振镜装置及激光加工设备的制作方法

1.本实用新型属于振镜结构技术领域，具体涉及一种振镜装置及激光加工设备。


背景技术：

2.在激光加工中，振镜作为一种非常重要的配件存在于各类激光加工系统中，振镜可以控制激光加工时的精度和速度，伴随振镜跳转速度的提高，其存在不足之处：振镜上的旋转电机工作产生大量的热量，电机产生的热量要么是自然冷却，要么使用水冷冷却；激光热射到振镜中的镜片上同样带来大量的热量，进而导致振镜镜片等器件温度升高；现有为了控制振镜表面的温度，保持电机工作在允许的温度范围内，常用的方法是降低振镜的跳转速度，这样影响了振镜装置的加工效率。


技术实现要素：

3.本实用新型提供了一种振镜装置，以解决现有振镜镜片温度升高的问题。
4.一种振镜装置，包括电机安装座、振镜电机和振镜扫描镜片；所述电机安装座内开设有振镜扫描腔；所述振镜电机安装在所述电机安装座上；所述振镜扫描镜片与所述振镜电机相连，且所述振镜扫描镜片设置在所述振镜扫描腔内；所述电机安装座上设有冷却气体管，所述冷却气体管与振镜扫描腔连通，所述冷却气体管用于向振镜扫描腔内输送干燥气体，以使所述振镜扫描腔与外界环境形成压力差。
5.优选地，所述振镜电机包括第一电机和第二电机；所述振镜扫描镜片包括第一振镜扫描镜片和第二振镜扫描镜片；所述第一振镜扫描镜片与所述第一电机相连，且所述第一振镜扫描镜片活动设置于所述振镜扫描腔内；所述第二振镜扫描镜片与所述第二电机相连，所述第二振镜扫描镜片活动设置于所述振镜扫描腔内。
6.优选地，所述振镜扫描腔的一侧设有激光入射口，所述振镜扫描腔的另一侧设有激光出射口，所述激光入射口与所述第一振镜扫描镜片相对设置，所述激光出射口与所述第二振镜扫描镜片相对应设置。
7.优选地，所述电机安装座上设置有第一安装位和第二安装位，所述第一安装位在所述电机安装座上的朝向与所述第二安装位在所述电机安装座上的朝向呈向呈夹角设置，所述夹角大于0度小于180度；所述第一电机安装在所述第一安装位上，所述第二电机安装在所述第二安装位上。
8.优选地，所述第一振镜扫描镜片穿过所述第一安装位，并活动设置于所述振镜扫描腔内，所述第一振镜扫描镜片在所述振镜扫描腔内活动的范围与所述第一安装位连通的区域形成第一扫描区；
9.所述第二振镜扫描镜片穿过所述第二安装位，并活动设置于所述振镜扫描腔内，所述第二振镜扫描镜片在所述振镜扫描腔内活动的范围与所述第二安装位连通的区域形成第二扫描区。
10.优选地，所述振镜装置还包括设置在所述振镜扫描腔内的聚焦镜；所述电机安装
座上设置有安装槽，所述聚焦镜安装在所述安装槽内；所述聚焦镜设置在所述第二振镜扫描镜片和所述激光出射口之间。
11.优选地，所述冷却气体管包括第一冷却气体管和第二冷却气体管；所述第一冷却气体管安装在所述电机安装座上，所述第一冷却气体管与所述第一扫描区连通，所述第一冷却气体管用于向所述第一扫描区内输送干燥气体，使所述第一扫描区体内与外界环境形成压力差；所述第二冷却气体管安装在所述电机安装座上，所述第二冷却气体管与所述第二扫描区连通，所述第二冷却气体管用于向所述第二扫描区内输送干燥气体，使所述第二扫描区体内与外界环境形成压力差。
12.优选地，所述第一电机内设置有第一水冷却通道，所述第一电机的壳体上设有与所述第一水冷却通道连通的第一水冷却入口和第一水冷却出口；所述第二电机内设置有第二水冷却通道，所述第二电机的壳体上设有与所述第二水冷却通道连通的第二水冷却入口和第二水冷却出口。
13.优选地，所述第一电机上设有第一光电编码器，所述第一电机的壳体内侧与所述第一光电编码器的壳体内侧设有密封壳，所述第一电机的壳体、所述第一光电编码器的壳体所述与密封壳之间形成第一腔体，所述第一水冷却通道设置在所述第一腔体内；所述第二电机上设有第二光电编码器，所述第二电机的壳体内侧与所述第二光电编码器的壳体内侧设有密封壳，所述第二电机的壳体、所述第二光电编码器的壳体与所述密封壳之间形成第二腔体，所述第二水冷却通道设置在所述第二腔体内。
