一种新型蚀刻机回流装置的制作方法

1.本技术涉及蚀刻机技术领域，具体而言，涉及一种新型蚀刻机回流装置。


背景技术：

2.蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体，在酸性氯化铜蚀刻液中，溶液中的氯离子浓度与蚀刻速率有着密切的关系，当溶液中的盐酸浓度升高时，蚀刻时间减少，然而，盐酸浓度高，易挥发，在液槽内形成雾气。
3.高浓度的盐酸雾气具有强烈的刺鼻气味，且具有较高的腐蚀性，常见的蚀刻机设置有抽风排气装置进行排风抽气，防止高浓度的盐酸雾气逸散至环境大气，然而，在抽风排气时，抽离的大量高浓度盐酸雾气，一方面增加废气塔处理的负载，另一方面这些高浓度盐酸雾气仍具备蚀刻功能，直接抽气排放再添加新液无疑会增加企业的生产成本及浪费，且将高浓度的盐酸雾气抽离过多会降低蚀刻速率，影响生产。


技术实现要素：

4.本技术实施例的目的在于提供一种新型蚀刻机回流装置，其能够解决背景技术提出的技术问题。
5.本技术实施例提供一种新型蚀刻机回流装置，包括箱体，所述箱体顶部设有抽风机，所述抽风机连接有抽气管，所述抽气管延伸至所述箱体内，所述箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，所述凹槽内设有过滤隔离布，所述过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，所述传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，所述传送滚轮模组的中间沿所述传送滚轮模组传输方向设有贯穿所述箱体的通道，所述传送滚轮模组的下方设有挡板，所述挡板与所述箱体的底部形成容纳腔，所述箱体的一侧设有将喷雾器喷出的蚀刻液输送回所述容纳腔的循环组件。
6.进一步的，所述过滤隔离布的上部设置有冷凝盘管，所述冷凝盘管的进水口与出水口均延伸至所述箱体外。
7.进一步的，所述喷雾器连接有输液管，所述输液管远离所述喷雾器的一端连接有输液泵，所述输液泵安装在所述箱体的外侧，所述输液泵与所述容纳腔连通。
8.进一步的，所述循环组件包括循环过滤泵和循环管，所述循环过滤泵安装在所述箱体的外侧壁，所述循环过滤泵与所述容纳腔连通，所述循环管与所述循环过滤泵连接，所述循环管远离所述循环过滤泵的一端延伸至所述箱体内，且位于所述挡板的上部。
9.进一步的，所述箱体一侧设有进液口，所述进液口与所述容纳腔连通，所述进液口处安装有电磁阀。
10.进一步的，所述过滤隔离布由炭纤维制成。
11.进一步的，所述抽气管的下端安装有吸气罩，所述吸气罩位于所述过滤隔离布的上方，所述吸气罩内安装有布风板，所述布风板上均匀设置有通孔。
12.本实用新型的有益效果：
13.本实用新型在箱体顶部设有抽风机，抽风机连接有抽气管，抽气管延伸至箱体内，抽风机启动，可对箱体内进行排风抽气，箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，凹槽内设有过滤隔离布，通过凹槽为过滤隔离布提供固定位置，过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，传送滚轮模组的中间沿传送滚轮模组传输方向设有贯穿箱体的通道，传送滚轮模组用于运输被蚀刻物件，当喷雾器喷出蚀刻液时，蚀刻液中的浓盐酸挥发出来的盐酸雾气，在抽风机的抽吸作用下向上移动，盐酸雾气在接触到过滤隔离布后，大部分盐酸雾气在过滤隔离布上聚集液化，少部分透过过滤隔离布被抽风机抽离，传送滚轮模组的下方设有挡板，挡板与箱体的底部形成容纳腔，箱体的一侧设有将喷雾器喷出的蚀刻液输送回容纳腔的循环组件，喷雾器喷出的蚀刻液在蚀刻后落到挡板上，液化的盐酸雾气形成液滴滴也落到挡板上一同被循环组件输送回容纳腔中，实现回流，降低废气塔处理的负载，同时回收挥发的高浓度盐酸雾气，保证蚀刻液中氯离子的浓度，保证蚀刻速率，降低频繁换液而增加的成本及避免浪费，保证蚀刻速率。
附图说明
14.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
15.图1为本技术实用新型的结构示意图；
16.图2为本技术实用新型的俯视图；
17.图3为本技术实用新型的剖视图；
18.图4为本技术实用新型的左视图。
19.附图标记分别为：
20.1、箱体；2、抽风机；3、抽气管；4、凹槽；5、过滤隔离布；6、传送滚轮模组；7、喷雾器；8、挡板；9、容纳腔；10、循环组件；101、循环过滤泵；102、循环管；11、输液管；12、输液泵；13、吸气罩；14、布风板；15、冷凝盘管。
具体实施方式
21.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
22.因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
23.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
24.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
26.在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
27.下面为本技术的具体实施例：
28.如图1-4所示，本实用新型提供一种新型蚀刻机回流装置，包括箱体1，箱体1顶部设有抽风机2，抽风机2连接有抽气管3，抽气管3延伸至箱体1内，抽风机2启动，可对箱体1内进行排风抽气，具体实施时，抽风机2通过管道与废气塔连接，抽出的气体进入废气塔中处理，防止污染环境，箱体1的内壁相对两侧设有一组凹槽4，凹槽4内设有过滤隔离布5，通过凹槽4为过滤隔离布5提供固定位置，过滤隔离布5的下方设有传送滚轮模组6，传送滚轮模组6的上下两侧均匀设置有多个喷雾器7，传送滚轮模组6的中间沿传送滚轮模组传输方向设有贯穿箱体1的通道，传送滚轮模组6用于运输被蚀刻物件，当喷雾器7喷出蚀刻液时，蚀刻液中的浓盐酸挥发出来的盐酸雾气，在抽风机2的抽吸作用下向上移动，盐酸雾气在接触到过滤隔离布5后，大部分盐酸雾气在过滤隔离布5上聚集液化，少部分透过过滤隔离布5被抽风机2抽离，传送滚轮模组6的下方设有挡板8，挡板8与箱体1的底部形成容纳腔9，箱体1的一侧设有将喷雾器7喷出的蚀刻液输送回容纳腔9的循环组件10，喷雾器7喷出的蚀刻液在蚀刻后落到挡板8上，液化的盐酸雾气形成液滴滴也落到挡板8上一同被循环组件10输送回容纳腔9中，实现回流，降低废气塔处理的负载，同时回收挥发的高浓度盐酸雾气，保证蚀刻液中氯离子的浓度，保证蚀刻速率，降低频繁换液而增加的成本及避免浪费，保证蚀刻速率。
29.如图3和图4所示，过滤隔离布5的上部设置有冷凝盘管15，冷凝盘管15的进水口与出水口均延伸至箱体1外，通过设置冷凝盘管15，向箱冷凝盘管15中通入制冷剂液体，加速高浓度盐酸雾气在隔离布5液化，进一步使高浓度盐酸雾气形成液滴落下，加强回流效果。
30.如图3所示，喷雾器7连接有输液管11，输液管11远离喷雾器7的一端连接有输液泵12，输液泵12安装在箱体1的外侧，输液泵12与容纳腔9连通，输液泵12将容纳腔9的蚀刻液输送到喷雾器7中，由喷雾器7喷出。
31.如图1-3所示，循环组件10包括循环过滤泵101和循环管102，循环过滤泵101安装在箱体1的外侧壁，循环过滤泵101与容纳腔9连通，循环管102与循环过滤泵101连接，循环管102远离循环过滤泵101的一端延伸至箱体1内，且位于挡板8的上部，使落在挡板8上的蚀刻液能够快速回流至容纳腔9中。
32.箱体1一侧设有进液口(图中未示意)，进液口与容纳腔9连通，进液口处安装有电磁阀(图中未示意)，使容纳腔9一开始能够注入新蚀刻液，电磁阀可随意控制进液口的开关，方便添加蚀刻液。
33.如图3所示，过滤隔离布5由炭纤维制成，利用碳纤维耐腐蚀的特性，延长过滤隔离布5的使用寿命，即延长装置的使用寿命。
34.如图3所示，抽气管3的下端安装有吸气罩13，吸气罩13位于过滤隔离布5的上方，吸气罩13内安装有布风板14，布风板14上均匀设置有通孔，抽风机2进行排风抽气时，通过吸气罩13内的布风板14均匀抽气，使盐酸雾气均匀上升，防止局部浓度过大，影响过滤效果。
35.以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。

