一种便于调节的真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种便于调节的真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，现有的真空镀膜机存在调节不便的问题，且其对基材的定位结构较为单一。
3.如申请号为cn201922382627.9的中国专利公开了一种便于调节的真空镀膜机，该实用新型具备体积小，使用便捷和固定结构稳固，确保加工质量，且可调节，便于对不同大小的基片进行固定的优点。
4.上述专利实现了对不同大小的基片进行定位的目的，但是其在对建筑五金以及其他形状的基材定位效果较差，且在对汽车轮毂或者不锈钢板等较大件工件进行镀膜时，其定位效果也较差，因此我们需要提出一种便于调节的真空镀膜机。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种便于调节的真空镀膜机，具备可针对不同的工件进行不同方式定位放置的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供一种便于调节的真空镀膜机，包括机体和挂钩，所述机体的内腔设置有两组支撑架，所述支撑架与机体之间设置有滑动组件，所述支撑架通过滑动组件活动安装于所述机体的内腔，所述支撑架的内腔等距设有多组支撑板，所述支撑板的一侧固定安装有转杆，所述转杆的两端均与支撑架的内壁转动连接，所述支撑板的表面等距开设有通槽，所述支撑板与支撑架之间还设置有锁紧组件，所述机体内腔的底部还设置有加热组件。
7.优选的，所述滑动组件包括固定安装于机体内腔两侧的固定柱，所述支撑架的两侧均开设有与固定柱相适配的滑槽，所述滑槽的内壁与支撑架的表面滑动连接，所述支撑架与固定柱之间还设置有定位组件。
8.优选的，所述定位组件包括固定安装于支撑架顶部的定位板，所述定位板的表面固定安装有定位管，所述定位管的一端螺纹连接有定位杆，所述定位杆的一端依次贯穿定位管和定位板并延伸至定位板的外部与固定柱的表面贴合。
9.优选的，所述锁紧组件包括固定安装于支撑板底部的锁紧板，所述锁紧板的底部螺纹连接有锁紧杆，所述锁紧杆的一端贯穿锁紧板并延伸至锁紧板的外部与支撑架的底部螺纹连接。
10.优选的，所述加热组件包括固定安装于机体内腔底部的电磁加热器，所述机体的内腔且位于电磁加热器的上方固定安装有加热托盘，所述加热托盘的顶部设有存料盒，所述机体的底部固定安装有控制器，所述控制器与电磁加热器信号连接。
11.优选的，所述机体的顶部连通有抽气管，所述抽气管上安装有控制阀。
12.优选的，所述机体的正面铰接有密封门，所述密封门的表面固定安装有拉手，所述密封门与机体之间还设置有智能门锁，所述密封门通过智能门锁与机体锁紧固定在一起。
13.优选的，所述密封门的表面开设有安装槽，所述安装槽的内腔固定安装有观察窗。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1、本实用新型通过滑动组件的设置，可以将支撑架活动安装在机体的内腔，活动设置的支撑架可以根据需要镀膜工件的体积大小选择两组支撑架之间的间距，使用者可将大件的工件放置于支撑板的顶部，在需要对不规则的工件进行镀膜的时候，使用者可将支撑板放下并将挂钩挂在通槽的内腔，以通过挂钩对工件进行固定；
16.2、本实用新型通过定位组件的设置，可以在对支撑架的使用间距调整完成后通过定位组件对其使用位置进行定位固定，通过加热组件的设置可以对存料盒内部的靶材进行加热，通过抽气管的设置可以将机体内部抽成真空状态，通过密封门的设置可以对机体进行密封处理，使用者可通过观察窗掌握机体内部工件的镀膜情况。
附图说明
17.图1为本实用新型的结构示意图；
18.图2为本实用新型密封门打开时的结构示意图；
19.图3为本实用新型滑动组件的结构示意图；
20.图4为本实用新型加热组件的局部结构示意图；
21.图5为本实用新型挂钩安装时的结构示意图。
