一种安装工具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种安装工具。


背景技术：

2.目前，在半导体工艺中，为了保证刻蚀机台的密封性，通常在刻蚀机台内的密封反应腔的内部侧壁上设置有密封圈。具体的，在刻蚀机台的维护保养过程中，需要定时对密封反应腔的内部侧壁上的密封圈进行定时更换以及保养，以避免密封圈的老化问题。然而，在现有技术中，一般密封反应腔腔体侧壁的密封圈是属于刻蚀机台维护工艺中的最难按的一条，如果不借用外部工具的话，势必造成密封圈安装效率低下、操作人员费力费时，以及按多时对操作人员的手造成气泡等伤害的问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种安装工具，以在将密封圈辅安装在刻蚀机台的腔体侧壁上时，提供一种基于螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具，进而解决现有技术中在不借用外部工具的话，势必造成密封圈安装效率低下、操作人员费力费时，以及按多时对操作人员的手造成气泡等伤害的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种安装工具，具体可以用于将密封圈安装在刻蚀机台的腔体侧壁上，具体的，本所述实用新型所提供的安装工具可以包括：芯轴(1)、旋转把手(2)和推筒(3)；其中，所述芯轴(1)可以包括位于前轴段的螺栓柱(11)和位于后轴段的手柄(12)，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)固定连接，所述螺栓柱(11)的外壁设置有螺纹(111)；所述旋转把手(2)可以包括固定杆(21)和与所述螺栓柱(11)套接在一起可水平移动的锁紧螺母(22)，所述推筒(3)滑动套接在所述螺栓柱(11)上并与所述锁紧螺母(22)相邻，以实现通过所述固定杆(21)带动与其固定连接的锁紧螺母(22)以及所述螺栓柱(11)沿着所述芯轴(1)的轴心方向水平移动。
5.进一步的，所述螺栓柱(11)的外直径与所述锁紧螺母(22)的内直径需要相同，以使所述螺栓柱(11)与所述锁紧螺母(22)可以通过螺纹配合的方式相滑动连接。
6.进一步的，所述推筒(3)可以为中间为空且其两端均为开口的筒状结构。
7.更进一步的，所述推筒(3)还可以为中间为空且远离所述锁紧螺母(22)的一端为开口的筒状结构。
8.进一步的，所述推筒(3)的内直径需要不小于所述螺母(22)的内直径。
9.进一步的，所述推筒(3)的材料可以包括树脂或特氟纶。
10.进一步的，所述推筒(3)可以沿所述芯轴(1)的轴心方向上的长度不小于所述螺栓柱(11)的长度。
11.进一步的，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)可以一体成型；和/或，所述固定杆(21)与所述锁紧螺母(22)可以一体成型。
12.进一步的，所述手柄(12)可以为圆柱体手柄，而所述圆柱体手柄的外直径需要不
小于所述螺栓柱(11)的外直径。
13.进一步的，所述密封圈的材质可以示例性的为橡胶。
14.与现有技术相比，本实用新型至少具有如下技术效果：
15.在本实用新型提供了一种安装工具中，其是针对现有的需要安装在刻蚀机台反应腔的内壁上的密封圈，为其设计了一款利用螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具。由于在本实用新型中，可以通过操作人员一手抓住所述手柄，一手旋转所述旋转把手，进而实现通过所述旋转把手带动所述推筒向外滑动，进而延长所述安装工具的长度，进而实现根据刻蚀机台的反应腔腔体侧壁的特殊性，借助刻蚀机台本身，利用螺旋力矩可以分解垂直向下的力的原理，轻松实现将密封圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的。
附图说明
16.图1为本实用新型一实施例中提供的一种安装工具的结构的主视图。
17.图2为本实用新型一实施例中提供的一种安装工具的结构的侧视图。
18.图3为本实用新型一实施例中提供的一种安装工具的结构的俯视图。
19.图4为图1或图2所述的安装工具的结构中的旋转把手2的放大结构示意图。
20.图5为图1或图2所述的安装工具的结构中的推筒3的放大结构示意图。
21.其中，图1～图5中，1-芯轴，2-旋转把手，3-推筒，11-螺栓柱，12-手柄，21-固定杆，22-锁紧螺母，111-螺纹。
具体实施方式
22.承如背景技术所述，目前，在半导体工艺中，为了保证刻蚀机台的密封性，通常在刻蚀机台内的密封反应腔的内部侧壁上设置有密封圈。具体的，在刻蚀机台的维护保养过程中，需要定时对密封反应腔的内部侧壁上的密封圈进行定时更换以及保养，以避免密封圈的老化问题。然而，在现有技术中，一般密封反应腔腔体侧壁的密封圈是属于刻蚀机台维护工艺中的最难按的一条，如果不借用外部工具的话，势必造成密封圈安装效率低下、操作人员费力费时，以及按多时对操作人员的手造成气泡等伤害的问题。
23.为此，本实用新型提供了一种安装工具，以在将密封圈辅安装在刻蚀机台的腔体侧壁上时，提供一种基于螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具，进而解决现有技术中在不借用外部工具的话，势必造成密封圈安装效率低下、操作人员费力费时，以及按多时对操作人员的手造成气泡等伤害的问题。
24.以下结合附图1～图5和具体实施例对本实用新型提出的一种用于辅助将密封圈安装在刻蚀机台的腔体侧壁上的安装工具作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
25.如本技术和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备
也可能包含其他的步骤或元素。在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
26.参考图1～图3，图1为本实用新型一实施例中提供的一种安装工具的结构的主视图；图2为本实用新型一实施例中提供的一种安装工具的结构的侧视图；
