一种波导芯片的测试夹具的制作方法

1.本发明涉及芯片测试装置技术领域，尤其是涉及一种波导芯片的测试夹具。


背景技术：

2.波导芯片目前还比较前沿，相应的测试方法还比较少。为了确保波导芯片满足产品性能要求，需要对波导芯片进行测试。测试的要求在于两点，其一是可以无损的方式完成对芯片的测试，其二是可以同时对芯片的上、下两个面进行波导口、低频口、射频口的测试。
3.目前，待测的波导芯片有两种，如图6-7所示，一种芯片是底面设置有波导口a，顶面设置有低频口b；另一种是底面设置有波导口a，顶面不仅设置有低频口b，还设置有射频口c；在对待测波导芯片测试时，现有测试装置还只能对低频口b或低频口b和射频口c进行单面或双面测试，而无法对集成波导口的芯片进行测试。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种波导芯片的测试夹具，以解决现有技术中存在的无法对集成波导口的芯片进行测试的技术问题
。
本发明提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。
5.为实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：
6.本发明提供的波导芯片的测试夹具，包括测试平台，在所述测试平台上设置有底座和活动座；
7.所述底座固定设置在所述测试平台上，在所述底座上设置有芯片存放区，所述芯片存放区用以放置波导芯片，在所述芯片存放区上与波导芯片上的波导口对应位置设置有传输通道，在所述传输通道的四周设置有接地弹性探针；
8.所述活动座上设有与所述芯片存放区对应的针座区，在所述针座区上设置有低频弹性探针，所述活动座通过升降机构设置在所述测试平台上，所述升降机构驱动所述活动座升降移动以使波导芯片夹持在所述底座与所述活动座之间。
9.作为本发明的进一步改进，在所述底座上设置有限位柱，所述限位柱位于所述活动座的移动路径上。
10.作为本发明的进一步改进，在所述活动座上还设置有射频测连接器。
11.作为本发明的进一步改进，所述芯片存放区包括底板、面板及限位框，在所述底座上设置有安装口，所述安装口的截面为阶梯状，所述底板、所述面板及所述限位框依次设置在所述安装口上；
12.所述限位框上设置有与波导芯片相适配的限位口，所述传输通道设置在所述底板与所述面板上；
13.在所述面板上位于传输通道的四周设置有若干贯通孔，所述接地弹性探针嵌设在所述面板上的所述贯通孔内。
14.作为本发明的进一步改进，在所述面板上还设置有若干定位柱。
15.作为本发明的进一步改进，测试系统通过波导法兰及波导管与所述传输通道连接。
16.作为本发明的进一步改进，所述升降机构包括导向部、滑动部和驱动部，所述导向部设置在所述测试平台上，所述导向部与所述滑动部相配合，所述滑动部在所述导向部上往复移动，所述活动座与所述滑动部连接；
17.所述驱动部设置在所述测试平台上，所述驱动部与所述活动座连接用以驱动所述活动座在所述导向部上升降移动。
18.作为本发明的进一步改进，所述导向部为导柱，所述滑动部为直线轴承，所述直线轴承与所述导柱相配合，所述活动座与所述直线轴承连接，所述活动座通过所述直线轴承升降连接在所述导柱上。
19.作为本发明的进一步改进，在所述导柱上套设有复位弹簧，所述复位弹簧设置在所述测试平台与所述活动座之间。
20.作为本发明的进一步改进，所述导向部为直线导轨，所述滑动部为滑块，所述滑块与所述直线导轨相配合，所述活动座与所述滑块连接，所述活动座通过所述所述滑块升降连接在所述直线导轨上。
21.作为本发明的进一步改进，所述驱动部为快夹，在所述测试平台上设置有背板，在所述背板上设置有固定板，所述快夹固定在所述固定板上。
22.本发明的有益效果是：本发明提供的波导芯片的测试夹具，包括测试平台，在所述测试平台上设置有底座和活动座，所述活动座通过升降机构驱动，相对于所述底座往复移动，从而将波导芯片夹持在底座与活动座之间；在底座上的芯片存放区上设置有传输通道和接地弹性探针，在活动座上与芯片存放区对应位置设置有低频弹性探针，从而实现波导芯片两面的波导口及低频口的同时测试，完成对集成波导口的芯片的测试，且具有较高的测试效率；采用接地弹性探针和低频弹性探针，首先可以确保芯片焊盘完成可靠的接触，其次是测试时对焊盘影响最小。
附图说明
23.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1是本发明的第一实施例结构示意图；
25.图2是本发明的部分结构示意图；
26.图3是本发明的第二实施例结构示意图；
27.图4是本发明的活动座的剖视图；
28.图5是本发明的活动座的局部结构示意图；
29.图6是第一种波导芯片的结构示意图；
