一种硅片无接触传输产线上的导向装置的制作方法

1.本实用新型属于硅片传输技术领域，尤其涉及一种硅片无接触传输产线上的导向装置。


背景技术：

2.硅片在生产加工过程中，需要采用无接触传输产线进行生产加工，以避免硅片在生产加工过程中受到污染，而无接触传输产线在传输过程中会使硅片漂浮于无接触传输产线的气浮块上方，当硅片漂浮于无接触传输产线的上方时，硅片左右两侧无受力点，硅片会出现左右偏转的情形，导致硅片不受控制，使硅片无法正常进行传输流程。


技术实现要素：

3.本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种硅片无接触传输产线上的导向装置，以解决现有技术中存在的问题。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种硅片无接触传输产线上的导向装置，设置于无接触传输产线的型材上，所述导向装置包括
5.挡块，所述挡块安装于无接触传输产线的皮带上，对传输硅片进行阻挡；
6.导向板，所述导向板固定于型材两侧，所述导向板上设置有导向轮，所述导向轮包括安装杆与顶轮，所述顶轮位于所述安装杆顶部且顶轮的顶部高度高于传输硅片的上表面高度。
7.挡块能够对前后的传输硅片进行阻隔，使传输硅片能够逐一传输，导向板上安装的导向轮能够对传输硅片进行导向。
8.本实用新型一个较佳实施例中，所述导向板通过一组螺钉与型材固定连接，所述安装杆通过另一组螺钉与所述导向板固定连接。
9.导向板与安装杆分别通过螺钉进行安装，稳定性好，并且易于拆卸。
10.本实用新型一个较佳实施例中，所述导向板上设有腰孔，所述安装杆安装于所述腰孔内。
11.腰孔的存在，便于安装杆进行安装。
12.本实用新型一个较佳实施例中，所述腰孔沿所述导向板长度方向间隔分布。
13.多个腰孔的存在，使安装杆可通过导向板上的腰孔自由调整间距，以匹配不同规格硅片的传输需求。
14.本实用新型一个较佳实施例中，所述导向轮数量为多个且沿所述导向板长度方向间隔设置。
15.多个导向轮能够更好地对传输硅片进行导向。
16.本实用新型一个较佳实施例中，所述顶轮为弹性轮，对传输硅片进行导向。
17.弹性轮能够有效避免传输硅片在传输过程中出现受损的情况。
18.本实用新型一个较佳实施例中，所述顶轮与所述安装杆顶部活动连接，所述顶轮
以所述安装杆为中心进行转动。
19.转动的顶轮能够对传输硅片进行有效的导向操作。
20.本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：
21.本实用新型提供的导向装置，能够从传输硅片的左右两端对传输硅片进行导向限制，避免硅片在无接触传输产线上出现左右晃动的情况，在运动的过程中始终有两个或两个以上的导向轮控制传输硅片两端的传输稳定，使硅片能匀速稳定的进行直线运动。
附图说明
22.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
23.图1为本实用新型优选实施例的整体结构示意图；
24.图2为本实用新型优选实施例的局部结构示意图；
25.图3为本实用新型优选实施例导向轮的结构示意图；
26.图中：100、型材；200、传输硅片；
27.10、挡块；20、导向板；21、导向轮；211、安装杆；212、顶轮；22、腰孔。
具体实施方式
28.以下将以图式揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
29.另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本实用新型，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
30.结合图1至图3所示，本实施例提供了一种硅片无接触传输产线上的导向装置，该导向装置设置于无接触传输产线的型材100上，能够从传输硅片200的左右两端对传输硅片200进行导向限制，避免硅片在无接触传输产线上出现左右晃动的情况。
31.该导向装置包括挡块10与导向板20，挡块10安装于无接触传输产线的皮带上，对传输硅片200进行阻挡，导向板20固定于型材100两侧，导向板20上设置有导向轮21，导向轮21包括安装杆211与顶轮212，顶轮212位于所述安装杆211顶部且顶轮212的顶部高度高于传输硅片的上表面高度，顶轮212能够对传输硅片200进行有效的导向，本实施例中挡块10能够对前后的传输硅片200进行阻隔，使传输硅片200能够逐一传输，导向板20上安装的导向轮21能够对传输硅片200进行导向，导向板20通过一组螺钉与型材100固定连接，安装杆211通过另一组螺钉与导向板20固定连接，导向板20与安装杆211分别通过螺钉进行安装，稳定性好，并且易于拆卸。
32.在本实施例中，导向板20上设有腰孔，安装杆211安装于腰孔内，腰孔的存在，便于
安装杆211进行螺钉安装。
33.具体地，腰孔沿导向板20长度方向间隔分布，多个腰孔的存在，使安装杆211可通过导向板20上的腰孔自由调整间距，以匹配不同规格硅片的传输需求。
34.在本实施例中，导向轮21数量为多个且沿导向板20长度方向间隔设置，多个导向轮21能够更好地对传输硅片200进行导向，而顶轮212为弹性轮，对传输硅片200进行导向，采用弹性轮作为顶轮212，能够有效避免传输硅片200在传输过程中出现受损的情况。
35.具体地，顶轮212与安装杆211顶部活动连接，顶轮212以安装杆211为中心进行转动，转动的顶轮212能够对传输硅片200进行有效的导向操作。
36.本实施例在具体实施过程中，传输硅片200在无接触传输产线上进行传输，由挡块10进行阻挡限位，使传输硅片200逐一进行传输，在传输硅片200传输过程中，位于导向板20上的导向轮21对传输硅片200的两端进行导向，以保证传输硅片200在传输过程中的稳定性。
37.总而言之，本实用新型提供的导向装置，能够从传输硅片200的左右两端对传输硅片200进行导向限制，避免硅片在无接触传输产线上出现左右晃动的情况，在运动的过程中始终有两个或两个以上的导向轮21控制传输硅片200两端的传输稳定，使传输硅片200能匀速稳定的进行直线运动。
38.虽然上面已经参考各种实施例描述了本实用新型，但是应当理解，在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以进行许多改变和修改。也就是说上面讨论的方法，系统或设备等均是示例。各种配置可以适当地省略，替换或添加各种过程或组件。例如，在替代配置中，可以以与所描述的顺序不同的顺序执行方法，和/或可以添加，省略和/或组合各种阶段。而且，关于某些配置描述的特征可以以各种其他配置组合。可以以类似的方式组合配置的不同方面和元素。此外，随着技术的发展许多元素仅是示例而不限制本公开或权利要求的范围。
39.在说明书中给出了具体细节以提供对包括实现的示例性配置的透彻理解。然而，可以在没有这些具体细节的情况下实践配置例如，已经示出了众所周知的电路、过程、算法、结构和技术而没有不必要的细节，以避免模糊配置。该描述仅提供示例配置，并且不限制权利要求的范围，适用性或配置。相反，前面对配置的描述将为本领域技术人员提供用于实现所描述的技术的使能描述。在不脱离本公开的精神或范围的情况下，可以对元件的功能和布置进行各种改变。
40.此外，尽管每个操作可以将操作描述为顺序过程，但是许多操作可以并行或同时执行。另外，可以重新排列操作的顺序。一个过程可能有其他步骤。此外，可以通过硬件、软件、固件、中间件、代码、硬件描述语言或其任何组合来实现方法的示例。当在软件、固件、中间件或代码中实现时，用于执行必要任务的程序代码或代码段可以存储在诸如存储介质的非暂时性计算机可读介质中，并通过处理器执行所描述的任务。
41.综上，其旨在上述详细描述被认为是例示性的而非限制性的，并且应当理解，权利要求(包括所有等同物)旨在限定本实用新型的精神和范围。以上这些实施例应理解为仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的保护范围。在阅读了本实用新型的记载的内容之后，技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等效变化和修饰同样落入本实用新型权利要求所限定的范围。

