碳化硅抛光液循环回收系统的制作方法

1.本实用新型涉及碳化硅抛光技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅抛光液循环回收系统。


背景技术：

2.目前碳化硅以及蓝宝石等在切磨抛工艺通常需要抛光，抛光液在抛光工艺在扮演着相当重要的角色，主要影响着晶片的质量与生产效率。目前的抛光液均是采用一次性排放，对于连续生产时抛光液的用量需求十分巨大，抛光抛光液单价高昂且废液均含有高锰酸钾，废液后续处理需要大量的资源与成本，成本高昂，且对环境造成较大负担。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的包括，例如，提供了一种碳化硅抛光液循环回收系统，其能够实现对抛光液的回收利用，降低制造成本和废液排放。
4.本实用新型的实施例可以这样实现：
5.第一方面，本实用新型提供一种碳化硅抛光液循环回收系统，包括抛光液供给桶、第一抛光机、抛光液回收桶和第二抛光机，所述抛光液供给桶设置有连接至所述第一抛光机的第一供液管，所述第一供液管用于向所述第一抛光机提供一次抛光液，且所述第一抛光机设置有连接至所述抛光液回收桶的第一回收管，所述第一回收管用于向所述抛光液回收桶提供所述第一抛光机产生的二次抛光液，所述抛光液回收桶设置有连接至所述第二抛光机的第二供液管，所述第二供液管用于向所述第二抛光机提供所述二次抛光液，且所述第二抛光机设置有连接至所述抛光液回收桶的第二回收管，所述第二回收管用于向所述抛光液回收桶提供所述第二抛光机产生的所述二次抛光液。
6.在可选的实施方式中，所述抛光液供给桶内设置有第一搅拌器，所述第一搅拌器用于搅拌位于所述抛光液供给桶内的所述一次抛光液；所述抛光液回收桶内设置有第二搅拌器，所述第二搅拌器用于搅拌位于所述抛光液回收桶内的所述二次抛光液。
7.在可选的实施方式中，所述抛光液供给桶内还设置有第一均匀度检测计，用于检测所述抛光液供给桶内所述一次抛光液的均匀度，所述第一均匀度检测计与所述第一搅拌器电连接，所述第一搅拌器还用于依据所述一次抛光液的均匀度调整搅拌速率；
8.所述抛光液供给桶内还设置有第二均匀度检测计，用于检测所述抛光液回收桶内所述二次抛光液的均匀度，所述第二均匀度检测计与所述第二搅拌器电连接，所述第二搅拌器还用于依据所述二次抛光液的均匀度调整搅拌速率。
9.在可选的实施方式中，所述碳化硅抛光液循环回收系统还包括恒温控制装置，所述恒温控制装置包括恒温液供液箱、第一恒温管和第二恒温管，所述恒温液供液箱同时与所述第一恒温管和所述第二恒温管连接，用于向所述第一恒温管和所述第二恒温管供给和回收恒温循环液，所述第一恒温管围设在所述抛光液供给桶的外壁上，所述第二恒温管围设在所述抛光液回收桶的外壁上。
10.在可选的实施方式中，所述抛光液回收桶内还设置有ph检测计和ph补偿装置，所述ph检测计与所述ph补偿装置电连接，所述ph检测计用于检测所述抛光液回收桶的ph值，所述ph补偿装置用于依据所述抛光液回收桶的ph值向所述抛光液回收桶加入ph添加剂。
11.在可选的实施方式中，所述第一供液管上设置有第一流量计和第一增压泵，所述第一流量计和所述第一增压泵电连接，所述第一流量计用于检测所述第一供液管内所述一次抛光液的流量，所述第一增压泵用于调整所述第一供液管的流量；
12.所述第二供液管上设置有第二流量计和第二增压泵，所述第二流量计和所述第二增压泵电连接，所述第二流量计用于检测所述第二供液管内所述二次抛光液的流量，所述第二增压泵用于调整所述第二供液管的流量。
13.在可选的实施方式中，所述抛光液供给桶上还设置有第一清洗控制器，所述第一清洗控制器与所述第一搅拌器和所述第一增压泵电连接，用于在抛光完成后周期性地启动所述第一搅拌器和所述第一增压泵；
14.所述抛光液回收桶上还设置有第二清洗控制器，所述第二清洗控制器与所述第二搅拌器和所述第二增压泵电连接，用于在抛光完成后周期性地启动所述第二搅拌器和所述第二增压泵。
15.在可选的实施方式中，所述抛光液供给桶和所述抛光液回收桶上均设置有加湿组件，所述加湿组件用于向所述抛光液供给桶或所述抛光液回收桶内喷洒湿氮气。
