抛光液换热装置和抛光机的制作方法

1.本公开涉及抛光液冷却设备技术领域，具体地，涉及一种抛光液换热装置和抛光机。


背景技术：

2.在对碳化硅晶片表面抛光的过程中，由于碳化硅晶片表面与抛光液中磨粒的微观切削会产生大量的热，导致抛光液的温度升高，为了避免碳化硅晶片的表面的抛光质量受到影响，需要通过抛光液换热装置在抛光液的循环过程中对抛光液进行冷却。
3.相关技术中，抛光液换热装置对抛光液的温度控制的精确度较低，而抛光液在低于其最佳工作温度时工作，仍会导致碳化硅晶片表面的抛光质量降低。


技术实现要素：

4.本公开的目的是提供一种抛光液换热装置和抛光机，通过该抛光液换热装置，可以对抛光液的温度进行控制，使从抛光液出口流出的抛光液更接近其最佳工作温度，有利于提高抛光液对碳化硅晶片表面的抛光质量。
5.为了实现上述目的，根据本公开的一个方面，提供一种抛光液换热装置，包括容器、流量控制单元以及第一测温组件；
6.所述容器包括第一换热腔，所述第一换热腔上形成有第一进水口、抛光液进口以及抛光液出口，所述抛光液进口用于与抛光机的出液口连通，所述抛光液出口用于与抛光机的储液装置连通；
7.所述流量控制单元的出口与所述第一进水口连通，所述流量控制单元的入口用于与冷水机的出口连通；
8.所述第一测温组件用于检测从所述抛光液出口流出的抛光液的温度，所述第一测温组件与所述流量控制单元电连接。
9.可选地，所述流量控制单元包括水箱和功率能够调节的第一水泵，所述水箱上形成有补水口和第一供水口，所述补水口用于与冷水机的出口连通，所述第一水泵的入口与所述第一供水口连通，所述第一水泵的出口与所述第一进水口连通。
10.可选地，所述流量控制单元还包括流量控制器，所述流量控制器的入口与所述第一水泵的出口连通，所述流量控制器的出口与所述第一进水口连通；
11.所述抛光液换热装置还包括第一回流管，所述第一回流管路的第一端与所述水箱的顶部连通，所述第一回流管的第二端连通于所述流量控制器或连通于所述第一水泵的出口与所述流量控制器的入口之间的管路。
12.可选地，所述抛光液换热装置还包括限压阀和第二回流管，所述限压阀的入口与所述第一水泵的出口连通，所述限压阀的出口与所述流量控制器的入口连通；
13.所述第二回流管的第一端与所述水箱的顶部连通，所述第二回流管的第二端连通于所述限压阀或连通于所述第一水泵的出口与所述限压阀的入口之间的管路。
14.可选地，所述第一进水口位于所述第一换热腔的底部，所述抛光液进口位于所述抛光液出口的上方；
15.所述抛光液换热装置还包括第一止回阀，所述流量控制单元的出口与所述第一止回阀的入口连通，所述第一止回阀的出口与所述第一进水口连通。
16.可选地，所述容器还包括第二换热腔，所述第二换热腔与所述第一换热腔独立设置，所述第二换热腔绕所述第一换热腔的外侧设置，所述第二换热腔的底部形成有第二进水口，所述第二换热腔的顶部形成有出水口；
17.所述抛光液换热装置还包括第二水泵、第二止回阀以及第二测温组件，所述水箱的底部形成有第二供水口，所述水箱的顶部形成有第一回水口，所述第二供水口经由所述第二水泵与所述第二止回阀的入口连通，所述第二止回阀的出口与所述第二进水口连通，所述出水口与所述第一回水口连通，所述第二测温组件用于检测所述第二换热腔内的冷却水的温度。
18.可选地，所述抛光液换热装置还包括盘管，所述盘管沿上下方向缠绕于所述容器的外壁；
19.所述抛光液换热装置还包括第三水泵、第三止回阀以及第三测温组件，所述水箱的底部形成有第三供水口，所述水箱的顶部形成有第二回水口，所述第三供水口经由所述第三水泵与所述第三止回阀的入口连通，所述第三止回阀的出口与所述盘管的下端连通，所述盘管的上端与所述第二回水口连通，所述第三测温组件用于检测所述盘管内的冷却水的温度。
20.可选地，所述抛光液换热装置还包括密封盖，所述第一换热腔的顶面形成有与外界连通的清洗口，所述密封盖可拆卸地安装于所述清洗口；
