一种烃回收装置及清洗装置的制作方法

1.本发明涉及一种用于回收汽化的烃的烃回收装置以及在含烃的清洗液中清洗工件的装置即包括所述烃回收装置的清洗装置。


背景技术：

2.以往，使用含烃的清洗液进行工件的清洗。例如，将工件浸渍在浸渍清洗槽中储存的清洗液中进行清洗(浸渍清洗)后，将工件收容在真空槽，将真空槽内抽真空后，导入清洗液(通常是储存在与浸渍清洗槽分开的储存槽中的清洗液)的蒸汽，通过在低温的工件表面上液化蒸汽来清洗工件(蒸汽清洗)。当重复多次蒸汽清洗的操作时，随着工件清洗的进行，工件温度因蒸汽的热量而逐渐升高，变得无法获得蒸汽清洗的效果。为此，当工件的温度达到预定值或更高时，真空槽迅速减压，使附着在工件表面的清洗液突沸并汽化，从而使工件干燥(真空干燥)。
3.在真空槽内，蒸汽清洗时清洗液的部分蒸汽未液化而作为气体排出，真空干燥时，附着在工件表面的清洗液的汽化气体也会一同被排出。这些气体中含有烃，由于烃受到排出法规的约束，因此有必要回收从储存槽和真空槽排出的气体中所含的烃。
4.专利文献1记载了从含有烃类溶剂成分的气体(以下称为“被处理气体”)中回收溶剂成分的烃回收装置。该装置是在吸附塔中收容以活性炭为主要成分的吸附材料的基础上，将被处理气体送入吸附塔中，被处理气体中所含的烃通过被吸附材料吸附而被除去(气体处理操作)。如果该操作持续一段时间，则吸附材料吸附溶剂成分的能力会降低。因此，从气体处理操作开始经过预定时间后，停止向吸附塔供给被处理气体(随之，停止气体处理操作)，通过对吸附塔内进行减压，使吸附在吸附材料上的烃脱离(吸附剂再生操作)。该吸附剂再生操作恢复了吸附材料吸附烃的能力。从吸附材料脱离的烃的气体从吸附塔排出，通过在冷凝器中冷却而被液化及回收。这些气体处理操作和吸附剂再生操作交替进行。在冷凝器中，部分导入的烃气体可以通过而不会被液化，但通过的气体被重新导入同一冷凝器中，不会排出到外部。此外，专利文献1所述装置具有2个吸附塔，交替切换进行气体处理操作的吸附塔和进行吸附剂再生操作的供给塔。由此，能够一直利用任意一方的吸附塔从被处理气体中除去烃，并回收。
5.专利文献2中也记载了与专利文献1同样具有具备2个吸附塔的结构的烃回收装置。但是，在专利文献2的装置中，在其中一个吸附塔中进行吸附剂再生操作时，通过将在冷凝器中未液化而通过的气体导入到进行气体处理操作的另一个吸附塔中，而不是该冷凝器，来防止该气体向外部排出。
6.现有技术文献
7.专利文献
8.专利文献1：日本特开平07-039717号公报
9.专利文献2：日本特开平03-143520号公报


技术实现要素：

10.在专利文献1及2所述的烃回收装置中，即使进行了上述吸附剂再生操作，吸附的烃也会残留在部分吸附材料中。因此，随着反复进行气体处理操作和吸附剂再生操作，从被处理气体中除去烃的能力降低。
11.在此，以除去清洗工件时使用的清洗液的蒸汽中所含的烃类溶剂的成分的情况为例进行了说明，但在从清洗液的蒸汽以外的含有烃类溶剂的成分的被处理气体中除去该成分的情况下也会产生同样的问题。
12.本发明要解决的技术问题在于，提供一种能够抑制从含有烃的被处理气体中除去烃的能力降低的烃回收装置。
13.为了解决上述技术问题的本发明的烃回收装置是一种将被处理气体中所含的烃从该被处理气体中除去并回收的装置，包括：
14.a)处理槽，其具有内部收容了能够吸附烃的吸附材料的吸附材料收容空间；
15.b)被处理气体导入阀，是设置在与所述处理槽连接的被处理气体导入管上的阀；
16.c)处理后气体排出阀，是设置在与所述处理槽连接的处理后气体排出管上的阀；
17.d)真空泵，吸气口通过真空吸引管与所述处理槽连接；
18.e)烃液化部，与所述真空泵的排气口相连；
19.f)真空吸引阀，是设置在所述真空吸引管上的阀；
20.g)大气压开放阀，用于将所述处理槽向大气开放；
21.h)阀门控制部，用于执行以下操作：气体处理操作，打开所述被处理气体导入阀和所述处理后气体排出阀，关闭所述真空吸引阀和所述大气压开放阀；吸引副操作，在关闭所述被处理气体导入阀和所述处理后气体排出阀的状态下，关闭所述大气压开放阀，打开所述真空吸引阀；吸附剂再生操作，交替执行多次打开该大气压开放阀和关闭该真空吸引阀的大气压开放副操作。
22.在本发明的烃回收装置中，在气体处理操作时，打开被处理气体导入阀及处理后气体排出阀，关闭真空吸引阀及所述大气压开放阀。由此，将被处理气体从被处理气体导入管导入吸附材料配置空间，通过使被处理气体中含有的烃吸附在吸附材料配置空间内的吸附材料上而除去。从被处理气体中除去了烃的气体(处理后气体)通过处理后气体排出管排放到烃回收装置外。
