多钢带与飞靶的同步输送系统及电镀设备的制作方法

未命名 08-12 阅读:157 评论:0


1.本发明涉及电镀设备技术领域,尤其涉及一种多钢带与飞靶的同步输送系统及电镀设备。


背景技术:

2.通常,电镀设备中的飞靶输送装置架设在机架上,夹持有待电镀产品(例如,硅片)的飞靶装置与飞靶输送装置连接,钢带输送装置设置在飞靶输送装置的下方,且钢带输送装置位于电镀槽内,钢带输送装置上设置有支撑件,支撑件用于支撑待电镀产品。现有技术中的大多数电镀设备中只设置单条钢带输送装置,导致降低作业效率,增加成本;有少数的电镀设备虽然设置有多条钢带输送装置,但是其钢带输送装置和飞靶输送装置难以保证两者的同步输送,从而导致出现待电镀产品划伤或破损的现象,增加成本。
3.因此,亟需设计一种多钢带与飞靶的同步输送系统及电镀设备,来解决以上技术问题。


技术实现要素:

4.本发明的第一目的在于提出一种多钢带与飞靶的同步输送系统,能够避免待电镀产品划伤或破碎,提高工作效率,节约成本。
5.为达此目的,本发明采用以下技术方案:
6.本发明提供一种多钢带与飞靶的同步输送系统,包括:
7.飞靶输送装置,所述飞靶输送装置的下方连接有飞靶装置,所述飞靶装置连接有夹具,所述夹具用于夹持待电镀产品;所述飞靶输送装置包括两个输送部,两个所述输送部上均设置有导轨,所述飞靶装置与所述导轨滑动连接;
8.钢带输送装置,所述钢带输送装置设置在两个输送部之间,且所述钢带输送装置的高度低于所述飞靶输送装置的高度;所述钢带输送装置包括并列设置的至少两个钢带输送组件,每一个所述钢带输送组件均包括主动轮、从动轮、钢带和第一驱动组件,所述钢带绕设在所述主动轮和所述从动轮上,所述第一驱动组件与所述主动轮驱动连接;所述钢带上等间隔地设置有多个支撑件,所述支撑件被配置为支撑待电镀产品;
9.控制模组,所述控制模组与每一个所述钢带输送组件中的所述第一驱动组件电性连接,所述控制模组用于控制每一个所述第一驱动组件同步转动;
10.监测模组,所述监测模组设置为两个,两个所述监测模组与两个所述输送部一一对应设置,两个所述监测模组分别与所述输送部电性连接,且两个所述监测模组与所述控制模组电性连接,所述监测模组用于监测所述输送部的输送速度,并将所述输送速度反馈至所述控制模组,所述控制模组通过控制所述第一驱动组件使所述钢带的输送速度与所述输送部的输送速度保持一致。
11.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,所述输送部包括传动链轮和链条,所述输送部上设置有容置槽,所述传动链轮设置在所述容置槽的两端,所述链条
绕设在所述传动链轮上,且部分所述链条置于所述容置槽内,所述传动链轮转动时能够带动所述链条传输。
12.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,所述传动链轮包括第一传动链轮和第二传动链轮,所述链条包括第一链条和第二链条,所述第一链条绕设在所述第一传动链轮上,所述第二链条绕设在所述第二传动链轮上,所述第一传动链轮和所述第二传动链轮同轴设置。
13.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,所述输送部包括第二驱动组件和第一同心轴,所述第一同心轴的一端穿过所述第一传动链轮并与所述第二传动链轮连接,所述第一同心轴的另一端与所述第二驱动组件连接,且所述监测模组与所述第二驱动组件电性连接。
14.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,所述输送部还包括第一支撑链轮、第二支撑链轮和第二同心轴,所述第二同心轴的一端与所述第一支撑链轮连接,另一端与所述第二支撑链轮连接,以使所述第一支撑链轮和所述第二支撑链轮同轴设置;
15.所述第一支撑链轮和所述第二支撑链轮均设置在所述容置槽内,所述第一支撑链轮用于支撑所述第一链条,所述第二支撑链轮用于支撑所述第二链条。
16.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,所述第一驱动组件和所述第二驱动组件均设置为电机。