14.一种激光加工设备，包括所述振镜装置。
15.本实用新型，通过电机安装座、振镜电机和振镜扫描镜片的配合设置，振镜电机安装在电机安装座上，电机安装座内开设有振镜扫描腔，振镜扫描镜片与振镜电机相连，且振镜扫描镜片设置在振镜扫描腔内；使用时，振镜电机带动振镜扫描镜片转动，从而调节振镜扫描镜片在振镜扫描腔内的位置，以使振镜扫描镜片在振镜扫描腔完成扫描工作。电机安装座具有足够的结构强度，用于固定振镜电机，保证振镜电机在高速扫描定位时的稳定性。电机安装座上设有冷却气体管，冷却气体管与振镜扫描腔连通，冷却气体管用于向振镜扫描腔内输送干燥气体，气体不能含有水分和油等对镜片产生污染的物质，气压维持在约0.5mpa，气流20l/m，使振镜扫描腔体内与外界环境形成压力差，可以有效防止外界中的灰尘等污染物进入振镜扫描腔内影响激光的传输；同时振镜扫描镜片上的大部分热量跟随气流被带走，使得传导到振镜电机上的热量变得很微小或不存在。大幅降低激光能量对振镜电机产生的影响，确保振镜装置保持稳定高效的工作状态，延长振镜装置的使用寿命。
附图说明
16.图1是本实用新型中振镜装置的正面结构图；
17.图2是本实用新型中振镜装置的左视剖面结构图。
18.其中，1、电机安装座；11、第一安装位；12、第二安装位；13、安装槽；2、振镜电机；21、第一电机；211、第一水冷却入口；212、第一水冷却出口；22、第二电机；221、第二水冷却入口；222、第二水冷却出口；3、振镜扫描镜片；31、第一振镜扫描镜片；32、第二振镜扫描镜片；4、振镜扫描腔；41、第一扫描区；42、第二扫描区；5、冷却气体管；51、第一冷却气体管；52、第二冷却气体管；6、激光入射口；7、激光出射口；8、聚焦镜；9、第一光电编码器；10、第二
光电编码器。
具体实施方式
19.为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“径向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
21.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
22.本实用新型实施例提供一种振镜装置，参照图1和2，包括电机安装座1、振镜电机2和振镜扫描镜片3；电机安装座1内开设有振镜扫描腔4；振镜电机2安装在电机安装座1上，振镜扫描镜片3与振镜电机2相连，且振镜扫描镜片3设置在振镜扫描腔4内；电机安装座1上设有冷却气体管5，冷却气体管5与振镜扫描腔4连通，冷却气体管5用于向振镜扫描腔4内输送干燥气体，以使振镜扫描腔4与外界环境形成压力差。
23.作为一示例，通过电机安装座1、振镜电机2和振镜扫描镜片3的配合设置，振镜电机2安装在电机安装座1上，电机安装座1内开设有振镜扫描腔4，振镜扫描镜片3与振镜电机2相连，且振镜扫描镜片3设置在振镜扫描腔4内；使用时，振镜电机2带动振镜扫描镜片3转动，从而调节振镜扫描镜片3在振镜扫描腔4内的位置，以使振镜扫描镜片3在振镜扫描腔4完成扫描工作。电机安装座1具有足够的结构强度，用于固定振镜电机2，保证振镜电机2在高速扫描定位时的稳定性。电机安装座1上设有冷却气体管5，冷却气体管5与振镜扫描腔4连通，用于向振镜扫描腔4内输送干燥气体，气体不能含有水分和油等对镜片产生污染的物质，气压维持在约0.5mpa，气流20l/m，使振镜扫描腔4体内与外界环境形成一定的压力差，可以有效防止外界中的灰尘等污染物进入振镜扫描腔4内影响激光的传输；同时振镜扫描镜片3上的大部分热量跟随气流被带走，使得传导到振镜电机2上的热量变得很微小或不存在。大幅降低激光能量对振镜电机2产生的影响，确保振镜装置实现高速高精的稳定工作状态，延长振镜装置的使用寿命，降低使用成本。