30.图7是第二种波导芯片的结构示意图。
31.图中1、测试平台；2、底座；3、活动座；4、芯片存放区；5、接地弹性探针；6、针座区；7、低频弹性探针；8、升降机构；9、射频测连接器；11、背板；12、固定板；21、限位柱；22、安装
口；41、底板；42、面板；43、限位框；44、传输通道；45、限位口；46、定位柱；47、贯通孔；48、波导法兰；49、波导管；81、导柱；82、直线轴承；83、快夹；84、复位弹簧；a、波导口；b、低频口；c、射频口。
具体实施方式
32.下面可以参照附图图1～图7以及文字内容理解本发明的内容以及本发明与现有技术之间的区别点。下文通过附图以及列举本发明的一些可选实施例的方式，对本发明的技术方案(包括优选技术方案)做进一步的详细描述。需要说明的是：本实施例中的任何技术特征、任何技术方案均是多种可选的技术特征或可选的技术方案中的一种或几种，为了描述简洁的需要本文件中无法穷举本发明的所有可替代的技术特征以及可替代的技术方案，也不便于每个技术特征的实施方式均强调其为可选的多种实施方式之一，所以本领域技术人员应该知晓：可以将本发明提供的任一技术手段进行替换或将本发明提供的任意两个或更多个技术手段或技术特征互相进行组合而得到新的技术方案。本实施例内的任何技术特征以及任何技术方案均不限制本发明的保护范围，本发明的保护范围应该包括本领域技术人员不付出创造性劳动所能想到的任何替代技术方案以及本领域技术人员将本发明提供的任意两个或更多个技术手段或技术特征互相进行组合而得到的新的技术方案。
33.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有说明，
″
多个
″
的含义是两个或两个以上；术语
″
上
″
、
″
下
″
、
″
左
″
、
″
右
″
、
″
内
″
、
″
外
″
、
″
前端
″
、
″
后端
″
、
″
头部
″
、
″
尾部
″
等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语
″
第一
″
、
″
第二
″
、
″
第三
″
等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
34.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语
″
安装
″
、
″
相连
″
、
″
连接
″
应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
35.本发明提供了一种能够测试集成波导口的芯片且具有较高测试效率的波导芯片的测试夹具。
36.下面结合图1～图7对本发明提供的技术方案进行更为详细的阐述。
37.本发明提供了一种波导芯片的测试夹具，包括测试平台，在所述测试平台上设置有底座和活动座；
38.所述底座固定设置在所述测试平台上，在所述底座上设置有芯片存放区，所述芯片存放区用以放置波导芯片，在所述芯片存放区上与波导芯片上的波导口对应位置设置有传输通道，在所述传输通道的四周设置有接地弹性探针；
39.所述活动座上设有与所述芯片存放区对应的针座区，在所述针座区上设置有低频弹性探针，所述活动座通过升降机构设置在所述测试平台上，所述升降机构驱动所述活动座升降移动以使波导芯片夹持在所述底座与所述活动座之间。
40.本发明提供的波导芯片的测试夹具，包括测试平台，在所述测试平台上设置有底座和活动座，所述活动座通过升降机构驱动，相对于所述底座往复移动，从而将波导芯片夹
持在底座与活动座之间；在底座上的芯片存放区上设置有传输通道和接地弹性探针，在活动座上与芯片存放区对应位置设置有低频弹性探针，从而实现波导芯片两面的波导口及低频口的同时测试，完成对集成波导口的芯片的测试，且具有较高的测试效率；采用接地弹性探针和低频弹性探针，首先可以确保芯片焊盘完成可靠的接触，其次是测试时对焊盘影响最小。
41.作为本发明的进一步改进，在所述底座上设置有限位柱，所述限位柱位于所述活动座的移动路径上。
42.在该进一步改进中，在底座上设置限位柱，限位柱用以限制活动座向下移动的距离，从而确保波导芯片的夹持效果，避免波导芯片损坏。
43.作为本发明的进一步改进，在所述活动座上还设置有射频测连接器。射频测连接器采用弹性测试连接器以对应测试波导芯片上的射频口，此外，也可以先用弹性针构建用射频通道，再用射频同轴电缆引出成标准连接器接口。
44.在该进一步改进中，通过在活动座上设置射频测连接器，射频测连接器与波导芯片上的射频口相对应，用以满足射频口的测试，使本发明提供的波导芯片的测试夹具能够同时实现波导口、射频口及低频口的同时测试，提高测试效率。