16.在可选的实施方式中，所述加湿组件包括氮气管、供水管和加湿喷头，所述氮气管和所述供水管均连接于所述加湿喷头，所述加湿喷头内设置有混合腔，所述混合腔内设置有加湿帘，所述供水管用于向所述加湿帘喷水，所述氮气管用于向所述混合腔注入氮气。
17.在可选的实施方式中，所述抛光液回收桶的顶端设置有溢流管，所述溢流管用于排出多余的所述二次抛光液。
18.本实用新型实施例的有益效果包括，例如：
19.本实用新型实施例提供了一种碳化硅抛光液循环回收系统，通过设置抛光液供给桶来向第一抛光机提供一次抛光液，并通过设置抛光液回收桶来对第一抛光机产生的废液进行回收，并作为二次抛光液供给至第二抛光机，再将第二抛光机产生的废液直接回收利用。在实际抛光时，首先向抛光液供给桶中注入抛光液，即注入一次抛光液，通过第一供液管向第一抛光机提供一次抛光液，第一抛光机利用一次抛光液完成抛光作业，所产生的废液通过第一回收管进入抛光液回收桶，作为二次抛光液，通过第二供液管向第二抛光机提供二次抛光液，第二抛光机利用二次抛光液完成抛光作业，最后产生的废液则再次通过第二回收管进入抛光液回收桶，循环利用。相较于现有技术，本实用新型提供的碳化硅抛光液循环回收系统，能够实现对抛光液的回收利用，降低制造成本和废液排放。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
21.图1为本实用新型提供的碳化硅抛光液循环回收系统的结构示意图；
22.图2为图1中抛光液供给桶的连接结构示意图；
23.图3为图1中抛光液回收桶的连接结构示意图；
24.图4为本实用新型其他较佳的实施例中抛光液供给桶的结构示意图；
25.图5为图1中恒温控制装置的示意图；
26.图6为图1中抛光液回收桶的结构示意图；
27.图7为图1中抛光液供给桶与第一抛光机的连接结构示意图；
28.图8为图1中抛光液回收桶与第二抛光机的连接结构示意图；
29.图9为本实用新型其他较佳的实施例中抛光液供给桶与第一抛光机的连接结构示意图；
30.图10为图1中加湿组件的结构示意图。
31.图标：100-碳化硅抛光液循环回收系统；110-抛光液供给桶；111-第一供液管；113-第一搅拌器；115-第一均匀度检测计；1151-激光发射器；1153-激光接收器；120-第一抛光机；121-第一回收管；130-抛光液回收桶；131-第二供液管；133-第二搅拌器；135-第二均匀度检测计；137-溢流管；138-ph检测计；139-ph补偿装置；140-第二抛光机；141-第二回收管；150-恒温控制装置；151-恒温液供液箱；153-第一恒温管；155-第二恒温管；160-第一流量计；161-第一增压泵；163-第一清洗控制器；165-第一振动器；170-第二流量计；171-第二增压泵；173-第二清洗控制器；180-加湿组件；181-氮气管；183-供水管；185-加湿喷头；187-混合腔；189-加湿帘。
具体实施方式
32.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
33.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
35.在本实用新型的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
36.此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
37.正如背景技术中所公开的，现有技术中的抛光工艺，通常是直接将抛光液一次性排出，并没有进行重复利用，由于抛光液单价高昂且废液均含有高锰酸钾，废液后续处理需
要大量的资源与成本。
38.此外，现有技术中的供液系统，存在抛光液均匀度较低、研磨流量难以控制以及研磨温度难以把控等问题，影响抛光作业的正常进行。
39.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种新型的碳化硅抛光液循环回收系统，下面对该碳化硅抛光液循环回收系统进行详细说明，需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例中的特征可以相互结合。
