一种用于半导体的检测设备的制作方法

1.本发明涉及半导体检测设备领域，具体而言，涉及一种用于半导体的检测设备。


背景技术：

2.集成电路已成为各行各业实现信息化、智能化的基础，是支撑经济发展的先导性产业。经发明人研究发现，随着半导体技术的发展，载板的特征尺寸不断缩小、集成度不断提高，如何保证材料的质量成为关键一环。而以人工检测为主的检测方式，生产效率低，缺陷难以检出，检测准确率受人为因素波动较大，整个过程费时费力，制约企业产能的进一步提升。


技术实现要素：

3.本发明的目的包括，例如，提供了一种用于半导体的检测设备，其能够自动化检测半导体产品。
4.本发明的实施例可以这样实现：
5.本发明提出了一种用于半导体的检测设备，包括设备本体、运输组件和视觉检测组件；所述运输组件用于运输产品，所述运输组件设置于所述设备本体内；所述视觉检测组件通过有龙门架组件设置于所述设备本体上，所述龙门架组件用于带动所述视觉检测组件对产品进行实时检测。
6.进一步地，所述运输组件带动产品沿x轴方向或y轴方向运动时，所述龙门架组件带动所述视觉检测组件沿x轴方向或y轴方向同步运动，以使所述视觉检测组件同步对产品进行视觉检测。
7.进一步地，所述运输组件上的产品位于检测位置时，所述龙门架组件带动所述视觉检测组件移动至产品的上方，以使所述视觉检测组件对产品进行视觉检测。
8.进一步地，所述龙门架组件带动所述视觉检测组件沿z轴方向运动，以使所述视觉检测组件对位于检测位置的产品沿z轴方向进行不同高度地视觉检测。
9.进一步地，所述运输组件包括定侧板、动侧板、顶升结构和调宽电机；所述定侧板的内侧和所述动侧板的内侧均设置有导轨结构；所述顶升结构包括连杆结构，所述顶升结构设置于所述定侧板和所述动侧板之间，所述顶升结构的底部连接所述连杆结构，所述连杆结构的一端连接所述动侧板，另一端连接所述定侧板；所述调宽电机设置于所述定侧板的一侧或所述动侧板的一侧，所述调宽电机的输出轴与所述动侧板固定，所述调宽电机的输出轴带动所述动侧板移动时，所述顶升结构通过所述连杆结构随动居中。
10.进一步地，所述导轨结构带动产品沿x轴方向移动；所述顶升结构带动产品沿z轴方向移动；所述调宽电机的输出轴带动所述动侧板沿y轴方向移动时，所述顶升结构通过所述连杆结构沿y轴方向随动居中。
11.进一步地，所述连杆结构包括定轨连杆、第一连杆、动轨连杆和滑轨结构，所述第一连杆的中点通过轴承转动连接于所述顶升结构的底部，所述第一连杆的一侧转动连接所
述定轨连杆，另一侧转动连接所述动轨连杆，所述定轨连杆的另一侧转动连接所述定侧板，所述动轨连杆的另一侧转动连接所述动侧板；所述顶升结构的底部设置所述滑轨结构。
12.进一步地，所述顶升结构包括载台、载台顶升气缸和安装台，所述安装台上设有用于所述调宽电机的输出轴贯穿的通孔；所述安装台的一端设置所述载台顶升气缸，所述载台顶升气缸的输出端设置所述载台；所述安装台的另一端设置所述滑轨结构，并通过所述轴承结构与所述第一连杆的中点转动连接。
13.进一步地，所述导轨结构包括上料皮带结构、检测皮带结构和下料皮带结构，所述定侧板的内侧和所述动侧板的内侧均对应依次设置所述上料皮带结构、所述检测皮带结构和所述下料皮带结构，所述顶升结构设置于所述定侧板的所述检测皮带结构和所述定侧板的所述检测皮带结构之间；所述定侧板内侧的所述上料皮带结构和所述动侧板内侧的所述上料皮带结构通过有上料电机进行同步带动，所述定侧板内侧的所述检测皮带结构和所述动侧板内侧的所述检测皮带结构通过有检测电机进行同步带动，所述定侧板内侧的所述下料皮带结构和所述动侧板内侧的所述下料皮带结构通过有下料电机进行同步带动。
14.进一步地，所述上料皮带结构的输入端设有上料传感器，所述上料皮带结构的输出端设有上料待料传感器和第一升降阻挡块结构；所述下料皮带结构的输入端设有检测到位传感器和第二升降阻挡块结构，所述下料皮带结构的输出端设有下料传感器。
15.进一步地，所述检测皮带结构通过有皮带运输产品，所述皮带包围的区域内设有用于顶升所述皮带的皮带顶升结构；所述皮带顶升结构包括皮带顶升气缸，所述皮带顶升气缸设置于所述定侧板的内壁上或所述动侧板的内壁上，所述皮带顶升气缸的输出端固定有皮带顶升块。
16.进一步地，所述定侧板的一侧或动侧板的一侧设置有侧推组件，所述侧推组件包括定位推块和侧推气缸，所述侧推气缸固定在所述定侧板上或所述动侧板上，所述侧推气缸的输出端固定所述定位推块的一端，所述定位推块的另一端贯穿所述定侧板或所述动侧板；所述定侧板的顶部和所述动侧板的顶部均设置有盖板。
17.进一步地，所述龙门架组件包括x轴模组、两个y轴模组、z轴模组，所述视觉检测组件滑动连接于z轴模组，所述视觉检测组件能沿所述z轴模组的z轴运动，所述z轴模组滑动连接于所述x轴模组，所述z轴模组能沿所述x轴模组的x轴运动，所述x轴模组的两端分别滑动连接于两个所述y轴模组，所述x轴模组能沿两个所述y轴模组的y轴同步运动，两个所述y轴模组分别设置于所述设备本体的两侧。