45.作为本发明的进一步改进，所述芯片存放区包括底板、面板及限位框，在所述底座上设置有安装口，所述安装口的截面为阶梯状，所述底板、所述面板及所述限位框依次设置在所述安装口上；
46.所述限位框上设置有与波导芯片相适配的限位口，所述传输通道设置在所述底板与所述面板上；
47.在所述面板上位于传输通道的四周设置有若干贯通孔，所述接地弹性探针嵌设在所述面板上的所述贯通孔内。
48.在该进一步改进中，芯片存放区由底板、面板及限位块构成，限位框上设置限位口，限位口与波导芯片相适配，波导芯片放置在限位口内，贯通孔设置在面板上，所述接地弹性探针嵌设在所述面板上的所述贯通孔内，所述接地弹性探针的底部与底板接触，使其具有较好的地接触。
49.作为本发明的进一步改进，在所述面板上还设置有若干定位柱。通过设置定位柱，对波导芯片起到支撑作用，确保波导芯片的定位精度。
50.作为本发明的进一步改进，测试系统通过波导法兰及波导管与所述传输通道连接。波导法兰采用fugp型的法兰盘，这种好处是直接带有对位插针和对接螺丝以实现快速与精准的对接及锁定。波导管采用弯型结构，弯型结构的两端呈90度，将垂直方向的波导口转到了侧面上，便于与测试系统对接。
51.作为本发明的进一步改进，所述升降机构包括导向部、滑动部和驱动部，所述导向部设置在所述测试平台上，所述导向部与所述滑动部相配合，所述滑动部在所述导向部上往复移动，所述活动座与所述滑动部连接；
52.所述驱动部设置在所述测试平台上，所述驱动部与所述活动座连接用以驱动所述活动座在所述导向部上升降移动。
53.作为本发明的进一步改进，所述导向部为导柱，所述滑动部为直线轴承，所述直线轴承与所述导柱相配合，所述活动座与所述直线轴承连接，所述活动座通过所述直线轴承
升降连接在所述导柱上。
54.作为本发明的进一步改进，在所述导柱上套设有复位弹簧，所述复位弹簧设置在所述测试平台与所述活动座之间。
55.在上述进一步改进中，升降机构包括导柱、直线轴承及驱动部，通过轴线轴承与导柱配合实现活动座的精确升降，通过驱动部驱动活动座移动至测试位置，通过复位弹簧实现活动座测试结束后自动复位，大大提高测试效率及测试准确度。
56.作为本发明的进一步改进，所述导向部为直线导轨，所述滑动部为滑块，所述滑块与所述直线导轨相配合，所述活动座与所述滑块连接，所述活动座通过所述所述滑块升降连接在所述直线导轨上。
57.可以理解的是，除了采用导柱和直线轴承完成升降移动外，还可以采用直线导轨与滑块相配合的方式实现升降移动，且均具有较高的精度，满足测试需求。
58.作为本发明的进一步改进，所述驱动部为快夹，在所述测试平台上设置有背板，在所述背板上设置有固定板，所述快夹固定在所述固定板上。
59.在该进一步改进中，驱动部采用快夹，快夹结构简单、安装方便、操作便捷，使用方便，能够快速调节扣紧程度。
60.实施例1:
61.本发明提供的波导芯片的测试夹具，包括测试平台1，在所述测试平台1上设置有底座2和活动座3；
62.所述底座2固定设置在所述测试平台1上，在所述底座2上设置有芯片存放区4，所述芯片存放区4用以放置波导芯片，在所述芯片存放区4内设置有接地弹性探针5；
63.所述活动座3上设有与所述芯片存放区4对应的针座区6，在所述针座区6上设置有低频弹性探针7，所述活动座3通过升降机构8设置在所述测试平台1上，所述升降机构8驱动所述活动座3升降移动以使波导芯片夹持在所述底座2与所述活动座3之间。并且在所述底座2上设置有限位柱21，所述限位柱21位于所述活动座3的移动路径上。
64.具体地，所述芯片存放区4包括底板41、面板42及限位框43，在所述底座2上设置有安装口22，所述安装口22的截面为阶梯状，所述底板41、所述面板42及所述限位框43依次设置在所述安装口22上；
65.所述限位框43上设置有与波导芯片相适配的限位口45，在所述面板42上设置有若干定位柱46，在所述底板41与所述面板42上设置有与波导芯片上的波导口位置相对应的传输通道44；
66.在所述面板42上位于传输通道44的四周设置有若干贯通孔47，所述接地弹性探针5嵌设在所述面板42上的所述贯通孔47内。
67.测试系统通过波导法兰48及波导管49与所述传输通道44连接。波导法兰48采用fugp型的法兰盘，这种好处是直接带有对位插针和对接螺丝以实际快速和精准的对接和锁定。波导管49采用弯型结构，弯型结构的两端呈90度，将垂直方向的波导口转到了侧面上，便于与测试系统对接。
68.进一步地，所述升降机构8包括导柱81、直线轴承82和快夹83，所述导柱81设置在所述测试平台1上，所述导柱81与所述直线轴承82相配合，所述直线轴承82在所述导柱81上往复移动，所述活动座3与所述直线轴承82连接；
69.在所述测试平台1上设置有背板11，在所述背板11上设置有固定板12，所述快夹83固定在所述固定板12上，所述快夹83与所述活动座3连接用以驱动所述活动座3在所述导柱81上升降移动。