40.请参考图1，本实施例提供一种碳化硅抛光液循环回收系统100，能够实现对抛光液的回收利用，降低制造成本和废液排放，同时能够提升抛光液均匀度并合理调整研磨流量和温度，保证抛光液各项参数均在正常范围内，保证抛光作业的正常进行。
41.本实施例提供的碳化硅抛光液循环回收系统100，包括抛光液供给桶110、第一抛光机120、抛光液回收桶130和第二抛光机140，抛光液供给桶110设置有连接至第一抛光机120的第一供液管111，第一供液管111用于向第一抛光机120提供一次抛光液，第一抛光机120通过一次抛光液实现抛光，且第一抛光机120设置有连接至抛光液回收桶130的第一回收管121，第一回收管121用于向抛光液回收桶130提供第一抛光机120产生的二次抛光液，抛光液回收桶130设置有连接至第二抛光机140的第二供液管131，第二供液管131用于向第二抛光机140提供二次抛光液，第二抛光机140通过二次抛光液实现抛光，且第二抛光机140设置有连接至抛光液回收桶130的第二回收管141，第二回收管141用于向抛光液回收桶130提供第二抛光机140产生的二次抛光液。
42.需要说明的是，在实际抛光时，首先向抛光液供给桶110中注入抛光液，即注入一次抛光液，该一次抛光液为特殊制剂，能够同时适用于精抛光和粗抛光，通过第一供液管111向第一抛光机120提供一次抛光液，第一抛光机120利用一次抛光液完成抛光作业，所产生的废液通过第一回收管121进入抛光液回收桶130，作为二次抛光液，通过第二供液管131向第二抛光机140提供二次抛光液，第二抛光机140利用二次抛光液完成抛光作业，最后产生的废液则再次通过第二回收管141进入抛光液回收桶130，循环利用。其中，第一抛光机120产生的抛光液采用一次性排放，并利用抛光液回收桶130进行回收，而抛光液回收桶130则可以同时对第二抛光机140产生的抛光液进行回收，实现循环利用。
43.在本实施例中，抛光液供给桶110内设置有第一搅拌器113，第一搅拌器113用于搅拌位于抛光液供给桶110内的一次抛光液；抛光液回收桶130内设置有第二搅拌器133，第二搅拌器133用于搅拌位于抛光液回收桶130内的二次抛光液。通过设置第一搅拌器113和第二搅拌器133，能够实现抛光液供给桶110和抛光液回收桶130内抛光液的均匀搅拌，从而使得抛光液混合均匀，保证抛光效果。
44.需要说明的是，本实施例中抛光液供给桶110内的抛光液由外部进行添加，而抛光液回收桶130内的抛光液则无需进行添加液体，只需要靠第一抛光机120和第二抛光机140排出部分进行补充即可。
45.在本实施例中，抛光液回收桶130的顶端设置有溢流管137，溢流管137用于排出多余的二次抛光液。具体地，抛光液回收桶130可以直接回收第一抛光机120产生的抛光液，同时可以回收第二抛光机140排出的抛光液，而当抛光液回收桶130中液面高度达到溢流管137高度时，多余的抛光液则可以通过溢流管137排出，避免抛光液回收桶130内的抛光液大量聚集，同时也能够达到抛光液的汰旧换新，而抛光液回收桶130则通过第一回收管121来
补充较新的抛光液，从而使得抛光液回收桶130内的抛光液始终能够达到第二抛光机140的抛光需求。
46.为了进一步实现抛光液回收桶130内抛光液的汰旧换新以及持续更替，本实施例中第一回收管121和溢流管137分别连接至抛光液回收桶130的不同区域，优选地，第一回收管121连接至抛光液回收桶130的一侧，溢流管137设置在抛光液回收桶130的另一侧，二者设置在相隔最远的位置，从而避免了由第一回收管121注入的抛光液直接由溢流管137排出，保证了抛光液回收桶130内抛光液的均匀性。
47.参见图2和图3，在本实施例中，抛光液供给桶110内还设置有第一均匀度检测计115，用于检测抛光液供给桶110内一次抛光液的均匀度，第一均匀度检测计115与第一搅拌器113电连接，第一搅拌器113还用于依据一次抛光液的均匀度调整搅拌速率。具体地，第一搅拌器113包括第一搅拌叶片和第一搅拌电机，第一均匀度检测计115与第一搅拌电机电连接，第一搅拌电机可以根据第一均匀度检测计115检测到的均匀度信息来调整第一搅拌叶片的转速，从而实现搅拌速率的调整。
