一种摄像系统旋转校正装置及固晶机的制作方法

1.本实用新型涉及固晶技术领域，尤其涉及一种摄像系统旋转校正装置及固晶机。


背景技术：

2.在固晶技术领域，如图3所示，多个晶圆布置在蓝膜上，蓝膜安装在晶圆环3上，晶圆环3安装在晶圆运动台上，晶圆运动台包括y工作台4和x工作台5，在取晶环节中，相机1、晶圆和顶针6要在一条线上，有的还要求角度一样，并通过吸嘴2吸取晶圆。因为要求角度一样，而一张蓝膜上的晶圆做不到每颗晶圆的角度都一样，所以，大多是将晶圆环3进行旋转，从而调整晶圆的角度，但是8寸及12寸晶圆太大，在晶圆运动台上增加一个旋转机构太重。
3.而且，现有技术中旋转晶圆环3的方式还存在如下的缺点：耗时，且精度不稳定。因现有工艺中由于原材料面积大且每个位置的差异，导致在生产过程中晶圆环3要频繁旋转校正，晶圆运行台也要跟随着较大的平移校正，这样效率就大大降低，且不稳定。


技术实现要素：

4.为了解决现有技术中旋转晶圆环，导致工作效率低、且不稳定的问题，本实用新型提供了一种摄像系统旋转校正装置及固晶机。
5.本实用新型提供了一种摄像系统旋转校正装置，包括相机、旋转机构、驱动机构，所述相机安装在所述旋转机构上，所述驱动机构与所述旋转机构相连，所述驱动机构用于驱动所述旋转机构进行旋转。
6.作为本实用新型的进一步改进，所述旋转机构包括轴承、第一同步轮、第二同步轮、同步带，所述第二同步轮与所述驱动机构相连，通过所述驱动机构驱动所述第二同步轮转动，所述相机安装在所述轴承上，所述同步带一端安装在所述第一同步轮上，所述同步带另一端与所述第二同步轮相连，所述第一同步轮上安装有所述相机，所述驱动机构驱动所述同步带转动时会带动所述第一同步轮转动，所述第一同步轮转动时带动所述相机旋转。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述驱动机构为电机。
8.作为本实用新型的进一步改进，该顶摄像系统旋转校正装置还包括固定座、电机固定板，所述电机安装在所电机固定板上，所述电机固定板安装在所述固定座上，所述第二同步轮与所述电机相连。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述轴承为高精度交叉圆柱轴承，所述同步带为高精度刚性同步带,所述第一同步轮及第二同步轮为高精度同步轮。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述电机为高精度闭环步进电机。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述高精度交叉圆柱轴承为iko crbc4010uu轴承，所述高精度刚性同步带为盖茨聚氨酯同步带。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述高精度闭环步进电机为兴丰元42闭环步进fy42ec200bc1。
13.作为本实用新型的进一步改进，该摄像系统旋转校正装置还包括镜筒、光源，所述
相机、所述镜筒和所述光源组装在一起构成摄像系统，所述摄像系统安装在所述轴承上。
14.本实用新型还提供了一种固晶机，该固晶机包括平移工作台、以及本实用新型所述的摄像系统旋转校正装置，所述摄像系统旋转校正装置安装在所述平移工作台上。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述平移工作台包括第一平移工作台和第二平移工作台，所述第二平移工作台用于横向移动，所述第一平移工作台用于在所述第二平移工作台上进行纵向移动，摄像系统旋转校正装置安装在所述第一平移工作台或所述第二平移工作台上。
16.本实用新型的有益效果是：本实用新型通过高精度旋转相机，来达到相机中心与晶圆同心，来确保每次吸取时精度的一致性；由于本实用新型通过旋转相机的方式使相机、晶圆和顶针在一条线上，从而无需旋转晶圆环，提高了工作效率，而且稳定性更好。
附图说明
17.图1是摄像系统旋转校正装置轴视图；
18.图2是摄像系统旋转校正装置侧视图；
19.图3是背景技术的原理示意图。
具体实施方式
20.如图1、2所示，本实用新型公开了一种摄像系统旋转校正装置，包括相机1、旋转机构、驱动机构，所述相机1安装在所述旋转机构上，所述驱动机构与所述旋转机构相连，所述驱动机构用于驱动所述旋转机构进行旋转。
21.所述旋转机构包括轴承5、第一同步轮6、第二同步轮10、同步带8，所述第二同步轮10与所述驱动机构相连，通过所述驱动机构驱动所述第二同步轮10转动，所述相机1安装在所述轴承5上，所述同步带8一端安装在所述第一同步轮6上，所述同步带8另一端与所述第二同步轮10相连，所述第一同步轮6上安装有所述相机1，所述驱动机构驱动所述同步带8转动时会带动所述第一同步轮6转动，所述第一同步轮6转动时带动所述相机1旋转，确保精度的一致性
22.所述驱动机构为电机4，电机4为高精度闭环步进电机。
23.该顶摄像系统旋转校正装置还包括固定座7、电机固定板11，所述电机4安装在所电机固定板11上，所述电机固定板11安装在所述固定座7上，所述第二同步轮10与所述电机4相连。
24.所述轴承5为高精度交叉圆柱轴承，所述同步带8为高精度刚性同步带,所述第一同步轮6及第二同步轮10为高精度同步轮。
25.所述高精度交叉圆柱轴承为iko crbc 4010uu轴承，或与这种轴承精度及原理相同的其他品牌。所述高精度刚性同步带为盖茨聚氨酯同步带，或与这种皮带精度相同的其他品牌。
