一种带有自动清洗功能的芯片检测机的制作方法

1.本实用新型涉及芯片制造领域，尤其涉及一种带有自动清洗功能的芯片检测机。


背景技术：

2.芯片外观检测设备为检测芯片是否存在缺陷的一种机器，芯片在完成检测后，通常需要经过清洗这一工艺。而现有的清洗工艺中，由于喷头并没有集成在检测设备中，所以往往需要工人拿着喷头对芯片的表面进行喷射气流实现清洗，但存在效率低的问题。


技术实现要素：

3.(一)要解决的技术问题
4.本实用新型提供了一种带有自动清洗功能的芯片检测机，旨在将清洗用的喷头集成在芯片检测机上。
5.(二)技术方案
6.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种带有自动清洗功能的芯片检测机，所述带有自动清洗功能的芯片检测机包括：工作台、送料机构、检测组件以及清洗组件；
7.所述送料机构安装在所述工作台上，所述送料机构能够夹取所述工作台上的芯片，并将芯片转运至所述检测组件处；
8.所述检测组件安装在所述工作台上，所述检测组件能够检测芯片是否存在缺陷；
9.所述清洗组件包括设置在所述工作台上的喷嘴，所述喷嘴能够向所述工作台上的芯片喷射气流。
10.优选地，所述检测组件包括设置在所述工作台上的检测平台，所述检测平台上设置有芯片放置架以及侧面检测相机；
11.所述芯片放置架滑动设置在所述检测平台上，且所述芯片放置架能够在所述检测平台上沿x方向运动；所述侧面检测相机位于所述芯片放置架的一侧，且所述侧面检测相机朝向所述芯片放置架；
12.所述喷嘴设置在所述检测平台的上方，且所述喷嘴的出口朝向所述芯片放置架。
13.优选地，所述芯片放置架的相对两侧均设置有所述侧面检测相机，所述侧面检测相机的中心线所在的方向为y方向，所述x方向与所述x方向垂直。
14.优选地，所述侧面检测相机滑动设置在所述芯片放置架上，且所述侧面检测相机能够沿所述y方向移动。
15.优选地，所述喷嘴与所述侧面检测相机中的一个位于同一侧，所述芯片放置架上的芯片的待清洗平面与所述喷嘴喷射气流的夹角为30
°
至60
°
，其中芯片的待清洗平面为芯片上与所述喷嘴相对的平面。
16.优选地，所述芯片放置架上转动设置有工装块，所述工装块上设置有用于放置待芯片的工位；所述工位内设置有负压孔，所述工装块通过所述负压孔吸附芯片；
17.所述芯片放置架内固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴能够驱
动所述工装块(315)转动。
18.优选地，所述清洗组件还包括与所述喷嘴相连的气罐。
19.优选地，所述气罐内存储有气态二氧化碳或者液态二氧化碳。
20.(三)有益效果
21.本实用新型将喷头集成在芯片检测机的工作台上，使得在芯片完成检测后就能够完成清洗，无需人工参与，提高了清洗的效率。
附图说明
22.图1为本实用新型带有自动清洗功能的芯片检测机的整体结构示意图；
23.图2为本实用新型中检测组件和喷嘴的结构示意图。
24.【附图标记说明】
25.1：工作台；2：送料机构；3：检测组件；31：检测平台；32：芯片放置架；33：侧面检测相机；4：清洗组件；41：喷嘴；42：气罐。
具体实施方式
26.为了更好地解释本实用新型，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本实用新型作详细描述。
27.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
28.另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
29.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.本实用新型一种带有自动清洗功能的芯片检测机，带有自动清洗功能的芯片检测机包括：工作台1、送料机构2、检测组件3以及清洗组件4。送料机构2安装在工作台1上，送料机构2能够夹取工作台1上的芯片，并将芯片转运至检测组件3处。检测组件3安装在工作台1上，检测组件3能够检测芯片是否存在缺陷。清洗组件4包括设置在工作台1上的喷嘴41，喷嘴41能够向工作台1上的芯片喷射气流。
31.本实用新型将喷头集成在芯片检测机的工作台1上，使得在芯片完成检测后就能够完成清洗，无需人工参与，提高了清洗的效率。另外在具体的实施例中，送料机构2可以通过设置吸盘或者夹爪来转运芯片，当芯片完成检测后，送料机构2将芯片转运至喷嘴41处，完成清洗。另外，喷嘴41还可以设置在检测组件3处，实现检测与清洗同时进行，进一步地提高效率。
32.进一步地，检测组件3包括设置在工作台1上的检测平台31，检测平台31上设置有芯片放置架32以及侧面检测相机33。芯片放置架32滑动设置在检测平台31上，且芯片放置架32能够在检测平台31上沿x方向运动；侧面检测相机33位于芯片放置架32的一侧，且侧面检测相机33朝向芯片放置架32。喷嘴41设置在检测平台31的上方，且喷嘴41的出口朝向芯片放置架32。在本实施方案中，喷嘴41和检测相机位于同一侧，能够实现检测和清洗的同时进行，此外，还可以通过侧面检测相机33判断芯片的是否需要清洗，当芯片需要清洗时，喷嘴41对芯片进行清洗，减少喷嘴41的使用时间，节约资源。
33.更进一步地，芯片放置架32的相对两侧均设置有侧面检测相机33，侧面检测相机33的中心线所在的方向为y方向，x方向与x方向垂直。侧面检测相机33滑动设置在芯片放置架32上，且侧面检测相机33能够沿y方向移动。侧面检测相机33设置成可位移的，能够保证芯片始终处于侧面检测相机33的焦点处。
34.在优选的实施方案中，喷嘴41与侧面检测相机33中的一个位于同一侧，芯片放置架32上的芯片的待清洗平面与喷嘴41喷射气流的夹角为30
°
至60
°
，其中芯片的待清洗平面为芯片上与所述喷嘴41相对的平面。芯片的表面与喷嘴41之间呈一定的夹角时，清洗效果最佳，且不会对芯片造成损坏。
35.芯片放置架32上转动设置有工装块，工装块上设置有用于放置待芯片的工位；工位内设置有负压孔，工装块通过负压孔吸附芯片。芯片放置架32内固定设置有第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴能够驱动工装块转动。通过第一伺服电机转动转动工装块，进而调整芯片与喷嘴41之间的角度，实现高效率的清洗。
36.最后，清洗组件4还包括与喷嘴41相连的气罐42。气罐42内存储有气态二氧化碳或者液态二氧化碳。在气罐42中加入气态二氧化碳或者液态二氧化碳，使得喷嘴41在喷射气流时能够喷出形成微小固态的二氧化碳，雪花状的二氧化碳在与芯片的表面接触后迅速气化膨胀，进而将芯片表面上的污垢清除。
37.需要理解的是，以上对本实用新型的具体实施例进行的描述只是为了说明本实用新型的技术路线和特点，其目的在于让本领域内的技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，但本实用新型并不限于上述特定实施方式。凡是在本实用新型权利要求的范围内做出的各种变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

