一种用于多规格花篮的抓取机构的制作方法

一种用于多规格花篮的抓取机构
1.技术领域：
2.本实用新型涉及一种芯片清洗设备的生产技术领域，尤其是一种用于多规格花篮的抓取机构。
3.

背景技术：

4.随着集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件的体积正变得越来越小，这也导致了硅片上非常微小的颗粒如果没有清洗干净，也会影响半导体器件的制造和性能，所以，硅片的清洗也变得越来越重要。
5.目前，硅片的清洗大多是放置在花篮中进行清洗，根据不同规格的硅片会选择不同规格的花篮，然而，现有的花篮抓取机构正常都是单一规格的抓取机构或者是两种相邻规格之间的花篮抓取机构，在面对花篮规格跨度较大时，这种单一规格的抓取机构很难满足不同规格花篮的抓取需要。
6.

技术实现要素：

7.本实用新型的目的提供一种用于多规格花篮的抓取机构，解决上述现有技术问题中的一个或者多个。
8.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于多规格花篮的抓取机构，其结构包括固定板，其创新点在于：其结构还包括两个活动杆以及设置在固定板上驱动件，固定板上设有和若干花篮排列位置对齐的校准线，两个活动杆的一端可活动的设置在固定板上且对称位于校准线的两侧，驱动件驱动两个活动杆在固定板上同步进行相向运动或者背向运动，两个活动杆的另一端均延伸在固定板的外侧且均设有若干垂直向下的u型挂杆；
9.u型挂杆和活动杆的连接处设有光电传感器，光电传感器用于检测花篮的尺寸，其中任意一个活动杆上设有对射传感器，对射传感器用于检测两个活动杆之间的距离，驱动件上设有控制器，光电传感器、对射传感器均和控制器电连接。
10.进一步的，上述固定板上设有两个相互平行的滑轨，滑轨垂直于校准线，活动杆的底部设有两个滑块，两个滑块分别一一滑动设置在滑轨上，两个活动杆的底部均设有驱动块，驱动块和两个滑块一体成型，驱动块悬空位于固定板的上方，两个驱动块的中心位置分别设有正螺纹孔、反螺纹孔，驱动件上设有丝杆，丝杆分别作用于正螺纹孔、反螺纹孔，使得两个活动杆在固定板上同步进行相向运动或者背向运动。
11.进一步的，上述驱动件包括旋转电机、分别设置在固定板上的第一固定块、第二固定块，第一固定块上设有第一固定孔，第二固定块上设有第二固定孔，第一固定孔、正螺纹孔、反螺纹孔以及第二固定孔在同一条直线上，丝杆依次贯穿连接在第一固定孔、正螺纹孔、反螺纹孔以及第二固定孔上，旋转电机的输出端和丝杆之间连接有传送皮带。
12.进一步的，上述活动杆上设有若干垂直向下的条形板，u型挂杆的两端一一垂直固定在条形板的内部，光电传感器设置在条形板上。
13.本实用新型的有益效果在于：两个活动杆之间的距离能够随时根据花篮的尺寸进行调整，从而可以实现抓取不同尺寸的花篮，而且，在两个活动杆之间的距离进行调整时，驱动件时同步驱动两个活动杆进行相向运动或者反向运动，这种同步运动使得两个活动杆
始终能够对称在校准线的两侧，从而保证u型挂杆的抓取位置能够始终和排列的花篮进行对应，进而保证了花篮的持续抓取。
14.附图说明：
15.图1为本实用新型的顶部剖面图。
16.图2为本实用新型等轴测图。
17.具体实施方式：
18.为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
19.如图1到图2为本实用新型的一种具体实施方式，其结构包括固定板1，其结构还包括两个活动杆2以及设置在固定板1上驱动件3，固定板1上设有和若干花篮103排列位置对齐的校准线100，两个活动杆2的一端可活动的设置在固定板1上且对称位于校准线100的两侧，驱动件3驱动两个活动杆2在固定板1上同步进行相向运动或者背向运动，两个活动杆2的另一端均延伸在固定板1的外侧且均设有若干垂直向下的u型挂杆4；