48.抛光液供给桶110内还设置有第二均匀度检测计135，用于检测抛光液回收桶130内二次抛光液的均匀度，第二均匀度检测计135与第二搅拌器133电连接，第二搅拌器133还用于依据二次抛光液的均匀度调整搅拌速率。具体地，第二搅拌器133包括第二搅拌叶片和第二搅拌电机，第二均匀度检测计135与第二搅拌电机电连接，第二搅拌电机可以根据第二均匀度检测计135检测到的均匀度信息来调整第二搅拌叶片的转速，从而实现搅拌速率的调整。
49.需要说明的是，本实施例中可以实时检测抛光液的均匀度，从而实现抛光液搅拌均匀度监控，而后根据均匀度调整搅拌速率，当均匀度未达到要求时则可以增大搅拌速率，达到抛光液均匀度稳定的状态，更加有利于后续的抛光作业。
50.在本实施例中，第一均匀度检测计115和第二均匀度检测计135可以是比重计，可以通过检测抛光液的密度信息来检测其是否处于均匀状态，即利用比重计实时监控，达到均匀度稳定的目的。
51.在本实用新型其他较佳的实施例中，参见图4，第一均匀度检测计115和第二均匀度检测计135还可以通过光学检测手段来实现均匀度检测，以第一均匀度检测计115为例，第一均匀度检测计115包括设置在抛光液供给桶110相对的桶壁上的激光发射器1151和激光接收器1153，可以通过激光发射器1151发射激光，激光接收器1153接收激光，并通过接收到的激光强度与标准值的对比来判定是否搅拌均匀，从而实现均匀度的监控。当然，此处激光发射器1151和激光接收器1153需要避开第一搅拌叶片，优选可以设置在第一搅拌叶片的上方位置，从而保证激光无遮挡。
52.结合参见图1和图5，进一步地，碳化硅抛光液循环回收系统100还包括恒温控制装置150，恒温控制装置150包括恒温液供液箱151、第一恒温管153和第二恒温管155，恒温液供液箱151同时与第一恒温管153和第二恒温管155连接，用于向第一恒温管153和第二恒温管155供给和回收恒温循环液，第一恒温管153围设在抛光液供给桶110的外壁上，第二恒温管155围设在抛光液回收桶130的外壁上。具体地，恒温液供液箱151内设置有加热装置，加热装置可以将恒温液供液箱151内的恒温循环液加热至预定温度，然后通过管道向第一恒温管153和第二恒温管155输送，第一恒温管153可以缠绕设置在抛光液供给桶110的外壁
上，并与内部的抛光液实现热交换，第二恒温管155可以缠绕设置在抛光液回收桶130的外壁上，并与内部的抛光液实现热交换。优选地，恒温循环液可以是水，利用可控的冷、热循环水，能够控制抛光液的温度，稳定抛光液的工艺参数。
53.需要说明的是，第一恒温管153和第二恒温管155均设置有进水口和出水口，本实施例中恒温液供给箱上设置有两组管道，两组管道分别连接至第一恒温管153和第二恒温管155，分别形成循环管路，使得第一恒温管153和第二恒温管155处于并联状态，保证第一恒温管153和第二恒温管155均能够保持相同的温度。当然，在本实用新型其他较佳的实施例中，也可以使得第一恒温管153和第二恒温管155采用串接的方式，恒温循环液先经过第一恒温管153，再经过第二恒温管155，使得抛光液回收桶130内的温度略低于抛光液供给桶110内的温度，实现不同温度下的恒温操作。
54.参见图6，在本实施例中，抛光液回收桶130内还设置有ph检测计138和ph补偿装置139，ph检测计138与ph补偿装置139电连接，ph检测计138用于检测抛光液回收桶130的ph值，ph补偿装置139用于依据抛光液回收桶130的ph值向抛光液回收桶130加入ph添加剂。具体地，ph添加剂可以是不会对抛光作业造成影响的酸、碱类物质或提前制备的混合液，其中，ph补偿装置139连接有第一添加剂管和第二添加剂管，第一添加剂管用于提供酸类物质或混合液，第二添加剂管用于提供碱类物质或混合液，ph补偿装置139用于择一打开第一添加剂管和第二添加剂管，从而实现对抛光液ph值的降低或提升。当ph检测计138检测到抛光液ph值低于预设值时，则可以通过ph补偿装置139打开第二添加剂管，并关闭第一添加剂管，向抛光液内注入添加剂，提升抛光液的ph值；当ph检测计138检测到抛光液ph值高于预设值时，则可以通过ph补偿装置139打开第一添加剂管，并关闭第二添加剂管，向抛光液内注入添加剂，降低抛光液的ph值，实现抛光液ph值的稳定。