21.和/或，所述抛光液换热装置还包括开关阀，所述第一换热腔的底面形成有排污口，所述开关阀的入口与所述排污口连通，所述开关阀的出口用于与外界连通。
22.可选地，所述第一换热腔的上端形成有环形连接部，所述环形连接部用于与所述密封盖相连，所述环形连接部的高度为5～50mm。
23.根据本公开的另一方面，提供一种抛光机，包括冷水机、储液装置以及上述的抛光液换热装置，所述抛光液换热装置的抛光液进口与所述抛光机的出液口连通，所述抛光液换热装置的抛光液进口与所述抛光机的储液装置连通，所述冷水机的出口与所述抛光液换热装置的流量控制单元的入口连通。
24.通过上述技术方案，由于第一换热腔上形成有第一进水口、抛光液进口以及抛光液出口，因此，冷水机制好的冷却水可以通过第一进水口进入第一换热腔内，温度较高的抛光液从抛光机的出液口排出后，可以通过抛光液进口进入第一换热腔内，温度较高的抛光液在第一换热腔内与温度较低的冷却水混合后，温度迅速降低，并通过抛光液出口排出至抛光机的储液装置内，进入下一轮循环。由于流量控制单元的出口与第一进水口连通，流量控制单元的入口用于与冷水机的出口连通，且第一测温组件与流量控制单元电连接，因此，流量控制单元可以根据第一测温组件检测的从抛光液出口流出的抛光液的温度，实时调整从冷水机流入第一换热腔的冷却水流量，因此，通过该抛光液换热装置。可以对抛光液的温度进行控制，使从抛光液出口流出的抛光液更接近其最佳工作温度，有利于提高抛光液对碳化硅晶片表面的抛光质量。
25.本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
26.附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
27.图1是本公开一种实施方式提供的抛光液换热装置的结构示意图；
28.图2是本公开一种实施方式提供的抛光液换热装置的容器的纵向剖视示意图。
29.附图标记说明
30.10-容器；11-第一换热腔；111-第一进水口；112-抛光液进口；113-抛光液出口；114-清洗口；115-排污口；116-环形连接部；12-第二换热腔；121-第二进水口；122-出水口；20-流量控制单元；21-水箱；211-补水口；212-第一供水口；213-第二供水口；214-第一回水口；215-第三供水口；216-第二回水口；22-第一水泵；23-流量控制器；231-第一回流管；24-限压阀；241-第二回流管；30-第一测温组件；31-第一止回阀；40-第二水泵；41-第二止回阀；42-第二测温组件；50-盘管；51-第三水泵；52-第三止回阀；53-第三测温组件；60-密封盖；70-开关阀；80-第四测温组件；90-过滤组件；100-脚轮；101-底座。
具体实施方式
31.以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
32.在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是以相应附图的图面方向而言定义的，具体可参照图1所示的上、下，而“内、外”是指相应部件轮廓的内和外，此外，使用的术语“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。
33.如图1和图2所示，根据本公开的一个方面，提供一种抛光液换热装置，包括容器10、流量控制单元20以及第一测温组件30，容器10包括第一换热腔11，第一换热腔11上形成有第一进水口111、抛光液进口112以及抛光液出口113，抛光液进口112用于与抛光机的出液口连通，抛光液出口113用于与抛光机的储液装置连通，流量控制单元20的出口与第一进水口111连通，流量控制单元20的入口用于与冷水机的出口连通，第一测温组件30用于检测从抛光液出口113流出的抛光液的温度，第一测温组件30与流量控制单元20电连接。
