具有覆层的多个颗粒和其制造方法与流程

1.本发明涉及具有覆层的由特定的金属及其合金构成的金属颗粒，其中相对于未覆层的颗粒，覆层提高颗粒的热导率，并且其中覆层具有低磨损率。
2.本发明还涉及根据本发明的多个颗粒用于特定的技术应用的用途以及用于产生具有类石墨烯覆层的多个颗粒的方法。


背景技术：

3.由压制的或烧结的金属颗粒构成的金属部件由于其在其设计方面的广泛的可行性能够在许多应用中使用。除了铝和铁及其合金之外，不形成碳化物的金属、尤其铜也令人非常感兴趣。在此，机械特性和电特性、热导率和关于热负荷和氧化负荷的老化表现通常是对于在高要求下的机器和电应用中的许多长期使用的限制因素。
4.在没有保护覆层的情况下，所述材料在氧化条件下示出电阻的明显增加并且在电弧放电条件下示出极其倾向于材料去除或者在(机械)磨损条件下的明显退化。虽然通常能够借助于在由金属颗粒制造的材料的外侧上的保护层提高抗老化性，然而热导率和电导率通常以不期望的方式明显降低。
5.与此对应地，存在找到减少相应的材料的退化的方法和工艺和改进其在热导率和电导率方面的可靠性的需求，所述材料尤其由压制的、热喷涂的、轧制的或烧结的金属颗粒制造。
6.在现有技术中，应当用于制造烧结的、喷涂的或压制的部件的金属颗粒的保护覆层必须满足多个要求。除了提供防氧化过程和腐蚀环境的保护的要求(这不仅在预期的使用期间而且在相应部件的制造期间适用)之外，还必须确保电导率、热导率和机械稳定性。这借助多个常见的保护层是不可行的。因此，虽然湿化学覆层和表面改性、例如磷酸盐处理的使用适合用于改进耐腐蚀性，但是同时也可能在烧结、喷涂或压制期间引起粘附和兼容性问题。
7.自组式单层(sam)以良好的腐蚀防护特性已知，但是具有受限的热稳定性，使得所述自组式单层不适合用于如下工艺，在所述工艺中出现超过300℃的热负荷。
8.硅烷覆层能够产生更高的热稳定性和氧化稳定性，但是通常由于siox的形成、尤其在高于300℃的温度下引起电导率的降低和表面接触电阻的增加。同样的问题在借助于溶胶-凝胶或等离子体聚合施加的硅有机的或硅无机的覆层中产生。所述覆层能够改进耐腐蚀性和抗氧化性，但是所述覆层明显降低电导率。
9.借助于真空覆层方法作为类石墨烯覆层产生的有机覆层在现有技术中被描述为用于金属颗粒抗氧化的保护层而不对电导率或热导率产生明显的负面影响。对此的示例是li等人在materials，2018年11月，第1459页的出版物“cvd synthesis of monodisperse graphene/cu microparticles with high corrosion resistance in cu etchant”。在此公开：在低压cvd方法中用类石墨烯覆层对铜颗粒进行覆层。但是，所述方法具有一系列缺点，一方面因为所述方法必须在低压中实施，使得需要提高的设备耗费，另一方面需要混合
附加的石墨颗粒，因为不这样就会由于高的工艺温度在覆层期间导致铜颗粒的烧结。因此，石墨颗粒必须在cvd工艺之前添加，并且在cvd工艺之后又被移除，以便确保经覆层的颗粒的后续的可再加工性。此外，如此获得的颗粒尤其在典型的再加工如压制之后示出值得改进的机械特性。与此对应地，由于高的设备方面和工艺技术上的耗费和与此相关的成本以及由于相应的颗粒的机械特性，这种方法既不适合批量生产也不适合具有高要求的许多应用。
10.在wo 2020/047500 a1中描述了由石墨烯材料和金属构成的纳米复合材料，包括金属芯和由石墨烯材料构成的一个或多个层，其中金属芯能够包括铜或铜合金。然而，wo 2020/047500 a1不包含关于其中描述的纳米复合材料的磨损率的指示。
11.在us 2017/0154701 a1中描述了一种用于制造具有芯-壳结构的纳米线的方法，所述芯-壳结构包括金属纳米线芯和石墨烯壳，其中所述方法包括提供金属纳米线和借助于等离子体辅助的化学气相沉积用石墨烯对金属纳米线进行覆层。在此，根据us 2017/0154701 a1，在等离子体处理期间的腔室中的压力处于大约10mtorr和50mtorr之间。us 2017/0154701a1也完全不包含关于磨损率的说明。


技术实现要素：

