一种转移装置、转移方法及显示装置与流程

1.本技术涉及显示技术领域，特别是涉及一种转移装置、转移方法及显示装置。


背景技术：

2.微型发光二极管(micro-led)技术，即led微缩化和矩阵化技术，在一个芯片上集成高密度微小尺寸的led阵列，像素尺寸达到100微米以下。micro-led是一种新的发光显示技术，相比传统的lcd、oled等显示技术，micro-led具有响应快、亮度高、寿命长、功耗低等优点，成为新一代显示技术的研究热点。随着显示屏体尺寸不断增加，micro-led以其可独立封装的优点在大尺寸屏体产品上具有较大的应用前景。然而，将百万甚至千万微米级尺寸大小的led芯片转移至十寸以上的背板，传统的转移工艺已经无法满足。有鉴于此，如何开发拼接转移技术成为亟待解决的技术问题。


技术实现要素：

3.本技术主要解决的技术问题是提供一种转移装置、转移方法及显示装置，能够实现供给基板和显示背板的多组对位，提高大批量待转移件的转移效率。
4.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：
5.提供一种转移装置，其包括供给基板，所述供给基板用于将待转移件提供给目标基板，所述目标基板包括用于接收所述待转移件的至少两个转移区域，每一所述转移区域包括第二对位标记组，所述供给基板包括：
6.至少一个第一对位标记组，其中，在所述供给基板将所述待转移件提供给所述目标基板的过程中，所述供给基板依次与所述至少两个转移区域进行对位，所述供给基板的所述第一对位标记组与对应所述转移区域的所述第二对位标记组对位。
7.优选的，所述供给基板包括至少两个所述第一对位标记组，至少两个所述第一对位标记组依次分别与至少两个所述转移区域的所述第二对位标记组对位。
8.优选的，至少两个所述第一对位标记组沿第二方向排列，所述第一对位标记组包括多个第一对位标记，相邻两个所述第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记与另一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记混合排列。
9.为解决上述技术问题，本技术采用又一技术方案是：
10.提供一种转移方法，包括如下步骤：
11.s101、提供转移装置，所述转移装置包括供给基板，所述供给基板具有待转移件，所述供给基板包括至少一个第一对位标记组；
12.s102、提供用于接收所述待转移件的目标基板，所述目标基板包括至少两个转移区域，且每个所述转移区域包括第二对位标记组；
13.s103、将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的其中一个所述转移区域进行对位，所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域；
14.s104、将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的另一个所述转移区域进行对位，所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域。
15.优选的，在步骤s101中，所述供给基板包括至少两个第一对位标记组，至少两个所述第一对位标记组沿第二方向排列，所述第一对位标记组包括多个第一对位标记，相邻两个所述第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记与另一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记混合排列。
16.优选的，在步骤s103中，将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的其中一个所述转移区域进行对位，所述至少两个第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域；
17.在步骤s104中，将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的另一个所述转移区域进行对位，所述至少两个第一对位标记组中的另一个所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域。
18.优选的，在步骤s102中，至少两个所述转移区域沿第一方向和/或第二方向排布，且所述第一方向和所述第二方向垂直；在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻两个所述转移区域的所述第二对位标记组对齐设置。
