一种MicroOLED制备材料蒸镀装置的制作方法

一种micro oled制备材料蒸镀装置
技术领域
1.本实用新型属于micro oled制备技术领域，更具体地说，是涉及一种micro oled制备材料蒸镀装置。


背景技术：

2.硅基oled也称micro oled，是半导体和oled相结合的一种微型显示技术，应用于机戴头盔、枪瞄、夜视仪等，并且随着ar/vr以及自动驾驶等新技术的应用。真空蒸镀技术是当前micro oled制备发光层的主流技术，为提升蒸镀效率和节约成本，在一个高真空腔体内排布多个蒸发源，不使用某蒸发源时，旋转机构旋转挡板覆盖蒸发源上的坩埚，使坩埚中的材料蒸镀在挡板上，使用某坩埚时。旋转机构移开挡板，使坩埚中的材料蒸镀在基板上。由于连续性生产，在挡板上蒸镀了较多的材料，移动时洒落在坩埚周围，坩埚周围洒落材料容易引起micro oled基板出现particle问题，影响产品良率。
3.现有技术中有名称为“一种降低串光效应的硅基oled微显示器及其制备方法”、公开号为“115084211a”的技术，该技术制备方法包括在像素定义层上制备无机薄膜层，所述无机薄膜层的边缘与像素定义层的边缘对齐，且两者的边缘与阳极表面的夹角为直角；然后进行oled层的蒸镀，且阳极表面上蒸镀的oled层的上表面低于无机薄膜层的上表面，该方法可以隔断相邻像素之间的oled层而避免电流的相互传输，进而避免像素的异常发光，减低串光效应。
4.然而，该技术没有涉及本技术的技术问题和技术方案。


