一种半导体晶圆输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶圆输送设备技术领域，特别涉及一种半导体晶圆输送装置。


背景技术：

2.半导体晶圆硅片生产设备是通过输送带与硅片花篮配合实现自动化装篮，在实际操作过程中，由于输送带与硅片花篮之间往往会存有一定的间隙，间隙的存在会影响硅片落在硅片花篮内的位置，同时在输送的过程中，在半导体晶圆脱离输送带时会有一个水平的力，很容易造成半导体晶圆无法正常且整齐的放入到硅片花篮内，还需要人工进行调整，会影响装片效率，因此，本实用新型提出了一种半导体晶圆输送装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术的缺点，而提出的一种半导体晶圆输送装置。
4.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种半导体晶圆输送装置，包括两个条形板、输送组件、驱动组件、转动辊、分料组件、调节组件和硅片花篮；
5.两个条形板的底侧固定安装有两个支撑板，所述输送组件和驱动组件均设置在两个条形板上，且驱动组件与输送组件相连接，所述分料组件设置在两个条形板相互靠近的一侧，且分料组件与输送组件相适配，两个条形板相互靠近的一侧均开设有导向槽，两个导向槽内均滑动安装有导向板，所述硅片花篮可拆卸安装在两个导向板上，所述调节组件设置在两个导向槽内，且调节组件与两个导向板相连接。
6.优选的，所述输送组件包括输送带、两个支撑轴和两个输送辊，两个条形板相互靠近的一侧转动安装有两个支撑轴，两个支撑轴上均固定套设有输送辊，两个输送辊上传动连接有同一个输送带。
7.优选的，所述驱动组件包括驱动电机、驱动轴和两个齿轮一，位于后侧的条形板上固定安装有驱动电机，两个条形板上转动安装有同一个驱动轴，驱动电机的输出轴与驱动轴轴向固定连接，驱动轴和位于左侧的支撑轴均延伸至条形板前侧并分别固定套设有齿轮一，两个齿轮一相啮合。
8.优选的，所述驱动轴上固定套设有转动辊，转动辊的高度略高于输送带。
9.优选的，两个条形板相互靠近的一侧固定安装有同一个空心板，空心板位于转动辊和左侧输送辊之间靠下的位置。
10.优选的，所述分料组件包括两个挡板、连接板、两个分料板、两个转动销、电缸和两个齿轮二，两个条形板相互靠近的一侧均固定安装有挡板，两个挡板相互靠近的一侧固定安装有同一个连接板，连接板的底侧转动安装有两个转动销，两个转动销上均固定安装有分料板，两个转动销上均固定套设有齿轮二，两个齿轮二相啮合，两个分料板相互靠近的一侧铰接安装有同一个电缸。
11.优选的，所述调节组件包括两个调节丝杆、两个带轮、皮带和调节电机，位于后侧的条形板上开设有安装口，安装口内固定安装有调节电机，两个导向槽内均转动安装有调节丝杆，两个调节丝杆分别与对应的导向板螺纹连接，两个调节丝杆上均固定套设有带轮，两个带轮上传动连接有同一个皮带，位于后侧的调节丝杆延伸至安装口内并与调节电机的输出轴轴向固定连接。
12.优选的，两个导向板相互靠近的一侧均固定安装有支撑条，硅片花篮的前后两侧均固定安装有卡条，两个卡条分别卡接安装在对应的支撑条上。
13.本实用新型的有益效果是：本实用新型中，通过输送组件配合驱动组件能够对半导体晶圆进行输送操作，同时在分料组件的作用下能够使半导体晶圆保持整齐的向硅片花篮位置输送，且在转动辊和空心板的配合下能够使输送带上落下的半导体晶圆直接落在硅片花篮内的指定位置，通过设置的调节组件便于控制硅片花篮进行横向位置调节，从而能够将半导体晶圆整齐的码放在硅片花篮内，有效的提高了装片效率，且方便对硅片花篮进行取放和更换操作。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型提出的一种半导体晶圆输送装置的立体结构示意图；
16.图2为本实用新型提出的一种半导体晶圆输送装置的剖视结构示意图；
17.图3为本实用新型提出的一种半导体晶圆输送装置中a部分的结构示意图；
18.图4为本实用新型提出的一种半导体晶圆输送装置中b部分的结构示意图。