19.优选的，所述第二对位标记组包括多个第二对位标记，在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻的两个所述转移区域共用至少部分所述第二对位标记。
20.优选的，在步骤s102中，至少两个所述转移区域沿第一方向和/或第二方向排布，且所述第一方向和所述第二方向垂直；在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻两个所述转移区域的所述第二对位标记组错位设置。
21.为解决上述技术问题，本技术采用又一技术方案是：
22.提供一种显示装置，包括：目标基板和设置于所述目标基板上的待转移件，其中，所述待转移件采用上述任一实施例中所提及的转移方法转移至所述目标基板上。
23.区别于现有技术的情况，本技术的有益效果是：通过上述设计方案，利用供给基板依次分别和目标基板上的多个对位标记组进行连续对位，实现大尺寸拼接目标基板中待转移件的大批量转移，有效提高大批量待转移件的转移效率，同时进一步提高供给基板上待转移件的利用率，实现多个待转移件的连续转移，有效降低材料成本。
附图说明
24.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
25.图1是本技术转移装置一实施方式的结构示意图；
26.图2是图1中供给基板一实施方式的结构示意图；
27.图3是图1中显示背板一实施方式的结构示意图；
28.图4是图1中显示背板又一实施方式的结构示意图；
29.图5是本技术转移装置又一实施方式的结构示意图；
30.图6是图5中供给基板一实施方式的结构示意图；
31.图7是图5中显示背板一实施方式的结构示意图；
32.图8是本技术转移方法一实施方式的流程示意图；
33.图9是图8中步骤s101-s105一实施方式的结构示意图。
具体实施方式
34.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
35.请一并参阅图1、图2和图3，图1是本技术转移装置一实施方式的结构示意图，图2是图1中供给基板一实施方式的结构示意图，图3是图1中显示背板一实施方式的结构示意图。本技术所提供的转移装置100包括供给基板10，供给基板10用于将待转移件提供给目标基板，在本技术实施例中，目标基板为显示背板20。其中，请参阅图2，供给基板10包括承载面(图未示)，且其承载面一侧设置有若干待转移件101，供给基板10主要用于提供待转移件101。在一实施方式中，待转移件101可以包括micro-led芯片，如氮化镓(gan)基micro-led芯片或者砷化镓(gaas)基micro-led芯片，还可以分为红光micro-led芯片、绿光micro-led芯片、蓝光micro-led芯片等。目前，micro-led芯片难以在显示背板20上直接生长出来，需要依靠转移技术将在供给基板10上生长的micro-led芯片转移到显示背板20上。在本实施方式中，待转移件101在供给基板10上呈阵列排布，当然，在其他实施方式中，对待转移件101的排布方式不作具体限定，只要能实现待转移件101的准确转移即可。
36.供给基板10可以是玻璃基板，即可以在玻璃基板上生长出具有预定尺寸、预定类型的micro-led芯片。在其他实施方式中，供给基板10还可以是硅基基板、蓝宝石基板等。供给基板10包括至少一个第一对位标记组102，用于在后续对位过程中快速判断供给基板10和显示背板20之间的对位精度是否达到要求。其中，每个第一对位标记组102包括若干第一对位标记1021，且第一对位标记1021的形状设置方式包括多种，例如图2中所示的十字形状，还可以包括圆形、椭圆形、葫芦形、矩形组成的群组中的至少一个，此处对第一对位标记1021的形状不作具体限定。
37.此外，供给基板10与显示背板20相对设置，待转移件101设置于供给基板10与显示背板20之间，显示背板20接收待转移件101后，并与待转移件101电连接以实现待转移件101的功能。在本实施方式中，显示背板20包括至少两个转移区域201，用于接收待转移件101。每个转移区域201内包括一个第二对位标记组202，第二对位标记组202的位置依据转移区域201中接收待转移件101的位置而定。第二对位标记组202中每个第二对位标记2021的形状设置方式包括多种，例如图3中所示的十字形状，还可以包括圆形、椭圆形、葫芦形、矩形组成的群组中的至少一个，此处对第二对位标记2021的形状不作具体限定，只要保证其形状与第一对位标记1021的形状相同即可。可以理解的是，第二对位标记2021的位置设定不能够对接收待转移件101的过程造成干涉。
38.第一对位标记组102与第二对位标记组202均用于供给基板10与显示背板20之间的对位，对位标记的材质可以为金属材料，或者，通过激光在玻璃上形成对位标记。