26.所述高精度闭环步进电机为兴丰元42闭环步进fy42ec200bc1，或与这种马达精度及原理相同的其他品牌。
27.该摄像系统旋转校正装置还包括镜筒、光源，所述相机1、所述镜筒和所述光源组装在一起构成摄像系统，所述摄像系统安装在所述轴承5上。该摄像系统旋转校正装置还包
括固定座7，所述轴承5安装在所述固定座7上。
28.本实用新型的有益效果：1.采用本实用新型的摄像系统旋转校正装置不仅封装制程稳定，而且大大提高了生产效率；2.本实用新型的摄像系统旋转校正装置通过高精度旋转相机1，来达到相机1的中心与原材料ic、晶片同心，确保了每次吸取时精度的一致性。
29.本实用新型还公开了一种固晶机，该固晶机包括平移工作台、以及本实用新型的摄像系统旋转校正装置，所述摄像系统旋转校正装置安装在所述平移工作台上。
30.所述平移工作台包括第一平移工作台2和第二平移工作台3，所述第二平移工作台3用于横向移动，所述第一平移工作台2用于在所述第二平移工作台3上进行纵向移动，摄像系统旋转校正装置安装在所述第一平移工作台2或所述第二平移工作台3上。摄像系统旋转校正装置安装在第一平移工作台2和第二平移工作台)上，通过平移工作台使摄像系统旋转校正装置进行高精度位置平移。
31.以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种摄像系统旋转校正装置，其特征在于：包括相机（1）、旋转机构、驱动机构，所述相机（1）安装在所述旋转机构上，所述驱动机构与所述旋转机构相连，所述驱动机构用于驱动所述旋转机构进行旋转。2.根据权利要求1所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：所述旋转机构包括轴承（5）、第一同步轮（6）、第二同步轮（10）、同步带（8），所述第二同步轮（10）与所述驱动机构相连，通过所述驱动机构驱动所述第二同步轮（10）转动，所述相机（1）安装在所述轴承（5）上，所述同步带（8）一端安装在所述第一同步轮（6）上，所述同步带（8）另一端与所述第二同步轮（10）相连，所述第一同步轮（6）上安装有所述相机（1），所述驱动机构驱动所述同步带（8）转动时会带动所述第一同步轮（6）转动，所述第一同步轮（6）转动时带动所述相机（1）旋转。3.根据权利要求2所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：所述驱动机构为电机（4）。4.根据权利要求3所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：该摄像系统旋转校正装置还包括固定座（7）、电机固定板（11），所述电机（4）安装在所电机固定板（11）上，所述电机固定板（11）安装在所述固定座（7）上，所述第二同步轮（10）与所述电机（4）相连。5.根据权利要求2所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：所述轴承（5）为高精度交叉圆柱轴承，所述同步带（8）为高精度刚性同步带,所述第一同步轮（6）及第二同步轮（10）为高精度同步轮。6.根据权利要求3所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：所述电机（4）为高精度闭环步进电机。7.根据权利要求5所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：所述高精度交叉圆柱轴承为iko crbc 4010 uu轴承，所述高精度刚性同步带为盖茨 聚氨酯同步带。8.根据权利要求6所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：所述高精度闭环步进电机为兴丰元 42闭环步进fy42ec200bc1。9.根据权利要求2所述的摄像系统旋转校正装置，其特征在于：该摄像系统旋转校正装置还包括镜筒、光源，所述相机（1）、所述镜筒和所述光源组装在一起构成摄像系统，所述摄像系统安装在所述轴承（5）上。10.一种固晶机，其特征在于：该固晶机包括平移工作台、以及权利要求1-9任一项所述的摄像系统旋转校正装置，所述摄像系统旋转校正装置安装在所述平移工作台上。11.根据权利要求10所述的固晶机，其特征在于：所述平移工作台包括第一平移工作台（2）和第二平移工作台（3），所述第二平移工作台（3）用于横向移动，所述第一平移工作台（2）用于在所述第二平移工作台（3）上进行纵向移动，摄像系统旋转校正装置安装在所述第一平移工作台（2）或所述第二平移工作台（3）上。

技术总结
本实用新型提供了一种摄像系统旋转校正装置及固晶机，该摄像系统旋转校正装置包括相机、旋转机构、驱动机构，所述相机安装在所述旋转机构上，所述驱动机构与所述旋转机构相连，所述驱动机构用于驱动所述旋转机构进行旋转。本实用新型的有益效果是：本实用新型通过高精度旋转相机，来达到相机中心与晶圆同心，来确保每次吸取时精度的一致性；由于本实用新型通过旋转相机的方式使相机、晶圆和顶针在一条线上，从而无需旋转晶圆环，提高了工作效率，而且稳定性更好。稳定性更好。稳定性更好。


技术研发人员：陈官海 谢伟锋
受保护的技术使用者：深圳市卓兴先进封装技术有限公司
技术研发日：2022.10.10
技术公布日：2023/8/13