70.在所述导柱81上套设有复位弹簧84，所述复位弹簧84设置在所述测试平台1与所述活动座3之间。
71.实施例2：
72.本实施例2与实施例1的不同点在于：在所述活动座3上还设置有射频测连接器9。在本实施例中，所述射频测连接器9为一种gsg结构的弹性测试连接器。所述射频测连接器9与波导芯片上的射频口相对应，以测试波导芯片上共面波导结构的射频口。
73.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种波导芯片的测试夹具，其特征在于，包括测试平台，在所述测试平台上设置有底座和活动座；所述底座固定设置在所述测试平台上，在所述底座上设置有芯片存放区，所述芯片存放区用以放置波导芯片，在所述芯片存放区上与波导芯片上的波导口对应位置设置有传输通道，在所述传输通道的四周设置有接地弹性探针；所述活动座上设有与所述芯片存放区对应的针座区，在所述针座区上设置有低频弹性探针，所述活动座通过升降机构设置在所述测试平台上，所述升降机构驱动所述活动座升降移动以使波导芯片夹持在所述底座与所述活动座之间。2.根据权利要求1所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，在所述底座上设置有限位柱，所述限位柱位于所述活动座的移动路径上。3.根据权利要求1所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，在所述活动座上还设置有射频测连接器。4.根据权利要求1所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，所述芯片存放区包括底板、面板及限位框，在所述底座上设置有安装口，所述安装口的截面为阶梯状，所述底板、所述面板及所述限位框依次设置在所述安装口上；所述限位框上设置有与波导芯片相适配的限位口，所述传输通道设置在所述底板与所述面板上；在所述面板上位于传输通道的四周设置有若干贯通孔，所述接地弹性探针嵌设在所述面板上的所述贯通孔内。5.根据权利要求4所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，测试系统通过波导法兰及波导管与所述传输通道连接。6.根据权利要求1-5任一所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，所述升降机构包括导向部、滑动部和驱动部，所述导向部设置在所述测试平台上，所述导向部与所述滑动部相配合，所述滑动部在所述导向部上往复移动，所述活动座与所述滑动部连接；所述驱动部设置在所述测试平台上，所述驱动部与所述活动座连接用以驱动所述活动座在所述导向部上升降移动。7.根据权利要求6所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，所述导向部为导柱，所述滑动部为直线轴承，所述直线轴承与所述导柱相配合，所述活动座与所述直线轴承连接，所述活动座通过所述直线轴承升降连接在所述导柱上。8.根据权利要求7所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，在所述导柱上套设有复位弹簧，所述复位弹簧设置在所述测试平台与所述活动座之间。9.根据权利要求6所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，所述导向部为直线导轨，所述滑动部为滑块，所述滑块与所述直线导轨相配合，所述活动座与所述滑块连接，所述活动座通过所述所述滑块升降连接在所述直线导轨上。10.根据权利要求6所述的波导芯片的测试夹具，其特征在于，所述驱动部为快夹，在所述测试平台上设置有背板，在所述背板上设置有固定板，所述快夹固定在所述固定板上。

技术总结
本发明提供了一种波导芯片的测试夹具，涉及芯片测试装置技术领域，解决了现有技术中存在的无法对集成波导口的芯片进行测试的技术问题。该波导芯片的测试夹具包括测试平台，在测试平台上设置有底座和活动座；底座固定设置在测试平台上，在底座上设置有芯片存放区，在芯片存放区上与波导芯片上的波导口对应位置设置有传输通道，在传输通道的四周设置有接地弹性探针；活动座上设有与芯片存放区对应的针座区，在针座区上设置有低频弹性探针，活动座通过升降机构设置在测试平台上，升降机构驱动活动座升降移动以使波导芯片夹持在底座与活动座之间。本发明用于提供一种能够测试集成波导口的芯片且具有较高测试效率的波导芯片的测试夹具。测试夹具。测试夹具。


技术研发人员：林斌 刁玉龙 董传众 冯冲 詹昌吉
受保护的技术使用者：宁波吉品科技有限公司
技术研发日：2023.04.25
技术公布日：2023/7/27