23.一方面，在吸附剂再生操作时，关闭被处理气体导入阀及处理后气体排出阀。在该状态下，交替执行多次吸引副操作和大气压开放副操作。在吸引副操作中，通过关闭大气压开放阀，并打开真空吸引阀，对吸附材料配置空间内进行减压。于是，吸附在吸附材料上的烃汽化而从吸附材料脱离，在烃液化部液化而被回收。但是，在吸附材料中，随着烃的汽化，吸附材料的温度因汽化热而逐渐降低，过了一段时间后，残留在吸附材料中的烃几乎不再汽化。因此，从吸引副操作开始经过规定时间后，通过进行关闭真空吸引阀并打开大气压开放阀的大气压开放副操作，使吸附材料配置空间内与大气压相同。之后，通过关闭大气压开放阀和打开真空吸引阀来进行吸引副操作。由此，烃再次从吸附材料脱离。
24.在本发明的烃回收装置中，通过在吸附剂再生操作时交替执行多次这些吸引副操作和大气压开放副操作，促进烃从吸附材料中脱离。由此，能够提高在气体处理操作时从被处理气体中除去烃的能力。
25.所述吸附材料优选使用活性炭或活性炭纤维。
26.在本发明的烃回收装置中，优选地，还包括吸附材料加热机构，所述吸附材料加热机构在所述阀门控制部执行所述吸附剂再生操作期间，加热所述吸附材料配置空间中的吸附材料。由此，进一步促进在进行吸附剂再生操作时烃从吸附材料中脱离。
27.本发明的烃回收装置中，优选地，还包括吸附材料冷却机构，所述吸附材料冷却机构在所述阀门控制部执行所述气体处理操作期间，冷却所述吸附材料配置空间内的吸附材料。由此，能够在气体处理操作时进一步促进被处理气体中所含的烃的除去。特别是在具备所述吸附材料加热机构的情况下，在吸附剂再生操作中对吸附材料进行加热后进行气体处理操作时，由于烃的除去效率有可能降低，因此优选还具备所述吸附材料冷却机构。
28.本发明的烃回收装置中，优选地，还包括吸附材料搅拌机构，所述吸附材料搅拌机构在所述阀门控制部执行所述吸附剂再生操作期间，搅拌所述吸附材料配置空间内的吸附材料。由此可以进一步促进在吸附剂再生操作期间烃从吸附材料脱离。
29.本发明的烃回收装置，具备2个所述处理槽，所述2个处理槽分别具备所述被处理气体导入阀、所述处理后气体排出阀、所述真空吸引阀以及所述大气压开放阀，
30.优选地，当所述2个处理槽中的一个处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述气体处理操作时，所述阀门控制部使其它处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述吸附剂再生操作，当该一个处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述吸附剂再生操作时，所述阀门控制部使该其它处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述气体处理操作。由此，由于总是在2个处理槽中的任意一个中执行气体处理操作，因此能够不中断地执行产生被处理气体的操作(例如下面所述的蒸汽清洗及真空干燥)。
31.本发明的烃回收装置可以适用于用含有烃的清洗液清洗工件的清洗装置。作为此类清洗装置可以包括：真空槽，内部收容工件；蒸汽供给部，将含有烃的清洗液的蒸汽供给到所述真空槽内；真空泵，吸气口与所述真空槽连接，用于蒸汽清洗
·
真空干燥；本发明的烃回收装置，所述用于蒸汽清洗
·
真空干燥的真空泵的排气口与所述被处理气体导入管直接或间接连接。
32.根据这样的清洗装置，使用在烃回收装置中再生的吸附材料，能够从以进行蒸汽清洗及真空干燥时产生的烃作为成分包含其中的清洗液的气体中高效率地回收烃。
33.在上述清洗装置中，优选地，所述真空泵和所述用于蒸汽清洗
·
真空干燥的真空泵是同一个真空泵。这样，通过将用于蒸汽清洗及真空干燥的真空泵(用于蒸汽清洗
·
真空干燥的真空泵)和用于烃回收装置的真空泵结合，可以降低因真空泵而产生的装置成本。
34.在上述清洗装置中，优选地，所述蒸汽供给部通过汽化由所述烃液化部液化的含有烃的清洗液来产生所述蒸汽。由此，可通过蒸汽清洗中再利用包含从烃回收装置中回收并在烃液化部中液化的烃的清洗液，能够降低清洗液的使用量。
35.根据本发明，能够抑制在烃回收装置中从含有烃的被处理气体中除去烃的能力的降低。
附图说明
36.图1是表示本发明的烃回收装置的一实施方式的结构示意图。
37.图2是表示本实施方式的烃回收装置所具备的活性炭托盘的立体图。
38.图3是表示在本实施方式的烃回收装置中设置在活性炭托盘周围的加热套和冷却套的平面图。
39.图4是表示在第1处理槽中进行气体处理、在第2处理槽中进行吸附剂再生处理中的吸引副处理的状态的图。
40.图5是表示在第1处理槽中进行气体处理、在第2处理槽中进行吸附剂再生处理中的大气压开放副处理的状态的图。