55.在本实施例中，ph检测计138设置在抛光液回收桶130内，并位于抛光液的液面之下，而ph补偿装置139则可以设置在抛光液回收桶130的内壁顶端位置，从而能够向抛光液滴落添加剂。
56.需要说明的是，由于抛光液回收桶130内抛光液来源较多，故需要对其ph值进行实时监控。而抛光液供给桶110由于采用了外部提供的抛光液，故可以不用对其ph值进行实时监控。当然，为了进一步保证抛光液的质量，也可以在抛光液供给桶110内设置ph检测计138和ph补偿装置139。
57.参见图7和图8，在本实施例中，第一供液管111上设置有第一流量计160和第一增压泵161，第一流量计160和第一增压泵161电连接，第一流量计160用于检测第一供液管111内一次抛光液的流量，第一增压泵161用于调整第一供液管111的流量；第二供液管131上设置有第二流量计170和第二增压泵171，第二流量计170和第二增压泵171电连接，第二流量计170用于检测第二供液管131内二次抛光液的流量，第二增压泵171用于调整第二供液管131的流量。具体地，通过设置第一增压泵161和第二增压泵171，能够实现第一供液管111和第二供液管131的流量调节，当管路流量不足时，自动加压进行补偿流量，保证第一抛光机120和第二抛光机140流入流量恒定的抛光液。
58.在本实施例中，抛光液供给桶110上还设置有第一清洗控制器163，第一清洗控制器163与第一搅拌器113和第一增压泵161电连接，用于在抛光完成后周期性地启动第一搅拌器113和第一增压泵161；抛光液回收桶130上还设置有第二清洗控制器173，第二清洗控
制器173与第二搅拌器133和第二增压泵171电连接，用于在抛光完成后周期性地启动第二搅拌器133和第二增压泵171。具体地，抛光作业完成后，抛光液供给桶110和抛光液回收桶130处于待机状态，特别是抛光液回收桶130内会存在大量的抛光液，而长时间的待机会使得抛光液产生结晶现象，不利于二次启动后的抛光作业，而此处通过设置第一清洗控制器163和第二清洗控制器173，能够定时自动启动设备，实现自动清洗，减少结晶产生影响抛光效果。
59.值得注意的是，本实施例中第一清洗控制器163和第二清洗控制器173同样与第一增压泵161和第二增压泵171电连接，从而通过周期性地启动第一增压泵161和第二增压泵171来减缓第一供液管111和第二供液管131内的结晶现象。
60.需要说明的是，本实施例中第一搅拌器113、第二搅拌器133、第一抛光机120、第二抛光机140均可以与中控机连接，中控机可以是plc设备，实现抛光时整套设备的控制，而第一清洗控制器163和第二清洗控制器173也可以是plc电控装置，并且在抛光结束后再开启，避免其与中控机的正常控制冲突。当然，此处第一清洗控制器163和第二清洗控制器173也可以集成在中控机上。
61.在本实用新型其他较佳的实施例中，参见图9，由于通过第一增压泵161和第二增压泵171对第一供液管111和第二供液管131进行清洗会导致抛光液的排放问题，此处也可以通过额外设置的第一振动器165和第二振动器(图未示)来替代第一增压泵161和第二增压泵171，具体地，第一供液管111上设置有第一振动器165，第二供液管131上设置有第二振动器，第一清洗控制器163与第一振动器165电连接，第二清洗控制器173与第二振动器电连接，在抛光完成后，第一清洗控制器163启动，并周期性地启动第一振动器165，第一振动器165用于带动第一供液管111振动，从而减缓内部的结晶现象。在抛光完成后，第二清洗控制器173启动，并周期性地启动第二振动器，第二振动器用于带动第二供液管131振动，从而减缓内部的结晶现象。
62.参见图10，在本实施例中，抛光液供给桶110和抛光液回收桶130上均设置有加湿组件180，加湿组件180用于向抛光液供给桶110或抛光液回收桶130内喷洒湿氮气。由于抛光液在进行搅拌时，桶边缘容易结晶，通过设置加湿组件180，能够对抛光液供给桶110和抛光液回收桶130内喷洒湿氮气，从而降低结晶发生率，稳定抛光液的工艺品质。