18.进一步地，所述检测设备还包括上下料组件，所述上下料组件用于产品的上料和下料；所述上下料组件相对所述运输组件的输入端和输出端设置在所述设备本体上。
19.进一步地，所述上下料组件包括第一料仓结构、第二料仓结构和支架，所述第一料仓结构和所述第二料仓结构均设置于所述支架，所述支架固定于所述设备本体的输入端或输出端的侧壁上；所述设置于所述设备本体输入端的上下料组件上设有推板结构。
20.进一步地，所述上下料组件包括夹爪结构，所述夹爪结构对应所述上下料组件设置于所述设备本体的输入端和输出端的侧壁上，所述夹爪结构用于夹持料盒；所述夹爪结构包括第一夹爪导轨、第二夹爪导轨和夹爪，所述夹爪滑动连接于第二夹爪导轨，所述第二夹爪导轨滑动连接于所述第一夹爪导轨。
21.本发明实施例的有益效果包括，例如：
22.本发明提出的检测设备，包括设备本体、运输组件、视觉检测组件、上下料组件和龙门架组件；通过运输组件、视觉检测组件和龙门架组件配合，实现自动化对多类型产品进行实时视觉检测，其对各类产品的兼容性高，保证了产品质量，提高了生产效率。
附图说明
23.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
24.图1为检测设备的结构示意图；
25.图2为上下料组件的局部示意图；
26.图3为第一上下料组件配合第一夹爪结构的示意图一；
27.图4为第一上下料组件配合第一夹爪结构的示意图二；
28.图5为检测设备内部的局部示意图；
29.图6为运输组件配合龙门架组件的局部示意图；
30.图7为运输组件的结构示意图；
31.图8为运输组件上存在产品时的俯视图；
32.图9为动侧板内侧轨道结构的示意图；
33.图10为上料皮带结构输入端的局部示意图；
34.图11为顶升结构和连杆结构的局部连接示意图；
35.图12为图11的俯视图；
36.图13为顶升结构和连杆结构连接时的仰视图；
37.图14为检测电机处的剖视图；
38.图15为动侧板内侧检测皮带结构的局部示意图；
39.图16为侧推组件处的剖视图；
40.图17为运输组件与龙门架组件配合的示意图；
41.图18为运输组件与龙门架组件配合的俯视图。
42.图标：10-检测设备；11-门板；
43.20-运输组件；21-定侧板；22-动侧板；23-顶升结构；231-载台；232-载台顶升气缸；233-安装台；24-连杆结构；241-定轨连杆；242-第一连杆；243-动轨连杆；244-滑轨结构；245-轴承；25-调宽电机；26-导轨结构；261-上料皮带结构；2611-上料电机；262-检测皮带结构；2621-检测皮带；2622-检测电机；263-下料皮带结构；2631-下料电机；27-皮带顶升结构；271-皮带顶升气缸；272-皮带顶升块；28-侧推组件；281-定位推块；282-侧推气缸；29-盖板；210-压轮；
44.30-视觉检测组件；
45.40-龙门架组件；41-y轴模组；42-x轴模组；43-z轴模组；44-固定架；
46.50-上下料组件；51-第一上下料组件；52-第二上下料组件；53-第一料仓结构；54-第二料仓结构；541-推板结构；55-支架；56-夹爪结构；57-第一夹爪导轨；58-第二夹爪导轨；59-夹爪；
47.60-料盒；70-产品。
具体实施方式
48.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
49.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
50.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
51.在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品70使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
52.此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
53.需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。
54.请参考图1、5、6、17和18，本发明提供了一种用于半导体的检测设备10，包括设备本体、运输组件20和视觉检测组件30；运输组件20用于运输产品70，运输组件20设置于设备本体内；视觉检测组件30通过有龙门架组件40设置于设备本体上，龙门架组件40用于带动视觉检测组件30对产品70进行实时检测。
55.在本实施例中，请参考图5、6、17和18，运输组件20带动产品70沿x轴方向或y轴方向运动时，龙门架组件40带动视觉检测组件30沿x轴方向或y轴方向运动同步运动，以使视觉检测组件30同步对产品70进行视觉检测。