41.图6是表示在第1处理槽中吸附剂再生处理中进行吸引副处理、在第2处理槽中进行气体处理的状态的图。
42.图7是表示在第1处理槽中吸附剂再生处理中进行大气压开放副处理、在第2处理槽中进行气体处理的状态的图。
43.图8是表示本实施方式的烃回收装置的变形例的结构示意图。
44.图9是表示以本实施方式的烃回收装置为构成要素的清洗装置的结构示意图。
45.附图标记说明
46.10
…
烃回收装置
47.11a(11b)
…
第1(第2)处理槽
48.12a(12b)
…
第1(第2)被处理气体导入阀
49.121a(121b)
…
第1(第2)被处理气体导入管
50.122
…
被处理气体导入源管
51.123
…
风扇
52.124、204
…
流量调节阻尼器
53.13a(13b)
…
第1(第2)处理后气体排出阀
54.131a(131b)
…
第1(第2)处理后气体排出管
55.132
…
处理后气体汇流管
56.14a(14b)
…
第1(第2)真空吸引阀
57.141a(141b)
…
第1(第2)真空吸引管
58.142
…
真空吸引汇流管
59.15a(15b)
…
第1(第2)大气压开放阀
60.151a(151b)
…
第1(第2)大气开放管
61.161a(161b)
…
第1(第2)下层活性炭托盘
62.162a(162b)
…
第1(第2)中层活性炭托盘
63.163a(163b)
…
第1(第2)上层活性炭托盘
64.166
…
活性炭托盘底面
65.167
…
气体通道孔
66.168
…
轴通孔
67.17a(17b)
…
第1(第2)活性炭搅拌单元
68.171a(171b)
…
第1(第2)下层搅拌翼
69.172a(172b)
…
第1(第2)中层搅拌翼
70.173a(173b)
…
第1(第2)上层搅拌翼
71.174a(174b)
…
第1(第2)轴
72.175a(175b)
…
第1(第2)电机
73.181a(181b)
…
第1(第2)加热夹套
74.182a(182b)
…
第1(第2)冷却夹套
75.19
…
真空泵
76.20
…
烃回收槽
77.201
…
烃回收管
78.202
…
喷嘴
79.203
…
回收槽排出管
80.21
…
控制部
81.211
…
阀门控制部
82.212
…
温度控制部
83.30
…
浸渍清洗部
84.31
…
浸渍清洗槽
85.32
…
超声波振子
86.33
…
循环过滤器
87.331
…
循环管
88.332
…
过滤网
89.333
…
液体泵
90.34
…
脱气阀
91.341
…
脱气回收管
92.35
…
返回管
93.40
…
蒸汽清洗
·
真空干燥部
94.41
…
真空槽
95.42
…
真空开闭阀
96.421
…
真空泵连接管
97.43
…
蒸汽开闭阀
98.431
…
蒸汽供给管
99.44
…
清洗液回收槽
100.441
…
清洗液回收管
101.442
…
清洗液回收阀
102.443
…
清洗液供给管
103.50
…
蒸馏再生部
104.51
…
蒸馏槽
105.511
…
蒸馏对象液供给管
106.52
…
蒸汽引导阀
107.53
…
蒸馏器冷凝器
108.531
…
蒸馏器冷凝器连接管
109.54
…
蒸馏液贮存罐
110.541
…
蒸馏再生清洗液供给管
111.55
…
喷射器
112.551
…
循环流路
113.56
…
蒸馏液循环泵
114.c
…
活性炭
115.l
…
清洗液
具体实施方式
116.利用图1～9对本发明的烃回收装置的实施方式以及以该烃回收装置为构成要素的清洗装置的实施方式进行说明。
117.(1)本实施方式的烃回收装置的结构
118.图1示意性地示出了本实施方式的烃回收装置10的结构。该烃回收装置10具有第1处理槽11a和第2处理槽11b这两个处理槽。第1处理槽11a和第2处理槽11b具有相同的结构。因此，下面以第1处理槽11a为例，对其详细结构进行说明，省略第2处理槽11b的结构的详细说明。将在第1处理槽11a说明中的各构成要素标注的附图标记的末尾所记载的“a”置换为“b”，则对应第2处理槽11b的构成要素(例如，与第1处理槽11a连接的后述的第1被处理气体导入管121a对应的第2处理槽11b中的构成要素是第2被处理气体导入管121b)。
119.在第1处理槽11a的下端附近的侧面连接有第1被处理气体导入管121a，在该第1被处理气体导入管121a上设有第1被处理气体导入阀12a。在第1被处理气体导入管121a的上游侧设有被处理气体导入源管122，从该被处理气体导入源管122，分支出第1被处理气体导入管121a和第2被处理气体导入管121b。在被处理气体导入源管122上，设置用于从烃的气体的产生源(未示出)向第1处理槽11a以及第2处理槽11b输送所述气体的风扇123，并且在风扇123的下游设置用于调节(限制)从产生源流入被处理气体导入源管122的气体流量的流量调节阻尼器124。