12.在此背景下，本发明的目的是提出一种用于对导热和/或导电颗粒进行覆层的有利的和适合用于高生产量的方法，借助所述方法能够制造用于许多应用的颗粒，其中所述颗粒优选应具有特别的质量。
13.本发明的目的的一部分也是提出具有特别合适的特性窗口的对应的颗粒。
14.本发明所基于的目的的第二部分通过具有覆层的多个颗粒实现，其中所述颗粒由金属构成，所述金属选自由铜、钴、钌、镍、钯、铱、铂、基于这些金属之一的合金和基于这些金属中的两种或更多种金属的混合物的合金，并且覆层是类石墨烯覆层，其特征在于，在压制成试样之后，具有覆层的颗粒的热导率≥没有覆层的相同的颗粒的热导率，并且磨损率为≤15*10-4
mm3/n*m、优选地≤5*10-4
mm3/n*m。
15.在不明确的情况下，如果带d(≈1345cm-1350cm-1)和g(≈1578cm-1583cm-1)的借助于拉曼光谱学求取的带比id/ig处于0.01和1之间、优选地0.1和0.9之间、更优选地0.3和0.85之间，那么存在就本发明而言的类石墨烯覆层。
16.就本发明而言的类石墨烯覆层优选地是部分结晶的并且优选地还包括结晶区域，在所述结晶区域中，碳以sp2杂化多层地存在。在一层内，≥90％的碳原子以120
°
的角度由其他三个碳原子包围，使得构成蜂窝状的图案。各个层的间距在此通常为0.35nm
±
0.05nm。结晶区域在此具有2和300之间的层、优选地3至200个层、更优选地4至100个层。所述结晶区域的横向扩展优选地处于10nm-10000nm之间、更优选地50nm-5000nm之间。在此可能出现，由于sp3或sp1杂化中的外来原子或碳，结晶区域具有直至10％的缺陷。类石墨烯覆层的结晶区域的份额优选地为10％-99％、更优选地50％-99％、更优选地53％-91％、更优选地54％-77％。
[0017]“在压制成试样之后”就本文而言意味着，已创建原则上能够用于确定特征变量即热导率、耐磨损特性和电导率的试样。对于本文，对应的试样如下创建：将经覆层的颗粒提供到石墨模具中，并且随后在35mpa的压力下在850℃的温度中在10-3
pa的真空下压制30分
钟成试样。所使用的加热速率为20℃/min，所产生的试样具有20mm的直径和5mm的厚度。在压制之后，在相应的检查之前借助于180、400、1000、2000和4000级的刚玉砂纸在多个步骤中抛光试样的接触面。
[0018]
类似地制造由未覆层的颗粒构成的试样(出于对照目的)。
[0019]
就本文而言的磨损率根据测量示例4求取。
[0020]
令人惊讶地，已经证实，借助实现本发明所基于的上述第一个目的的方法可行的是，制造经覆层的颗粒，所述颗粒不仅具有出色的热导率而且此外也还具有非常好的耐磨损特性。关于根据本发明的方法参考下文。
[0021]
如果就本文而言对照试样由“没有覆层的相同的颗粒”创建，那么这意味着，对应的多个颗粒被压制在试样中，其中颗粒在其形状和尺寸方面对应于覆层之前的经覆层的颗粒。
[0022]
根据本发明的多个颗粒是优选的，其中在压制成试样之后热导率相对于没有覆层的相同的颗粒的热导率改进1％、优选2％、更优选3％、还更优选4％、此外优选5％、此外进一步优选6％并且此外进一步还更优选7％。当然，本领域技术人员理解，为了比较，没有覆层的相同的颗粒始终如根据本发明的多个颗粒那样压制成试样。
[0023]
就本发明而言，根据本发明的多个颗粒能够由铜构成并且用类石墨烯覆层进行覆层，其中在压制成试样之后，具有覆层的颗粒的热导率比没有覆层的相同的颗粒的热导率大7.8％，并且磨损率为3
×
10-4
cm3/nm，替选地，根据本发明的多个颗粒能够采用由上文中限定的特性窗口中的热导率和磨损率构成的任何其他特性值组合。
[0024]
就本发明而言优选的是如下根据本发明的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的颗粒的热导率相对于没有覆层的相同的颗粒的热导率在300℃增加≥5％、优选地≥10％。这在氧气影响下、例如在空气中也适用。
[0025]
以所述程度改善的热导率结合对于根据本发明的多个颗粒的磨损率非常好的值使所述颗粒可特别良好地用于许多应用，在所述应用中这两个变量尤其重要。