技术特征：
1.一种带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述带有自动清洗功能的芯片检测机包括：工作台(1)、送料机构(2)、检测组件(3)以及清洗组件(4)；所述送料机构(2)安装在所述工作台(1)上，所述送料机构(2)能够夹取所述工作台(1)上的芯片，并将芯片转运至所述检测组件(3)处；所述检测组件(3)安装在所述工作台(1)上，所述检测组件(3)能够检测芯片是否存在缺陷；所述清洗组件(4)包括设置在所述工作台(1)上的喷嘴(41)，所述喷嘴(41)能够向所述工作台(1)上的芯片喷射气流。2.如权利要求1所述的带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述检测组件(3)包括设置在所述工作台(1)上的检测平台(31)，所述检测平台(31)上设置有用于放置芯片的芯片放置架(32)以及侧面检测相机(33)；所述芯片放置架(32)滑动设置在所述检测平台(31)上，且所述芯片放置架(32)能够在所述检测平台(31)上沿x方向运动；所述侧面检测相机(33)位于所述芯片放置架(32)的一侧，且所述侧面检测相机(33)朝向所述芯片放置架(32)；所述喷嘴(41)设置在所述检测平台(31)的上方，且所述喷嘴(41)的出口朝向所述芯片放置架(32)。3.如权利要求2所述的带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述芯片放置架(32)的相对两侧均设置有所述侧面检测相机(33)，所述侧面检测相机(33)的中心线所在的方向为y方向，所述x方向与所述x方向垂直。4.如权利要求3所述的带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述侧面检测相机(33)滑动设置在所述芯片放置架(32)上，且所述侧面检测相机(33)能够沿所述y方向移动。5.如权利要求3所述的带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述喷嘴(41)与所述侧面检测相机(33)中的一个位于同一侧，所述芯片放置架(32)上的芯片的待清洗平面与所述喷嘴(41)喷射气流的夹角为30
°
至60
°
，其中芯片的待清洗平面为芯片上与所述喷嘴(41)相对的平面。6.如权利要求2-5中任意一项所述的带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述芯片放置架(32)上转动设置有工装块，所述工装块上设置有用于放置待芯片的工位；所述工位内设置有负压孔，所述工装块通过所述负压孔吸附芯片；所述芯片放置架(32)内固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴能够驱动所述工装块转动。7.如权利要求1-5中任意一项所述的带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述清洗组件(4)还包括与所述喷嘴(41)相连的气罐(42)。8.如权利要求7所述的带有自动清洗功能的芯片检测机，其特征在于，所述气罐(42)内存储有气态二氧化碳或者液态二氧化碳。

技术总结
本实用新型涉及一种带有自动清洗功能的芯片检测机，带有自动清洗功能的芯片检测机包括：工作台、送料机构、检测组件以及清洗组件。送料机构安装在工作台上，送料机构能够夹取工作台上的芯片，并将芯片转运至检测组件处。检测组件安装在工作台上，检测组件能够检测芯片是否存在缺陷。清洗组件包括设置在工作台上的喷嘴，喷嘴能够向工作台上的芯片喷射气流。本实用新型将喷头集成在芯片检测机的工作台上，使得在芯片完成检测后就能够完成清洗，无需人工参与，提高了清洗的效率。提高了清洗的效率。提高了清洗的效率。


技术研发人员：梁永鑫 杨洁安 谢小玄
受保护的技术使用者：湖南奥创普科技有限公司
技术研发日：2023.03.10
技术公布日：2023/7/27