63.加湿组件180包括氮气管181、供水管183和加湿喷头185，氮气管181和连接于加湿喷头185的一端，供水管183也与加湿喷头185连接，加湿喷头185内设置有混合腔187，混合腔187内设置有加湿帘189，供水管183用于向加湿帘189喷水，氮气管181用于向混合腔187注入氮气，以使氮气经过加湿帘189后由加湿喷头185的另一端喷出。具体地，氮气管181用于提供干燥氮气，供水管183用于供水，氮气管181和供水管183均位于混合腔187的一端，混合腔187的另一端设置喷口，喷口针对抛光液供给桶110或抛光液回收桶130内的抛光液，而加湿帘189可以吸收大量水分，并且能够供氮气通过，从而使得氮气与水分充分接触，实现湿润氮气的功能。
64.需要说明的是，本实施例中第一回收管121和第二回收管141上也可以设置动力泵，从而提供动力实现抛光液的回收。
65.综上所述，本提供了一种碳化硅抛光液循环回收系统100，通过设置抛光液供给桶110来向第一抛光机120提供一次抛光液，并通过设置抛光液回收桶130来对第一抛光机120
产生的废液进行回收，并作为二次抛光液供给至第二抛光机140，再将第二抛光机140产生的废液直接回收利用。在实际抛光时，首先向抛光液供给桶110中注入适用于抛光的抛光液，即注入一次抛光液，通过第一供液管111向第一抛光机120提供一次抛光液，第一抛光机120利用一次抛光液完成抛光作业，所产生的废液通过第一回收管121进入抛光液回收桶130，作为二次抛光液，通过第二供液管131向第二抛光机140提供二次抛光液，第二抛光机140利用二次抛光液完成抛光作业，最后产生的废液则再次通过第二回收管141进入抛光液回收桶130，循环利用。相较于现有技术，本实施例提供的碳化硅抛光液循环回收系统100，能够实现对抛光液的回收利用，降低制造成本和废液排放。
66.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，包括抛光液供给桶(110)、第一抛光机(120)、抛光液回收桶(130)和第二抛光机(140)，所述抛光液供给桶(110)设置有连接至所述第一抛光机(120)的第一供液管(111)，所述第一供液管(111)用于向所述第一抛光机(120)提供一次抛光液，且所述第一抛光机(120)设置有连接至所述抛光液回收桶(130)的第一回收管(121)，所述第一回收管(121)用于向所述抛光液回收桶(130)提供所述第一抛光机(120)产生的废液，所述抛光液回收桶(130)设置有连接至所述第二抛光机(140)的第二供液管(131)，所述第二供液管(131)用于向所述第二抛光机(140)提供二次抛光液，且所述第二抛光机(140)设置有连接至所述抛光液回收桶(130)的第二回收管(141)，所述第二回收管(141)用于向所述抛光液回收桶(130)提供所述第二抛光机(140)产生的所述二次抛光液。2.根据权利要求1所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述抛光液供给桶(110)内设置有第一搅拌器(113)，所述第一搅拌器(113)用于搅拌位于所述抛光液供给桶(110)内的所述一次抛光液；所述抛光液回收桶(130)内设置有第二搅拌器(133)，所述第二搅拌器(133)用于搅拌位于所述抛光液回收桶(130)内的所述二次抛光液。3.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述抛光液供给桶(110)内还设置有第一均匀度检测计(115)，用于检测所述抛光液供给桶(110)内所述一次抛光液的均匀度，所述第一均匀度检测计(115)与所述第一搅拌器(113)电连接，所述第一搅拌器(113)还用于依据所述一次抛光液的均匀度调整搅拌速率；所述抛光液供给桶(110)内还设置有第二均匀度检测计(135)，用于检测所述抛光液回收桶(130)内所述二次抛光液的均匀度，所述第二均匀度检测计(135)与所述第二搅拌器(133)电连接，所述第二搅拌器(133)还用于依据所述二次抛光液的均匀度调整搅拌速率。4.