39.在本实施方式中，当转移上述待转移件101时，将供给基板10与显示背板20进行对位，供给基板10依次与至少两个转移区域201进行对位，供给基板10与所述转移区域201对位后，供给基板10的第一对位标记组102与转移区域201的第二对位标记组202对位。通过上述实施方式，利用供给基板10的至少一个第一对位标记组102和显示背板20上的多个第二对位标记组202进行依次连续对位，实现大尺寸拼接显示背板20中待转移件101的大批量转移，有效提高转移效率，同时进一步提高供给基板10上待转移件101的利用率，实现多个待转移件101的连续转移，有效降低材料成本。
40.请继续参阅图3，在本实施方式中，存在相对垂直的第一方向x和第二方向y，显示背板20中的多个转移区域201沿第一方向x和第二方向y排布。当然，在其他实施方式中，多个转移区域201可以仅沿第一方向x或第二方向y排布，此处不作具体限定，只要保证显示背板20是由多个转移区域201拼接形成即可。在本实施方式中，多个第一对位标记组102沿第二方向y排列，第一对位标记组102包括多个第一对位标记1021，相邻两个第一对位标记组102中的其中一个第一对位标记组102的至少部分第一对位标记1021与另一个第一对位标记组102的至少部分第一对位标记1021混合排列。如图3所示，多个转移区域201呈“3*3”阵列方式排布，即在第一方向x上存在三个转移区域201，在第二方向y上同样存在三个转移区域201。通过上述实施方式，利用供给基板10上的多个第一对位标记组102与显示背板20的多个转移区域201中的第二对位标记组202依次进行对位，以实现待转移件101的连续转移，从而提高转移效率。
41.请一并参阅图1至图3，以图2中四个虚线方框内的位于不同方位的四个第一对位标记1021为一组，且同一个第一对位标记组102中的相邻两个第一对位标记102沿第一方向x和第二方向y间隔排布，其间隔距离具体根据待转移件101的位置特征为依据；以图3中位于同一个转移区域201四角位置的四个第二对位标记2021为一组，且同一个第二对位标记组202中的相邻两个第二对位标记2021沿第一方向x和第二方向y间隔排布，其间隔距离与两个第一对位标记102之间的间隔距离相一致。该实施方式能够在不影响待转移件101位置的前提下，通过间隔设置的四个不同方位的对位标记实现精确对位，保证待转移件101的对位精度。
42.在一实施方式中，请继续参阅图1至图3，供给基板10上包括多个第一对位标记组102，且一个第一对位标记组102与一个转移区域201的一个第二对位标记组202对位。示例性的，如图2所示，供给基板10上一共包括四个第一对位标记组102，沿第二方向y排列，每个第一对位标记组102包括多个第一对位标记，相邻两个第一对位标记组102中的其中一个第一对位标记组102的至少部分第一对位标记与另一个第一对位标记组102的至少部分第一对位标记混合排列。请参阅图3，每个转移区域201包括一个第二对位标记组202。
43.通过上述实施方式，利用供给基板10的多个第一对位标记组102依次分别与多个转移区域201的第二对位标记组202依次进行对位，实现供给基板10上多排待转移件101的依次转移，进而提高供给基板上待转移件101的利用率，降低显示背板20的物料成本。
44.在一实施方式中，请参阅图4，图4是图1中显示背板又一实施方式的结构示意图。在本实施方式中，显示背板20中包括多个拼接而成的转移区域201，且每个转移区域201的
四角位置分别设置有一个第二对位标记202，在第一方向x和/或第二方向y上，相邻的两个转移区域201共用两个第二对位标记2021。该实施方式能够有效减少第二对位标记2021的数量，降低显示背板20的设计难度。
45.在一实施方式中，请重新参阅图1至图3，供给基板10上包括沿第二方向y排列的多个第一对位标记组102，每个第一对位标记组102包括多个第一对位标记，相邻两个第一对位标记组102中的其中一个第一对位标记组102的至少部分第一对位标记与另一个第一对位标记组102的至少部分第一对位标记混合排列。多个转移区域201沿第一方向x和第二方向y排布，且相邻两个转移区域201内的第二对位标记组202对齐设置。该实施方式能够使得第一对位标记组102和第二对位标记组202呈直线状规律排布，大大减小对位过程的复杂程度。
46.此外，供给基板10上还设置有呈“3*4”阵列排布的待转移件101，即供给基板10上设置有4行待转移件101，每行包括三个待转移件101，在一次转移过程中，需要将一行中的所有待转移件101全部转移至显示背板20的其中一个转移区域201内。在本实施方式中，供给基板10上的第一对位标记组102的数量与待转移件101的行数相同，即供给基板10上包括四行待转移件101，则供给基板10上包括四个第一对位标记组102。该实施方式能够保证每行待转移件101均通过对应的对位标记组依次实现转移。