56.运输组件20带动产品70沿x轴方向或y轴方向运动时，当龙门架组件40带动视觉检测组件30沿x轴方向或y轴方向运动同步运动，以使视觉检测组件30同步对产品70进行视觉检测；以此实现龙门架组件40带动视觉检测组件30对实时运动的产品70进行实时检测。
57.在本实施例中，运输组件20上的产品70位于检测位置时，龙门架组件40带动视觉检测组件30移动至产品70的上方，以使视觉检测组件30对产品70进行视觉检测。
58.在本实施例中，龙门架组件40带动视觉检测组件30沿z轴方向运动，视觉检测组件30对位于检测位置的产品70沿z轴方向进行不同高度地视觉检测。
59.龙门架组件40根据运输组件20上产品70的检测位置，带动视觉检测组件30进行精准调整位置；使视觉检测组件30对位于检测位置的产品70精准定位后进行视觉检测。并且由于一个产品70在检测位置上存在有不同高度进行视觉检测的要求，则龙门架组件40在带动视觉检测组件30沿z轴方向进行不同位置的视觉检测，即龙门架组件40在带动视觉检测组件30在不同高度定点后对产品70进行拍摄。
60.综上，龙门架组件40可以带动视觉检测组件30实现精准调整位置进行精准检测，同时还能够进行实时调整高度对产品70进行多种高度的视觉检测；并且龙门架组件40还可以带动视觉检测组件30对实时运动的产品70进行实时检测。
61.本发明提供的检测设备10，包括设备本体、运输组件20、视觉检测组件30和上下料组件50。
62.请参考图1，检测设备10的设备本体，用于安装固定运输组件20、视觉检测组件30和上下料组件50。在本实施例中，设备本体为矩形框架结构，框架结构的底部设置用于放置电机等结构的台面，在台面的上根据方向在框架结构上设置面板、背板、顶板、左侧板和右侧板；在左侧板和右侧板上对应设置上下料组件50；在台面顶部设置运输组件20和视觉检测组件30，且运输组件20和视觉检测组件30设置于框架结构的各个板内；在面板上设置有可开合的门板11。在检测设备10工作时，闭合上门板11，避免外界因素影响检测设备10内部对产品70进行的检测工作，如果产品70在检测过程中出现故障，即打开门板11，对其进行排障。
63.请参考图7-9，在设备本体上设置有运输组件20，运输组件20用于运输产品70，并配合视觉检测组件30实现对产品70的视觉检测。
64.在本实施例中，请参考图11-13，运输组件20包括定侧板21、动侧板22、顶升结构23和调宽电机25；定侧板21的内侧和动侧板22的内侧均设置有导轨结构26；顶升结构23包括连杆结构24，顶升结构23设置于定侧板21和动侧板22之间，顶升结构23的底部连接连杆结构24，连杆结构24的一端连接动侧板22，另一端连接定侧板21；调宽电机25设置于定侧板21的一侧或动侧板22的一侧，调宽电机25的输出轴与动侧板22固定，调宽电机25的输出轴带动动侧板22移动时，顶升结构23通过连杆结构24随动居中。
65.当产品70运输组件20的输入端上料时，设置在定侧板21的内侧和动侧板22的内侧的导轨结构26同步带动输送产品70，将产品70输送至顶升结构23处进行顶升进行视觉检测，产品70检测完毕，将产品70输出。在需要根据产品70的宽度调节定侧板21和动侧板22之间的距离时，调宽电机25通过带动输出轴带动动侧板22向定侧板21方移动；动侧板22移动，则动侧板22通过连杆结构24带动顶升结构23一同向定侧板21方向移动，并且顶升结构23能够随动居中。以此可以适应不同宽度的产品70，并且顶升结构23可以随动居中，不会影响顶升结构23顶升产品70。
66.在本实施例中，请参照图11，导轨结构带动产品沿x轴方向移动；顶升结构23带动产品沿z轴方向移动；调宽电机的输出轴带动动侧板沿y轴方向移动时，顶升结构通过连杆结构沿y轴方向随动居中。
67.运输组件的运输方向即x轴方向；调宽电机的输出轴在根据产品宽度调整动侧板和定侧板之间的距离，该调整的位移即就是在y轴方向上进行调整，即顶升结构23在随动居中时带动载台上的产品一同在y轴方向上进行位置调整；顶升结构23需要将产品顶升至检测高度，即产品在z轴方向进行调整。
68.在本实施例中，请参考图11-13，连杆结构24包括定轨连杆241、第一连杆242、动轨连杆243和滑轨结构244，第一连杆242的中点通过轴承245转动连接于顶升结构23的底部，第一连杆242的一侧转动连接定轨连杆241，另一侧转动连接动轨连杆243，定轨连杆241的另一侧转动连接定侧板21，动轨连杆243的另一侧转动连接动侧板22；顶升结构23的底部设
置滑轨结构244。
69.第一连杆242和顶升结构23的底部可以通过轴承245和轴杆实现转动连接；定轨连杆241和定侧板21的底部也可以通过轴承245和轴杆实现转动连接；动轨连杆243和动侧板22的底部也可以通过轴承245和轴杆实现转动连接。在调宽电机25的输出轴推动动侧板22时，动侧板22向定侧板21方向移动；由于第一连杆242和动轨连杆243连接，所以顶升结构23在第一连杆242的带动下，顶升结构23在底部的滑轨结构244上位移。由于动侧板22移动，设置于动侧板22下端的动轨连杆243向内位移并推动第一连杆242；第一连杆242推动定轨连杆241，定轨连杆241仅转动不移动；此时，顶升结构23在连杆结构24和滑轨结构244的配合下实现随动居中。