17.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,所述主动轮上设置有传感器,所述传感器与所述主动轮和所述控制模组均电性连接,所述传感器能够监测所述主动轮的转速,并将转速信号反馈至所述控制模组,以使所述控制模组能够调节所述第一驱动组件的转速,实现多个所述主动轮同步转动。
18.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,钢带输送装置还包括固定座,所述从动轮设置在所述固定座上。
19.作为一种多钢带与飞靶的同步输送系统的可选技术方案,所述固定座上还设置有张紧件,所述张紧件设置在相邻两个所述从动轮之间,沿第一方向,所述张紧件位于所述从动轮的下游端,所述张紧件用于张紧所述钢带。
20.本发明的第二目的在于提出一种电镀设备,该电镀设备能够提高待电镀产品的加工效率,避免待电镀产品出现破碎和划伤的现象,达到节约成本的目的。
21.为达此目的,本发明采用以下技术方案:
22.本发明提供一种电镀设备,所述电镀设备包括机架和以上所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,所述多钢带与飞靶的同步输送系统设置在所述机架上。
23.本发明的有益效果至少包括:
24.本发明提供一种多钢带与飞靶的同步输送系统,该多钢带与飞靶的同步输送系统包括飞靶输送装置、钢带输送装置、控制模组和监测模组。其中,飞靶输送装置的下方连接有飞靶装置,飞靶装置连接有夹具,夹具用于夹持待电镀产品;飞靶输送装置包括两个输送部,两个输送部上均设置有导轨,飞靶装置与导轨滑动连接。钢带输送装置设置在两个输送部之间,且钢带输送装置的高度低于飞靶输送装置的高度;钢带输送装置包括并列设置的至少两个钢带输送组件,每一个钢带输送组件均包括主动轮、从动轮、钢带和第一驱动组件,钢带绕设在主动轮和从动轮上,第一驱动组件与主动轮驱动连接;钢带上等间隔地设置
有多个支撑件,支撑件被配置为支撑待电镀产品。控制模组与每一个钢带输送组件中的第一驱动组件电性连接,控制模组用于控制每一个第一驱动组件同步转动,监测模组设置为两个,两个监测模组与两个输送部一一对应设置,两个监测模组分别与输送部电性连接,且两个监测模组与控制模组电性连接,监测模组用于监测输送部的输送速度,并将输送速度反馈至控制模组,控制模组通过控制第一驱动组件使钢带的输送速度与输送部的输送速度保持一致,也就是说,通过控制模组和监测模组的设置,使得钢带的输送速度和飞靶装置的输送速度保持同步,进而避免造成待电镀产品破碎或划伤的现象,节约成本,提高作业效率。
25.本发明还提供一种电镀设备,该电镀设备能够提高待电镀产品的加工效率,避免待电镀产品出现破碎和划伤的现象,达到节约成本的目的。
附图说明
26.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
27.图1为本发明实施例所提供的多钢带与飞靶的同步输送系统的俯视图。
28.附图标记
29.100、飞靶输送装置;110、导轨;120、容置槽;130、传动链轮;1301、第一传动链轮;1302、第二传动链轮;140、链条;1401、第一链条;1402、第二链条;150、第二驱动组件;1501、第一同心轴;160、拨杆;170、第一支撑链轮;180、第二支撑链轮;190、第二同心轴;
30.200、钢带输送装置;210、主动轮;220、传感器;230、钢带;240、第一驱动组件;250、固定座;260、张紧件;270、配重块;
31.300、控制模组;
32.400、监测模组。
具体实施方式
33.为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
34.在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
35.在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示
第一特征水平高度小于第二特征。