120.在第1处理槽11a的上端附近的侧面，设有第1处理后气体排出管131a，该第1处理后气体排出管131a上，设有第1处理后气体排出阀13a。第1处理后气体排出管131a和第2处理后气体排出管131b在处理后气体汇流管132汇流。第1处理槽11a以及第2处理槽11b中，除去了烃的气体即处理后气体从处理后气体汇流管132排放到烃回收装置10的外部。
121.在第1处理槽11a的下端附近的侧面设有第1真空吸引管141a，该第1真空吸引管141a上设有第1真空吸引阀14a。第1真空吸引管141a和第2真空吸引管141b在真空吸引汇流管142汇流，真空吸引汇流管142上连接有真空泵19的吸气口。
122.真空泵19的排气口通过烃回收管201与设于烃回收槽20内的喷嘴202连接。在烃回收槽20中储存清洗液l至喷嘴20的上方，使喷嘴202供给的烃气体被清洗液l吸收。这些烃回收槽20以及喷嘴相当于所述烃液化部。在烃回收槽20的上表面连接有回收槽排出管203，该回收槽排出管203与被处理气体导入源管122连接。回收槽排出管203中设置有流量调节阻尼器204，用于调节(限制)从烃回收槽20流入被处理气体导入源管122的气体流量。
123.在第1处理槽11a的上表面设有第1大气开放管151a，在该第1大气开放管151a上设
有第1大气压开放阀15a。
124.在第1处理槽11a内，竖向配置了3个收容作为吸附材料的活性炭的活性炭托盘(第1下层活性炭托盘161a、第1中层活性炭托盘162a、第1上层活性炭托盘163a)。这些活性炭托盘的底面166上均设置有具有允许气体通过但不允许活性炭颗粒通过的粒径的气体通道孔167，并且设置有使后述第1轴174a穿过的轴通孔168(参照图2、图3)。
125.第1处理槽11a中设置有第1活性炭搅拌单元17a。第1活性炭搅拌单元17a相当于所述吸附材料搅拌机构，具有设置于第1下层活性炭托盘161a、第1中层活性炭托盘162a、第1上层活性炭托盘163a的各个托盘内的第1下层搅拌翼171a、第1中层搅拌翼172a、第1上层搅拌翼173a。这些3个搅拌翼被固定在共同的第1轴174a上。第1轴174a设置成沿着大致垂直方向延伸，并穿过各活性炭托盘的轴通孔168。第1活性炭搅拌单元17a还具有设置在第1处理槽11a的上表面的用于转动第1轴174a的第1电动机175a。
126.第1下层活性炭托盘161a、第1中层活性炭托盘162a、第1上层活性炭托盘163a的周围分别配置了第1加热套181a以及第1冷却套182a(参照图3)。第1加热套181a相当于所述吸附材料加热机构，具有加热到预定温度(例如130℃)的油从下方向上方流动的流路。第1冷却套182a相当于所述吸附材料冷却机构，具有冷却水从下方流向上方的流路。
127.本实施方式的烃回收装置10还包括控制部21。控制部21还具有作为功能模块的阀门控制部211和温度控制部212。阀门控制部211控制第1被处理气体导入阀12a、第2被处理气体导入阀12b、第1处理后气体排出阀13a、第2处理后气体排出阀13b、第1真空吸引阀14a、第2真空吸引阀14b、第1大气压开放阀15a以及第2大气压开放阀15b的各阀的动作。温度控制部212通过设置向第1加热套181a以及第2加热套181b供给加热后的油的时间以及向第1冷却套182a和第2冷却套182b供给冷却水的时间，来控制第1处理槽11a内以及第2处理槽11b内的活性炭的温度。这些控制的细节将在下面对烃回收装置10的动作的说明中进行描述。控制部21由cpu和存储器等硬件以及执行这些控制的软件来实现。
128.(2)本实施方式的烃回收装置的动作
129.对本实施方式的烃回收装置10的动作进行说明。在该装置中，进行从由产生源(典型为后述清洗装置1，但不限于此)产生的含有烃的被处理气体中除去烃的气体处理，并且进行通过气体处理除去活性炭托盘内活性炭上附着的烃来再生活性炭的活性炭再生处理。在第1处理槽11a中进行气体处理的期间，第2处理槽11b中进行活性炭再生处理，在第1处理槽11a中进行活性炭再生处理期间，在第2处理槽11b中进行气体处理。下面将描述这些处理的细节。