70.在本实施例中，请参考图11和16，顶升结构23包括载台231、载台顶升气缸232和安装台233，安装台233的上设有用于调宽电机25的输出轴贯穿的通孔；安装台233的一端设置载台顶升气缸232，载台顶升气缸232的输出端设置载台231；安装台233的另一端设置滑轨结构244，并通过轴承245结构与第一连杆242的中点转动连接。在其他实施例中，载台顶升气缸232还可以替换成载台顶升电机。
71.在产品70运输至顶升结构23进行顶升时，载台顶升气缸232的输出端伸出顶升载台231，载台231用于承载产品70。调宽电机25的输出轴贯穿安装台233上的通孔，避免顶升结构23与其他结构连接，导致顶升结构23受外力影响顶升结构23的随动居中。
72.请参考图9、14和15，在动侧板22内侧和定侧板21内侧均设置有导轨结构26，用于同步运输产品70。
73.在实施例中，导轨结构26包括上料皮带结构261、检测皮带结构262和下料皮带结构263，定侧板21的内侧和动侧板22的内侧均对应依次设置上料皮带结构261、检测皮带结构262和下料皮带结构263，顶升结构23设置于定侧板21的检测皮带结构262和定侧板21的检测皮带结构262之间；定侧板21内侧的上料皮带结构261和动侧板22内侧的上料皮带结构261通过有上料电机2611进行同步带动，定侧板21内侧的检测皮带结构262和动侧板22内侧的检测皮带结构262通过有检测电机2622进行同步带动，定侧板21内侧的下料皮带结构263和动侧板22内侧的下料皮带结构263通过有下料电机2631进行同步带动。
74.上料皮带结构261、检测皮带结构262和下料皮带结构263均为皮带传送结构，两侧的上料皮带结构261通过一个上料电机2611进行同步带动两侧的上料皮带，两侧的检测皮带结构262通过一个检测电机2622进行同步带动两侧的检测皮带2621；两侧的下料皮带结构263通过一个下料电机2631进行同步带动两侧的检测皮带2621。
75.其中将产品70从上料皮带结构261的输入端上料，上料皮带结构261入料端的进料压轮210辅助产品70进入上料皮带结构261；上料皮带结构261将产品70运输至检测皮带结构262处，产品70在顶升结构23处顶升后进行视觉检测；视觉检测完后，产品70运输至下料皮带结构263；下料皮带结构263将产品70运输至第二上下料组件52的输入端。
76.在本实施例中上料皮带结构261的输入端设有上料传感器，上料皮带结构261的输出端设有上料待料传感器和第一升降阻挡块结构；下料皮带结构263的输入端设有检测到位传感器和第二升降阻挡块结构，下料皮带结构263的输出端设有下料传感器。
77.当检测到位传感器到检测皮带结构262上存在一个产品70正在进行视觉检测时，即产品70位于检测工位；并且上料待料传感器同时检测上料皮带结构261上存在一个产品
70正在输送，则第一升降阻挡块结构阻挡上料皮带结构261上的产品70进入检测皮带结构262，即产品70位于上料待料工位；直至检测到位传感器检测到检测皮带结构262上不存在产品70时，第一升降阻挡块结构收回，产品70进入检测皮带结构262。
78.当下料传感器检测到下料皮带结构263上存在一个产品70正在输送时，即产品70位于下料待料工位；并且检测到位传感器同时检测到检测皮带结构262上存在一个产品70正在检测工位，则第二升降阻挡块结构阻挡检测皮带结构262上的产品70进入下料皮带结构263；直至下料传感器检测检测到下料皮带结构263上不存在产品70时，第二升降阻挡块结构收回，产品70进入下料皮带结构263。
79.综上，整个运输导轨由上料皮带结构261、检测皮带结构262和下料皮带结构263组成；并且通过传感器和升降阻挡块结构的作用，避免了位于检测工位的产品70、位于上料待料工位的产品70以及位于下料待料工位的产品70之间的相互干涉，使上料皮带结构261、检测皮带结构262和下料皮带结构263在协同运输产品70的同时能够相互独立工作。
80.在本实施例中，请参考图15，检测皮带结构262通过有皮带运输产品70，皮带包围的区域内设有用于顶升皮带的皮带顶升结构27；皮带顶升结构27包括皮带顶升气缸271，皮带顶升气缸271设置于定侧板21的内壁上或动侧板22的内壁上，皮带顶升气缸271的输出端固定有皮带顶升块272。其中皮带为检测皮带2621。在其他实施例中，皮带顶升气缸271还可以替换成皮带顶升电机。
81.设置在动侧板22内壁和定侧板21内壁的皮带顶升气缸271的输出轴同时带动皮带顶升块272向上或向下移动，皮带顶升块272可以同步向上抬起皮带或向下让皮带归位。在检测轨道处，顶升结构23顶升产品70时，皮带顶升结构27同步将产品70向上抬起，将产品70顶升至进行视觉检测所需要的检测高度。