20.u型挂杆4和活动杆2的连接处设有光电传感器101，光电传感器101用于检测花篮103的尺寸，其中任意一个活动杆2上设有对射传感器102，对射传感器102用于检测两个活动杆2之间的距离，驱动件3上设有控制器，光电传感器101、对射传感器102均和控制器电连接。
21.在本实用新型中，不同规格的花篮103是呈一条直线排列在清洗设备上，在将固定板1安装在清洗设备上时，将校准线100的位置和花篮103排列的位置进行对齐，在外界动力的驱动下，固定板1能够沿着花篮103的排列方向进行移动，从而使得u型挂杆4可以到达不同的花篮103位置，其次，在外界动力的驱动下，固定板1能够上下移动，u型挂杆4能够将抓取的花篮103远离清洗设备，其中，外界动力驱动固定板1上下移动或者横向移动属于现有技术，本实用新型不作具体展开描述。
22.在本实用新型中，根据不同规格的花篮103，u型挂杆4对花篮103进行抓取的工作原理如下：在u型挂杆4移动到其中一个花篮103的位置时，光电传感器101对此花篮103的尺寸进行检测，并将信号传递给控制器，控制器打开驱动件3，驱动件3驱动两个活动杆2在固定板1上进行相向运动或者背向运动，在两个活动杆2的运动过程中，对射传感器102随时检测两个活动杆2之间的距离，直到两个活动杆2之间的距离和光电传感器101检测的数据相对应，此时对射传感器102将信号传递给控制器，控制器关闭驱动件3，此时两个活动杆2之间的距离恰好对应花篮103的尺寸，从而可以实现将此尺寸的花篮103进行抓取。
23.在本实用新型中，两个活动杆2之间的距离能够随时根据花篮103的尺寸进行调整，从而可以实现抓取不同尺寸的花篮103，而且，在两个活动杆2之间的距离进行调整时，驱动件3时同步驱动两个活动杆2进行相向运动或者反向运动，这种同步运动使得两个活动杆2始终能够对称在校准线100的两侧，从而保证u型挂杆4的抓取位置能够始终和排列的花篮103进行对应，进而保证了花篮103的持续抓取。
24.在本实用新型中，作为优选方案，上述固定板1上设有两个相互平行的滑轨11，滑轨11垂直于校准线100，活动杆2的底部设有两个滑块21，两个滑块21分别一一滑动设置在滑轨11上，两个活动杆2的底部均设有驱动块22，驱动块22和两个滑块21一体成型，驱动块22悬空位于固定板1的上方，两个驱动块22的中心位置分别设有正螺纹孔221、反螺纹孔
222，驱动件3上设有丝杆5，丝杆5分别作用于正螺纹孔221、反螺纹孔222，使得两个活动杆2在固定板1上同步进行相向运动或者背向运动。
25.在本实用新型中，滑块21在滑轨11上的滑动，从而实现活动杆2在固定板1上的活动，保证了活动杆2在固定板1上活动的稳定性，其次，将正螺纹孔221、反螺纹孔222设置为相反的螺纹，当驱动件3驱动丝杆5进行转动时，丝杆5分别螺纹作用于正螺纹孔221、反螺纹孔222，从而实现两个活动杆2同步在固定板1上进行相向或者背向运动。
26.在本实用新型中，作为优选方案，上述驱动件3包括旋转电机31、分别设置在固定板1上的第一固定块32、第二固定块33，第一固定块32上设有第一固定孔321，第二固定块33上设有第二固定孔331，第一固定孔321、正螺纹孔221、反螺纹孔222以及第二固定孔331在同一条直线上，丝杆5依次贯穿连接在第一固定孔321、正螺纹孔221、反螺纹孔222以及第二固定孔331上，旋转电机31的输出端和丝杆5之间连接有传送皮带6。
27.在本实用新型中，驱动件3的工作原理如下：以旋转电机31为动力，通过传送皮带6带动丝杆5进行转动，从而带动两个活动杆2的同步运动，而第一固定块32、第二固定块33的位置设定分别对两个驱动块22之间的最远距离进行限定，此距离对应花篮103的最大尺寸。
28.在本实用新型中，作为优选方案，上述活动杆2上设有若干垂直向下的条形板7，u型挂杆4的两端一一垂直固定在条形板7的内部，光电传感器101设置在条形板7上。