130.首先，如下所述，在第1处理槽11a中进行气体处理，在第2处理槽11b中进行活性炭再生处理。开始该操作时，控制部21对设置在与第1处理槽11a连接的各管上的阀，进行打开第1被处理气体导入阀12a以及第1处理后气体排出阀13a并关闭第1真空吸引阀14a以及第1大气压开放阀15a的操作作为所述气体处理操作。一方面，控制部21对设置在与第2处理槽11b连接的各管上的阀，进行关闭第2被处理气体导入阀12b以及所述处理后气体排出阀13b并对第2真空吸引阀14b以及第2大气压开放阀15b重复进行如下所述打开和关闭操作作为所述吸附剂再生操作。
131.通过上述打开和关闭各阀的操作，从产生源产生的被处理气体通过风扇123的动作被吸入被处理气体导入源管122，在打开第1被处理气体导入阀12a的状态下，通过第1被
处理气体导入管121a导入到第1处理槽11a的底部附近，并在第1处理槽11a中逐渐向上移动(参照图4及图5。这些图中，粗实线表示气体流动的管，粗虚线表示没有气体流动的管。另外，在这些图中，省略烃回收装置10的部分构成要素并示出的。后述图6以及图7也同样。)。在此期间，在第1处理槽11a内，被处理气体按照第1下层活性炭托盘161a、第1中层活性炭托盘162a、第1上层活性炭托盘163a的顺序，通过设置在各活性炭托盘中的气体通道孔16
132.7，被处理气体中所含的烃，通过被吸附在收容于各活性炭托盘上的活性炭c，逐渐被除去。在本实施方式中，通过设置多个(3个)活性炭托盘，与仅设置一个活性炭托盘的情况相比，能够更可靠地除去烃。
133.此外，在温度控制部212的控制下，冷却水流过第1冷却套182a，由此第1下层活性炭托盘161a、第1中层活性炭托盘162a以及第1上层活性炭托盘163a，进而收容于这些各活性炭托盘中的活性炭被冷却。通过这样冷却活性炭，促进了被处理气体中所含的烃吸附于活性炭。
134.这样从被处理气体中除去了烃的处理后气体，通过第1处理后气体排出管131a和处理后气体汇流管132向大气中排放(参照图4及图5)。
135.这样，在第1处理槽11a中进行气体处理的期间，在第2处理槽11b中，按照如下进行活性炭再生处理以除去吸附在第2下层活性炭托盘161b、第2中层活性炭托盘162b、第2上层活性炭托盘163b内收容的活性炭上的烃。另外，该活性炭再生处理，通常在其之前在第2处理槽11b中进行气体处理时进行，活性炭被收容在第2处理槽11b内的各托盘中后尚未进行气体处理时可以省略。但是，即使在尚未进行气体处理的情况下，也可以进行活性炭再生处理，以在更清洁(无烃的附着)的状态下使用活性炭。
136.活性炭再生处理中，首先，在真空泵19启动的状态下，阀门控制部211关闭第2大气压开放阀15b，并打开第2真空吸引阀14b。由此，第2处理槽11b内的气体被真空泵19吸引，第2处理槽11b内减压。于是，吸附在活性炭c上的烃(hc)从活性炭c脱离，烃的气体通过第2真空吸引管141b及烃回收管201从喷嘴202向烃回收槽20内的清洗液l中排放(吸引副处理。参照图4)。由此，大部分烃的气体被清洗液l吸收。未被清洗液l吸收的一部分烃的气体通过回收槽排出管203、被处理气体导入源管122以及第1被处理气体导入管121a，与被处理气体一起导入第1处理槽11a内，被活性炭托盘内的活性炭吸附。
137.在该吸引副处理期间，通过温度控制部212控制而被加热的油向第2加热套181b流动，由此，第2下层活性炭托盘161b、第2中层活性炭托盘162b及第2上层活性炭托盘163b以及收容在这些各活性炭托盘中的活性炭c被加热。由此，促进烃从活性炭c脱离。同时，第2电机175b启动，第2轴174b以及固定在其上的第2下层搅拌翼171b、第2中层搅拌翼172b以及第2上层搅拌翼173b旋转，从而搅拌活性炭c，进一步促进烃从活性炭c中脱离。
138.如果暂时执行这样的吸引副处理，则随着烃的汽化，活性炭的温度因汽化热而逐渐降低，不久活性炭中残留的烃几乎不再汽化。因此，在从吸引副处理开始经过规定时间后，阀门控制部211通过进行关闭第2真空吸引阀14b并打开第2大气压开放阀15b的操作(大气压开放副操作)来导入大气，使第2处理槽11b内变成大气压(参照图5。大气压开放副处理)。然后进一步地，阀门控制部211进行关闭第2大气压开放阀15b并打开第2真空吸引阀14b的操作。由此，可以再次执行吸引副处理，烃从活性炭c脱离。
139.在本实施方式的烃回收装置10中，交替地执行多次这些吸引副处理和大气压开放
副处理。由此，能够促进烃从活性炭脱离，因此能够提高在之后的气体处理时从被处理气体中除去烃的能力。