技术特征：
1.一种硅片无接触传输产线上的导向装置，设置于无接触传输产线的型材(100)上，其特征在于，所述导向装置包括挡块(10)，所述挡块(10)安装于无接触传输产线的皮带上，对传输硅片(200)进行阻挡；导向板(20)，所述导向板(20)固定于型材(100)两侧，所述导向板(20)上设置有导向轮(21)，所述导向轮(21)包括安装杆(211)与顶轮(212)，所述顶轮(212)位于所述安装杆(211)顶部且顶轮(212)的顶部高度高于传输硅片的上表面高度。2.根据权利要求1所述的一种硅片无接触传输产线上的导向装置，其特征在于，所述导向板(20)通过一组螺钉与型材(100)固定连接，所述安装杆(211)通过另一组螺钉与所述导向板(20)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片无接触传输产线上的导向装置，其特征在于，所述导向板(20)上设有腰孔，所述安装杆(211)安装于所述腰孔内。4.根据权利要求3所述的一种硅片无接触传输产线上的导向装置，其特征在于，所述腰孔沿所述导向板(20)长度方向间隔分布。5.根据权利要求1所述的一种硅片无接触传输产线上的导向装置，其特征在于，所述导向轮(21)数量为多个且沿所述导向板(20)长度方向间隔设置。6.根据权利要求1所述的一种硅片无接触传输产线上的导向装置，其特征在于，所述顶轮(212)为弹性轮，对传输硅片(200)进行导向。7.根据权利要求1所述的一种硅片无接触传输产线上的导向装置，其特征在于，所述顶轮(212)与所述安装杆(211)顶部活动连接，所述顶轮(212)以所述安装杆(211)为中心进行转动。

技术总结
本实用新型公开了一种硅片无接触传输产线上的导向装置，属于硅片传输技术领域，该导向装置设置于无接触传输产线的型材上，导向装置包括挡块与导向板，所述挡块安装于型材上，对传输硅片进行阻挡；所述导向板固定于型材两侧，所述导向板上设置有导向轮，所述导向轮包括安装杆与顶轮，所述顶轮位于所述安装杆顶部且与传输硅片处于相同高度。本实用新型提供的导向装置，能够从传输硅片的左右两端对传输硅片进行导向限制，避免硅片在无接触传输产线上出现左右晃动的情况，在运动的过程中始终有两个或两个以上的导向轮控制传输硅片两端的传输稳定，使硅片能匀速稳定的进行直线运动。使硅片能匀速稳定的进行直线运动。使硅片能匀速稳定的进行直线运动。


技术研发人员：朱明亮 代智杰 韩广龙
受保护的技术使用者：上海昶火微电子科技有限公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/8/13