82.在本实施例中，请参考图13和16，定侧板21的一侧或动侧板22的一侧设置有侧推组件28，侧推组件28包括定位推块281和侧推气缸282，侧推气缸282固定在定侧板21上或动侧板22上，侧推气缸282的输出端固定定位推块281的一端，定位推块281的另一端贯穿定侧板21或动侧板22；定侧板21的顶部和动侧板22的顶部均设置有盖板29。在其他实施例中，侧推气缸282还可以替换成侧推电机。
83.在动侧板22和定侧板21上均设置盖板29时，用途是将产品70固定在盖板29内，避免防止人为取出产品70或产品70在运输过程中翘曲飞出。侧推组件28可以设置于动侧板22外壁，也可以设置于定侧板21外壁。定位推块281一端与侧推气缸282的输出端连接，另一侧可以与盖板29上设置的通槽匹配并可以在通槽内滑动。在顶升结构23将产品70顶升至进行视觉检测的检测高度时，侧推气缸282同步带动定位推块281在通槽内滑动，定位推块281伸出滑槽将产品70抵住，将产品70定位在此检测高度。
84.请参考图5-6和17-18，在检测设备10的设备本体还设置有龙门架组件40，将视觉检测组件30设置于龙门架组件40上，龙门架组件40用于带动视觉检测组件30对定位在检测高度的产品70进行视觉检测。
85.视觉检测组件30有多种配置方案，集成了2d、3d功能，能实现检测、量测等功能；并且视觉检测组件30可以在终端设计多种配方，一种产品70对应一套配方，在对产品70进行视觉检测之前，可以在终端选择相应的配方。在本实施例中，视觉检测组件30可以为各个光源的组合，多通道控制的独控制，针对不同检测项目可使用不同波段、不同角度光源，以得
到最佳图像效果，提高了光源方案的兼容性。在其他实施例中，视觉检测组件30可以在保证较大的光源内径的前提下，可以提供多种角度的均匀光照，保证图像均匀性；或者视觉检测组件30的光源可以对光源的增亮设计，提高了光源亮度，相应可以降低相机的曝光时间，提高设备的检测效率。
86.在本实施例中，请参考图5-6，龙门架组件40包括x轴模组42、两个y轴模组41、z轴模组43，视觉检测组件30滑动连接于z轴模组43，视觉检测组件30能沿z轴模组43的z轴运动，z轴模组43滑动连接于x轴模组42，z轴模组43能沿x轴模组42的x轴运动，x轴模组42的两端分别滑动连接于两个y轴模组41，x轴模组42能沿两个y轴模组41的y轴同步运动，两个y轴模组41分别设置于设备本体的两侧。
87.两个y轴模组41均通过有固定架44设置在设备本体的输入端和输出端，且固定架44上设有开口，运输组件20的两端贯穿两个固定架44的开口；y轴模组41平行设置且与运输组件20保持相对垂直；两个y轴模组41上均设置有第一导轨，x轴模组42的两端设置有第一导块，x轴模组42在通过两端的第一导块与两个y轴模组41的第一导轨连接，从而实现x轴模组42在运输组件20上方沿y轴进行移动。x轴模组42上设有平行于运输组件20的第二导轨，z轴模组43上设置有第二导块，z轴模组43通过第二导块与x轴模组42的第二导轨滑动连接，从而实现z轴模组43在运输组件20上方沿x轴进行移动。z轴模组43上设有相对运输组件20竖直设置的第三导轨，视觉检测组件30设置有第三导块，视觉检测组件30通过第三导块滑动连接与z轴模组43的第三导轨上。
88.综上，龙门架组件40根据运输组件20上产品70的检测位置，带动视觉检测组件30进行精准调整位置；并且由于一个产品70存在不同高度进行视觉检测的要求，龙门架组件40在带动视觉检测组件30实现精准调整位置进行精准检测的同时能够进行实时调整高度对产品70进行多种高度的视觉检测；并且龙门架组件40也可以实时运动实现对产品70的实时检测，实时检测包括点拍、飞拍以及线扫。
89.请参考图1-2，检测设备10的设备本体的输入端和输出端设有上下料组件50，并且上下料组件50的出料端与运输组件20的输入端相对设置。上下料组件50用于放置料盒60，而产品70即设置在料盒60内；设置在设备本体输入端的上下料组件50用于料盒60上料，设置在设备本体输出端的上下料组件50用于料盒60下料。
90.请参考图2，上下料组件50包括第一料仓结构53、第二料仓结构54和支架55，第一料仓结构53上设有运输结构用于运输料盒60，第二料仓结构54用于放置料盒60。第一料仓结构53在下，第二料仓结构54在上，并固定在支架55后，将支架55固定于设备本体上。两个第二料仓结构54分别对应设置在运输组件20的输入端和输出端。
