迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪与流程

1.本技术涉及光学测量技术领域，特别是涉及一种迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪。


背景技术：

2.随着技术的发展与用户需求的增多，电子产品对光学系统的品质的要求在日益提高。而在具体使用时，光学元件的形貌会影响光学系统的品质，因此生产方一般会通过迈克尔逊干涉仪量测光学元件的形貌。但是，传统的迈克尔逊干涉仪在测试叠层结构时，需要先将叠层结构拆分为多个单层镜片，再分别对每一单层镜片进行量测，容易使得叠层结构产生不必要的损失。


技术实现要素：

3.基于此，有必要针对传统的迈克尔逊干涉仪在测试叠层结构时，需要将叠层结构拆分为多个单层镜片，再分别对每一单层镜片进行量测而造成叠层结构产生不必要的损失的问题，提供一种迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪。
4.根据本技术的第一方面，提出一种迈克尔逊干涉仪的量测方法，所述迈克尔逊干涉仪包括光源、反射镜、接收传感器及非偏振分光镜；所述光源、所述非偏振分光镜及叠层结构沿z向依次间隔设置，所述反射镜、所述非偏振分光镜及所述接收传感器沿y向依次间隔设置，且所述z向与所述y向相互垂直；所述叠层结构包括沿所述z向依次层叠设置的第一镜片层和第二镜片层；
5.所述量测方法包括：
6.根据所述第一镜片层的光学特性与所述第二镜片层的光学特性，发出第一偏振光；
7.将所述第一偏振光分束为传输至所述反射镜的第一参考偏振光和传输至所述第一镜片层的第一测试偏振光；
8.对所述第一参考偏振光和/或所述第一测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第一参考偏振光，与经由所述第一镜片层反射并传输至所述接收传感器的第一测试偏振光具有相同的偏振状态；
9.根据所述第一镜片层的光学特性和所述第二镜片层的光学特性，发出第二偏振光；
10.将所述第二偏振光分束为传输至所述反射镜的第二参考偏振光和传输至所述叠层结构的第二镜片层的第二测试偏振光；
11.对所述第二参考偏振光和/或所述第二测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第二参考偏振光，与经由所述第二镜片层反射并传输至所述接收传感器的第二测试偏振光具有相同的偏振状态。
12.在其中一个实施例中，所述根据所述第一镜片层的光学特性与所述第二镜片层的
光学特性，发出第一偏振光的步骤具体包括：
13.当所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片时，朝向所述非偏振分光镜发出x向偏振光或y向偏振光；其中，所述x向、所述y向及所述z向两两垂直设置。
14.在其中一个实施例中，所述迈克尔逊干涉仪还包括二分之一波片及第二四分之一波片；
15.所述对所述第一参考偏振光和/或所述第一测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第一参考偏振光，与经由所述第一镜片层反射并传输至所述接收传感器的第一测试偏振光具有相同的偏振状态的步骤具体包括：
16.当所述第一偏振光为x向偏振光时，利用所述第二四分之一波片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为右旋偏振光；
17.当所述第一偏振光为y向偏振光时，利用所述二分之一波片及所述第二四分之一波片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为右旋偏振光。
18.在其中一个实施例中，所述迈克尔逊干涉仪还包括x向线偏振片与y向线偏振片，所述量测方法还包括：
19.利用所述x向线偏振片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为x向偏振光；或
20.利用所述y向线偏振片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为y向偏振光。
21.在其中一个实施例中，所述量测方法包括：