24.在一实施例中，参照图1和图2，振镜电机2包括第一电机21和第二电机22；振镜扫描镜片3包括第一振镜扫描镜片31和第二振镜扫描镜片32；第一振镜扫描镜片31与第一电机21相连，且第一振镜扫描镜片31活动设置于振镜扫描腔4内；第二振镜扫描镜片32与第二电机22相连，第二振镜扫描镜片32活动设置于振镜扫描腔4内。
25.本示例中，介绍了振镜电机2包括第一电机21和第二电机22，振镜扫描镜片3包括
第一振镜扫描镜片31和第二振镜扫描镜片32。第一振镜扫描镜片31与第一电机21相连，第一振镜扫描镜片31活动设置于振镜扫描腔4内，通过第一电机21可以调节第一振镜扫描镜片31在振镜扫描腔4内的偏转角度，从而调节其在x向上的位置。第二振镜扫描镜片32与第二电机22相连，第二振镜扫描镜片32活动设置于振镜扫描腔4内，通过第二电机22可以调节第二振镜扫描镜片32在振镜扫描腔4内的偏转角度，从而调节其在y向上的位置。第一振镜扫描镜片31与第二振镜扫描镜片32相互配合，从而可以满足激光在x、y两个方向上的偏转要求，提高设备使用效果。
26.在一实施例中，参照图2，振镜扫描腔4的一侧设有激光入射口6，振镜扫描腔4的另一侧设有激光出射口7，激光入射口6与第一振镜扫描镜片31相对设置，激光出射口7与第二振镜扫描镜片32相对应设置。
27.本示例中，介绍了振镜扫描腔4与激光入射口6和激光出射口7连通，激光入射口6与第一振镜扫描镜片31相对设置，激光出射口7与第二振镜扫描镜片32相对应设置，当激光从激光入射口6进入到振镜扫描腔4内，先入射到第一振镜扫描镜片31上，然后第一振镜扫描镜片31将激光反射到第二振镜扫描镜片32上，第二振镜扫描镜片32将激光反射出激光出射口7，最后到达加工物件上对物件进行加工，使激光加工工作更加安全。
28.在一实施例中，参照图1和图2，电机安装座1上设置有第一安装位11和第二安装位12，第一安装位11在电机安装座1上的朝向与第二安装位12在电机安装座1上的朝向呈向呈夹角设置，夹角大于0度小于180度；第一电机21安装在第一安装位11上，第二电机22安装在第二安装位12上。
29.本示例中，电机安装座1上设置有第一安装位11和第二安装位12，第一电机21安装在第一安装位11上，第二电机22安装在第二安装位12上，便于对第一电机21和第二电机22进行安装拆卸。第一安装位11在电机安装座1上的朝向决定了第一电机21所在位置方向，第二安装位12在电机安装座1上的朝向决定了第二电机22所在位置方向，第一安装位11在电机安装座1上的朝向与第二安装位12在电机安装座1上的朝向呈夹角设置，夹角大于0度小于180度，使第一电机21和第二电机22在不同的方向上工作，从而便于人们对振镜装置进行调节，满足使用需求。
30.在一实施例中，参照图1和图2，第一振镜扫描镜片31穿过第一安装位11，并活动设置于振镜扫描腔4内，第一振镜扫描镜片31在振镜扫描腔4内活动的范围与第一安装位11连通的区域形成第一扫描区41；第二振镜扫描镜片32穿过第二安装位12，并活动设置于振镜扫描腔4内，第二振镜扫描镜片32在振镜扫描腔4内活动的范围与第二安装位12连通的区域形成第二扫描区42。
31.本示例中，第一安装位11和第二安装位12分别与振镜扫描腔4连通，第一振镜扫描镜片31在振镜扫描腔4内活动的范围与第一安装位11连通的区域形成第一扫描区41，第二振镜扫描镜片32在振镜扫描腔4内活动的范围与第二安装位12连通的区域形成第二扫描区42，第一振镜扫描镜片31在第一扫描区内41活动；第二振镜扫描镜片32在第二扫描区42内活动；通过第一电机21可以调节第一振镜扫描镜片31在第一扫描区41内的偏转角度，从而调节其在x向上的位置；通过第二电机22可以调节第二振镜扫描镜片32在第二扫描区42内的偏转角度，从而调节其在y向上的位置；这样可以便于实现振镜的扫描定位。
32.在一实施例中，参照图2，振镜装置还包括设置在振镜扫描腔4内的聚焦镜8，电机