22.图中：1、机体；2、挂钩；3、支撑架；4、支撑板；5、转杆；6、通槽；7、固定柱；8、滑槽；9、定位板；10、定位管；11、定位杆；12、锁紧板；13、锁紧杆；14、电磁加热器；15、加热托盘；16、存料盒；17、抽气管；18、控制阀；19、密封门；20、拉手；21、智能门锁；22、安装槽；23、观察窗；24、控制器。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1-图5，本实用新型提供一种便于调节的真空镀膜机，包括机体1和挂钩2，机体1的顶部连通有抽气管17，抽气管17上安装有控制阀18，机体1的正面铰接有密封门19，密封门19的表面固定安装有拉手20，密封门19与机体1之间还设置有智能门锁21，密封门19通过智能门锁21与机体1锁紧固定在一起，密封门19的表面开设有安装槽22，安装槽22的内腔固定安装有观察窗23；
25.通过抽气管17和控制阀18的配合使用，可以与外部的真空泵结合将机体1的内部抽成真空，以实现真空镀膜的目的，通过密封门19的设置可以对机体1的起到密封作用，通过拉手20的设置则可以便于使用者打开或者关闭密封门19，通过智能门锁21的设置可以将密封门19与机体1固定连接在一起，通过观察窗23的设置，则可以在镀膜的过程中掌握机体
1内部工件的镀膜情况，通过安装槽22的设置，可以在密封门19上提供观察窗23的安装空间。
26.作为优选的，机体1的内腔设置有两组支撑架3，支撑架3与机体1之间设置有滑动组件，支撑架3通过滑动组件活动安装于机体1的内腔，滑动组件包括固定安装于机体1内腔两侧的固定柱7，支撑架3的两侧均开设有与固定柱7相适配的滑槽8，滑槽8的内壁与支撑架3的表面滑动连接，支撑架3与固定柱7之间还设置有定位组件，定位组件包括固定安装于支撑架3顶部的定位板9，定位板9的表面固定安装有定位管10，定位管10的一端螺纹连接有定位杆11，定位杆11的一端依次贯穿定位管10和定位板9并延伸至定位板9的外部与固定柱7的表面贴合；
27.通过滑动组件的设置，可以对两组支撑架3之间的间距进行调节，以适应不同体积工件的定位需求，使用者在需要调节支撑架3的使用位置时，可以直接在固定柱7的表面移动支撑架3，支撑架3在移动的时候会带动其表面的滑槽8在固定柱7的表面滑动，在将支撑架3的使用位置调节完成后，使用者可拧紧定位杆11对支撑架3的使用个位置进行固定。
28.其中，支撑架3的内腔等距设有多组支撑板4，支撑板4的一侧固定安装有转杆5，转杆5的两端均与支撑架3的内壁转动连接，支撑板4的表面等距开设有通槽6，支撑板4与支撑架3之间还设置有锁紧组件，锁紧组件包括固定安装于支撑板4底部的锁紧板12，锁紧板12的底部螺纹连接有锁紧杆13，锁紧杆13的一端贯穿锁紧板12并延伸至锁紧板12的外部与支撑架3的底部螺纹连接；
29.在对较大件工件进行镀膜时，使用者可通过锁紧组件将支撑板4锁紧固定在支撑架3的内腔，使用者可将工件置于支撑板4的顶部，在需要对不规则形状的工件进行镀膜的时候，使用者可拧松锁紧杆13并将支撑板4转动九十度，然后可以将挂钩2挂在通槽6上，使用者可将不规则的工件挂在挂钩2上，从而实现对不规则工件进行定位的目的。
30.值得说明的是，机体1内腔的底部还设置有加热组件，加热组件包括固定安装于机体1内腔底部的电磁加热器14，机体1的内腔且位于电磁加热器14的上方固定安装有加热托盘15，加热托盘15的顶部设有存料盒16，机体1的底部固定安装有控制器24，控制器24与电磁加热器14信号连接；