技术实现要素：

5.本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种在确保挡板能够根据需要覆盖蒸发源上的坩埚的前提下，还能够有效达到清洁坩埚周围洒落材料的目的，提高产品良率的micro oled制备材料蒸镀装置。
6.要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为：
7.本实用新型为一种micro oled制备材料蒸镀装置，蒸发源上设置坩埚，蒸镀部件包括挡板、旋转执行器，挡板后端连通旋转执行器，挡板内部和旋转执行器内部均设置中空通道，挡板内部的中空通道和旋转执行器内部的中空通道连通，旋转执行器连通收集腔体，收集腔体内部设置真空泵。
8.所述的挡板包括挡板本体和挡板管道，挡板管道一端连通挡板本体，挡板管道另一端通过法兰管道连通法兰盘，法兰盘连通旋转执行器。
9.所述的挡板的挡板本体为圆柱体结构，挡板本体下部设置开口部。
10.所述的法兰盘包括上法兰和下法兰，上法兰与法兰管道为一体式结构。
11.所述的旋转执行器为电机，下法兰与旋转执行器的转轴为一体式结构，转轴内部为中空通道，转轴下端延伸到收集腔体内部。
12.每个所述的蒸发源上设置坩埚放置腔。
13.所述的上法兰和下法兰通过多个螺栓连接，上法兰和下法兰之间设置密封垫圈。
14.所述的旋转执行器固定安装在装置基座上。
15.所述的蒸发源固定在装置基座上。
16.每个坩埚配备一个蒸镀部件。
17.采用本实用新型的技术方案，工作原理及有益效果如下所述：
18.本实用新型所述的micro oled制备材料蒸镀装置，使用时，当不需要使用某蒸发源时，与该蒸发源对应的旋转执行器旋转，使得对应的挡板覆盖在该蒸发源上的坩埚上部，形成对坩埚的遮挡，使得坩埚中的材料蒸镀在挡板上。当需要使用某坩埚时，对应的旋转执行器转动，带动挡板移开，离开对应的坩埚，放置micro oled基板到该坩埚上，使坩埚中的材料蒸镀在基板上。当对应坩埚的周围洒落了较多的材料时，对材料进行清理。此时，将对应的挡板移动到位于坩埚上部位置，通过与真空泵连接的控制部件启动真空泵，真空泵产生真空，因为从挡板本体到收集腔体之间为中空通道，当真空泵产生真空时，整个中空通道形成真空结构，对坩埚周围的材料进行吸附，从而去除洒落的材料，并且将洒落的材料收集到收集腔体，收集一段时间后再清理。这样，通过对坩埚的周围洒落的材料根据需要进行清理，从而避免坩埚周围洒落材料引起micro oled基板出现particle问题。
附图说明
19.下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明：
20.图1为本实用新型所述的micro oled制备材料蒸镀装置使用时的结构示意图；
21.图2为本实用新型所述的micro oled制备材料蒸镀装置的局部剖视结构示意图；
22.附图中标记分别为：1、蒸发源；2、坩埚；3、蒸镀部件；4、挡板；41、挡板本体；42、挡板管道；5、旋转执行器；51、转轴；6、收集腔体；7、法兰管道；8、真空泵；10、法兰盘；11、上法兰；12、下法兰。
具体实施方式
23.下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明：
24.如附图1、附图2所示，本实用新型为一种micro oled制备材料蒸镀装置，所述的蒸发源1上设置坩埚2，蒸镀部件3包括挡板4、旋转执行器5，挡板4后端连通旋转执行器5，挡板4内部和旋转执行器5内部均设置中空通道，挡板4内部的中空通道和旋转执行器5内部的中空通道连通，旋转执行器5连通收集腔体6，收集腔体6内部设置真空泵8。上述结构，针对现有技术中的不足，提出改进的技术方案。micro oled制备材料蒸镀装置使用时，当不需要使用某蒸发源1时，与该蒸发源1对应的旋转执行器5旋转，使得对应的挡板4移动大概蒸发源1的坩埚2上部，覆盖在蒸发源1上的坩埚2，形成对坩埚的遮挡，使得坩埚中的材料蒸镀在挡板上。当需要使用某坩埚时，对应的旋转执行器转动，带动挡板移开，离开对应的坩埚，放置micro oled基板到该坩埚上，使坩埚中的材料蒸镀在基板上。当对应坩埚的周围洒落了较多的材料时，对材料进行清理。此时，将对应的挡板4移动到位于坩埚上部位置，通过与真空泵连接的控制部件启动真空泵，真空泵8产生真空，因为从挡板本体到收集腔体6之间为中
空通道，当真空泵产生真空时，整个中空通道形成真空结构，对坩埚周围的材料进行吸附，从而去除洒落的材料，并且将洒落的材料收集到收集腔体6，收集一段时间后再清理。这样，通过对坩埚的周围洒落的材料根据需要进行清理，避免坩埚周围洒落材料引起micro oled基板出现particle问题。本实用新型所述的micro oled制备材料蒸镀装置，在确保挡板能够根据需要覆盖蒸发源上的坩埚的前提下，还能够有效达到清洁坩埚周围洒落材料的目的，提高产品良率。
25.所述的挡板4包括挡板本体41和挡板管道42，挡板管道42一端连通挡板本体41，挡板管道42另一端通过法兰管道7连通法兰盘10，法兰盘10连通旋转执行器5。上述结构，挡板本体的形状和尺寸对应于坩埚的形状和尺寸，能够可靠实现对坩埚遮挡。而挡板管道42用于在真空吸附时，使得真空吸附的材料通过中空通道进行移送。
26.所述的挡板4的挡板本体41为圆柱体结构，挡板本体41下部设置开口部。上述结构，挡板本体41下部设置开口部，用于材料吸入。
27.所述的法兰盘10包括上法兰11和下法兰12，上法兰11与法兰管道7为一体式结构。所述的旋转执行器5为电机，下法兰12与旋转执行器5的转轴51为一体式结构，转轴51内部为中空通道，转轴51下端延伸到收集腔体6内部。上述结构，在旋转执行器转动时，法兰盘、挡板与旋转执行器同步转动，实现挡板位于坩埚上部或者挡板离开坩埚上部，实现对坩埚的遮挡或不再遮挡，而从挡板到旋转执行器部位，行程中空通道。仅仅对坩埚进行遮挡而不需要对坩埚周围洒落的材料进行清理时，不启动真空泵。而需要对坩埚周围洒落的材料进行清理时，则启动真空泵。因此，本技术的装置，有两种作用。
28.所述的蒸发源1上设置坩埚放置腔13。上述结构，每个蒸发源对应设置一个坩埚放置腔13，用于放置对应的坩埚。
29.所述的上法兰11和下法兰12通过多个螺栓连接，上法兰11和下法兰12之间设置密封垫圈。上述结构，螺栓实现上法兰和下法兰的固定连接，并且可以根据需要拆卸。密封圈确保连接时的密封。
30.所述的旋转执行器5固定安装在装置基座上。所述的蒸发源1固定在装置基座上。每个坩埚2配备一个蒸镀部件3。上述结构，每个蒸发源对应设置一个蒸镀部件，从而确保对每个蒸发源上的坩埚都能够分别实现遮挡和材料清理。这样，确保蒸发源和坩埚作业可靠性。
31.本实用新型所述的micro oled制备材料蒸镀装置，使用时，当不需要使用某蒸发源时，与该蒸发源对应的旋转执行器旋转，使得对应的挡板覆盖在该蒸发源上的坩埚上部，形成对坩埚的遮挡，使得坩埚中的材料蒸镀在挡板上。当需要使用某坩埚时，对应的旋转执行器转动，带动挡板移开，离开对应的坩埚，放置micro oled基板到该坩埚上，使坩埚中的材料蒸镀在基板上。当对应坩埚的周围洒落了较多的材料时，对材料进行清理。此时，将对应的挡板移动到位于坩埚上部位置，通过与真空泵连接的控制部件启动真空泵，真空泵产生真空，因为从挡板本体到收集腔体之间为中空通道，当真空泵产生真空时，整个中空通道形成真空结构，对坩埚周围的材料进行吸附，从而去除洒落的材料，并且将洒落的材料收集到收集腔体，收集一段时间后再清理。这样，通过对坩埚的周围洒落的材料根据需要进行清理，从而避免坩埚周围洒落材料引起micro oled基板出现particle问题。
32.上面结合附图对本实用新型进行了示例性的描述，显然本实用新型具体的实现并
不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本实用新型的保护范围内。

