一种硅材料生产辅助用气体过滤设备的制作方法

1.本发明涉及硅材料生产设备领域，具体说是一种硅材料生产辅助用气体过滤设备。


背景技术：

2.硅是地壳上最丰富的元素半导体，性质优越而工艺技术比较成熟，已成为固态电子器件的主要原料，为适应超大规模集成电路的需要，高完整性高均匀度的硅单晶制备技术正在发展，虽然在超速集成电路方面砷化镓材料表现出巨大的优越性，但尚不可能全面取代硅的地位，硅材料在各种晶体三极管，尤其是功率器件制造方面仍是最主要的材料。
3.在硅材料生产时，由于排出的尾气中无可避免地含有大量的颗粒硅物质，如果处理不善，导致尾气未经净化便排入外部空气，长时间处于这种环境中，将会导致硅肺，严重损害人体健康，因此硅材料生产时，尾气净化是一个重要的步骤，生产设备的内部空间有限，无法安装合适的尾气净化设备，因此一种设置于外部的尾气过滤辅助设备很有必要，现有尾气过滤辅助设备在使用时，由于设备出气口口径不统一，辅助设备的连接端无法紧密贴合出气口，导致尾气泄露，净化效果不理想。


技术实现要素：

4.本发明提出一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，用于解决硅材料生产时尾气净化的问题。
5.为解决上述问题，本发明提供以下的技术方案：
6.一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，包括机体、沉淀区、设备放置区和外接区；
7.所述外接区底部开设有连接管道，连接管道底部固定安装有连接端，机体外底部固定安装有固定部件，机体外侧壁固定安装有充气部件。
8.本发明的进一步技术：
9.优选的，所述沉淀区内腔中部固定安装有过滤网，设备放置区内部固定放置有吸泵，吸泵的左端固定安装有喷管，吸泵的右端固定安装有吸管，沉淀区左侧墙壁上部开设有注水口，沉淀区左侧墙壁下部开设有出水口。
10.优选的，所述固定部件包括固定套筒、固定螺杆和吸嘴，机体外底部内腔焊接有固定套筒，固定套筒内部活动套接有固定螺杆，固定螺杆底部焊接有吸嘴。
11.优选的，所述充气部件包括充气套筒、阀芯、充气螺杆、转动把手、充气管道和柔性气囊，机体右外壁内腔焊接有充气套筒，充气套筒内腔活动套装有阀芯，阀芯右端焊接有充气螺杆，充气螺杆右端且位于外部焊接有转动把手，充气套筒左端连接有充气管道，连接端内围外壁固定安装有柔性气囊。
12.优选的，所述固定螺杆杆身开设有螺纹，固定套筒内腔对应固定螺杆杆身螺纹开设有锯齿，固定螺杆杆身螺纹与固定套筒内腔锯齿相互啮合。
13.优选的，所述充气管道一端安装在充气套筒左端，充气管道另一端沿机体向下延
伸至连接端，连接端底端在连接端内部向左与柔性气囊内腔连通。
14.优选的，所述充气螺杆杆身开设有螺纹，充气螺杆与充气套筒接触位置内壁开设有适应充气螺杆杆身螺纹的啮齿，充气螺杆杆身螺纹与充气套筒内壁啮齿相互啮合。
15.优选的，所述喷管向左贯穿沉淀区右侧墙壁并延伸进沉淀区内腔底部，吸管向右贯穿外接区左端墙壁并向下延伸与连接管道顶端相互连接，且吸管与连接管道内腔贯通。
16.优选的，所述柔性气囊环绕连接端内围安装有一圈。
17.本发明所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备具有以下优势：
18.在过滤设备连接端的内壁安装有柔性气囊，使用者可通过充气部件对气囊进行充气，从而使得气囊膨胀贴合硅材料生产设备的出气口，避免因连接端与出气口连接不牢而导致的尾气泄露问题，过滤设备底部设置有固定部件，固定部件可自由调整向下延伸，从而确保适应设备外部状态，确保过滤设备的稳定安装。
附图说明
19.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；
20.图1为本发明提供的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备平面示意图；
21.图2为本发明提供的图1的内部剖面示意图；
22.图3为本发明提供的图2的a处局部放大示意图；
23.图中标号说明：1、机体；2、沉淀区；3、设备放置区；4、外接区；5、过滤网；6、吸泵；7、喷管；8、吸管；9、连接管道；10、连接端；11、固定部件；12、充气部件；13、注水口；14、出水口；111、固定套筒；112、固定螺杆；113、吸嘴；121、充气套筒；122、阀芯；123、充气螺杆；124、转动把手；125、充气管道；126、柔性气囊。
具体实施方式
24.下面结合附图详细说明本发明的实施方式。
25.如图1-3，在本实施例一中，一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，包括机体、沉淀区、设备放置区和外接区；