36.在本实施例的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述和简化操作,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分,并没有特殊的含义。
37.如图1所示,本实施例提供一种多钢带与飞靶的同步输送系统,该多钢带与飞靶的同步输送系统主要包括飞靶输送装置100、钢带输送装置200、控制模组300和监测模组400。其中,飞靶输送装置100的下方连接有飞靶装置,飞靶装置连接有夹具,夹具用于夹持待电镀产品;飞靶输送装置100包括两个输送部,两个输送部上均设置有导轨110,飞靶装置与导轨110滑动连接。钢带输送装置200设置在两个输送部之间,且钢带输送装置200的高度低于飞靶输送装置100的高度;钢带输送装置200包括并列设置的至少两个钢带输送组件,每一个钢带输送组件均包括主动轮210、从动轮、钢带230和第一驱动组件240,钢带230绕设在主动轮210和从动轮上,第一驱动组件240与主动轮210驱动连接;钢带230上等间隔地设置有多个支撑件,支撑件被配置为支撑待电镀产品。控制模组300与每一个钢带输送组件中的第一驱动组件240电性连接,控制模组300用于控制每一个第一驱动组件240同步转动。监测模组400设置为两个,两个监测模组400与两个输送部一一对应设置,两个监测模组400分别与输送部电性连接,且两个监测模组400与控制模组300电性连接,监测模组400用于监测输送部的输送速度,并将输送速度反馈至控制模组300,控制模组300通过控制第一驱动组件240使钢带230的输送速度与输送部的输送速度保持一致。
38.基于以上设计,本实施例中的待电镀产品可以设置为硅片、陶瓷片、pcb电路板等等。控制模组300为市面上常见的plc控制模组300,两个监测模组400可以设置为现有技术中用于监测输送部的输送速度的传感器模组,因此,本实施例中不再对控制模组300的控制原理以及监测模组400的监测原理进行具体阐述。
39.在实际作业过程中,飞靶装置与输送部的导轨110滑动连接,输送部包括传动链轮130和链条140,输送部上设置有容置槽120,传动链轮130设置在容置槽120的两端,链条140绕设在传动链轮130上,且部分链条140置于容置槽120内,传动链轮130转动时能够带动链条140传输。链条140上设置有拨杆160,拨杆160能够抵接并推动飞靶装置,使得飞靶装置上的滚轮能够在导轨110上滑动,进而实现对飞靶装置的输送,使得飞靶装置能够在工艺区完成电镀工艺。从而通过传动链轮130驱动链条140传送,进而实现拨杆160对飞靶装置的传输。两个监测模组400分别进行实时监测输送部的输送速度,并将所监测到的输送速度反馈至控制模组300,控制模组300内部设置有plc控制逻辑语句,通过计算机程序计算输送部的输送速度与第一驱动组件240的输送速度差值,控制模组300控制第一驱动组件240的输送速度,使得第一驱动组件240的输送速度与输送部的输送速度保持一致,也就是说,使钢带230的输送速度和飞靶装置的输送速度保持同步,进而避免造成待电镀产品破碎或损坏的现象,节约成本。
40.如图1所示,本实施例中每一个传动链轮130包括第一传动链轮1301和第二传动链轮1302,也就是说,第一传动链轮1301和第二传动链轮1302均设置为两个。链条140包括第一链条1401和第二链条1402,第一链条1401绕设在第一传动链轮1301上,第二链条1402绕设在第二传动链轮1302上,第一传动链轮1301和第二传动链轮1302同轴设置。拨杆160设置
在第一链条1401和第二链条1402之间,且拨杆160的两端分别通过螺钉固定在第一链条1401和第二链条1402上,有利于后期的拆卸维护。第一传动链轮1301、第二传动链轮1302、第一链条1401和第二链条1402的设置有利于提高拨杆160的稳定性和可靠性,使得在飞靶装置传输过程中,拨杆160能够抵接并推动飞靶装置,使得飞靶装置上的滚轮能够在导轨110上滑动,进而实现对飞靶装置的输送,使得飞靶装置能够在工艺区完成电镀工艺。