技术特征：
1.一种micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：蒸发源(1)上设置坩埚(2)，蒸镀部件(3)包括挡板(4)、旋转执行器(5)，挡板(4)后端连通旋转执行器(5)，挡板(4)内部和旋转执行器(5)内部均设置中空通道，挡板(4)内部的中空通道和旋转执行器(5)内部的中空通道连通，旋转执行器(5)连通收集腔体(6)，收集腔体(6)内部设置真空泵。2.根据权利要求1所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：所述的挡板(4)包括挡板本体(41)和挡板管道(42)，挡板管道(42)一端连通挡板本体(41)，挡板管道(42)另一端通过法兰管道(7)连通法兰盘(10)，法兰盘(10)连通旋转执行器(5)。3.根据权利要求2所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：所述的挡板(4)的挡板本体(41)为圆柱体结构，挡板本体(41)下部设置开口部。4.根据权利要求2所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：所述的法兰盘(10)包括上法兰(11)和下法兰(12)，上法兰(11)与法兰管道(7)为一体式结构。5.根据权利要求4所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：所述的旋转执行器(5)为电机，下法兰(12)与旋转执行器(5)的转轴(51)为一体式结构，转轴(51)内部为中空通道，转轴(51)下端延伸到收集腔体(6)内部。6.根据权利要求1或2所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：每个所述的蒸发源(1)上设置坩埚放置腔(13)。7.根据权利要求4所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：所述的上法兰(11)和下法兰(12)通过多个螺栓连接，上法兰(11)和下法兰(12)之间设置密封垫圈。8.根据权利要求1或2所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：所述的旋转执行器(5)固定安装在装置基座上。9.根据权利要求8所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：所述的蒸发源(1)固定在装置基座上。10.根据权利要求1或2所述的micro oled制备材料蒸镀装置，其特征在于：每个坩埚(2)配备一个蒸镀部件(3)。

技术总结
本实用新型属于Micro OLED制备技术领域的Micro OLED制备材料蒸镀装置。蒸发源(1)上设置坩埚(2)，蒸镀部件(3)包括挡板(4)、旋转执行器(5)，挡板(4)后端连通旋转执行器(5)，挡板(4)内部和旋转执行器(5)内部均设置中空通道，挡板(4)内部的中空通道和旋转执行器(5)内部的中空通道连通，旋转执行器(5)连通收集腔体(6)，收集腔体(6)内部设置真空泵。本实用新型所述的Micro OLED制备材料蒸镀装置，在确保挡板能够根据需要覆盖蒸发源上的坩埚的前提下，还能够有效达到清洁坩埚周围洒落材料的目的，提高产品良率。提高产品良率。提高产品良率。


技术研发人员：李成志 李维维 曹君 孙晨
受保护的技术使用者：安徽熙泰智能科技有限公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/8/13