19.图中：1、条形板；11、支撑板；2、支撑轴；21、输送辊；22、输送带；23、齿轮一；3、驱动轴；31、转动辊；32、驱动电机；4、挡板；41、连接板；42、分料板；43、电缸；44、齿轮二；5、导向槽；501、调节丝杆；502、调节电机；503、带轮；504、皮带；51、导向板；52、支撑条；6、硅片花篮；61、卡条；7、空心板。
具体实施方式
20.下面将结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.参照图1-4，一种半导体晶圆输送装置，包括两个条形板1、转动辊31和硅片花篮6，两个条形板1的底侧固定安装有两个支撑板11，两个条形板1相互靠近的一侧转动安装有两个支撑轴2，两个支撑轴2上均固定套设有输送辊21，两个输送辊21上传动连接有同一个输送带22，能够对半导体晶圆进行输送操作，位于后侧的条形板1上固定安装有驱动电机32，两个条形板1上转动安装有同一个驱动轴3，驱动电机32的输出轴与驱动轴3轴向固定连接，驱动轴3和位于左侧的支撑轴2均延伸至条形板1前侧并分别固定套设有齿轮一23，两个齿
轮一23相啮合，能够控制支撑轴2使输送辊21带动输送带22进行输送操作，两个条形板1相互靠近的一侧均固定安装有挡板4，两个挡板4相互靠近的一侧固定安装有同一个连接板41，连接板41的底侧转动安装有两个转动销，两个转动销上均固定安装有分料板42，两个转动销上均固定套设有齿轮二44，两个齿轮二44相啮合，两个分料板42相互靠近的一侧铰接安装有同一个电缸43，能够对输送带22上的半导体晶圆进行分料操作，从而能够使半导体晶圆整齐的向硅片花篮6位置输送，驱动轴3上固定套设有转动辊31，转动辊31的高度略高于输送带22，两个条形板1相互靠近的一侧固定安装有同一个空心板7，空心板7位于转动辊31和左侧输送辊21之间靠下的位置，能够在半导体晶圆从输送带22上落下时对其进行导向，从而能够将输送带22上落下的半导体晶圆落在硅片花篮6内的指定位置，两个条形板1相互靠近的一侧均开设有导向槽5，两个导向槽5内均滑动安装有导向板51，硅片花篮6可拆卸安装在两个导向板51上，位于后侧的条形板1上开设有安装口，安装口内固定安装有调节电机502，两个导向槽5内均转动安装有调节丝杆501，两个调节丝杆501分别与对应的导向板51螺纹连接，两个调节丝杆501上均固定套设有带轮503，两个带轮503上传动连接有同一个皮带504，位于后侧的调节丝杆501延伸至安装口内并与调节电机502的输出轴轴向固定连接，能够控制两个导向板51进行横向移动，从而便于对硅片花篮6的横向位置进行调节。
22.本实施例中，两个导向板51相互靠近的一侧均固定安装有支撑条52，硅片花篮6的前后两侧均固定安装有卡条61，两个卡条61分别卡接安装在对应的支撑条52上，不仅能够保证硅片花篮6的稳定移动，同时便于进行快速取放操作。
23.对于涉及到的电路、电子元器件和模块等均采用现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本技术保护的内容也不涉及对于软件、电缆和方法的改进。
24.工作原理：在使用时，首先接通电源，将需要进行输送的半导体晶圆从右侧放置在输送带22上，然后在驱动电机32、驱动轴3、齿轮一23、支撑轴2和输送辊21的配合下控制输送带22向左输送，通过电缸43控制两个分料板42之间的夹角，同时在两个齿轮二44的配合下能够使两个分料板42在调节和分料的过程中保持较好的稳定性，从而能够使输送带22上的半导体晶圆保持整齐的输送至硅片花篮6上方位置，同时在转动辊31的作用下能够使半导体晶圆落入空心板7内，并直接落在硅片花篮6内的指定位置，在半导体晶圆输送的同时，在调节电机502、调节丝杆501、带轮503和皮带504和配合下控制两个导向板51同步横向移动，从而能够对硅片花篮6的位置进行调节，进而便于将半导体晶圆依次整齐的摆放在硅片花篮6内，在硅片花篮6装满后将其取下并换上空的硅片花篮6即可。
25.以上对本实用新型所提供的一种半导体晶圆输送装置进行了详细介绍。本文中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