26.所述沉淀区2内腔中部固定安装有过滤网5，过滤网5将拦截硅物质的通过，以防沉淀时，部分硅随空气排出，设备放置区3内部固定放置有吸泵6，吸泵6连接外部电源，使用者可通过外部电源开关控制使用，吸泵6的左端固定安装有喷管7，喷管7向左贯穿沉淀区2右侧墙壁并延伸进沉淀区2内腔底部，吸泵6吸纳的尾气将通过喷管7排入沉淀区2的内腔底部进行沉淀工作，吸泵6的右端固定安装有吸管8，外接区4底部开设有连接管道9，从生产设备出气口排出的尾气将通过连接管道9进入机体1内部，吸管8向右贯穿外接区4左端墙壁并向下延伸与连接管道9顶端相互连接，且吸管8与连接管道9内腔贯通，进入连接管道9的尾气将通过吸管8被吸泵6吸纳，连接管道9底部固定安装有连接端10，机体1外底部固定安装有固定部件11，固定部件11在机体1的底部等距安装有多组，使用者通过调整固定部件11从而适用安装位置的状态，从而确保安装的稳定性，机体1外侧壁固定安装有充气部件12，充气
部件12可使得连接端10与生产设备出气口紧密连接，以防止漏气，沉淀区2左侧墙壁上部开设有注水口13，使用者可通过注水口13向沉淀区2内部注入外部水源，沉淀区2左侧墙壁下部开设有出水口14，使用者可在生产结束后，通过出水口14排出沉淀区2内部水源并同步将沉淀的颗粒硅排出，以便集中处理。
27.所述机体1外底部内腔焊接有固定套筒111，固定套筒111内部活动套接有固定螺杆112，固定螺杆112杆身开设有螺纹，固定套筒111内腔对应固定螺杆112杆身螺纹开设有锯齿，固定螺杆112杆身螺纹与固定套筒111内腔锯齿相互啮合，使用者可通过转动固定螺杆112从而调整固定部件11，以适应生产设备出气口周围墙壁的状态，确保固定部件11安装的稳定性，固定螺杆112底部焊接有吸嘴113，安装过滤设备时，使用者下压吸嘴113，使得吸嘴113吸合在生产设备外壁上，以完成固定。
28.所述机体1右外壁内腔焊接有充气套筒121，充气套筒121内腔活动套装有阀芯122，阀芯122横截面与充气套筒121内腔横截面相等，阀芯122右端焊接有充气螺杆123，充气螺杆123右端延伸出充气套筒121，充气螺杆123杆身开设有螺纹，充气螺杆123与充气套筒121接触位置内壁开设有适应充气螺杆123杆身螺纹的啮齿，充气螺杆123杆身螺纹与充气套筒121内壁啮齿相互啮合，使用者可通过转动充气螺杆123，使得充气螺杆123向充气套筒121内腔延伸，或者向外移动，从而带动阀芯122进行同步移动，使得充气套筒121内部空气被向内挤压或者向外抽出，充气螺杆123右端且位于外部焊接有转动把手124，使用者可通过转动把手124转动充气螺杆123，充气套筒121左端连接有充气管道125，充气管道125一端与充气套筒121左端连通，连接端10内围外壁环绕安装有一圈柔性气囊126，充气管道125另一端沿机体1向下延伸至连接端10，连接端10底端在连接端10内部向左与柔性气囊126内腔连通，柔性气囊126与充气管道125以及充气套筒121内腔相互连通，当充气套筒121下压或者被抽出时，将带动柔性气囊126内部空气随之运动，使得柔性气囊126的外皮膨胀或者收缩，当柔性气囊126外皮膨胀并覆盖生产设备出气口管道外壁时，生产设备与过滤设备紧密连接，避免生产设备出气口与过滤设备连接端10连接不紧密导致漏气。
29.所述过滤设备使用时，使用者先将连接端10套接在硅材料生产设备出气口外部，随即根据生产设备出气口周边外壁的高度，从而通过转动固定螺杆112调整长度，使得吸嘴113吸合在生产设备外壁上，使得过滤设备的位置固定住，随即通过转动把手124旋转充气螺杆123，使得充气螺杆123向充气套筒121内部延伸，使得阀芯122随之同步内移，由于阀芯122向充气套筒121内部移动，使得充气套筒121内部空气下压，充气套筒121内部空气向下挤压充气管道125内部空气，最终使得柔性气囊126内部气体向外膨胀，使得柔性气囊126的外皮随之向外膨胀，从而紧紧贴合在生产设备出气口外壁上，以确保尾气不会外泄，当生产设备准备生产时，使用者先通过注水口13向沉淀区2内部注入足量的水源，随即通过外部电源开关开启吸泵6，当生产设备开始生产时，硅材料生产中产生的尾气通过生产设备的出气口外排，随即进入连接管道9内部，并被吸泵6通过吸管8吸纳，随即通过喷管7排入沉淀区2的内部，被排入沉淀区2内部的尾气，在沉淀区2内部储存的水中部分杂质沉入水底，另一部分变成气泡向水面漂浮而去，当来到过滤网5的时候，尾气中的硅颗粒硅被过滤网5拦截，完成过滤的空气向上排出，被过滤的颗粒硅因重力缓慢沉入水底汇聚起来，当硅材料生产工作结束，使用者通过出水口14排出沉淀区2内部的水源，同时也将存蓄在沉淀区2底部的颗粒硅随水流排出，再进行集中处理，以防生产的尾气污染外界空气，危害人体健康。