140.如上所述，在第1处理槽11a进行气体处理的同时在第2处理槽11b进行活性炭再生处理后，阀门控制部211关闭第1被处理气体导入阀12a、第1处理后气体排出阀13a、第2真空吸引阀14b及第2大气压开放阀15b并进行打开第2被处理气体导入阀12b以及第2处理后气体排出阀13b的控制。进而，关于第1真空吸引阀14a和第1大气压开放阀15a，阀门控制部211交替地执行多次吸引副操作和大气压开放副操作。由此，一边在第2处理槽11b中进行气体处理，一边在第1处理槽11a中进行活性炭再生处理。第2处理槽11b中气体处理的动作(图6及图7)与所述第1处理槽11a中的该动作相同，由于在第1处理槽11a中的活性炭再生处理中进行的吸引副处理的动作(图6)以及大气压开放副处理的动作(图7)与在第2处理槽11b中的它们的动作相同，因此省略其详细说明。
141.这样，通过在第1处理槽11a和第2处理槽11b中以相反的时间进行气体处理和活性炭再生处理，始终对被处理气体进行气体处理的同时再生活性炭，由此能够抑制烃去除能力的降低。
142.(3)本发明的烃回收装置的变形例
143.本发明的烃回收装置不限于上述实施方式，可以进行各种变形。例如，活性炭搅拌单元、加热套和冷却套不是必须的，它们中的一部分或全部可以省略。此外，可以使用利用电力加热的加热器来代替加热套。
144.在上述实施方式中，每1个处理槽设置3个活性炭托盘，但活性炭托盘的个数可以为2个以下，也可以为4个以上。此外，活性炭也可以被固定在结构不同于上述实施方案中使用的活性炭托盘的固定器中，例如一个篮子形状的固定器。
145.在上述实施方式中，作为吸附材料使用了活性炭，但也可以使用活性碳纤维或其他吸附材料。
146.在上述实施方式中，从设置在第1被处理气体导入管121a及第2被处理气体导入管121b正前方处的被处理气体导入源管122向烃回收装置10导入被处理气体，但取而代之，如图8所示，也可以在真空泵19的吸气口连接被处理气体导入源管122a，将回收槽排出管203直接连接于第1被处理气体导入管121a及第2被处理气体导入管121b。这样，通过在真空泵19的吸气口连接被处理气体导入源管122a，在被处理气体被导入第1处理槽11a或第2处理槽11b之前，被导入到烃回收槽20内的清洗液l中，能够使被处理气体中含有的烃的一部分被清洗液l吸收。
147.另外，如图8中粗虚线所示，还可以设置从回收槽排出管203分支的第2被处理气体导入源管122b，(与从被处理气体导入源管122a导入的被处理气体分开)也可以从第2被处理气体导入源管122b导入被处理气体。在这种情况下，例如可以设置为在被处理气体导入源管122a上连接在清洗装置中进行蒸汽清洗及真空干燥的真空槽，从第2被处理气体导入源管122b导入清洗装置周围的气体。由此，从真空槽向烃回收装置10导入被处理气体的同时，即使含有烃的气体从清洗装置漏出，也能够将该气体从第2被处理气体导入源管122b导入烃回收装置10。
148.本发明的烃回收装置可以适合用于从下述清洗装置中含有由含有烃的清洗液产生的烃的气体中回收烃。但是，本发明的烃回收装置不仅可以用于清洗装置，还可以用于从
其他装置或容器(例如贮存石油的容器)等产生的含有烃的气体中回收烃。
149.(4)具有本实施方式的烃回收装置的清洗装置
150.图9示意性地表示具有本实施方式的烃回收装置10的清洗装置1的结构。该清洗装置1除了烃回收装置10以外，还具有浸渍清洗部30、蒸汽清洗
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真空干燥部40及蒸馏再生部50。在图9所示的例子中，烃回收装置10使用图8所示的变形例中具有第2被处理气体导入源管122b的装置。
151.浸渍清洗部30具有贮存清洗液的浸渍清洗槽31、通过清洗液对收容在浸渍清洗槽31内的工件施加超声波振动的超声波振子32、过滤浸渍清洗槽31内的清洗液的循环过滤器33。循环过滤器33具有两端与浸渍清洗槽31连接的循环管331、设置在循环管331内的过滤网332及液体泵333。
152.在浸渍清洗部30中，在将工件浸渍在贮存于浸渍清洗槽31的清洗液中之后，通过超声波振子32对工件施加超声波振动，从而清洗工件。随着工件的清洗而分散在清洗液中的杂质在循环过滤器33中被过滤网332除去。
153.浸渍清洗槽31通过蒸馏再生清洗液供给管541与蒸馏再生部50所具有的蒸馏液贮存罐54连接。由此，由烃回收槽20回收的含有烃的清洗液通过蒸馏再生部50再生并供给到浸渍清洗槽31，从而能够再利用。此外，浸渍清洗槽31在贮存清洗液的空间中的靠上位置，通过返回管35与烃回收装置10的烃回收槽20连接。由此，在浸渍清洗槽31中存在超过预定量的清洗液时，通过返回管35使清洗液流到烃回收槽20，从而防止清洗液从浸渍清洗槽31溢出。
154.浸渍清洗槽31通过脱气回收管341与真空泵19连接。脱气回收管341上设有脱气阀34。在打开脱气阀34的期间，用真空泵19吸引从浸渍清洗槽31内的清洗液l蒸发的气体，并由烃回收装置10回收。