[0026]
就本发明而言优选的是如下根据本发明的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的颗粒的电导率相对于没有覆层的相同的颗粒的电导率在23℃降低≤5％、优选地≤1％。
[0027]
电导率是用于根据本发明的多个颗粒的许多使用目的的另一重要的特征变量。相对于未覆层的颗粒在电导率方面的轻微的减小在此结合根据本发明的多个颗粒的其他所描述的特性不仅是可容忍的，而且被视为特别使用有利的。
[0028]
根据本发明的具有覆层的多个颗粒就本发明而言是优选的，其中颗粒具有1nm-100nm、优选地2nm-50nm、更优选地3nm-25nm的平均覆层厚度。
[0029]
在所述覆层厚度中，能够特别有利地实现根据本发明的多个颗粒的优选的特性。
[0030]
此外，就本发明而言优选的是如下根据本发明的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的颗粒的界面接触电阻相对于没有覆层的相同的颗粒在220℃时效处理6h之后提高少2倍、优选提高少3倍。
[0031]
为了确定界面接触电阻参考下面的测量示例1，所述变量是相对于氧化的抵抗力的特征变量。
[0032]
在此，就本文而言，“提高少x倍”意味着在未覆层的多个颗粒的值增加1的情况下，
经覆层的颗粒的提高仅为1/x或更少。
[0033]
在此优选的是，就本发明而言，在下面描述的用于接触电阻测量的条件和上面描述的用于时效处理的条件下，根据本发明的颗粒的界面接触电阻在时效处理之后比没有覆层的相同的颗粒的界面接触电阻更小。
[0034]
抗氧化性也是针对根据本发明的多个颗粒的许多使用重要的特征变量。
[0035]
本发明的一部分也是根据本发明的多个颗粒作为电接触部施加(尤其轧制、压印、喷涂和打印，例如通过激光烧结)到金属电极上的用途，所述用途尤其用于高功率接触部、开关和电池接触部，用于电池电极、用于冷却体，用于滑动轴承，用于加热元件，用于避雷器，用于电线圈，用于电容器，用于无源器件如导体，用于有源器件如继电器，用于换热器，以制造经压制和烧结的体部或将导电区域施加到表面上。
[0036]
根据本发明的使用的一部分也是由根据本发明的多个颗粒制造(面状地呈2d形式的)接触面，其中所述接触面也能够设计为膜。
[0037]
在所述用途中，特别能够使用根据本发明的多个颗粒的特别的特性。
[0038]
此外，就本发明而言优选的是如下根据本发明的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的颗粒的烧尽速度相对于没有覆层的相同的颗粒小≥20％、更优选小≥30％、更优选小≥35％。
[0039]
为了确定烧尽速度，参考下面的测量示例3。
[0040]
本发明的一部分也是一种用于产生具有类石墨烯覆层的多个颗粒的方法，优选如上文中详细限定的那样，所述方法包括如下步骤：
[0041]
a)提供待覆层的多个颗粒，其中颗粒由金属构成，所述金属选自铜、钴、钌、镍、钯、铱、铂、基于这些金属之一的合金和基于这些金属中的两种或更多种金属的混合物的合金，
[0042]
b)提供用于覆层的前体，其中前体是碳氢化合物，
[0043]
c)在大气压等离子体中使前体碎片化，以及
[0044]
d)用前体的碎片对颗粒进行覆层。
[0045]
就本文而言的大气压等离子体是由在300mbar和8bar之间、优选500mbar和5bar之间、更优选700mbar和3bar之间，更优选800mbar和2.5bar之间的压力下的离子、自由电子和中性原子或分子构成的粒子混合物。
[0046]
令人惊讶地，已经证实，借助于根据本发明的方法覆层的颗粒、尤其如上文中详细限定的颗粒能够以相对简单的方式、即以小的设备方面的耗费并且以非常好的结果来制造。因此，根据本发明的方法实现上文中表达的本发明所基于的目的的第一部分。
[0047]
不约束于一种理论，在此在发明人方面假设，根据本发明的多个颗粒的改进的磨损表现基于：在大气压等离子体中进行覆层期间针对待覆层的颗粒或部分覆层的颗粒的碰撞情况是有利的，使得产生多层的sp2层覆层，所述覆层有利于石墨烯层的良好的润滑效果。