47.当然，在其他实施方式中，第一对位标记组的数量还可以与待转移件的个数相同，能够保证每个待转移件与每个对位标记组之间的对应关系，有效提高待转移件的利用率。
48.请参阅图5、图6和图7，图5是本技术转移装置又一实施方式的结构示意图，图6是图5中供给基板一实施方式的结构示意图，图7是图5中显示背板一实施方式的结构示意图。在本实施方式中，转移装置100同样包括供给基板10。请参阅图6，供给基板10包括一个第一对位标记组102。一个第一对位标记组102中的四个第一对位标记1021分别位于供给基板10的四角位置，换言之，供给基板10的四角位置分别设置有一个第一对位标记1021。另外，在本实施例中，请参阅图7，显示背板20包括多个转移区域201，且每个转移区域201上包括一个第二对位标记组202，多个所述转移区域201沿第一方向和/或第二方向排布，且所述第一方向和所述第二方向垂直；在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻两个所述转移区域201的所述第二对位标记组202错位设置，即，多个第二对位标记组202沿第一方向x和/或第二方向y呈曲线状排布。具体的，在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻两个第二对位标记组202中的其中一个第二对位标记组202的至少部分第二对位标记2021与另一个第二对位标记组202的至少部分第二对位标记2021混合排列。每个第二对位标记组202的位置与转移区域201内用于接收待转移件101的位置(图未示)匹配设置。采用上述显示背板20的多个转移区域201的第二对位标记组202密集排列的方式，可以提高像素单元密度，可以解决画面颗粒感强的问题，提升画质。
49.通过上述实施方式，由于供给基板10的尺寸有限，将多个第二对位标记组202设置于尺寸较大的显示背板20上，利用显示背板20上的多个第二对位标记组202与供给基板10上的第一对位标记组102依次进行对位，不但能够实现多个待转移件101的连续转移，还能够有效降低供给基板10的设计难度，为待转移件101的排布节省出更多空间。
50.在本实施方式中，上述实施例中所提及的待转移件包括多个像素单元，且每个像素单元可以包括红色微型发光二极管(r-led)、绿色微型发光二极管(g-led)和蓝色微型发
光二极管(b-led)，其中，r-led为gaas基led，g-led和b-led为氮化镓基。另外，供给基板10的像素单元的密度为显示背板20的像素单元的密度的正整数倍，以保证显示背板20的每个转移区域201均能接收供给基板10所提供的像素单元。通过上述实施方式，能够实现发光芯片的大批量有效转移，提高芯片转移效率，同时还提高了供给基板10上的芯片利用率，降低大尺寸显示背板20的物料成本。
51.本技术所提供的转移装置，不但可以用于转移上述实施例中提及的微型发光二极管器件(micro-led)，还可以用于其他待转移件的转移。例如，待转移件还可以是光电二极管阵列检测器的二极管阵列，mos器件、微机电系统的mems器件。本技术中不对待转移件的具体类型进行限定，且待转移件类型不限于此处所列举的示例。
52.在又一实施方式中，供给基板还包括层叠设置的基板本体和粘结层，其中，粘结层用于粘附待转移件。在本实施方式中，粘结层包括热敏材料、热塑性材料或者热固性材料。
53.在又一实施方式中，本技术所提供的转移装置还包括激光器和转移平台。其中，激光器设置于供给基板背离显示背板一侧，用于发射激光以使待转移件从粘结层上脱落。另外，转移平台设置于显示背板背离供给基板一侧，用于控制显示背板移动至指定位置，以接收下一组待转移件。
54.下面从方法角度详细介绍本技术所提供的转移装置的转移过程。请一并参阅图8和图9，图8是本技术转移方法一实施方式的流程示意图，图9是图8中步骤s101-s104一实施方式的结构示意图。本技术提供了一种转移方法，其具体包括如下步骤：
55.s101：提供具有待转移件101的供给基板10，其中，供给基板10包括至少一个第一对位标记组102。
56.具体地，请参阅图9中(a)，供给基板10包括承载面(图未示)，且其承载面一侧设置有若干待转移件101，供给基板10主要用于提供待转移件101。其中，供给基板10可以是玻璃基板，还可以是硅基基板、蓝宝石基板等。待转移件101可以包括micro-led芯片，如氮化镓(gan)基micro-led芯片或者砷化镓(gaas)基micro-led芯片，还可以分为红光micro-led芯片、绿光micro-led芯片、蓝光micro-led芯片等。第一对位标记组102用于在后续对位过程中快速判断供给基板10和显示背板20之间的对位精度是否达到要求，且第一对位标记组102中的若干第一对位标记1021的形状设置方式包括多种，例如图2中所示的十字形状，还可以包括圆形、椭圆形、葫芦形、矩形组成的群组中的至少一个，此处对第一对位标记1021的形状不作具体限定。