31.通过加热组件的设置，使用者可将镀膜所使用的靶材置于存料盒16的内腔，然后通过控制器24打开电磁加热器14，电磁加热器14的工作可对加热托盘15进行加热，存料盒16内靶材表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，在真空中向上游走附着在工件表面形成镀膜。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于，包括机体(1)和挂钩(2)，所述机体(1)的内腔设置有两组支撑架(3)，所述支撑架(3)与机体(1)之间设置有滑动组件，所述支撑架(3)通过滑动组件活动安装于所述机体(1)的内腔，所述支撑架(3)的内腔等距设有多组支撑板(4)，所述支撑板(4)的一侧固定安装有转杆(5)，所述转杆(5)的两端均与支撑架(3)的内壁转动连接，所述支撑板(4)的表面等距开设有通槽(6)，所述支撑板(4)与支撑架(3)之间还设置有锁紧组件，所述机体(1)内腔的底部还设置有加热组件。2.根据权利要求1所述的一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于：所述滑动组件包括固定安装于机体(1)内腔两侧的固定柱(7)，所述支撑架(3)的两侧均开设有与固定柱(7)相适配的滑槽(8)，所述滑槽(8)的内壁与支撑架(3)的表面滑动连接，所述支撑架(3)与固定柱(7)之间还设置有定位组件。3.根据权利要求2所述的一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于：所述定位组件包括固定安装于支撑架(3)顶部的定位板(9)，所述定位板(9)的表面固定安装有定位管(10)，所述定位管(10)的一端螺纹连接有定位杆(11)，所述定位杆(11)的一端依次贯穿定位管(10)和定位板(9)并延伸至定位板(9)的外部与固定柱(7)的表面贴合。4.根据权利要求1所述的一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于：所述锁紧组件包括固定安装于支撑板(4)底部的锁紧板(12)，所述锁紧板(12)的底部螺纹连接有锁紧杆(13)，所述锁紧杆(13)的一端贯穿锁紧板(12)并延伸至锁紧板(12)的外部与支撑架(3)的底部螺纹连接。5.根据权利要求1所述的一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于：所述加热组件包括固定安装于机体(1)内腔底部的电磁加热器(14)，所述机体(1)的内腔且位于电磁加热器(14)的上方固定安装有加热托盘(15)，所述加热托盘(15)的顶部设有存料盒(16)，所述机体(1)的底部固定安装有控制器(24)，所述控制器(24)与电磁加热器(14)信号连接。6.根据权利要求5所述的一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于：所述机体(1)的顶部连通有抽气管(17)，所述抽气管(17)上安装有控制阀(18)。7.根据权利要求1所述的一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于：所述机体(1)的正面铰接有密封门(19)，所述密封门(19)的表面固定安装有拉手(20)，所述密封门(19)与机体(1)之间还设置有智能门锁(21)，所述密封门(19)通过智能门锁(21)与机体(1)锁紧固定在一起。8.根据权利要求7所述的一种便于调节的真空镀膜机，其特征在于：所述密封门(19)的表面开设有安装槽(22)，所述安装槽(22)的内腔固定安装有观察窗(23)。

技术总结
本实用新型公开了一种便于调节的真空镀膜机，属于真空镀膜机技术领域，包括机体和挂钩，机体的内腔设置有两组支撑架，支撑架与机体之间设置有滑动组件，支撑架通过滑动组件活动安装于机体的内腔，支撑架的内腔等距设有多组支撑板，支撑板的一侧固定安装有转杆，转杆的两端均与支撑架的内壁转动连接；本实用新型通过滑动组件的设置，可以将支撑架活动安装在机体的内腔，活动设置的支撑架可以根据需要镀膜工件的体积大小选择两组支撑架之间的间距，使用者可将大件的工件放置于支撑板的顶部，在需要对不规则的工件进行镀膜的时候，使用者可将支撑板放下并将挂钩挂在通槽的内腔，以通过挂钩对工件进行固定。挂钩对工件进行固定。挂钩对工件进行固定。


技术研发人员：陈德军 刘其亮 王福礼
受保护的技术使用者：四川君安盈创科技有限公司
技术研发日：2023.03.28
技术公布日：2023/8/17