[0048]
对于根据本发明的方法能够优选的是，待覆层的颗粒在实际覆层之前或也在实际覆层期间被加热。这对于覆层在实际颗粒上的附着比例和生长明显具有积极效果。
[0049]
在此就本发明而言优选的是，待覆层的颗粒在大气压等离子体射束中在覆层期间并且尤其在覆层之前被加热。这是在设备方面有利的解决方案，因为因此不必提出用于加热颗粒的额外阶段。
[0050]
就本发明而言优选的是，执行根据本发明的方法，使得在步骤c)期间使用载气。所述载气具有如下功能：在其气流中吸收前体、将前体运输到等离子体中从而可选地辅助覆层工艺。就本发明而言的优选的载气是稀有气体、氢气和氮气及其混合物，其中氮气是特别优选的。
[0051]
原则上，允许如下方法控制的所有化合物适合作为前体，在所述方法控制中，主要是碳、优选几乎仅是碳最终保留在覆层中。就本发明而言的特别合适的前体选自烷烃、烯烃、炔烃和具有≤20个碳原子、优选≤8个碳原子的芳香族碳氢化合物，其中c2h2是特别优选的。
[0052]
借助所述前体在没有复杂的方法控制的情况下可行的是，将就本文而言的类石墨烯覆层沉积到金属颗粒、优选不形成碳化物的金属颗粒上。
[0053]
根据本发明的方法是优选的，其中待覆层的颗粒在进行弛豫的等离子体的空间中馈入到碎片化的前体的流中。
[0054]
如上文中已经表明的那样，就这一点能够优选的是，前体的流包含在载气流中。
[0055]
所述优选的方法控制的优点在于，待覆层的颗粒不与实际的等离子体区接触，在所述等离子体区中自然存在刚性条件。在技术上，例如能够实现所述优选的方法，其方式为：进行弛豫的等离子体的空间例如通过喷嘴开口与实际的等离子体区分开。这也能够控制用于覆层过程的碎片化的前体的有针对性的方向。因此，也可特别好地限定在覆层过程期间颗粒应停留的空间。同时，不仅颗粒的加热表现和冷却表现而且覆层期间的必要的持续时间能够通过碎片化的前体、颗粒和等离子体的有针对性的流动来设定。此外，以这种方式也能够通过选择流动几何形状引起颗粒彼此之间特别积极的、减少的碰撞表现。
[0056]
在此能够优选的是，将用于覆层过程的颗粒连带气体流、在此可选地是第二载气流引入到覆层设备的应进行覆层过程的区域中。
[0057]
就本发明而言能够优选的是，碎片化过程和/或覆层过程在添加氢的情况下进行。氢在这种情况下具有进行减少的功能并且能够以特别的方式确保形成缺陷少的类石墨烯覆层。
[0058]
在从气流中提取颗粒之后，所述颗粒优选以不发生颗粒的自发烧结的形式存在。
[0059]
测量示例
[0060]
测量示例1：界面电阻
[0061]
界面接触电阻(英文：interfacial contact resistance(icr))尤其在铜接触部老化的情况下特别重要，但是在其他不形成碳化物的金属中由于氧化也是特别重要的。
[0062]
如上文中所述的那样，试样由具有ad等离子体覆层的根据本发明的颗粒和没有覆层的相同的颗粒制造。
[0063]
随后将样品在220℃在空气中时效处理6h。
[0064]
为了确定icr值，将样品夹紧在2个抛光铜块之间，并且确定该构造的总电阻。由于所使用的材料的低电阻，最大的份额与界面电阻相关联，所述界面电阻又与所应用的接触压力相关。因此，接触压力提高，直至总电阻达到最小值。样品的icr测量在时效处理之前和之后进行。
[0065]
测量示例2：热导率测量
[0066]
抛光的试样的热导率在压制多个颗粒之后通过闪光法测量。为此使用德国
netzsch公司的设备lfa467hyperflash。
[0067]
测量示例3：烧尽速度：
[0068]
使用纯钨棒(直径1.6mm，顶角＝40
°
)作为阳极并且利用在压制多个颗粒之后经抛光的试样作为阴极，在抗电强度测试系统(rk9910，meiruike，中国)处执行击穿强度测试。两个电极之间的间距为1mm。每个测试包括在施加5kv电压的情况下具有1秒的持续时间的100个电弧操作。借助于电子秤(adventurer，ohaus，usa)测量100秒的电弧烧蚀之后试样的累积的重量损失。
[0069]
测量示例4：磨损率
[0070]
