转子100和第二螺杆转子200匹配啮合程度，提高了加工效率并且降低了加工成本，结构更加紧凑，组合后无泄露三角形，全参数话设计方便加工，面积利用系数高，避免了出现过渡不良的现象。
[0103]
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种螺杆组件(10)，其特征在于，包括端面型线相同且旋向相反的第一螺杆转子(100)和第二螺杆转子(200)；所述第一螺杆转子(100)的端面型线包括依次首尾连接的摆线ab、齿根圆圆弧段bc、摆线cd、渐开线de以及齿顶圆圆弧段ea，所述第二螺杆转子(200)的端面型线包括依次首尾连接的摆线a’b’、齿根圆圆弧段b’c’、摆线c’d’、渐开线d’e’以及齿顶圆圆弧段e’a’；在所述第一螺杆转子(100)和所述第二螺杆转子(200)转动啮合的过程中，所述摆线ab与所述齿顶圆圆弧段ea的连接点a与所述摆线a’b’啮合，所述齿根圆圆弧段bc与所述齿顶圆圆弧段e’a’啮合，所述渐开线de以及所述齿顶圆圆弧段ea的连接点e与所述摆线c’d’啮合，所述渐开线de与所述渐开线d’e’啮合。2.根据权利要求1所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述摆线ab的参数方程为：x＝rm*sin(2*t)-2a*sin(t)；y＝2a*cos(t)-rm*cos(2*t)；其中，t为变量，x和y为所述摆线ab上点的直角坐标，所述齿根圆圆弧段bc所在圆与所述齿顶圆圆弧段ea所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段bc所在圆的圆心为所述第一螺杆转子(100)的中心，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆与所述齿顶圆圆弧段e’a’所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆的圆心为所述第二螺杆转子(200)的中心，2a为所述第一螺杆转子(100)和所述第二螺杆转子(200)的中心距，rm为所述螺杆转子的齿顶圆的半径。3.根据权利要求2所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述t的取值范围为：0≤t≤arccos(2a/(2*rm))。4.根据权利要求1所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述摆线cd的参数方程为：x＝-rm*sin(2*t)-2a*sin(t)；y＝2a*cos(t)-rm*cos(2*t)；其中，t为变量，x和y为所述摆线cd上点的直角坐标，所述齿根圆圆弧段bc所在圆与所述齿顶圆圆弧段ea所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段bc所在圆的圆心为所述第一螺杆转子(100)的中心，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆与所述齿顶圆圆弧段e’a’所在圆为同心圆，所述齿根圆圆弧段b’c’所在圆的圆心为所述第二螺杆转子(200)的中心，2a为所述第一螺杆转子(100)和所述第二螺杆转子(200)的中心距，rm为所述螺杆转子的齿顶圆的半径。5.根据权利要求4所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述t的取值范围为0≤t≤arccos(2a/(2*rm))。6.根据权利要求1所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述渐开线de的参数方程为：
其中，t为变量，x和y为所述摆线cd上点的直角坐标，直线l为过第一螺杆转子的中心与摆线cd相切的直线，ro为所述直线l与摆线cd的相交点到所述第一螺杆转子的中心的距离，rm为所述螺杆转子的齿顶圆的半径，rd为所述螺杆转子的齿根圆的半径。7.根据权利要求6所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述t的取值范围为：8.根据权利要求1所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述螺杆转子的螺旋线方程为：x＝rm*cos(t)；y＝rm*sin(t)；其中，t为变量，x、y和z为所述螺杆转子的螺旋线上的点坐标，所述螺杆转子的螺旋线由多段依次连接的螺旋段组成，p1对应第n段所述螺旋段的起始端部螺距，第n段所述螺旋段的起始端与第n-1段所述螺旋段的终止端连接，p2对应第n段所述螺旋段的终止端部螺距，第n段所述螺旋段的终止端与第n+1段所述螺旋段的起始端连接，相邻两个螺旋齿之间的间隙即为螺距，z1为n-1段所述螺旋段的轴向长度，t1为第n-1段所述螺旋段的旋转角度，所述旋转角度为所述螺旋段上的一个点沿其一端移动至另一端的过程中，该点在与所述转子的轴线垂直的投影面上以轴线为中心旋转的角度；其中，n≥1，且在n＝1时，z1＝0，t1＝0
°
。9.根据权利要求8所述的螺杆组件(10)，其特征在于，所述t的取值范围为t1<t<t2，其中，t2为第n段所述螺旋段的旋转角度。10.一种真空泵，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的螺杆组件(10)。

技术总结
本发明提供了一种螺杆组件及真空泵，涉及干式螺杆真空泵领域。螺杆组件包括第一螺杆转子和第二螺杆转子；第一螺杆转子的端面型线包括依次首尾连接的摆线AB、齿根圆圆弧段BC、摆线CD、渐开线DE以及齿顶圆圆弧段EA，第二螺杆转子的端面型线包括依次首尾连接的摆线A’B’、齿根圆圆弧段B’C’、摆线C’D’、渐开线D’E’以及齿顶圆圆弧段E’A’；摆线AB与齿顶圆圆弧段EA的连接点A与摆线A’B’啮合，齿根圆圆弧段BC与齿顶圆圆弧段E’A’啮合，渐开线DE以及齿顶圆圆弧段EA的连接点E与摆线C’D’啮合，渐开线DE与渐开线D’E’啮合，实现气体的运输，提高加工效率并且降低加工成本。并且降低加工成本。并且降低加工成本。


技术研发人员：张伟明 何军民 汪焱
受保护的技术使用者：上海盛剑半导体科技有限公司
技术研发日：2023.05.29
技术公布日：2023/7/27