34.通过上述技术方案，由于第一换热腔11上形成有第一进水口111、抛光液进口112以及抛光液出口113，因此，冷水机制好的冷却水可以通过第一进水口111进入第一换热腔11内，温度较高的抛光液从抛光机的出液口排出后，可以通过抛光液进口112进入第一换热腔11内，温度较高的抛光液在第一换热腔11内与温度较低的冷却水混合后，温度迅速降低，并通过抛光液出口113排出至抛光机的储液装置内，进入下一轮循环。由于流量控制单元20的出口与第一进水口111连通，流量控制单元20的入口用于与冷水机的出口连通，且第一测温组件30与流量控制单元20电连接，因此，流量控制单元20可以根据第一测温组件30检测到的从抛光液出口113流出的抛光液的温度，实时调整从冷水机流入第一换热腔11的冷却水流量，因此，通过该抛光液换热装置，可以对抛光液的温度进行更加精确地控制，使从抛光液出口113流出的抛光液更接近其最佳工作温度，有利于提高抛光液对碳化硅晶片表面
的抛光质量。
35.需要说的是，相比于抛光和过滤对抛光液中的磨料的损耗，冷却水对抛光液中的磨料组分的稀释是可以忽略不计的，而且抛光液中磨料组分的变化对碳化硅晶片表面的抛光精度影响有限。
36.可选地，如图1所示，抛光液换热装置还包括第四测温组件80，第四测温组件80用于检测从抛光机的出液口流向抛光液出口113的抛光液的温度。通过第一测温组件30和第四测温组件80可以检测抛光液经抛光液换热装置换热前的温度，方便对流量控制单元20的控制参数进行调整。
37.为了使流量控制单元20能够调整从冷水机流入第一换热腔11的冷却水流量，作为一种可选的实施方式，如图1所示，流量控制单元20包括水箱21和功率能够调节的第一水泵22，水箱21上形成有补水口211和第一供水口212，补水口211用于与冷水机的出口连通，第一水泵22的入口与第一供水口212连通，第一水泵22的出口与第一进水口111连通。
38.由于第一水泵22的入口通过水箱21与冷水机的出口连通，第一水泵22的出口与第一进水口111连通，因此，第一水泵22的控制器能够根据第一测温组件30检测到的温度，改变第一水泵22的功率，从而调整从冷水机流入第一换热腔11的冷却水流量。此外，由于水箱21上形成有补水口211和第一供水口212，补水口211用于与冷水机的出口连通，第一水泵22的入口与第一供水口212连通，因此，水箱21可以起到稳定第一水泵22的入口的压力在正常运行范围的作用，避免第一水泵22入口的负压过高，有利于第一水泵22的稳定运行。
39.可以理解的是，在下文中即将提到的第一进水口111位于第一换热腔11的底部的实施方式中，水泵还起到了克服第一换热腔11内抛光液压力和冷却水压力，为冷却水进入第一换热腔11内提供动力作用。
40.这里，可以在水箱21的补水口211安装液位开关，或人工控制冷水机的出口的通断，使水箱21不被冷却水充满。
41.为了提高流量控制单元20对冷却水的流量的控制精度，作为一种可选的实施方式，如图1所示，流量控制单元20还包括流量控制器23，流量控制器23的入口与第一水泵22的出口连通，流量控制器23的出口与第一进水口111连通，抛光液换热装置还包括第一回流管231，第一回流管231路的第一端与水箱21的顶部连通，第一回流管231的第二端连通于流量控制器23或连通于第一水泵22的出口与流量控制器23的入口之间的管路。
42.流量控制器23能够根据第一测温组件30检测到的温度，改变自身的开度，从而更精确地调整进入第一换热腔11的冷却水的流量，可以使从抛光液出口113流出的抛光液的温度更加接近最佳工作温度。此外，被流量控制器23节流的冷却水可以通过第一回流管231回到水箱21中，使得流量控制器23与第一水泵22之间的压力能够及时泄放，回流的冷却水还可以对水箱21内的冷却水进行补充。