57.s102：提供用于接收待转移件101的显示背板20，并与供给基板10相对设置，待转移件101位于供给基板10与显示背板20之间；其中，显示背板20包括至少两个转移区域201，且每一转移区域201包括一个第二对位标记组202。
58.具体地，请参阅图9中(b)，第二对位标记组202的位置依据转移区域201中接收待转移件101的位置而定。第二对位标记组202中若干第二对位标记2021的形状设置方式包括多种，例如图3中所示的十字形状，还可以包括圆形、椭圆形、葫芦形、矩形组成的群组中的至少一个，此处对第二对位标记2021的形状不作具体限定，只要保证其形状与第一对位标记1021的形状相同即可。
59.s103：将供给基板10与显示背板20的其中一个转移区域201进行对位，第一对位标记组102与第二对位标记组202对位，选择性地从显示背板20上释放待转移件101，以使待转
移件101转移至当前转移区域201。
60.具体地，请参阅图9中(c1)和(c2)，虚线框内包括对位后形成覆盖关系的四个对位标记。可以利用设置于供给基板10背离显示背板20一侧的激光器(图未示)发射激光，以使待转移件101从供给基板10上脱落。
61.s104：将供给基板10与显示背板20的另一个转移区域201进行对位，第一对位标记组102与第二对位标记组202对位，选择性地从供给基板10上释放待转移件101，以使待转移件101转移至当前转移区域201。
62.具体地，请参阅图9中(d1)和(d2)。s105：重复步骤s104，直至将所需要转移的待转移件101全部转移至显示背板20的转移区域201。
63.通过上述实施方式，利用多个对位标记组进行连续对位，实现大尺寸拼接显示背板20中待转移件101的大批量转移，有效提高转移效率，同时进一步提高供给基板10上待转移件101的利用率，实现多个待转移件101的连续转移，有效降低材料成本。
64.在一实施方式中，供给基板10包括多个第一对位标记组102，一个第一对位标记组102与一个转移区域201的第二对位标记组202对位，具体的，在步骤s103中，将供给基板10与显示背板20的其中一个转移区域201进行对位，至少两个第一对位标记组102中的其中一个第一对位标记组102与转移区域201的第二对位标记组202对位，选择性地从供给基板10上释放待转移件101，以使待转移件101转移至当前所述转移区域201；在步骤s104中，将供给基板10与显示背板20的另一个转移区域201进行对位，至少两个第一对位标记组102中的另一个第一对位标记组102与转移区域201的第二对位标记组202对位，选择性地从供给基板10上释放待转移件101，以使待转移件101转移至当前转移区域201；重复上述步骤s104，直至将供给基板10上的所需要转移的待转移件101全部转移至显示背板20的转移区域201。通过上述实施方式，能够利用多个第一对位标记组102依次分别与多个转移区域201的第二对位标记组202进行对位，实现供给基板10上多排待转移件101的依次转移，进而提高供给基板10上的待转移件101的利用率，降低显示背板20的物料成本。
65.本技术实施例还提供了一种显示装置，该显示装置可以包括显示背板20和设置于显示背板20上的待转移件101，其中，待转移件101采用上述实施例中所提供的转移方法转移至显示背板20上。通过上述实施方式，能够有效提高待转移件101的转移效率，提升显示装置的制备良率。
66.以上所述仅为本技术的实施方式，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。

技术特征：
1.一种转移装置，其包括供给基板，所述供给基板用于将待转移件提供给目标基板，所述目标基板包括用于接收所述待转移件的至少两个转移区域，每一所述转移区域包括第二对位标记组，其特征在于，所述供给基板包括：至少一个第一对位标记组，其中，在所述供给基板将所述待转移件提供给所述目标基板的过程中，所述供给基板依次与所述至少两个转移区域进行对位，所述供给基板的所述第一对位标记组与对应所述转移区域的所述第二对位标记组对位。2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述供给基板包括至少两个所述第一对位标记组，至少两个所述第一对位标记组依次分别与至少两个所述转移区域的所述第二对位标记组对位。