就文本而言在压制多个颗粒之后的经抛光的试样的磨损率在摩擦试验机(umt3，ctr，usa)中确定，在所述摩擦试验机中以限定的力将钢球压紧到待运动的测试基底上。对于当前的摩擦测量，使用直径3mm并且粗糙度ra《0.025μm的ggr15钢球作为配对体。在测量中，检查速度为5mm/秒，贴紧力设定为10n。测量在正常的实验室条件(23℃，常压和50％的空气湿度)下进行。经评估的磨损痕迹的长度为5mm，总检查持续时间在测试中为1800秒。
[0071]
测量示例5：电导率
[0072]
借助中国first-tech公司的涡流电导率测量设备fd-102测量在压制多个颗粒之后经抛光的试样的电导率。
具体实施方式
[0073]
实施例
[0074]
示例1
[0075]
为了沉积根据本发明的待使用的覆层，使用类弧形的大气压等离子体放电。为此使用plasmatreat公司的具有htr11变压器和pfw10等离子体喷嘴的fg5005等离子发生器。所使用的设备在de 102005042109 a1的图1中示意性地示出。
[0076]
作为工艺气体将质量为5.0的氮气以29l/min的流注入到等离子体喷嘴中。
[0077]
工艺气体的调节借助el-flow类型的bronkhorst气体调节器进行(与对颗粒和c2h2的输送气体的调节一样)。
[0078]
为了实验，在等离子发生器处设定引起所产生的9.8a的电流的300v的初级电压。发生器在19khz的激励频率的情况下以100％的激励的最大脉冲暂停比即所谓的等离子体循环时间pct运行。
[0079]
作为示例中的粉末材料使用tls technik gmbh&co spezial pulver kg公司(批号2268/3)的纯度99.7％并且具有大约16μm-18μm的尺寸分布d50的球状的铜颗粒。在示例中，粉末既不湿化学地预处理，也不借助于其他工艺步骤预处理。颗粒的贮存同样在室内空气中并且不在惰性气体中预先进行。
[0080]
为了以2.0g/min的速率输送和计量颗粒，使用瑞士medicoat ag公司的flowmotion类型的振动输送机，所述振动输送机以振荡的输送槽和5l/min氮气5.0的附加的气体流将颗粒从储备器输送到等离子体区中。等离子体反应区在此(优选地)由柱形的封闭的容积构成，膨胀的等离子体从上方从pfw10等离子体喷嘴进入到所述容积中。颗粒的注入在等离子体喷嘴开口下方侧向地进行，以便实现与流出的等离子体的良好的混合。覆层材料即有机前体在相对置的侧上注入。
[0081]
在示例中，c2h2以0.5l/min、1l/min、1.5l/min和2l/min的流借助el-flow类型的bronkhorst气体调节器注入或为此计量。由于与膨胀的氮等离子体的相互作用，一方面铜颗粒被暂时地强烈加热。在此，颗粒的最大温度处于在馈入点处等离子体束的气体温度的范围内，所述范围约为1100℃。但是，由于几十至几百ms的反应时间和热容，所产生的颗粒温度低于铜的熔化温度。同时，c2h2分子通过等离子体激励，在热的铜表面发生反应并且形成类石墨烯层。总体上，通过几何形状选择等离子体反应区的设计，使得工艺的组成部分良好地混匀以彼此反应。
[0082]
在所选择的1l/min的c2h2流的情况下，这引起厚度在5cm-25nm的范围内的薄的、相对均匀的石墨烯层。(sem/tem图像)
[0083]
在颗粒处获得如下测量结果：
[0084][0085]
示例2
[0086]
对应的试样由如此覆层的铜颗粒如下创建：将经覆层的颗粒提供到石墨模具中，并且随后在35mpa的压力下在850℃的温度中在10-3
pa的真空下压制30分钟成试样。所使用的加热速率为20℃/min，所产生的试样具有20mm的直径和5mm的厚度。在压制之后，在相应的检查之前借助于180、400、1000、2000和4000级的刚玉砂纸在多个步骤中抛光试样的接触面。
[0087]
在样品处获得如下测量结果：
[0088]
[0089][0090]
示例3
[0091]
对根据本发明产生的经覆层的颗粒进行高分辨率的tem分析。在此产生覆层的横截面的tem照片，图1a和图1b示出这种照片作为示例。在此检查的颗粒是根据示例1以1l/min的c2h2流产生的颗粒(5nm-25nm之间的层厚度)。