安装座1上设置有安装槽13，聚焦镜8安装在安装槽13内；聚焦镜8设置在第二振镜扫描镜片32和激光出射口7之间。
33.本示例中，介绍了振镜装置还包括聚焦镜8，电机安装座1上设置有安装槽13，聚焦镜8安装在安装槽13内，聚焦镜8设置在第二振镜扫描镜片32和激光出射口7之间，当第二振镜扫描镜片32将激光反射出激光出射口7之前，先通过聚焦镜8进行聚焦，这样对加工物件的加工效率更好。
34.在一实施例中，参照图1和图2，冷却气体管5包括第一冷却气体管51和第二冷却气体管52；第一冷却气体管51安装在电机安装座1上，第一冷却气体管51与第一扫描区41连通，第一冷却气体管51用于向第一扫描区41内输送干燥气体，使第一扫描区41体内与外界环境形成压力差；第二冷却气体管52安装在电机安装座1上，第二冷却气体管52与第二扫描区42连通，第二冷却气体管52用于向第二扫描区42内输送干燥气体，使第二扫描区42体内与外界环境形成压力差。
35.本示例中，介绍了冷却气体管5包括第一冷却气体管51和第二冷却气体管52，第一冷却气体管51安装在电机安装座1上，第一冷却气体管51与第一扫描区41连通，用于向第一扫描区41内输送干燥气体，使第一扫描区41体内与外界环境形成一定的压力差，可以有效防止外界中的灰尘等污染物进入第一扫描区41内影响激光的传输；同时第一振镜扫描镜片31上的大部分热量跟随气流被带走，传导到第一电机21上的热量变得很微小或不存在。第二冷却气体管52安装在电机安装座1上，第二冷却气体管52与第二扫描区42连通，用于向第二扫描区42内输送干燥气体，使第二扫描区42体内与外界环境形成一定的压力差，可以有效防止外界中的灰尘等污染物进入第二扫描区42内影响激光的传输；同时第二振镜扫描镜片32上的大部分热量跟随气流被带走，传导到第二电机22上的热量变得很微小或不存在。大幅降低激光能量对振镜电机2产生的影响，确保振镜装置实现高速高精的稳定工作状态，延长振镜装置的使用寿命，降低使用成本。
36.在一实施例中，参照图1和图2，第一电机21内设置有第一水冷却通道，第一电机21的壳体上设有与第一水冷却通道连通的第一水冷却入口211和第一水冷却出口212；第二电机22内设置有第二水冷却通道，第二电机22的壳体上设有与第二水冷却通道连通的第二水冷却入口221和第二水冷却出口222。
37.本示例中，介绍了第一电机21内设置有第一水冷却通道，第一电机21的壳体上设有与第一水冷却通道连通的第一水冷却入口211和第一水冷却出口212；外部冷却水从第一水冷却入口211进入第一水冷却通道，经第一水冷却通道对第一电机21内部进行冷却，然后从第一水冷却出口212流出，这样设置外部冷却水将第一电机21工作时产生的热量带走，保证第一电机21的温度处于合理的水平，实现对第一电机21的冷却，保障第一电机21工作时的高速度和高精度。
38.第二电机22内设置有第二水冷却通道，第二电机22的壳体上设有与第二水冷却通道连通的第二水冷却入口221和第二水冷却出口222；外部冷却水从第二水冷却入口221进入第二水冷却通道，经第二水冷却通道对第二电机22内部进行冷却，然后从第二水冷却出口222流出，这样设置外部冷却水将第二电机22工作时产生的热量带走，保证第二电机22的温度处于合理的水平，实现对第二电机22的冷却，保障第二电机22工作时的高速度和高精度。
39.在一实施例中，参照图1，第一电机21上设有第一光电编码器9，第一电机21的壳体内侧与第一光电编码器9的壳体内侧设有密封壳，第一电机21的壳体、第一光电编码器9的壳体与密封壳之间形成第一腔体，第一水冷却通道设置在第一腔体内；第二电机22上设有第二光电编码器10，第二电机22的壳体内侧与第二光电编码器10的壳体内侧设有密封壳，第二电机22的壳体、第二光电编码器10的壳体与密封壳之间形成第二腔体，第二水冷却通道设置在第二腔体内。