43.可以理解的是，这里，流量控制器23既包括电控模块，也包括供液体流过的机械结构(如流体通道)。例如，流量控制器23可以电控流量调节阀。
44.此外，流量控制器23还有检测进入第一腔室内的冷却水流量的作用，方便工作人员观察和调试。
45.为了提高流量控制器23的控制精度，并且延长流量控制器23的使用寿命，作为一种实施方式，如图1所示，抛光液换热装置还包括限压阀24和第二回流管241，限压阀24的入
口与第一水泵22的出口连通，限压阀24的出口与流量控制器23的入口连通，第二回流管241的第一端与水箱21的顶部连通，第二回流管241的第二端连通于限压阀24或连通于第一水泵22的出口与限压阀24的入口之间的管路。
46.由于限压阀24可以将从其出口流出的冷却水稳定在流量控制器23的工作范围，也就是说，限压阀24可以减小第一水泵22功率变化时对流量控制器23入口压力的影响，提高了流量控制器23的控制精度。此外，被限压阀24泄放的冷却水可以通过第二回流管241回到水箱21中，使得限压阀24与第一水泵22之间的压力能够及时泄放，回流的冷却水还可以对水箱21内的冷却水进行补充。
47.可以理解是，上文中提到的第一回流管231的第二端在此处连通于流量控制器23或限压阀24的出口与流量控制器23的入口之间的管路。
48.技术人员研究时发现，换热过程中容器10向周围散发的热辐射，会使得抛光液换热装置的冷却水管路内的冷却水升温，对抛光液温度的精确控制造成不利影响。鉴于此，作为一种可选的实施方式，如图1和图2所示，第一进水口111位于第一换热腔11的底部，抛光液进口112位于抛光液出口113的上方，抛光液换热装置还包括第一止回阀31，流量控制单元20的出口与第一止回阀31的入口连通，第一止回阀31的出口与第一进水口111连通。
49.由于第一进水口111位于第一换热腔11的底部，抛光液进口112位于抛光液出口113的上方，可以通过从第一进水口111进入第一换热腔11内的冷却水将温度较高的抛光液与第一换热腔11的底壁隔开，避免温度较高的抛光液向第一换热器的底壁接触传热，而且在实际的换热的过程中，抛光液与冷却水并不会将第一换热腔11充满，温度较高的抛光液与第一换热腔11的顶壁之间的接触传热有限，使温度较高的抛光液只能与第一换热腔11的侧壁接触传热，减少抛光液与容器10的传热面积，降低容器10向周围散发的热辐射。
50.此外，通过第一止回阀31，在水泵停止工作时，防止第一换热腔11内的抛光液通过位于第一换热腔11的底部的第一进水口111向流量调节单元倒流。
51.为了减少第一换热腔11向容器10的外壁传递的热量，作为一种可选的实施方式，如图1和图2所示，容器10还包括第二换热腔12，第二换热腔12与第一换热腔11独立设置，第二换热腔12绕第一换热腔11的外侧设置，第二换热腔12的底部形成有第二进水口121，第二换热腔12的顶部形成有出水口122，抛光液换热装置还包括第二水泵40、第二止回阀41以及第二测温组件42，水箱21的底部形成有第二供水口213，水箱21的顶部形成有第一回水口214，第二供水口213经由第二水泵40与第二止回阀41的入口连通，第二止回阀41的出口与第二进水口121连通，出水口122与第一回水口214连通，第二测温组件42用于检测第二换热腔12内的冷却水的温度。
52.由于第二换热腔12绕第一换热腔11的外侧设置，第二换热腔12的底部形成有第二进水口121，水箱21的底部形成有第二供水口213，第二供水口213经由第二水泵40与第二止回阀41的入口连通，第二止回阀41的出口与第二进水口121连通，因此，可以通过第二水泵40将水箱21内的部分冷却水泵入第二换热腔12内，并通过第二换热腔12内的冷却水吸收第一换热腔11向容器10外壁传递的热量，减少第一换热腔11向容器10的外壁传递的热量，降低容器10向周围散发的热辐射。