[0092]
在此在图1b中清楚可见，沉积具有多层的、部分结晶的区域的类石墨烯层，其中产生层彼此之间和与基底的紧密连接。在图像中未看到缺陷、污染或层离，这同样证明到铜表面上的有力的附接。
[0093]
根据测量，石墨烯层示出不同的层间距(从0.24nm至0.40nm)。在图1b中，标记区域的层间距为0.34nm，这与文献一致。

技术特征：
1.具有覆层的多个颗粒，其中所述颗粒由金属构成，所述金属选自铜、钴、钌、镍、钯、铱、铂、基于这些金属之一的合金和基于这些金属中的两种或更多种金属的混合物的合金，并且所述覆层是类石墨烯覆层，其特征在于，在压制成试样之后，具有覆层的所述颗粒的热导率≥没有覆层的相同的颗粒的热导率，并且磨损率为≤15*10-4
mm3/n*m、优选≤5*10-4
mm3/n*m。2.根据权利要求1所述的具有覆层的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的所述颗粒的热导率相对于没有覆层的相同的颗粒的热导率在300℃提高了≥5％、优选提高了≥10％。3.根据权利要求1或2所述的具有覆层的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的所述颗粒的电导率相对于没有覆层的相同的颗粒的电导率在23℃降低了≤5％、优选降低了≤1％。4.根据上述权利要求中任一项所述的具有覆层的多个颗粒，其中所述颗粒具有1nm-100nm、优选2nm-50nm、更优选3nm-25nm的平均覆层厚度。5.根据上述权利要求中任一项所述的具有覆层的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的所述颗粒相对于没有覆层的相同的颗粒,在220℃时效处理6h之后前者的接触电阻升高是后者的接触电阻升高的1/2、优选1/3。6.根据上述权利要求中任一项所述的具有覆层的多个颗粒，其中在压制成试样之后，具有覆层的所述颗粒的烧尽速度相对于没有覆层的相同的颗粒小了≥20％、更优选小了≥30％、更优选小了≥35％。7.一种将根据上述权利要求中任一项所述的多个颗粒作为电接触部施加到金属电极上的用途，所述用途尤其用于高功率接触部、开关和电池接触部，用于冷却体，用于滑动轴承，用于加热元件，用于避雷器，用于电线圈，用于电容器，用于无源器件如导体，用于有源器件如继电器，用于换热器，用于电池电极，以制造经压制和烧结的体部或将导电区域施加到表面上。8.一种用于产生具有类石墨烯覆层的多个颗粒的方法，所述多个颗粒优选是根据权利要求1至6中任一项所述的多个颗粒，所述方法包括如下步骤：a)提供待覆层的多个颗粒，其中所述颗粒由金属构成，所述金属选自铜、钴、钌、镍、钯、铱、铂、基于这些金属之一的合金和基于这些金属中的两种或更多种金属的混合物的合金，b)提供用于所述覆层的前体，其中所述前体是碳氢化合物，c)在大气压等离子体中使所述前体碎片化，以及d)用所述前体的碎片对所述颗粒进行覆层。9.根据权利要求8所述的方法，其中至少在步骤d)期间、优选也在步骤c)期间使用载气。10.根据权利要求8或9所述的方法，其中所述前体选自烷烃、烯烃、炔烃和具有≤20个碳原子、优选具有≤8个碳原子的芳香族碳氢化合物，其中c2h2是特别优选的。11.根据权利要求9或10所述的方法，其中使用如下气体作为载气：所述气体选自稀有气体、氢气和氮气及其混合物。12.根据权利要求8至11中任一项所述的方法，其中待覆层的所述颗粒在弛豫等离子体的空间中馈入到经碎片化的前体的流中。

技术总结
具有覆层的多个颗粒，其中颗粒由金属构成，所述金属选自铜、钴、钌、镍、钯、铱、铂、基于这些金属之一的合金和基于这些金属中的两种或更多种金属的混合物的合金，并且覆层是类石墨烯覆层，其特征在于，在压制成试样之后，具有覆层的颗粒的热导率≥没有覆层的相同的颗粒的热导率，并且磨损率为≤15*10-4


技术研发人员：约尔格
受保护的技术使用者：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
技术研发日：2021.11.25
技术公布日：2023/8/5