155.蒸汽清洗
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真空干燥部40具有真空槽41、真空开闭阀42、蒸汽开闭阀43、清洗液回收槽44。真空槽41通过真空泵连接管421与真空泵19连接。真空泵连接管421相当于图8所示的例的烃回收装置10中的被处理气体导入源管122。另外，也可以在蒸汽清洗
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真空干燥部40上设置与烃回收装置10所具有的真空泵19不同的真空泵，在该真空泵上连接真空槽41。在该情况下，将该其他真空泵的排气口与图1所示的例的烃回收装置10中的被处理气体导入源管122连接。真空开闭阀42设置在真空泵连接管421上。此外，真空槽41通过蒸汽供给管431与蒸馏再生部50所具有的蒸馏槽51连接，在打开设置在蒸汽供给管431上的蒸汽开闭阀43时，向内部供给清洗液的蒸汽。
156.清洗液回收槽44通过清洗液回收管441与真空槽41的底部连接，是回收在真空槽41液化的清洗液的容器。在清洗液回收管441上设有清洗液回收阀442。清洗液回收槽44通过清洗液供给管443还与浸渍清洗槽31连接，能够在浸渍清洗部30中再利用在真空槽41中液化的清洗液。
157.在蒸汽清洗
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真空干燥部40中，按照如下进行蒸汽清洗及真空干燥。首先，在将工件收容在真空槽41中的基础上打开真空开闭阀42，通过真空泵19对真空槽41内抽真空，从而排出真空槽41内的空气。然后，在关闭真空开闭阀42的基础上打开蒸汽开闭阀43，从蒸馏槽51向真空槽41内供给清洗液的蒸汽。在持续供给清洗液的蒸汽预定时间后，在关闭蒸汽开闭阀43的基础上打开真空开闭阀42，通过真空泵19排出真空槽41内的清洗液的蒸汽。重
复执行多次这些蒸汽的供给和排出。最后，利用真空泵19快速降低真空槽41内的压力，使附着在工件表面的清洗液突沸，由此进行真空干燥。
158.在蒸汽清洗及真空干燥时，从真空槽41排出的清洗液的蒸汽被供给到烃回收槽20，该蒸汽中含有的烃被烃回收装置10回收。
159.蒸馏再生部50具有蒸馏槽51、蒸汽引导阀52、蒸馏器冷凝器53、蒸馏液贮存罐54、喷射器55和蒸馏液循环泵56。蒸馏槽51用于贮存从烃回收槽20，经由与烃回收槽20连接的蒸馏对象液供给管511供给的清洗液，通过用加热器(未图示)加热，产生清洗液的蒸汽。蒸汽引导阀52是切换将蒸馏槽51中产生的清洗液的蒸汽的流路供给至蒸汽清洗
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真空干燥部40的蒸汽供给管431、与蒸馏器冷凝器53相连的蒸馏器冷凝器连接管531中的某一个的三通阀。蒸馏器冷凝器53用于将从蒸馏槽51供给的清洗液的蒸汽冷却液化。蒸馏液贮存罐54是贮存由蒸馏器冷凝器53液化的清洗液的罐。蒸馏液贮存罐54经由蒸馏再生清洗液供给管541与浸渍清洗槽31连接。喷射器55以将由蒸馏器冷凝器53液化的清洗液引入蒸馏液贮存罐54的方式进行吸引，通过蒸馏液循环泵56使清洗液在循环流路551中循环而动作。
160.在蒸馏再生部50中，通过在蒸馏槽51中一直加热从烃回收槽20供给的清洗液来生成清洗液的蒸汽。生成的蒸汽在蒸汽清洗
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真空干燥部40中进行蒸汽清洗时，通过蒸汽引导阀52将流路设定在蒸汽供给管431侧，并向真空槽41供给，除此之外的时间通过蒸汽引导阀52将流路设定在蒸馏器冷凝器连接管531侧，来向蒸馏器冷凝器53供给。供给到真空槽41的蒸汽用于蒸汽清洗。另一方面，供给到蒸馏器冷凝器53的蒸汽被冷却并液化，由此进行蒸馏再生，并储存在蒸馏液贮存罐54中。贮存于蒸馏液贮存罐54的蒸馏再生后的清洗液经由蒸馏再生清洗液供给管541供给到浸渍清洗槽31。
161.根据本实施方式的清洗装置，通过将在浸渍清洗槽31内从清洗液l蒸发的气体及蒸汽清洗及真空干燥时从真空槽41排出的清洗液的蒸汽导入烃回收装置10，这些气体和蒸汽中所含的烃可以在不排出到环境中的情况下进行回收。另外，即使含有烃的气体从浸渍清洗槽31或真空槽41等泄露，通过将该气体从第2被处理气体导入源管122b导入烃回收装置10，也能够回收该气体中含有的烃。进一步地，由于能够使回收的烃在烃回收槽20中被清洗液吸收，再利用该清洗液，因此能够抑制清洗液的使用量。进一步地，通过在本实施方式的烃回收装置10中进行烃的回收，能够抑制从所述蒸汽中除去烃的能力的降低。