53.当第二换热腔12内充满冷却水时，第二水泵40可以停止运行，在第二止回阀41的作用下，第二换热腔12内的冷却水不会向第二水泵40倒流，当第二测温组件42检测到第二
换热腔12内的冷却水温度升高至设定温度时，可以向第二水泵40的控制器发送信号，启动第二水泵40置换第二换热腔12内的冷却水。此外，由于第二换热腔12的顶部形成有出水口122，且水箱21的顶部形成有第一回水口214，使得第二换热腔12内被置换出的冷却水可以补充回水箱21内，减少了冷却水的消耗，而且由于第一回水口214不需要连接外部回水管道，使换热装置的整体性得以提升。
54.可以理解的是，水箱21的容积可以远大于第二换热腔12的容积，且从第二换热腔12内的冷却水被置换出时的温度与水箱21内冷却水的温差不大，因此，从第二换热腔12内置换出的冷却水对水箱21内的冷却水温度影响很小。
55.为了减少容器10的外壁向周围散发的热辐射，作为一种实施方式，如图1和图2所示，抛光液换热装置还包括盘管50，盘管50沿上下方向缠绕于容器10的外壁，抛光液换热装置还包括第三水泵51、第三止回阀52以及第三测温组件53，水箱21的底部形成有第三供水口215，水箱21的顶部形成有第二回水口216，第三供水口215经由第三水泵51与第三止回阀52的入口连通，第三止回阀52的出口与盘管50的下端连通，盘管50的上端与第二回水口216连通，第三测温组件53用于检测盘管50内的冷却水的温度。
56.可以通过第三水泵51将水箱21内的部分冷却水泵入盘管50内，并通过盘管50内的冷却水吸收容器10向周围散发的热辐射，减少容器10散发的热辐射对换热装置的冷却水管路的影响。当盘管50内充满冷却水时，第三水泵51可以停止运行，在第三止回阀52的作用下，盘管50内的冷却水不会向第三水泵51倒流，当第三测温组件53检测到盘管50内的冷却水温度升高至设定温度时，可以向第三水泵51的控制器发送信号，启动第三水泵51置换盘管50内的冷却水。此外，由于水箱21的顶部形成有第二回水口216，且盘管50的上端与第二回水口216连通，使得盘管50内被置换出的冷却水可以补充回水箱21内，减少了冷却水的消耗，而且由于盘管50的上端不需要连接外部回水管道，使换热装置的整体性得以提升。
57.这里，可选地，盘管50可以通过厚度为1mm的长板固定与容器10。
58.由于从抛光机出液口排出的抛光液中含有大量的结晶，为了避免结晶附着在第一换热腔11内，影响换热器的换热效果，作为一种可选的实施方式，如图1和图2所示，抛光液换热装置还包括密封盖60，第一换热腔11的顶面形成有与外界连通的清洗口114，密封盖60可拆卸地安装于清洗口114，和/或，抛光液换热装置还包括开关阀70，第一换热腔11的底面形成有排污口115，开关阀70的入口与排污口115连通，开关阀70的出口用于与外界连通。
59.工作人员可以拆下密封盖60，通过清洗口114对第一换热腔11的内部进行清洗，不仅方便操作，而且可以目视清洗的效果。由于第一换热腔11的底面形成有排污口115，开关阀70的入口与排污口115连通，开关阀70的出口用于与外界连通，因此，在对第一换热腔11的内部进行清洗时，工作人员还可以开启开关阀70，便于将从第一换热腔11内清洗下的结晶通过排污口115排出。
60.在换热器使用时，将密封盖60安装于清洗口114，并将开关阀70关闭，可以避免抛光液和冷却水从清洗口114和排污口115泄漏处。
61.可选地，排液口的直径为50～70mm，排液口还延伸出弯曲角度为15
‑‑
20
°
的排液管，开关阀70连接于排液管远离排液口的一端，方便操作开关阀70。
62.为了使密封盖60可拆卸地安装于清洗口114，作为一种实施方式，如图2所示，第一换热腔11的上端形成有环形连接部116，环形连接部116用于与密封盖60相连，环形连接部