40.本示例中，介绍了第一电机21上设有第一光电编码器9，第一光电编码器9上连接有第一电机控制电缆线，第一光电编码器9和第一电机控制电缆线配合，用于对第一电机21进行位置标定，从而实现高精度的偏摆，第一电机21的壳体内侧与第一光电编码器9的壳体内侧设有密封壳，第一电机21的壳体、第一光电编码器9的壳体与密封壳之间形成第一腔体，第一水冷却通道设置在第一腔体内；外部冷却水进入将第一水冷却通道内，可以将第一电机21内部元件产生的热量带走，保证第一电机21的温度处于合理的水平，实现对第一电机21的冷却，保障第一电机21工作时的高速度和高精度。
41.第二电机22上设有第二光电编码器10，第二光电编码器10上连接有第二电机控制电缆线，第二光电编码器10和第二电机控制电缆线配合，用于对第二电机22进行位置标定，从而实现高精度的偏摆，第二电机22的壳体内侧与第二光电编码器10的壳体内侧设有密封壳，第二电机22的壳体、第二光电编码器10的壳体与密封壳之间形成第二腔体，第二水冷却通道设置在第二腔体内；外部冷却水进入将第二水冷却通道内，可以将第二电机22内部元件产生的热量带走，保证第二电机22的温度处于合理的水平，实现对第二电机22的冷却，保障第二电机22工作时的高速度和高精度。
42.本实用新型实施例提供一种激光加工设备，参照图1，包括振镜装置。
43.本本示例中，振镜装置安装在振镜装置激光加工设备上，在进行激光加工时，激光从激光入射口6进入到振镜扫描腔4内，先入射到第一振镜扫描镜片31上，然后第一振镜扫描镜片31将激光反射到第二振镜扫描镜片32上，第二振镜扫描镜片32将激光反射到聚焦镜8上进行聚焦，然后通过激光出射口7，最后到达加工物件上对物件进行加工，使激光加工工作更加安全。
44.在这个过程中，激光入射到振镜扫描镜片3上时，激光能量会发生损耗，部分激光能量转换为热量，导致振镜扫描镜片3温度升高，振镜扫描镜片3同时将这些镜片上的热量传导到电机上，使得电机的温度升高，从而影响电机的速度和精度。
45.通过在电机安装座1上设有冷却气体管5，冷却气体管5与振镜扫描腔4连通，用于向振镜扫描腔4内输送干燥气体，气体不能含有水分、油等对镜片产生污染的物质，气压维持在约0.5mpa，气流20l/m，使振镜扫描腔4体内与外界环境形成压力差，可以有效防止外界中的灰尘等污染物进入振镜扫描腔4内影响激光的传输；同时振镜扫描镜片3上的大部分热量跟随气流被带走，传导到振镜电机2上的热量变得很微小或不存在。大幅降低激光能量对振镜电机2产生的影响，确保振镜装置实现高速高精的稳定工作状态，延长振镜装置的使用寿命，降低使用成本。
46.通过在电机内设置水冷却通道，在电机的壳体上设与水冷却通道连通的水冷却入口和水冷却出口；外部冷却水从水冷却入口进入水冷却通道，经水冷却通道对电机内部进行冷却，然后从水冷却出口流出，这样设置外部冷却水将电机工作时产生的热量带走，保证
电机的温度处于合理的水平，实现对电机的冷却，保障电机工作时的高速度和高精度。
47.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种振镜装置，其特征在于，包括电机安装座、振镜电机和振镜扫描镜片；所述电机安装座内开设有振镜扫描腔；所述振镜电机安装在所述电机安装座上；所述振镜扫描镜片与所述振镜电机相连，且所述振镜扫描镜片设置在所述振镜扫描腔内；所述电机安装座上设有冷却气体管，所述冷却气体管与振镜扫描腔连通，所述冷却气体管用于向振镜扫描腔内输送干燥气体，以使所述振镜扫描腔与外界环境形成压力差。2.根据权利要求1所述的振镜装置，其特征在于，所述振镜电机包括第一电机和第二电机；所述振镜扫描镜片包括第一振镜扫描镜片和第二振镜扫描镜片；所述第一振镜扫描镜片与所述第一电机相连，且所述第一振镜扫描镜片活动设置于所述振镜扫描腔内；所述第二振镜扫描镜片与所述第二电机相连，所述第二振镜扫描镜片活动设置于所述振镜扫描腔内。