技术特征：
1.一种半导体晶圆输送装置，其特征在于，包括两个条形板(1)、输送组件、驱动组件、转动辊(31)、分料组件、调节组件和硅片花篮(6)；两个条形板(1)的底侧固定安装有两个支撑板(11)，所述输送组件和驱动组件均设置在两个条形板(1)上，且驱动组件与输送组件相连接，所述分料组件设置在两个条形板(1)相互靠近的一侧，且分料组件与输送组件相适配，两个条形板(1)相互靠近的一侧均开设有导向槽(5)，两个导向槽(5)内均滑动安装有导向板(51)，所述硅片花篮(6)可拆卸安装在两个导向板(51)上，所述调节组件设置在两个导向槽(5)内，且调节组件与两个导向板(51)相连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆输送装置，其特征在于：所述输送组件包括输送带(22)、两个支撑轴(2)和两个输送辊(21)，两个条形板(1)相互靠近的一侧转动安装有两个支撑轴(2)，两个支撑轴(2)上均固定套设有输送辊(21)，两个输送辊(21)上传动连接有同一个输送带(22)。3.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆输送装置，其特征在于：所述驱动组件包括驱动电机(32)、驱动轴(3)和两个齿轮一(23)，位于后侧的条形板(1)上固定安装有驱动电机(32)，两个条形板(1)上转动安装有同一个驱动轴(3)，驱动电机(32)的输出轴与驱动轴(3)轴向固定连接，驱动轴(3)和位于左侧的支撑轴(2)均延伸至条形板(1)前侧并分别固定套设有齿轮一(23)，两个齿轮一(23)相啮合。4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆输送装置，其特征在于：所述驱动轴(3)上固定套设有转动辊(31)，转动辊(31)的高度略高于输送带(22)。5.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆输送装置，其特征在于：两个条形板(1)相互靠近的一侧固定安装有同一个空心板(7)，空心板(7)位于转动辊(31)和左侧输送辊(21)之间靠下的位置。6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆输送装置，其特征在于：所述分料组件包括两个挡板(4)、连接板(41)、两个分料板(42)、两个转动销、电缸(43)和两个齿轮二(44)，两个条形板(1)相互靠近的一侧均固定安装有挡板(4)，两个挡板(4)相互靠近的一侧固定安装有同一个连接板(41)，连接板(41)的底侧转动安装有两个转动销，两个转动销上均固定安装有分料板(42)，两个转动销上均固定套设有齿轮二(44)，两个齿轮二(44)相啮合，两个分料板(42)相互靠近的一侧铰接安装有同一个电缸(43)。7.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆输送装置，其特征在于：所述调节组件包括两个调节丝杆(501)、两个带轮(503)、皮带(504)和调节电机(502)，位于后侧的条形板(1)上开设有安装口，安装口内固定安装有调节电机(502)，两个导向槽(5)内均转动安装有调节丝杆(501)，两个调节丝杆(501)分别与对应的导向板(51)螺纹连接，两个调节丝杆(501)上均固定套设有带轮(503)，两个带轮(503)上传动连接有同一个皮带(504)，位于后侧的调节丝杆(501)延伸至安装口内并与调节电机(502)的输出轴轴向固定连接。8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆输送装置，其特征在于：两个导向板(51)相互靠近的一侧均固定安装有支撑条(52)，硅片花篮(6)的前后两侧均固定安装有卡条(61)，两个卡条(61)分别卡接安装在对应的支撑条(52)上。

技术总结
本实用新型属于半导体晶圆输送设备技术领域，尤其为一种半导体晶圆输送装置，包括两个条形板、输送组件、驱动组件、转动辊、分料组件、调节组件和硅片花篮，两个条形板的底侧固定安装有两个支撑板，所述输送组件和驱动组件均设置在两个条形板上，且驱动组件与输送组件相连接，所述分料组件设置在两个条形板相互靠近的一侧，且分料组件与输送组件相适配，两个条形板相互靠近的一侧均开设有导向槽，两个导向槽内均滑动安装有导向板。本实用新型设计合理，操作简单便捷，能够保证半导体晶圆稳定且整齐的码放在硅片花篮内，同时也方便对硅片花篮进行取放和更换操作，有效的提高了硅片输送效率和码放效果。效率和码放效果。效率和码放效果。


技术研发人员：纪海瑞 白晓磊 王泽鹏
受保护的技术使用者：大连诺豪联恒电子科技有限公司
技术研发日：2023.03.29
技术公布日：2023/8/13