162.另外，在使用共用的真空泵19进行蒸气清洗和真空干燥时进行的抽真空和烃回收装置10中吸附剂(活性炭)再生时进行的抽真空的情况下，能够减少抽真空泵所需的装置成本。
163.使用本发明的烃回收装置的清洗装置不限于上述实施方式，可以进行各种变形。

技术特征：
1.一种烃回收装置，其用于除去并回收被处理气体中所含的烃，其特征在于，包括：a)处理槽，具有内部收容了能够吸附烃的吸附材料的吸附材料收容空间；b)被处理气体导入阀，是设置在与所述处理槽连接的被处理气体导入管上的阀；c)处理后气体排出阀，是设置在与所述处理槽连接的处理后气体排出管上的阀；d)真空泵，吸气口通过真空吸引管与所述处理槽连接；e)烃液化部，与所述真空泵的排气口相连；f)真空吸引阀，是设置在所述真空吸引管上的阀；g)大气压开放阀，用于将所述处理槽向大气开放；h)阀门控制部，用于执行以下操作：气体处理操作，打开所述被处理气体导入阀和所述处理后气体排出阀，关闭所述真空吸引阀和所述大气压开放阀；吸引副操作，在关闭所述被处理气体导入阀和所述处理后气体排出阀的状态下，关闭所述大气压开放阀，打开所述真空吸引阀；吸附剂再生操作，交替执行多次打开该大气压开放阀和关闭该真空吸引阀的大气压开放副操作。2.根据权利要求1所述的烃回收装置，其特征在于，进一步包括吸附材料加热机构，所述吸附材料加热机构用于在所述阀门控制部执行所述吸附剂再生操作期间，加热所述吸附材料配置空间中的吸附材料。3.根据权利要求1或2所述的烃回收装置，其特征在于，进一步包括吸附材料冷却机构，所述吸附材料冷却机构用于在所述阀门控制部执行所述气体处理操作期间，冷却所述吸附材料配置空间中的吸附材料。4.根据权利要求1或2所述的烃回收装置，其特征在于，进一步包括吸附材料搅拌机构，所述吸附材料搅拌机构用于在所述阀门控制部执行所述吸附剂再生操作期间，搅拌所述吸附材料配置空间中的吸附材料。5.根据权利要求1或2所述的烃回收装置，其特征在于，具备2个所述处理槽，所述2个处理槽分别具备所述被处理气体导入阀、所述处理后气体排出阀、所述真空吸引阀以及所述大气压开放阀，当所述2个处理槽中的一个处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述气体处理操作时，所述阀门控制部使其它处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述吸附剂再生操作；当该一个处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述吸附剂再生操作时，所述阀门控制部使该其它处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述气体处理操作。6.一种清洗装置，其特征在于，其特征在于，包括：真空槽，内部收容工件；蒸汽供给部，将含有烃的清洗液的蒸汽供给到所述真空槽中；真空泵，吸气口与所述真空槽连接，用于蒸汽清洗
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真空干燥；根据权利要求1～5中任意一项所述的烃回收装置，所述用于蒸汽清洗
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真空干燥的真空泵的排气口直接或间接与所述被处理气体导入管连接。7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述真空泵和用于所述蒸汽清洗
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真空干燥的真空泵是同一个真空泵。
8.根据权利要求6或7所述的清洗装置，其特征在于，所述蒸汽供给部通过汽化所述烃液化部液化的含有烃的清洗液来产生所述蒸汽。

技术总结
本发明提供一种烃回收装置，能够抑制从含有烃的被处理气体中除去烃的能力降低。用于除去并回收被处理气体中所含的烃的烃回收装置，包括：处理槽，具有内部收容了能够吸附烃的吸附材料的吸附材料收容空间，被处理气体导入阀，是设置在与处理槽连接的被处理气体导入管上的阀；处理后气体排出阀，是设置在与处理槽连接的处理后气体排出管上的阀；真空泵，吸气口通过真空吸引管与处理槽连接；烃液化部，与真空泵的排气口相连；真空吸引阀，是设置在真空吸引管上的阀；大气压开放阀，用于将处理槽向大气开放；阀门控制部，用于执行气体处理操作；吸引副操作；吸附剂再生操作。吸附剂再生操作。吸附剂再生操作。


技术研发人员：石井郁男
受保护的技术使用者：爱阔特株式会社
技术研发日：2023.01.29
技术公布日：2023/8/5