技术特征：
1.一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：包括箱体，所述箱体顶部设有抽风机，所述抽风机连接有抽气管，所述抽气管延伸至所述箱体内，所述箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，所述凹槽内设有过滤隔离布，所述过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，所述传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，所述传送滚轮模组的中间沿所述传送滚轮模组传输方向设有贯穿所述箱体的通道，所述传送滚轮模组的下方设有挡板，所述挡板与所述箱体的底部形成容纳腔，所述箱体的一侧设有将喷雾器喷出的蚀刻液输送回所述容纳腔的循环组件。2.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于；所述过滤隔离布的上部设置有冷凝盘管，所述冷凝盘管的进水口与出水口均延伸至所述箱体外。3.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述喷雾器连接有输液管，所述输液管远离所述喷雾器的一端连接有输液泵，所述输液泵安装在所述箱体的外侧，所述输液泵与所述容纳腔连通。4.根据权利要求3所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述循环组件包括循环过滤泵和循环管，所述循环过滤泵安装在所述箱体的外侧壁，所述循环过滤泵与所述容纳腔连通，所述循环管与所述循环过滤泵连接，所述循环管远离所述循环过滤泵的一端延伸至所述箱体内，且位于所述挡板的上部。5.根据权利要求4所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述箱体一侧设有进液口，所述进液口与所述容纳腔连通，所述进液口处安装有电磁阀。6.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述过滤隔离布由炭纤维制成。7.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述抽气管的下端安装有吸气罩，所述吸气罩位于所述过滤隔离布的上方，所述吸气罩内安装有布风板，所述布风板上均匀设置有通孔。

技术总结
本申请提供一种新型蚀刻机回流装置，涉及蚀刻机技术领域，包括箱体，所述箱体顶部设有抽风机，所述抽风机连接有抽气管，所述抽气管延伸至所述箱体内，所述箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，所述凹槽内设有过滤隔离布，所述过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，所述传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，所述传送滚轮模组的中间沿所述传送滚轮模组传输方向设有贯穿所述箱体的通道，所述传送滚轮模组的下方设有挡板，本实用新型通过抽风机、抽气管、挡板、喷雾器、循环组件的相互配合，回收挥发的高浓度盐酸雾气，保证蚀刻液中氯离子的浓度，保证蚀刻速率，降低频繁换液而增加的成本及避免浪费，保证蚀刻速率。保证蚀刻速率。保证蚀刻速率。


技术研发人员：林萬禮 鄭嘉振 鄭人方 陳聖為
受保护的技术使用者：敬鹏(常熟)电子有限公司
技术研发日：2023.02.22
技术公布日：2023/8/8