3.根据权利要求2所述的振镜装置，其特征在于，所述振镜扫描腔的一侧设有激光入射口，所述振镜扫描腔的另一侧设有激光出射口；所述激光入射口与所述第一振镜扫描镜片相对应设置，所述激光出射口与所述第二振镜扫描镜片相对应设置。4.根据权利要求2所述的振镜装置，其特征在于，所述电机安装座上设置有第一安装位和第二安装位，所述第一安装位在所述电机安装座上的朝向与所述第二安装位在所述电机安装座上的朝向呈夹角设置，所述夹角大于0度小于180度；所述第一电机安装在所述第一安装位上，所述第二电机安装在所述第二安装位上。5.根据权利要求4所述的振镜装置，其特征在于，所述第一振镜扫描镜片穿过所述第一安装位，并活动设置于所述振镜扫描腔内，所述第一振镜扫描镜片在所述振镜扫描腔内活动的范围与所述第一安装位连通的区域形成第一扫描区；所述第二振镜扫描镜片穿过所述第二安装位，并活动设置于所述振镜扫描腔内，所述第二振镜扫描镜片在所述振镜扫描腔内活动的范围与所述第二安装位连通的区域形成第二扫描区。6.根据权利要求3所述的振镜装置，其特征在于，所述振镜装置还包括设置在所述振镜扫描腔内的聚焦镜；所述电机安装座上设置有安装槽，所述聚焦镜安装在所述安装槽内；所述聚焦镜设置在所述第二振镜扫描镜片和所述激光出射口之间。7.根据权利要求5所述的振镜装置，其特征在于，所述冷却气体管包括第一冷却气体管和第二冷却气体管；所述第一冷却气体管安装在所述电机安装座上，所述第一冷却气体管与所述第一扫描区连通，所述第一冷却气体管用于向所述第一扫描区内输送干燥气体，使所述第一扫描区体内与外界环境形成压力差；所述第二冷却气体管安装在所述电机安装座上，所述第二冷却气体管与所述第二扫描区连通，所述第而冷却气体管用于向所述第二扫描区内输送干燥气体，使所述第二扫描区体内与外界环境形成压力差。
8.根据权利要求2所述的振镜装置，其特征在于，所述第一电机内设置有第一水冷却通道，所述第一电机的壳体上设有与所述第一水冷却通道连通的第一水冷却入口和第一水冷却出口；所述第二电机内设置有第二水冷却通道，所述第二电机的壳体上设有与所述第二水冷却通道连通的第二水冷却入口和第二水冷却出口。9.根据权利要求8所述的振镜装置，其特征在于，所述第一电机上设有第一光电编码器，所述第一电机的壳体内侧与所述第一光电编码器的壳体内侧设有密封壳，所述第一电机的壳体、所述第一光电编码器的壳体与所述密封壳之间形成第一腔体，所述第一水冷却通道设置在所述第一腔体内；所述第二电机上设有第二光电编码器，所述第二电机的壳体内侧与所述第二光电编码器的壳体内侧设有密封壳，所述第二电机的壳体、所述第二光电编码器的壳体与所述密封壳之间形成第二腔体，所述第二水冷却通道设置在所述第二腔体内。10.一种激光加工设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一所述振镜装置。

技术总结
本实用新型提供了一种振镜装置，包括电机安装座、振镜电机和振镜扫描镜片；所述电机安装座内开设有振镜扫描腔；所述振镜电机安装在所述电机安装座上，所述振镜扫描镜片与所述振镜电机相连，且所述振镜扫描镜片设置在所述振镜扫描腔内；所述电机安装座上设有冷却气体管，所述冷却气体管与振镜扫描腔连通，所述冷却气体管用于向振镜扫描腔内输送干燥气体。本实用新型中，冷却气体管用于向振镜扫描腔内输送干燥气体，使振镜扫描腔体内与外界环境形成压力差，可以有效防止外界中的灰尘等污染物进入振镜扫描腔内影响激光的传输；同时振镜扫描镜片上的大部分热量跟随气流被带走，传导到振镜电机上的热量变得很微小或不存在。镜电机上的热量变得很微小或不存在。镜电机上的热量变得很微小或不存在。


技术研发人员：方志鑫 吴超森 李强 翟学涛 杨朝辉
受保护的技术使用者：深圳市大族数控科技股份有限公司
技术研发日：2022.12.09
技术公布日：2023/8/13