27.图3为本实用新型一实施例中提供的一种安装工具的结构的俯视图。
28.具体参考图1，本实用新型提供的安装工具可以具体包括：芯轴1、旋转把手2和推筒3。
29.需要说明的是，可以将芯轴1看作为基础部件，并将其沿水平方向平行放置，进而在基于该基础部件的情况下，分别描述所述旋转把手2和所述推筒3与所述芯轴1的位置关系和连接关系，进而完整的体现本实用新型所提供的用于将密封圈安装在刻蚀机台的腔体侧壁上的辅助安装工具。
30.继续参考图1，并结合图2和图3可知，本实用新型所提供的安装工具中的所述芯轴1可以包括位于前轴段的螺栓柱11和位于后轴段的手柄12，而所述螺栓柱11和所述手柄12则是固定连接，并且，所述螺栓柱11的整个外壁均还设置有螺纹111；所述旋转把手2可以包括固定杆21和与所述螺栓柱11套接在一起可水平移动的锁紧螺母22，所述推筒3滑动套接在所述螺栓柱11上并与所述锁紧螺母22相邻，以实现通过所述固定杆21带动与其固定连接的锁紧螺母22以及所述螺栓柱11沿着所述芯轴1的轴心方向水平移动。
31.在本实施例中，可以将芯轴1分为两部分，一部分为前轴段，另一部分为后轴段。其中，作为所述芯轴1的前轴段结构可以为螺栓柱11，而所述螺栓柱11可以为形状为圆柱形的柱状结构，且在该螺栓柱11的整个外表面上均形成有螺纹111，以用于与所述锁紧螺母22配合连接；而作为芯轴1的后轴段的结构可以为形状与所述形状为圆柱形的柱状结构的螺栓柱11相匹配的圆柱形手柄12。示例性的，所述螺栓柱11和所述手柄12可以分别作为一个独立的部件，然后固定连接在一起，而在其他实施例中，所述手柄12还可以是套接在所述螺栓柱11的一端的部分外侧螺纹111上的套筒结构，对此本实用新型不做具体限定，只要所述螺栓柱11的一端的部分外侧形成有可以便于操作人员受持的部件即可。
32.参考图4，图4为图1或图2所述的安装工具的结构中的旋转把手2的放大结构示意图。如图4所示，所述旋转把手2可以包括固定杆21和与所述螺栓柱11套接在一起可水平移动的锁紧螺母22，其中，所述固定杆21则可以是如图4所示的圆柱状长杆结构，当然也可以是其他多边形的长杆结构；而与其固定连接的所述锁紧螺母22的形状则示例性的为如图4所示的外侧为多边形，而内侧为圆形的螺母结构。并且，所述锁紧螺母22的圆形内侧结构的直径需要和所述螺栓柱11的外直径匹配，即，所述螺栓柱11的外直径与所述锁紧螺母22的内直径相同，以使所述螺栓柱11与所述锁紧螺母22通过螺纹配合的方式相滑动连接。
33.参考图5，图5为图1或图2所述的安装工具的结构中的推筒3的放大结构示意图。如图5所示，在本实用新型所提供的一实施例中，所述推筒3可以为中间为空且两端均为开口的筒状结构。其中，所述推筒3沿所述芯轴1的轴心方向上的长度不小于所述螺栓柱11的长度。并且，所述推筒3的内直径不小于所述螺母22的内直径。
34.结合图1可知，所述推筒3滑动套接在所述螺栓柱11上并与所述锁紧螺母22相邻，以实现通过所述固定杆21带动与其固定连接的锁紧螺母22以及所述螺栓柱11沿着所述芯
轴1的轴心方向水平移动，进而实现通过所述旋转把手2带动所述推筒3向外滑动，进而延长所述安装工具的长度，进而实现根据刻蚀机台的反应腔腔体侧壁的特殊性，借助刻蚀机台本身，利用螺旋力矩可以分解垂直向下的力的原理，轻松实现将密封圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的，即，进而解决现有技术中在不借用外部工具的话，势必造成密封圈安装效率低下、操作人员费力费时，以及按多时对操作人员的手造成气泡等伤害的问题。示例性的，所述推筒3的材料可以包括树脂或特氟纶。
35.作为另一种示例，所述推筒3还可以为中间为空腔且远离所述锁紧螺母3的一端为开口而其另一端为封闭的筒状结构。其中，所述推筒3的内直径需要不小于所述螺母22的内直径，即，所述推筒3的内直径需要大于或者等于所述螺母22的内直径。而所述推筒3的材料包括树脂或特氟纶，优选的为树脂。并且，所述推筒3沿所述芯轴1的轴心方向上的长度不小于所述螺栓柱11的长度。
36.需要说明的是，在本实用新型所提供的示例中，所述推筒3向外滑动之后，其与所述芯轴1在沿水平方向上的总长度需要根据实际情况而定，即，所述推筒3向外滑动的距离需要根据实际情况中，待安装密封圈的刻蚀机台反应腔的内直径决定，以使操作人员可以一手抓住所述手柄12，一手旋转所述旋转把手2，进而实现通过所述旋转把手2带动所述推筒3向外滑动，进而延长所述安装工具的长度的目的。
37.并且，所述螺栓柱11和所述手柄12一体成型；和/或，所述固定杆21与所述锁紧螺母22一体成型。
38.进一步的，所述手柄12可以为圆柱体手柄，而所述圆柱体手柄的外直径需要不小于所述螺栓柱11的外直径，即，所述手柄12的外直径需要大于或等于所述螺栓柱11的外直径。
39.可以理解的是，为了降低本实用新型所提供的夹持工具以及拆卸辅助工具的设计成本，可以利用钢质材料作为所述芯轴1、旋转把手2和推筒3的材质。
40.综上所述，在本实用新型提供了一种安装工具中，其是针对现有的需要安装在刻蚀机台反应腔的内壁上的密封圈，为其设计了一款利用螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具。由于在本实用新型中，可以通过操作人员一手抓住所述手柄，一手旋转所述旋转把手，进而实现通过所述旋转把手带动所述推筒向外滑动，进而延长所述安装工具的长度，进而实现根据刻蚀机台的反应腔腔体侧壁的特殊性，借助刻蚀机台本身，利用螺旋力矩可以分解垂直向下的力的原理，轻松实现将密封圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的。
41.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
42.本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置、
电子设备以及计算机可读存储介质实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
43.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本实用新型的保护范围内。

