厚度测量方法和工具与流程

1.本发明属于精密加工制造技术领域，尤其涉及一种厚度测量方法和工具。


背景技术：

2.在精密加工制造领域(如半导体加工制造)，往往需要在刮胶平台的刮胶面上进行刮胶，从而在刮胶面上形成胶层，为了确定胶层的厚度是否满足后续工艺的要求，需要对胶厚进行测量，由此有必要设计一种针对性的厚度测量方法和工具。


技术实现要素：

3.基于此，针对上述技术问题，提供一种厚度测量方法和工具。
4.为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
5.一方面，本发明提供一种厚度测量方法，包括：
6.将支撑座左右骑跨于刮胶平台上；
7.使测量件从起始位置向下滑动至基准齿与所述刮胶平台的刮胶面接触；
8.从所述刮胶平台上取下所述支撑座；
9.观察各测量齿上的粘胶情况，确定所述刮胶面的胶厚；
10.其中，所述测量件与所述支撑座上下滑动配合，该测量件的下侧形成齿结构，所述齿结构包括多个测量齿和用于与所述刮胶面接触的基准齿，所述多个测量齿均高于所述基准齿，且该多个测量齿与所述基准齿的高度差各不相同。
11.另一方面，本发明还提供一种厚度测量工具，包括：
12.用于左右骑跨于刮胶平台上的支撑座；
13.用于从起始位置向下滑动至所述刮胶平台的刮胶面的测量件，所述测量件与所述支撑座上下滑动配合，该测量件的下侧形成齿结构，所述齿结构包括多个测量齿和用于与所述刮胶面接触的基准齿，所述多个测量齿均高于所述基准齿，且该多个测量齿与所述基准齿的高度差各不相同；
14.测量时，将所述支撑座左右骑跨于所述刮胶平台上；
15.使所述测量件从所述起始位置向下滑动至所述基准齿与所述刮胶面接触；
16.从所述刮胶平台上取下所述支撑座；
17.观察各测量齿上的粘胶情况，确定所述刮胶面的胶厚。
18.本发明提供的测量工具结构简单、使用方便，可以方便地测量刮胶面上的胶厚。
附图说明
19.图1为本发明的结构示意图；
20.图2为本发明的滑块与支撑座上下滑动配合结构的剖视图；
21.图3为本发明的弹性柱销与定位销孔配合的示意图；
22.图4为本发明的柄部的结构示意图；
23.图5为本发明的测量件被下按状态的示意图。
具体实施方式
24.以下将结合说明书附图对本发明的实施方式予以说明。需要说明的是，本说明书中所涉及的实施方式不是穷尽的，不代表本发明的唯一实施方式。以下相应的实施例只是为了清楚的说明本发明专利的发明内容，并非对其实施方式的限定。对于该领域的普通技术人员来说，在该实施例说明的基础上还可以做出不同形式的变化和改动，凡是属于本发明的技术构思和发明内容并且显而易见的变化或变动也在本发明的保护范围之内。
25.如图1所示，本技术实施例提供一种厚度测量工具，包括支撑座110以及测量件120。
26.支撑座110为前侧开放的中空壳体，中空壳体内设有与上壳壁和下壳壁连接且左右间隔的两个导向柱111，中空壳体的底部两侧具有与刮胶平台的左右边缘适配的支撑脚112，通过两侧的支撑脚112可以实现支撑座110左右骑跨于刮胶平台上。
27.如图1和图2所示，测量件120包括在外力作用下从起始位置向下移动的滑块121、用于在外力消失后驱使滑块121向上返回起始位置的弹性自恢复件122以及测量片123。
28.滑块121设于中空壳体内，且滑动套设于两个导向柱111上，实现滑块121与支撑座110的上下滑动配合，滑块121上具有用于施加外力的柄部121a，在本实施例中，柄部121a设于滑块121的顶部，且向上穿过中空壳体的上壳壁，参见图4。
29.弹性自恢复件122采用弹簧，弹簧位于滑块121与下壳壁之间，且套设于导向柱111上，参见图2。
30.测量片123固定于滑块121的前侧面，当然，测量片123也可以固定于滑块121的后侧面，相应地，支撑座110则为后侧开放的中空壳体。