29.在本实用新型中，在条形板7的底部开设插孔，将u型挂杆4的两个端部分别插入插孔的内部，从而方便u型挂杆4的固定，而且条形板7的设定方便将光电传感器101进行固定。
30.本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.一种用于多规格花篮的抓取机构，其结构包括固定板（1），其特征在于：其结构还包括两个活动杆（2）以及设置在所述固定板（1）上驱动件（3），所述固定板（1）上设有和若干花篮（103）排列位置对齐的校准线（100），两个所述活动杆（2）的一端可活动的设置在所述固定板（1）上且对称位于所述校准线（100）的两侧，所述驱动件（3）驱动两个所述活动杆（2）在所述固定板（1）上同步进行相向运动或者背向运动，两个所述活动杆（2）的另一端均延伸在所述固定板（1）的外侧且均设有若干垂直向下的u型挂杆（4）；所述u型挂杆（4）和所述活动杆（2）的连接处设有光电传感器（101），所述光电传感器（101）用于检测花篮（103）的尺寸，其中任意一个所述活动杆（2）上设有对射传感器（102），所述对射传感器（102）用于检测两个所述活动杆（2）之间的距离，所述驱动件（3）上设有控制器，所述光电传感器（101）、所述对射传感器（102）均和所述控制器电连接。2.根据权利要求1所述的一种用于多规格花篮的抓取机构，其特征在于：所述固定板（1）上设有两个相互平行的滑轨（11），所述滑轨（11）垂直于所述校准线（100），所述活动杆（2）的底部设有两个滑块（21），两个所述滑块（21）分别一一滑动设置在所述滑轨（11）上，两个所述活动杆（2）的底部均设有驱动块（22），所述驱动块（22）和两个所述滑块（21）一体成型，所述驱动块（22）悬空位于所述固定板（1）的上方，两个所述驱动块（22）的中心位置分别设有正螺纹孔（221）、反螺纹孔（222），所述驱动件（3）上设有丝杆（5），所述丝杆（5）分别作用于所述正螺纹孔（221）、反螺纹孔（222），使得两个所述活动杆（2）在所述固定板（1）上同步进行相向运动或者背向运动。3.根据权利要求2所述的一种用于多规格花篮的抓取机构，其特征在于：所述驱动件（3）包括旋转电机（31）、分别设置在所述固定板（1）上的第一固定块（32）、第二固定块（33），所述第一固定块（32）上设有第一固定孔（321），所述第二固定块（33）上设有第二固定孔（331），所述第一固定孔（321）、所述正螺纹孔（221）、所述反螺纹孔（222）以及所述第二固定孔（331）在同一条直线上，所述丝杆（5）依次贯穿连接在所述第一固定孔（321）、所述正螺纹孔（221）、所述反螺纹孔（222）以及所述第二固定孔（331）上，所述旋转电机（31）的输出端和所述丝杆（5）之间连接有传送皮带（6）。4.根据权利要求1所述的一种用于多规格花篮的抓取机构，其特征在于：所述活动杆（2）上设有若干垂直向下的条形板（7），所述u型挂杆（4）的两端一一垂直固定在所述条形板（7）的内部，所述光电传感器（101）设置在所述条形板（7）上。

技术总结
本实用新型公开了一种用于多规格花篮的抓取机构，其结构包括固定板，其结构还包括两个活动杆以及设置在固定板上驱动件，固定板上设有和若干花篮排列位置对齐的校准线，两个活动杆的一端可活动的设置在固定板上且对称位于校准线的两侧，驱动件驱动两个活动杆在固定板上同步进行相向运动或者背向运动，两个活动杆的另一端均延伸在固定板的外侧且均设有若干垂直向下的U型挂杆，U型挂杆和活动杆的连接处设有光电传感器，其中任意一个活动杆上设有对射传感器，驱动件上设有控制器，光电传感器、对射传感器均和控制器电连接，本实用新型能够对不同规格的花篮进行抓取。对不同规格的花篮进行抓取。对不同规格的花篮进行抓取。


技术研发人员：管选伟 孙国浩
受保护的技术使用者：江苏英思特半导体科技有限公司
技术研发日：2021.12.15
技术公布日：2023/8/13