41.进一步地,输送部包括第二驱动组件150和第一同心轴1501,第一同心轴1501的一端穿过第一传动链轮1301并与第二传动链轮1302连接,第一同心轴1501的另一端与第二驱动组件150连接,且监测模组400与第二驱动组件150电性连接。示例性地,本实施例中的第一驱动组件240和第二驱动组件150均可以设置为电机,第一同心轴1501的另一端与电机的输出轴连接,通过电机驱动第一同心轴1501进行转动,进而使得第一同心轴1501能够带动第一传动链轮1301和第二传动链轮1302进行同步转动,实现第一链条1401和第二链条1402的同步传动。监测模组400通过监测第二驱动组件150的转速,从而间接地实现监测输送部的输送速度。
42.如图1所示,在本实施例中,飞靶输送装置100还包括第一支撑链轮170、第二支撑链轮180和第二同心轴190,第二同心轴190的一端与第一支撑链轮170连接,另一端与第二支撑链轮180连接,以使第一支撑链轮170和第二支撑链轮180同轴设置。第一支撑链轮170和第二支撑链轮180均设置在容置槽120内,第一支撑链轮170用于支撑第一链条1401,第二支撑链轮180用于支撑第二链条1402,在第一支撑链轮170和第二支撑链轮180的支撑作用下,使得第一链条1401和第二链条1402能够稳定地传输,避免第一链条1401和第二链条1402出现松垮或塌陷的现象,提高拨杆160推动飞靶装置的可靠性。
43.可选地,如图1所示,在本实施例中,拨杆160设置为多个,且多个拨杆160等间隔设置,这样能够使得拨杆160所推动的飞靶装置能够等间隔地排布,避免飞靶装置出现相互摩擦甚至碰撞的风险。例如,拨杆160可以设置10个、12个、15个、20个等数量。
44.进一步地,本实施例中的拨杆160与链条140呈预设角度设置,预设角度设置为30
°
~60
°
之间。示例性地,预设角度可以设置为30
°
、40
°
、45
°
、50
°
、60
°
等数值,从而提高拨杆160对飞靶装置抵接并推动的稳定性和可靠性。
45.如图1所示,在本实施例中,主动轮210上设置有传感器220,传感器220与主动轮210和控制模组300均电性连接,传感器220能够监测主动轮210的转速,并将转速信号反馈至控制模组300,以使控制模组300能够调节第一驱动组件240的转速,实现多个主动轮210同步转动。传感器220可以设置为市面上常见的速度传感器220,用于监测主动轮210的转速。传感器220能够将主动轮210的转速信号反馈至控制模组300,控制模组300根据8个传感器220反馈回来的数据,经过计算处理后,对转速快的第一驱动组件240或转速慢的第一驱动组件240进行调节,进而使得8个第一驱动组件240的转速同步,从而实现了8个主动轮210的同步转动,这样能够保证8条钢带230进行同步输送,避免飞靶装置上的待电镀产品破碎,达到节约成本的目的。
46.如图1所示,在本实施例中,钢带输送装置还包括固定座250,从动轮设置在固定座250上,从动轮设置为至少两个。具体地,每一个钢带输送组件包括2个从动轮200,16个从动轮均设置在固定座250上。
47.如图1所示,固定座250上还设置有张紧件260,张紧件260设置在相邻两个从动轮
之间,沿第一方向,张紧件260位于从动轮的下游端,张紧件260用于张紧钢带230。第一方向即为图1中的x轴方向。钢带输送装置还包括配重块270,配重块270与张紧件260通过连接绳连接。通过张紧件260和配重块270的设置能够避免钢带230长时间使用后发生松动的现象,从而保证钢带230的直线度和张紧力。
48.本实施例还提供一种电镀设备,电镀设备包括机架和以上多钢带与飞靶的同步输送系统,多钢带与飞靶的同步输送系统设置在机架上。该电镀设备能够提高待电镀产品的加工效率,避免待电镀产品出现破碎和划伤的现象,达到节约成本的目的。
49.显然,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
50.注意,在本说明书的描述中,参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