91.在本实施例中，设置在设备本体输入端的上下料组件50为第一上下料组件51，并且在第一上下料组件51的第二料仓结构54侧壁上设置推送产品70的推板结构541。在第一上下料组件51的第一料仓结构53一端设置满料的料盒60并运输，并通过夹爪结构56将满料的料盒60从第一料仓结构53的输出端转移至第二料仓结构54的输入端处，推板结构541将料盒60内层叠的产品70，依次推入输送组件的输入端；料盒60内产品70推完后，夹爪结构56将空料盒60推入第二料仓结构54上。设置在设备本体输入端的上下料组件50为第二上下料组件52。在第二上下料组件52的第一料仓结构53一端设置空料盒60并运输，夹爪结构56将空料盒60从第一料仓结构53的输出端转移至第二料仓结构54的输入端处，输送组件的输出
端输出产品70依次叠加入料盒60内，直至料盒60叠满，夹爪结构56将满料的料盒60推入第二料仓结构54上。
92.请参考图3-4，在设备本体上对应上下料组件50还设置有夹爪结构56，夹爪结构56用于夹持料盒60，并将第一料仓结构53上的料盒60转移至第二料仓结构54上。夹爪结构56包括第一夹爪导轨57、第二夹爪导轨58和夹爪59；夹爪59滑动连接于第二夹爪导轨58，并能在第二夹爪导轨58上做上下位移；第二夹爪导轨58滑动连接于第一夹爪导轨57，并能在第一夹爪导轨57上做左右位移。以此实现夹爪结构56和上下料组件50同步实现对料盒60内产品70的上料或下料。夹爪59包括底板和夹爪59电机，夹爪59电机的输出端连接有顶板，当夹爪59的底板上存在料盒60时，夹爪59电机的输出端带动顶板抵住料盒60的顶部，使料盒60被紧紧夹持在夹爪59的底板和顶板之间。在本实施例中，设置在设备本体输入端的夹爪结构56为第一夹爪结构56，第一夹爪结构56辅助第一上下料组件51，实现产品70上料；设置在设备本体输出端的夹爪结构56为第二夹爪结构56，第二夹爪结构56辅助第二上下料组件52，实现产品70下料。
93.根据本实施例提供的检测设备10的工作原理是：
94.第一上下料组件51进行上料：
95.在料盒60内放置有多层产品70，将满料的料盒60放置在第二料仓结构54的输入端，满料的料盒60在第二料仓结构54的输送结构上输送，直至第二料仓结构54的输出端。
96.第一夹爪59上料结构的夹爪59将料盒60进行夹持，第一夹爪59上料结构带动料盒60至运输组件20的输入端，第一料仓结构53上设置的推板结构541将料盒60内最顶层的产品70推入运输组件20。夹爪59在第二夹爪导轨58上实时向上移动，直至推板结构541将料盒60内的产品70全部推入运输组件20内。第二夹爪导轨58在第一夹爪导轨57上移动，将空的料盒60推进第一料仓结构53上进行放置。
97.料盒60内的产品70进入运输组件20：
98.将产品70上到上料皮带结构261上，上料皮带结构261入料端的进料压轮210辅助产品70进去上料皮带结构261；上料皮带结构261将产品70运输至检测皮带结构262上进行视觉检测。
99.顶升结构23顶升载台231，载台231顶升产品70的中心位置；皮带顶升结构27同步对产品70的两端进行顶升；同步将产品70顶升至与两个盖板29的下表面贴合。产品70与盖板29的下表面贴合时，即证明产品70已顶升至视觉检测所需要的检测高度。
100.位于检测高度的产品70，动侧板22外壁的侧推气缸282同步带动定位推块281在盖板29的通槽内滑动，定位推块281伸出滑槽将产品70抵住，将产品70定位在此检测高度。
101.产品70在检测高度定位后，龙门架组件40根据产品70的位置进行实时运动，将视觉检测组件30移动至检测位置，对产品70进行视觉检测。视觉检测组件30在检测完后，产品70运输至下料皮带结构263，下料皮带结构263将产品70运输出第二上下料组件52上的空料盒60内进行收纳。
102.即运输组件20在带动产品在x轴方向、y轴方向以及z轴方向运动时，龙门架组件40实时地同步带动视觉检测组件30在x轴方向、y轴方向以及z轴方向进行运动，以使视觉检测组件30能够同步对产品进行视觉检测。
103.如果运输组件20的动侧板22和定侧板21之间的距离与产品70的宽度不一致时，则
需要调宽电机25推动动侧板22，直至动侧板22和定侧板21之间的距离与产品70的宽度一致。调宽电机25推动动侧板22，定侧板21不动，则动侧板22通过连杆结构24带动顶升结构23进行移动，且顶升结构23由于连杆结构24可以实现在定侧板21和动侧板22之间的随动居中。随动居中的顶升结构23才能保证顶升结构23顶升产品70时，所顶升的是产品70的中点位置，从而避免由于对产品70所顶升的位置错误导致产品70歪斜，造成视觉检测失败甚至产品70损坏。如果随动组件之间进行调整过后，则龙门架组件40进行实时运动，相对产品70的检测位置进行实时调整。
104.第二上下料组件52进行下料：
105.第二夹爪59上料结构的夹爪59将空的料盒60进行夹持，夹爪59将空的料盒60放置在第二料仓结构54的输入端，即运输组件20的输出端。