116的高度为5～50mm。通过高度为5～50mm的环形连接部116，可以有效防止抛光液和冷却水从清洗口114溢出。这里，密封盖60的内壁可以与环形连接部116的外壁过盈配合，也可以通过密封盖60与环形连接部116螺纹配合，使密封盖60可拆卸地安装于清洗口114。
63.作为一种实施方式，如图1所示，抛光液换热装置还包括两个过滤组件90，其中一过滤组件90的入口用于与抛光机的出液口连通、且出口与抛光液进口112连通，另一过滤组件90的入口与抛光液出口113，且出口用于与抛光机的储液装置连通。通过过滤组件90能够减少从抛光液进口112进入第一换热腔11内抛光液的结晶，并且减少从抛光液出口113流出抛光液中的结晶，有利于降低抛光液换热装置的清洗频率，并且提高换热后抛光液的品质。
64.这里，过滤组件90可以为包括粗滤组件和精滤组件的多级过滤组件。
65.可选地，如图1所示，抛光液换热装置还包括底座101和脚轮100，脚轮100安装于底座101的底部，容器10和上文中提到的水箱21均可以安装在底座101上。通过脚轮100，使抛光液换热装置可以移动，方便对其清洗和维护。
66.作为一种实施方式，可选地，容器10由su410不锈钢制成，容器10的外壁厚度为1～3mm，容器10的外径为50cm，第一储液腔的腔壁厚度为1～3mm，第一储液腔的内径为45cm。
67.抛光液进口112的中心高度为40～60cm，抛光液出口113的中心高度为10～30cm，抛光液进口112和抛光液出口113的直径为10～15mm。
68.盘管50的壁厚为0.5～1mm，盘管50的直径为5～10mm，盘管50的圈数为5～20圈，盘管50围成的圈的直径为55cm。
69.根据本公开的另一方面，提供一种抛光机，包括冷水机、抛光机的储液装置以及上述的抛光液换热装置，抛光液换热装置的抛光液进口112与抛光机的出液口连通，抛光液换热装置的抛光液进口112与抛光机的储液装置连通，冷水机的出口与抛光液换热装置的流量控制单元20的入口连通。
70.可选地，抛光液的ph值为2～5或9～12，抛光液的磨料可以为二氧化硅、氧化铝、氧化铈以及金刚石中的一者，抛光液中按照工艺配比添加有氧化剂、螯合剂、湿润剂等试剂。
71.可选地，冷却水可以为电阻率为13～15mω
·
cm、温度为9～12度的二级ro水。
72.以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。
73.另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
74.此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

技术特征：
1.一种抛光液换热装置，其特征在于，包括容器、流量控制单元以及第一测温组件；所述容器包括第一换热腔，所述第一换热腔上形成有第一进水口、抛光液进口以及抛光液出口，所述抛光液进口用于与抛光机的出液口连通，所述抛光液出口用于与抛光机的储液装置连通；所述流量控制单元的出口与所述第一进水口连通，所述流量控制单元的入口用于与冷水机的出口连通；所述第一测温组件用于检测从所述抛光液出口流出的抛光液的温度，所述第一测温组件与所述流量控制单元电连接。2.根据权利要求1所述的抛光液换热装置，其特征在于，所述流量控制单元包括水箱和功率能够调节的第一水泵，所述水箱上形成有补水口和第一供水口，所述补水口用于与冷水机的出口连通，所述第一水泵的入口与所述第一供水口连通，所述第一水泵的出口与所述第一进水口连通。3.