31.测量片123的下端形成齿结构，如图1所示，齿结构包括多个测量齿123a和用于与刮胶平台的刮胶面接触的基准齿123b，测量齿123a和基准齿123b左右间隔分布，多个测量齿123a均高于基准齿123b，且多个测量齿123a与基准齿123b的高度差各不相同。
32.在本实施例中，基准齿123b为两个，两个基准齿123b左右分布，多个测量齿123a位于两个基准齿123b之间，多个测量齿123a与基准齿123b的高度差由左至右以相同的递增量逐渐递增。
33.示例性地，测量齿123a为10个，10个测量齿123a与基准齿123b的高度差由左至右分别为：26um、30um、34um、38um、42um、46um、50um、54um、58um、62um，可以在测量片123上将上述各高度差值一一对应地设置在各测量齿123a的上方，便于测量。
34.基于本技术实施例提供的测量工具，测量胶厚的过程如下：
35.s101、将支撑座110左右骑跨于刮胶平台上。
36.s102、使测量件120从起始位置向下滑动至基准齿123b与刮胶面接触：
37.通过手指下按柄部121a使滑块121从起始位置向下滑动，在此过程中弹性自恢复件122被压缩(参见图5)，且测量片123随滑块121向下移动，两个基准齿123b与刮胶面接触后，手指离开柄部121a外力消失，在弹性自恢复件122的作用下，滑块121向上返回起始位置。
38.s103、从刮胶平台上取下支撑座110。
39.s104、观察各测量齿123a上的粘胶情况，确定刮胶面的胶厚。
40.如对应26um、30um、34um的3个测量齿123a上均有胶，且对应38um的测量齿123a上没有胶，则估测胶厚为[34um-38um)，即胶厚大于等于34um、小于38um。
[0041]
需要指出的是，在实际使用场景中，刮胶平台的左右边缘可能会存在微小的左右倾斜，使得支撑座110骑跨后同样会存在微小的左右倾斜，这样会导致测量片123无法垂直接触刮胶面，即保证不了两个基准齿123b都接触到刮胶面，为了使两个基准齿123b都能接触到刮胶面，保证测量的准确，如图4所示，测量片123通过前后方向的转轴124左右转动连接于滑块121的前侧面，实现测量片123可以转轴124为转动中心自由摆动，这样当测量片123非垂直接触刮胶面的情况下，一个基准齿123b接触到刮胶面后，测量片123会自然发生摆动使另一个基准齿123b同样也可以接触到刮胶面。
[0042]
其中，如图1所示，转轴124的前端具有防止测量片123脱离的约束头部124a，测量片123的上端具有与其下端相同的齿结构，将测量片123旋转180度后，同样可以用于测量。
[0043]
为了在不使用时对测量片123进行约束，如图1和图3所示，滑块121上具有用于将测量片定位至垂直向下位置的左右两个弹性柱销121b，测量片123上具有与弹性柱销121b配合的定位销孔123c，这样当测量片123非垂直接触刮胶面的情况下，测量片123接触刮胶面所受到的反作用力足以使弹性柱销121b脱离定位销孔123c，使测量片123得以摆动。
[0044]
可以理解的是，支撑座110和测量件120并非只限于上述实施例中的结构，在一种可能的实施方式中，测量件120只需满足：与支撑座110上下滑动配合，并且在其下侧形成上述齿结构，测量时，先通过外力先使测量件120向上移动至起始位置，然后，释放测量件120，使其依靠自身重力从起始位置向下滑动至刮胶平台的刮胶面，在这种实施方式中，弹性自恢复件122和柄部121a都可以进行省略。
[0045]
由上可知，本技术实施例提供的测量工具结构简单、使用方便，可以方便地测量刮胶面上的胶厚。
[0046]
显然，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求书范围内。