技术特征:
1.多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,包括:飞靶输送装置(100),所述飞靶输送装置(100)的下方连接有飞靶装置,所述飞靶装置连接有夹具,所述夹具用于夹持待电镀产品;所述飞靶输送装置(100)包括两个输送部,两个所述输送部上均设置有导轨(110),所述飞靶装置与所述导轨(110)滑动连接;钢带输送装置(200),所述钢带输送装置(200)设置在两个输送部之间,且所述钢带输送装置(200)的高度低于所述飞靶输送装置(100)的高度;所述钢带输送装置(200)包括并列设置的至少两个钢带输送组件,每一个所述钢带输送组件均包括主动轮(210)、从动轮、钢带(230)和第一驱动组件(240),所述钢带(230)绕设在所述主动轮(210)和所述从动轮上,所述第一驱动组件(240)与所述主动轮(210)驱动连接;所述钢带(230)上等间隔地设置有多个支撑件,所述支撑件被配置为支撑所述待电镀产品;控制模组(300),所述控制模组(300)与每一个所述钢带输送组件中的所述第一驱动组件(240)电性连接,所述控制模组(300)用于控制每一个所述第一驱动组件(240)同步转动;监测模组(400),所述监测模组(400)设置为两个,两个所述监测模组(400)与两个所述输送部一一对应设置,两个所述监测模组(400)分别与所述输送部电性连接,且两个所述监测模组(400)与所述控制模组(300)电性连接,所述监测模组(400)用于监测所述输送部的输送速度,并将所述输送速度反馈至所述控制模组(300),所述控制模组(300)通过控制所述第一驱动组件(240)使所述钢带(230)的输送速度与所述输送部的输送速度保持一致。2.根据权利要求1所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述输送部包括传动链轮(130)和链条(140),所述输送部上设置有容置槽(120),所述传动链轮(130)设置在所述容置槽(120)的两端,所述链条(140)绕设在所述传动链轮(130)上,且部分所述链条(140)置于所述容置槽(120)内,所述传动链轮(130)转动时能够带动所述链条(140)传输。3.根据权利要求2所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述传动链轮(130)包括第一传动链轮(1301)和第二传动链轮(1302),所述链条(140)包括第一链条(1401)和第二链条(1402),所述第一链条(1401)绕设在所述第一传动链轮(1301)上,所述第二链条(1402)绕设在所述第二传动链轮(1302)上,所述第一传动链轮(1301)和所述第二传动链轮(1302)同轴设置。4.根据权利要求3所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述输送部包括第二驱动组件(150)和第一同心轴(1501),所述第一同心轴(1501)的一端穿过所述第一传动链轮(1301)并与所述第二传动链轮(1302)连接,所述第一同心轴(1501)的另一端与所述第二驱动组件(150)连接,且所述监测模组(400)与所述第二驱动组件(150)电性连接。5.根据权利要求3所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述输送部还包括第一支撑链轮(170)、第二支撑链轮(180)和第二同心轴(190),所述第二同心轴(190)的一端与所述第一支撑链轮(170)连接,另一端与所述第二支撑链轮(180)连接,以使所述第一支撑链轮(170)和所述第二支撑链轮(180)同轴设置;所述第一支撑链轮(170)和所述第二支撑链轮(180)均设置在所述容置槽(120)内,所述第一支撑链轮(170)用于支撑所述第一链条(1401),所述第二支撑链轮(180)用于支撑所述第二链条(1402)。6.根据权利要求4所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述第一驱动组件(240)和所述第二驱动组件(150)均设置为电机。
7.根据权利要求1所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述主动轮(210)上设置有传感器(220),所述传感器(220)与所述主动轮(210)和所述控制模组(300)均电性连接,所述传感器(220)能够监测所述主动轮(210)的转速,并将转速信号反馈至所述控制模组(300),以使所述控制模组(300)能够调节所述第一驱动组件(240)的转速,实现多个所述主动轮(210)同步转动。8.根据权利要求7所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述钢带输送装置(200)还包括固定座(250),所述从动轮设置在所述固定座(250)上。9.根据权利要求8所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,其特征在于,所述固定座(250)上还设置有张紧件(260),所述张紧件(260)设置在相邻两个所述从动轮之间,沿第一方向,所述张紧件(260)位于所述从动轮的下游端,所述张紧件(260)用于张紧所述钢带(230)。10.电镀设备,其特征在于,所述电镀设备包括机架和权利要求1-9中任一项所述的多钢带与飞靶的同步输送系统,所述多钢带与飞靶的同步输送系统设置在所述机架上。

技术总结
本发明涉及电镀设备技术领域,尤其涉及一种多钢带与飞靶的同步输送系统及电镀设备。该多钢带与飞靶的同步输送系统包括飞靶输送装置、钢带输送装置、控制模组和监测模组。钢带输送装置包括并列设置的至少两个钢带输送组件,每一个钢带输送组件均包括主动轮、从动轮、钢带和第一驱动组件,第一驱动组件与主动轮连接。控制模组与每一个钢带输送组件中的第一驱动组件电性连接,控制模组控制第一驱动组件同步转动。监测模组与输送部和控制模组均电性连接,监测模组将输送速度反馈至控制模组,控制模组通过控制第一驱动组件使钢带的输送速度与输送部的输送速度保持一致。多钢带与飞靶的同步输送系统能够避免待电镀产品破碎或划伤,节约成本。节约成本。节约成本。


技术研发人员:韩友生 方荣平 赵改兵 朱锦平
受保护的技术使用者:昆山东威科技股份有限公司
技术研发日:2023.06.21
技术公布日:2023/8/9
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