根据权利要求2所述的抛光液换热装置，其特征在于，所述流量控制单元还包括流量控制器，所述流量控制器的入口与所述第一水泵的出口连通，所述流量控制器的出口与所述第一进水口连通；所述抛光液换热装置还包括第一回流管，所述第一回流管路的第一端与所述水箱的顶部连通，所述第一回流管的第二端连通于所述流量控制器或连通于所述第一水泵的出口与所述流量控制器的入口之间的管路。4.根据权利要求3所述的抛光液换热装置，其特征在于，所述抛光液换热装置还包括限压阀和第二回流管，所述限压阀的入口与所述第一水泵的出口连通，所述限压阀的出口与所述流量控制器的入口连通；所述第二回流管的第一端与所述水箱的顶部连通，所述第二回流管的第二端连通于所述限压阀或连通于所述第一水泵的出口与所述限压阀的入口之间的管路。5.根据权利要求1-4中任一项所述的抛光液换热装置，其特征在于，所述第一进水口位于所述第一换热腔的底部，所述抛光液进口位于所述抛光液出口的上方；所述抛光液换热装置还包括第一止回阀，所述流量控制单元的出口与所述第一止回阀的入口连通，所述第一止回阀的出口与所述第一进水口连通。6.根据权利要求2所述的抛光液换热装置，其特征在于，所述容器还包括第二换热腔，所述第二换热腔与所述第一换热腔独立设置，所述第二换热腔绕所述第一换热腔的外侧设置，所述第二换热腔的底部形成有第二进水口，所述第二换热腔的顶部形成有出水口；所述抛光液换热装置还包括第二水泵、第二止回阀以及第二测温组件，所述水箱的底部形成有第二供水口，所述水箱的顶部形成有第一回水口，所述第二供水口经由所述第二水泵与所述第二止回阀的入口连通，所述第二止回阀的出口与所述第二进水口连通，所述出水口与所述第一回水口连通，所述第二测温组件用于检测所述第二换热腔内的冷却水的温度。7.根据权利要求2或6所述的抛光液换热装置，其特征在于，所述抛光液换热装置还包括盘管，所述盘管沿上下方向缠绕于所述容器的外壁；所述抛光液换热装置还包括第三水泵、第三止回阀以及第三测温组件，所述水箱的底部形成有第三供水口，所述水箱的顶部形成有第二回水口，所述第三供水口经由所述第三
水泵与所述第三止回阀的入口连通，所述第三止回阀的出口与所述盘管的下端连通，所述盘管的上端与所述第二回水口连通，所述第三测温组件用于检测所述盘管内的冷却水的温度。8.根据权利要求1-4中任一项所述的抛光液换热装置，其特征在于，其特征在于，所述抛光液换热装置还包括密封盖，所述第一换热腔的顶面形成有与外界连通的清洗口，所述密封盖可拆卸地安装于所述清洗口；和/或，所述抛光液换热装置还包括开关阀，所述第一换热腔的底面形成有排污口，所述开关阀的入口与所述排污口连通，所述开关阀的出口用于与外界连通。9.根据权利要求8所述的抛光液换热装置，其特征在于，所述第一换热腔的上端形成有环形连接部，所述环形连接部用于与所述密封盖相连，所述环形连接部的高度为5～50mm。10.一种抛光机，其特征在于，包括冷水机、储液装置以及权利要求1-9所述的抛光液换热装置，所述抛光液换热装置的抛光液进口与所述抛光机的出液口连通，所述抛光液换热装置的抛光液进口与所述抛光机的储液装置连通，所述冷水机的出口与所述抛光液换热装置的流量控制单元的入口连通。

技术总结
本公开涉及一种抛光液换热装置和抛光机，该抛光液换热装置包括容器、流量控制单元以及第一测温组件，容器包括第一换热腔，第一换热腔上形成有第一进水口、抛光液进口以及抛光液出口，抛光液进口用于与抛光机的出液口连通，抛光液出口用于与抛光机的储液装置连通，流量控制单元的出口与第一进水口连通，流量控制单元的入口用于与冷水机的出口连通，第一测温组件用于检测从抛光液出口流出的抛光液的温度，第一测温组件与流量控制单元电连接。通过该抛光液换热装置，可以对抛光液的温度进行控制，使从抛光液出口流出的抛光液更接近其最佳工作温度，有利于提高抛光液对碳化硅晶片表面的抛光质量。抛光质量。抛光质量。


技术研发人员：许伟峰 翟虎 林宏达 孙金梅
受保护的技术使用者：北京中企祥科技有限公司
技术研发日：2023.06.02
技术公布日：2023/8/4