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述碳化硅抛光液循环回收系统还包括恒温控制装置(150)，所述恒温控制装置(150)包括恒温液供液箱(151)、第一恒温管(153)和第二恒温管(155)，所述恒温液供液箱(151)同时与所述第一恒温管(153)和所述第二恒温管(155)连接，用于向所述第一恒温管(153)和所述第二恒温管(155)供给和回收恒温循环液，所述第一恒温管(153)围设在所述抛光液供给桶(110)的外壁上，所述第二恒温管(155)围设在所述抛光液回收桶(130)的外壁上。5.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述抛光液回收桶(130)内还设置有ph检测计(138)和ph补偿装置(139)，所述ph检测计(138)与所述ph补偿装置(139)电连接，所述ph检测计(138)用于检测所述抛光液回收桶(130)的ph值，所述ph补偿装置(139)用于依据所述抛光液回收桶(130)的ph值向所述抛光液回收桶(130)加入ph添加剂。6.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述第一供液管(111)上设置有第一流量计(160)和第一增压泵(161)，所述第一流量计(160)和所述第一增压泵(161)电连接，所述第一流量计(160)用于检测所述第一供液管(111)内所述一次抛光液的流量，所述第一增压泵(161)用于调整所述第一供液管(111)的流量；所述第二供液管(131)上设置有第二流量计(170)和第二增压泵(171)，所述第二流量计(170)和所述第二增压泵(171)电连接，所述第二流量计(170)用于检测所述第二供液管(131)内所述二次抛光液的流量，所述第二增压泵(171)用于调整所述第二供液管(131)的
流量。7.根据权利要求6所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述抛光液供给桶(110)上还设置有第一清洗控制器(163)，所述第一清洗控制器(163)与所述第一搅拌器(113)和所述第一增压泵(161)电连接，用于在抛光完成后周期性地启动所述第一搅拌器(113)和所述第一增压泵(161)；所述抛光液回收桶(130)上还设置有第二清洗控制器(173)，所述第二清洗控制器(173)与所述第二搅拌器(133)和所述第二增压泵(171)电连接，用于在抛光完成后周期性地启动所述第二搅拌器(133)和所述第二增压泵(171)。8.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述抛光液供给桶(110)和所述抛光液回收桶(130)上均设置有加湿组件(180)，所述加湿组件(180)用于向所述抛光液供给桶(110)或所述抛光液回收桶(130)内喷洒湿氮气。9.根据权利要求8所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述加湿组件(180)包括氮气管(181)、供水管(183)和加湿喷头(185)，所述氮气管(181)和所述供水管(183)均连接于所述加湿喷头(185)，所述加湿喷头(185)内设置有混合腔(187)，所述混合腔(187)内设置有加湿帘(189)，所述供水管(183)用于向所述加湿帘(189)喷水，所述氮气管(181)用于向所述混合腔(187)注入氮气。10.根据权利要求1所述的碳化硅抛光液循环回收系统，其特征在于，所述抛光液回收桶(130)的顶端设置有溢流管(137)，所述溢流管(137)用于排出多余的所述二次抛光液。

技术总结
本实用新型的实施例提供了一种碳化硅抛光液循环回收系统，涉及碳化硅抛光技术领域，该碳化硅抛光液循环回收系统，包括抛光液供给桶、第一抛光机、抛光液回收桶和第二抛光机，抛光液供给桶设置有连接至第一抛光机的第一供液管，且第一抛光机设置有连接至抛光液回收桶的第一回收管，抛光液回收桶设置有连接至第二抛光机的第二供液管，且第二抛光机设置有连接至抛光液回收桶的第二回收管。相较于现有技术，本实用新型提供的碳化硅抛光液循环回收系统，能够实现对抛光液的回收利用，降低制造成本和废液排放。本和废液排放。本和废液排放。


技术研发人员：林义复 林育仪 张炜国
受保护的技术使用者：通威微电子有限公司
技术研发日：2023.03.10
技术公布日：2023/8/13