技术特征：
1.一种安装工具，其特征在于，用于辅助将密封圈安装在刻蚀机台的腔体侧壁上，所述安装工具包括：芯轴(1)、旋转把手(2)和推筒(3)；所述芯轴(1)包括位于前轴段的螺栓柱(11)和位于后轴段的手柄(12)，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)固定连接，所述螺栓柱(11)的外壁设置有螺纹(111)；所述旋转把手(2)包括固定杆(21)和与所述螺栓柱(11)套接在一起可水平移动的锁紧螺母(22)，所述推筒(3)滑动套接在所述螺栓柱(11)上并与所述锁紧螺母(22)相邻，以实现通过所述固定杆(21)带动与其固定连接的锁紧螺母(22)以及所述螺栓柱(11)沿着所述芯轴(1)的轴心方向水平移动。2.如权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述螺栓柱(11)的外直径与所述锁紧螺母(22)的内直径相同，以使所述螺栓柱(11)与所述锁紧螺母(22)通过螺纹配合的方式相滑动连接。3.如权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)为中间为空且两端均为开口的筒状结构。4.如权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)为中间为空且远离所述锁紧螺母(22)的一端为开口的筒状结构。5.如权利要求3或4所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)的内直径不小于所述螺母(22)的内直径。6.如权利要求3所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)的材料包括树脂或特氟纶。7.如权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述推筒(3)沿所述芯轴(1)的轴心方向上的长度不小于所述螺栓柱(11)的长度。8.如权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述螺栓柱(11)和所述手柄(12)一体成型；和/或，所述固定杆(21)与所述锁紧螺母(22)一体成型。9.如权利要求8所述的安装工具，其特征在于，所述手柄(12)为圆柱体手柄，所述圆柱体手柄的外直径不小于所述螺栓柱(11)的外直径。10.如权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述密封圈的材质包括橡胶。

技术总结
本实用新型提供了一种安装工具，应用于半导体技术领域。具体的，在本实用新型提供了一种安装工具中，其是针对现有的需要安装在刻蚀机台反应腔的内壁上的密封圈，为其设计了一款利用螺旋力矩可分解部分应力的作用原理的辅助安装工具的辅助安装工具。由于在本实用新型中，可以通过操作人员一手抓住所述手柄，一手旋转所述旋转把手，进而实现通过所述旋转把手带动所述推筒向外滑动，进而延长所述安装工具的长度，进而实现根据刻蚀机台的反应腔腔体侧壁的特殊性，借助刻蚀机台本身，利用螺旋力矩可以分解垂直向下的力的原理，轻松实现将密封圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的。圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的。圈安装在所述反应腔腔体的侧壁上的目的。


技术研发人员：李锦锋 庄树举 刘志攀
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：2022.12.08
技术公布日：2023/8/13