技术特征：
1.一种厚度测量方法，其特征在于，包括：将支撑座左右骑跨于刮胶平台上；使测量件从起始位置向下滑动至基准齿与所述刮胶平台的刮胶面接触；从所述刮胶平台上取下所述支撑座；观察各测量齿上的粘胶情况，确定所述刮胶面的胶厚；其中，所述测量件与所述支撑座上下滑动配合，该测量件的下侧形成齿结构，所述齿结构包括多个测量齿和用于与所述刮胶面接触的基准齿，所述多个测量齿均高于所述基准齿，且该多个测量齿与所述基准齿的高度差各不相同。2.根据权利要求1所述的一种厚度测量方法，其特征在于，所述测量件包括：在外力作用下从所述起始位置向下移动的滑块，所述滑块与支撑座上下滑动配合，该滑块上具有用于施加外力的柄部；用于在所述外力消失后驱使所述滑块向上返回所述起始位置的弹性自恢复件；测量片，所述测量片固定于所述滑块上，所述测量片的下端形成所述齿结构，所述测量齿和基准齿左右间隔分布。3.根据权利要求2所述的一种厚度测量方法，其特征在于，所述基准齿为两个，两个基准齿左右分布，所述多个测量齿位于所述两个基准齿之间，所述多个测量齿与所述基准齿的高度差由左至右以相同的递增量逐渐递增。4.根据权利要求3所述的一种厚度测量方法，其特征在于，所述测量齿为10个，10个测量齿与所述基准齿的高度差由左至右分别为：26um、30um、34um、38um、42um、46um、50um、54um、58um、62um。5.根据权利要求2-4任一项所述的一种厚度测量方法，其特征在于，所述测量片位于所述滑块的前侧或者后侧，且通过一转轴与所述滑块左右转动连接。6.根据权利要求5所述的一种厚度测量方法，其特征在于，所述滑块上具有用于将所述测量片定位至垂直向下位置的弹性柱销，所述测量片上具有与所述弹性柱销配合的定位销孔。7.根据权利要求6所述的一种厚度测量方法，其特征在于，所述支撑座为在所述测量片所在侧开放的中空壳体，所述中空壳体内设有与上壳壁和下壳壁连接的导向柱，所述中空壳体的底部两侧具有与所述刮胶平台的左右边缘适配的支撑脚，所述滑块设于所述中空壳体内，且滑动套设于所述导向柱上，所述柄部设于所述滑块的顶部，且向上穿过所述上壳壁，所述弹性自恢复件为弹簧，所述弹簧位于所述滑块与下壳壁之间，且套设于所述导向柱上。8.一种厚度测量工具，其特征在于，包括：用于左右骑跨于刮胶平台上的支撑座；用于从起始位置向下滑动至所述刮胶平台的刮胶面的测量件，所述测量件与所述支撑座上下滑动配合，该测量件的下侧形成齿结构，所述齿结构包括多个测量齿和用于与所述刮胶面接触的基准齿，所述多个测量齿均高于所述基准齿，且该多个测量齿与所述基准齿的高度差各不相同；测量时，将所述支撑座左右骑跨于所述刮胶平台上；使所述测量件从所述起始位置向下滑动至所述基准齿与所述刮胶面接触；
从所述刮胶平台上取下所述支撑座；观察各测量齿上的粘胶情况，确定所述刮胶面的胶厚。9.根据权利要求8所述的一种厚度测量工具，其特征在于，所述测量件包括：在外力作用下从所述起始位置向下移动的滑块，所述滑块与支撑座上下滑动配合，该滑块上具有用于施加外力的柄部；用于在所述外力消失后驱使所述滑块向上返回所述起始位置的弹性自恢复件；测量片，所述测量片固定于所述滑块上，所述测量片的下端形成所述齿结构，所述测量齿和基准齿左右间隔分布。10.根据权利要求9所述的一种厚度测量工具，其特征在于，所述基准齿为两个，两个基准齿左右分布，所述多个测量齿位于所述两个基准齿之间，所述多个测量齿与所述基准齿的高度差由左至右以相同的递增量逐渐递增。11.根据权利要求10所述的一种厚度测量工具，其特征在于，所述测量齿为10个，10个测量齿与所述基准齿的高度差由左至右分别为：26um、30um、34um、38um、42um、46um、50um、54um、58um、62um。12.根据权利要求9-11任一项所述的一种厚度测量工具，其特征在于，所述测量片位于所述滑块的前侧或者后侧，且通过一转轴与所述滑块左右转动连接。13.根据权利要求12所述的一种厚度测量工具，其特征在于，所述滑块上具有用于将所述测量片定位至垂直向下位置的弹性柱销，所述测量片上具有与所述弹性柱销配合的定位销孔。14.根据权利要求13所述的一种厚度测量工具，其特征在于，所述支撑座为所述测量片所在侧开放的中空壳体，所述中空壳体内设有与上壳壁和下壳壁连接的导向柱，所述中空壳体的底部两侧具有与所述刮胶平台的左右边缘适配的支撑脚，所述滑块设于所述中空壳体内，且滑动套设于所述导向柱上，所述柄部设于所述滑块的顶部，且向上穿过所述上壳壁，所述弹性自恢复件为弹簧，所述弹簧位于所述滑块与下壳壁之间，且套设于所述导向柱上。

技术总结
一种厚度测量方法和工具，其中，厚度测量工具包括：用于左右骑跨于刮胶平台上的支撑座；用于从起始位置向下滑动至所述刮胶平台的刮胶面的测量件，所述测量件与所述支撑座上下滑动配合，该测量件的下侧形成齿结构，所述齿结构包括多个测量齿和用于与所述刮胶面接触的基准齿，所述多个测量齿均高于所述基准齿，且该多个测量齿与所述基准齿的高度差各不相同；测量时，将所述支撑座左右骑跨于所述刮胶平台上；使所述测量件从所述起始位置向下滑动至所述基准齿与所述刮胶面接触；从所述刮胶平台上取下所述支撑座；观察各测量齿上的粘胶情况，确定所述刮胶面的胶厚。本发明提供的测量工具结构简单、使用方便，基于该工具可以方便地测量刮胶面上的胶厚。地测量刮胶面上的胶厚。地测量刮胶面上的胶厚。


技术研发人员：林海涛 赵凯 梁猛 刘越 张文会 王斌
受保护的技术使用者：技感半导体设备（南通）有限公司
技术研发日：2023.05.17
技术公布日：2023/8/13