106.运输组件20将进行过视觉检测的产品70从下料皮带结构263输出，产品70则进入空的料盒60顶层进行放置，在产品70放置好后。夹爪59在第二夹爪导轨58上实时向上移动，直至料盒60内完全装满产品70。第二夹爪导轨58在第一夹爪导轨57上移动，将满料的料盒60推进第一料仓结构53上进行放置。放置后，第二夹爪59上料结构实时移动，夹取第二上下料组件52的第一料仓结构53上放置的空料盒60。
107.本实施例提供的一种检测设备10至少具有以下优点：
108.本发明提出的检测设备10，包括设备本体、运输组件20、视觉检测组件30和龙门架组件40；该检测设备10配合实现自动化对多类型产品70进行实时视觉检测，其对各类产品70的兼容性高，使产品70质量得到了保证并提高生产效率。
109.本发明也提供了一种上下料组件50，通过在设备本体的输入端设置第一上下料组件51进上料，输出端设置第二上下料组件52进行下料，使料盒60上下料工作模式具有独立性。
110.本发明也提供了一种运输组件20，通过设置定侧板21、动侧板22、顶升结构23、连杆结构24和调宽电机25，使得运输组件20可以根据产品70的宽度进行实时调整定侧板21和动侧板22之间的宽度，并且顶升结构23能够随动居中。使得运输组件20对产品70的兼容强：一是兼容不同类的产品70，如引线框架类、基板类、带传送舟类、大型模块类产品70；二是兼容不同尺寸的产品70，运输组件20可以最大程度兼容市面上的半导体产品70。并且由于顶升结构23通过连杆结构24可以实现随动居中，所以无需另外设计驱动组件对其进行驱动居中，节省了整个顶升结构23的空间。
111.本发明也提供了一种运输组件20，整个运输导轨由上料皮带结构261、检测皮带结构262和下料皮带结构263组成。通过传感器和升降阻挡块结构的作用，避免了位于检测工位的产品70、位于上料待料工位的产品70以及位于下料待料工位的产品70之间的相互干涉，使上料皮带结构261、检测皮带结构262和下料皮带结构263在协同运输产品70的同时能够相互独立工作；且产品70能够被定位在检测轨道进行视觉检测。
112.本发明还提供了一种龙门架组件40和视觉检测组件30，通过设置y轴模组41、x轴模组42、z轴模组43和视觉检测组件30；可以在产品70被定位时，龙门架组件40带动视觉检测组件30进行实时移动，对产品70进行点拍、飞拍和线扫等视觉检测，位置精准，相应速度快；且视觉检测组件30集成了2d、3d功能，能实现检测、量测等功能。以此在运输组件20上产品70进行运动时，通过龙门架组件40的三维实时运动对运输组件20上的产品70进行实时地
视觉检测。
113.以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种用于半导体的检测设备，其特征在于，包括：设备本体；运输组件，所述运输组件用于运输产品，所述运输组件设置于所述设备本体内；视觉检测组件，所述视觉检测组件通过有龙门架组件设置于所述设备本体上，所述龙门架组件用于带动所述视觉检测组件对产品进行实时检测。2.根据权利要求1所述的用于半导体的检测设备，其特征在于，所述运输组件带动产品沿x轴方向或y轴方向运动时，所述龙门架组件带动所述视觉检测组件沿x轴方向或y轴方向同步运动，以使所述视觉检测组件同步对产品进行视觉检测。3.根据权利要求1所述的用于半导体的检测设备，其特征在于，所述运输组件上的产品位于检测位置时，所述龙门架组件带动所述视觉检测组件移动至产品的上方，以使所述视觉检测组件对产品进行视觉检测。4.根据权利要求3所述的用于半导体的检测设备，其特征在于，所述龙门架组件带动所述视觉检测组件沿z轴方向运动，以使所述视觉检测组件对位于检测位置的产品沿z轴方向进行不同高度地视觉检测。5.根据权利要求3所述的用于半导体的检测设备，其特征在于，所述运输组件包括定侧板、动侧板、顶升结构和调宽电机；所述定侧板的内侧和所述动侧板的内侧均设置有导轨结构；所述顶升结构包括连杆结构，所述顶升结构设置于所述定侧板和所述动侧板之间，所述顶升结构的底部连接所述连杆结构，所述连杆结构的一端连接所述动侧板，另一端连接所述定侧板；所述调宽电机设置于所述定侧板的一侧或所述动侧板的一侧，所述调宽电机的输出轴与所述动侧板固定，所述调宽电机的输出轴带动所述动侧板移动时，所述顶升结构通过所述连杆结构随动居中。6.根据权利要求5所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述导轨结构带动产品沿x轴方向移动；所述顶升结构带动产品沿z轴方向移动；所述调宽电机的输出轴带动所述动侧板沿y轴方向移动时，所述顶升结构通过所述连杆结构沿y轴方向随动居中。7.根据权利要求6所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述连杆结构包括定轨连杆、第一连杆、动轨连杆和滑轨结构，所述第一连杆的中点通过轴承转动连接于所述顶升结构的底部，所述第一连杆的一侧转动连接所述定轨连杆，另一侧转动连接所述动轨连杆，所述定轨连杆的另一侧转动连接所述定侧板，所述动轨连杆的另一侧转动连接所述动侧板；所述顶升结构的底部设置所述滑轨结构。8.根据权利要求7所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述顶升结构包括载台、载台顶升气缸和安装台，所述安装台上设有用于所述调宽电机的输出轴贯穿的通孔；所述安装台的一端设置所述载台顶升气缸，所述载台顶升气缸的输出端设置所述载台；所述安装台的另一端设置所述滑轨结构，并通过所述轴承结构与所述第一连杆的中点