30.需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性地包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者还是包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
31.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：包括机体、沉淀区、设备放置区和外接区；所述外接区(4)底部开设有连接管道(9)，所述连接管道(9)底部固定安装有连接端(10)，所述机体(1)外底部固定安装有固定部件(11)，所述机体(1)外侧壁固定安装有充气部件(12)。2.根据权利要求1中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述沉淀区(2)内腔中部固定安装有过滤网(5)，所述设备放置区(3)内部固定放置有吸泵(6)，所述吸泵(6)的左端固定安装有喷管(7)，所述吸泵(6)的右端固定安装有吸管(8)，所述沉淀区(2)左侧墙壁上部开设有注水口(13)，所述沉淀区(2)左侧墙壁下部开设有出水口(14)。3.根据权利要求1中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述固定部件(11)包括固定套筒(111)、固定螺杆(112)和吸嘴(113)，所述机体(1)外底部内腔焊接有固定套筒(111)，所述固定套筒(111)内部活动套接有固定螺杆(112)，所述固定螺杆(112)底部焊接有吸嘴(113)。4.根据权利要求1中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述充气部件(12)包括充气套筒(121)、阀芯(122)、充气螺杆(123)、转动把手(124)、充气管道(125)和柔性气囊(126)，所述机体(1)右外壁内腔焊接有充气套筒(121)，所述充气套筒(121)内腔活动套装有阀芯(122)，阀芯(122)右端焊接有充气螺杆(123)，所述充气螺杆(123)右端且位于外部焊接有转动把手(124)，所述充气套筒(121)左端连接有充气管道(125)，所述连接端(10)内围外壁固定安装有柔性气囊(126)。5.根据权利要求3中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述固定螺杆(112)杆身开设有螺纹，所述固定套筒(111)内腔对应固定螺杆(112)杆身螺纹开设有锯齿，所述固定螺杆(112)杆身螺纹与固定套筒(111)内腔锯齿相互啮合。6.根据权利要求4中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述充气管道(125)一端安装在充气套筒(121)左端，所述充气管道(125)另一端沿机体(1)向下延伸至连接端(10)，所述连接端(10)底端在连接端(10)内部向左与柔性气囊(126)内腔连通。7.根据权利要求4中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述充气螺杆(123)杆身开设有螺纹，所述充气螺杆(123)与充气套筒(121)接触位置内壁开设有适应充气螺杆(123)杆身螺纹的啮齿，所述充气螺杆(123)杆身螺纹与充气套筒(121)内壁啮齿相互啮合。8.根据权利要求2中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述喷管(7)向左贯穿沉淀区(2)右侧墙壁并延伸进沉淀区(2)内腔底部，所述吸管(8)向右贯穿外接区(4)左端墙壁并向下延伸与连接管道(9)顶端相互连接，且所述吸管(8)与连接管道(9)内腔贯通。9.根据权利要求4中所述的一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，其特征在于：所述柔性气囊(126)环绕连接端(10)内围安装有一圈。

技术总结
本发明公开了一种硅材料生产辅助用气体过滤设备，包括、机体、沉淀区、设备放置区、外界区、过滤网、吸泵、喷管、吸管、连接管道、连接端、固定部件、充气部件、注水口、出水口、固定套筒、固定螺杆、吸嘴、充气套筒、阀芯、充气螺杆、转动把手、充气管道、柔性气囊，在过滤设备连接端的内壁安装有柔性气囊，使用者可通过充气部件对气囊进行充气，从而使得气囊膨胀贴合硅材料生产设备的出气口，避免因连接端与出气口连接不牢而导致的尾气泄露问题，过滤设备底部设置有固定部件，固定部件可自由调整向下延伸，从而确保适应设备外部状态，确保过滤设备的稳定安装。装。装。


技术研发人员：赵东旭 赵生保 赵生护 汪旋 赵卫 田野 周娟
受保护的技术使用者：安徽龙泉硅材料有限公司
技术研发日：2023.04.18
技术公布日：2023/8/4