3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，至少两个所述第一对位标记组沿第二方向排列，所述第一对位标记组包括多个第一对位标记，相邻两个所述第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记与另一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记混合排列。4.一种转移方法，其特征在于，包括如下步骤：s101、提供转移装置，所述转移装置包括供给基板，所述供给基板具有待转移件，所述供给基板包括至少一个第一对位标记组；s102、提供用于接收所述待转移件的目标基板，所述目标基板包括至少两个转移区域，且每个所述转移区域包括第二对位标记组；s103、将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的其中一个所述转移区域进行对位，所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域；s104、将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的另一个所述转移区域进行对位，所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域。5.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，在步骤s101中，所述供给基板包括至少两个第一对位标记组，至少两个所述第一对位标记组沿第二方向排列，所述第一对位标记组包括多个第一对位标记，相邻两个所述第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记与另一个所述第一对位标记组的至少部分第一对位标记混合排列。6.根据权利要求5所述的转移方法，其特征在于，在步骤s103中，将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的其中一个所述转移区域进行对位，所述至少两个第一对位标记组中的其中一个所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域；在步骤s104中，将所述供给基板与所述目标基板的所述至少两个转移区域中的另一个所述转移区域进行对位，所述至少两个第一对位标记组中的另一个所述第一对位标记组与所述第二对位标记组对位，选择性地从所述供给基板上释放所述待转移件，以使所述待转移件转移至当前所述转移区域。7.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，在步骤s102中，至少两个所述转移区
域沿第一方向和/或第二方向排布，且所述第一方向和所述第二方向垂直；在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻两个所述转移区域的所述第二对位标记组对齐设置。8.根据权利要求7所述的转移方法，其特征在于，所述第二对位标记组包括多个第二对位标记，在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻的两个所述转移区域共用至少部分所述第二对位标记。9.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，在步骤s102中，至少两个所述转移区域沿第一方向和/或第二方向排布，且所述第一方向和所述第二方向垂直；在所述第一方向和/或所述第二方向上，相邻两个所述转移区域的所述第二对位标记组错位设置。10.一种显示装置，其特征在于，包括：目标基板和设置于所述目标基板上的待转移件，其中，所述待转移件采用如权利要求4-9任一项所述的转移方法转移至所述目标基板上。

技术总结
本申请公开了一种转移装置、转移方法及显示装置，转移装置包括供给基板，供给基板用于将待转移件提供给目标基板，目标基板包括用于接收待转移件的至少两个转移区域，每一转移区域包括第二对位标记组，供给基板包括至少一个第一对位标记组，其中，在供给基板将待转移件提供给目标基板的过程中，供给基板依次与所述至少两个转移区域进行对位，供给基板的第一对位标记组与对应转移区域的第二对位标记组对位。通过上述方式，能够有效提高大批量待转移件的转移效率。件的转移效率。件的转移效率。


技术研发人员：董小彪 葛泳 王岩 王磊 林佳桦 宋玉华 王一涛 盛翠翠 钱先锐 黄秀颀
受保护的技术使用者：成都辰显光电有限公司
技术研发日：2022.01.27
技术公布日：2023/8/8