转动连接。9.根据权利要求6所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述导轨结构包括上料皮带结构、检测皮带结构和下料皮带结构，所述定侧板的内侧和所述动侧板的内侧均对应依次设置所述上料皮带结构、所述检测皮带结构和所述下料皮带结构，所述顶升结构设置于所述定侧板的所述检测皮带结构和所述定侧板的所述检测皮带结构之间；所述定侧板内侧的所述上料皮带结构和所述动侧板内侧的所述上料皮带结构通过有上料电机进行同步带动，所述定侧板内侧的所述检测皮带结构和所述动侧板内侧的所述检测皮带结构通过有检测电机进行同步带动，所述定侧板内侧的所述下料皮带结构和所述动侧板内侧的所述下料皮带结构通过有下料电机进行同步带动。10.根据权利要求9所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述上料皮带结构的输入端设有上料传感器，所述上料皮带结构的输出端设有上料待料传感器和第一升降阻挡块结构；所述下料皮带结构的输入端设有检测到位传感器和第二升降阻挡块结构，所述下料皮带结构的输出端设有下料传感器。11.根据权利要求10所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述检测皮带结构通过有皮带运输产品，所述皮带包围的区域内设有用于顶升所述皮带的皮带顶升结构；所述皮带顶升结构包括皮带顶升气缸，所述皮带顶升气缸设置于所述定侧板的内壁上或所述动侧板的内壁上，所述皮带顶升气缸的输出端固定有皮带顶升块。12.根据权利要求5所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述定侧板的一侧或动侧板的一侧设置有侧推组件，所述侧推组件包括定位推块和侧推气缸，所述侧推气缸固定在所述定侧板上或所述动侧板上，所述侧推气缸的输出端固定所述定位推块的一端，所述定位推块的另一端贯穿所述定侧板或所述动侧板；所述定侧板的顶部和所述动侧板的顶部均设置有盖板。13.根据权利要求1所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述龙门架组件包括x轴模组、两个y轴模组、z轴模组，所述视觉检测组件滑动连接于z轴模组，所述视觉检测组件能沿所述z轴模组的z轴运动，所述z轴模组滑动连接于所述x轴模组，所述z轴模组能沿所述x轴模组的x轴运动，所述x轴模组的两端分别滑动连接于两个所述y轴模组，所述x轴模组能沿两个所述y轴模组的y轴同步运动，两个所述y轴模组分别设置于所述设备本体的两侧。14.根据权利要求1所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括上下料组件，所述上下料组件用于产品的上料和下料；所述上下料组件相对所述运输组件的输入端和输出端设置在所述设备本体上。15.根据权利要求14所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述上下料组件包括第一料仓结构、第二料仓结构和支架，所述第一料仓结构和所述第二料仓结构均设置于所述支架，所述支架固定于所述设备本体的输入端或输出端的侧壁上；所述设置于所述设备本体输入端的上下料组件上设有推板结构。16.根据权利要求14所述的于半导体的检测设备，其特征在于，所述上下料组件包括夹
爪结构，所述夹爪结构对应所述上下料组件设置于所述设备本体的输入端和输出端的侧壁上，所述夹爪结构用于夹持料盒；所述夹爪结构包括第一夹爪导轨、第二夹爪导轨和夹爪，所述夹爪滑动连接于第二夹爪导轨，所述第二夹爪导轨滑动连接于所述第一夹爪导轨。

技术总结
本发明的实施例提供了一种用于半导体的检测设备，涉及半导体检测设备领域。本发明提供的一种用于半导体的检测设备，包括设备本体、运输组件和视觉检测组件；运输组件用于运输产品，运输组件设置于设备本体内；视觉检测组件通过有龙门架组件设置于设备本体上，龙门架组件用于带动视觉检测组件对产品进行实时检测。通过运输组件、视觉检测组件和龙门架组件配合，实现自动化对多类型产品进行实时视觉检测，其对各类产品的兼容性高，保证了产品质量，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。


技术研发人员：王为新 兰振 郑军
受保护的技术使用者：聚时科技（上海）有限公司
技术研发日：2023.06.15
技术公布日：2023/8/1