22.绕平行于所述z向的轴线旋转所述叠层结构，以使x向偏振光能够穿过所述反射式偏振片。
23.在其中一个实施例中，所述根据所述第一镜片层的光学特性和所述第二镜片层的光学特性，发出第二偏振光的步骤具体包括：
24.当所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片时，朝向所述非偏振分光镜发出x向偏振光或y向偏振光；其中，所述x向、所述y向及所述z向两两垂直设置。
25.在其中一个实施例中，所述迈克尔逊干涉仪还包括第二四分之一波片、x向线偏振片及y向线偏振片；
26.所述对所述第二参考偏振光和/或所述第二测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第二参考偏振光，与经由所述第二镜片层反射并传输至所述接收传感器的第二测试偏振光具有相同的偏振状态的步骤具体包括：
27.当所述第二偏振光为x向偏振光时，利用所述第二四分之一波片，将所述第二参考偏振光转化为y向偏振光，并利用所述y向线偏振片，将所述第二测试偏振光转化为y向偏振光；
28.当所述第二偏振光为y向偏振光时，利用所述第二四分之一波片，将所述第二参考偏振光转化为x向偏振光，并利用所述x向线偏振片，将所述第二测试偏振光转化为x向偏振光。
29.在其中一个实施例中，所述量测方法包括：
30.绕平行于所述z向的轴线旋转所述叠层结构，以使所述反射式偏振片反射后的线偏振光穿过所述第一四分之一波片后能够转化为圆偏振光。
31.根据本技术的第二方面，还提出一种迈克尔逊干涉仪，用于测试叠层结构中各层结构的形貌，所述迈克尔逊干涉仪包括：
32.光源，用以沿z向与所述叠层结构相对设置，所述光源用以沿z向朝所述叠层结构射出偏振光；
33.非偏振分光镜，用以设于所述光源与所述叠层结构之间，所述非偏振分光镜的朝向与所述z向之间呈45度角设置；所述非偏振分光镜用以将所述光源发出的偏振光分束为参考偏振光和测试偏振光，所述测试偏振光用以传输至所述叠层结构；
34.反射镜，沿y向与所述非偏振分光镜相对设置；所述参考偏振光用以传输至所述反射镜；
35.接收传感器，沿所述y向与所述非偏振分光镜相对设置，且所述接收传感器相对所述反射镜设于所述非偏振分光镜的另一侧；以及
36.偏振调制组件，用以对所述参考偏振光和所述测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述参考偏振光，与经由所述叠层结构反射并传输至所述接收传感器的所述测试偏振光具有相同的偏振状态；
37.其中，所述y向与所述z向垂直设置。
38.在其中一个实施例中，所述叠层结构包括沿所述z向依次层叠设置的第一镜片层和第二镜片层，所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片，其中：
39.所述偏振调制组件包括设于所述光源与所述非偏振分光镜之间的第二四分之一波片，所述第二四分之一波片用以将x向偏振光转化为右旋偏振光；或
40.所述偏振调制组件包括设于所述反射镜与所述非偏振分光镜之间的第二四分之一波片，所述第二四分之一波片用以将y向偏振光转化为左旋偏振光，或是将右旋偏振光转化为x向偏振光，或是将x向偏振光转化为右旋偏振光，或是将左旋偏振光转化为y偏振光；
41.其中，所述x向、所述y向与所述z向呈两两垂直设置。
42.在其中一个实施例中，所述叠层结构包括沿所述z向依次层叠设置的第一镜片层和第二镜片层，所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片；
43.所述偏振调制组件包括二分之一波片及第二四分之一波片，自所述光源指向所述非偏振分光镜，所述二分之一波片与所述第二四分之一波片依次间隔设于所述光源与所述非偏振分光镜之间；
44.所述二分之一波片用以将y向偏振光转化为x向偏振光，所述四分之一波板用以将x向偏振光转化为右旋偏振光。
45.在其中一个实施例中，所述迈克尔逊干涉仪还包括安装于所述非偏振分光镜与所述接收传感器之间的第一光学元件，所述第一光学元件设为x向线偏振片或y向线偏振片。
46.在本技术的技术方案中，迈克尔逊干涉仪通过光源发出第一偏振光与第二偏振光，再通过非偏振分光镜将光源发出的偏振光分束为测试偏振光与参考偏振光。比如，非偏振分光镜能够将第一偏振光分束为第一参考偏振光与第一测试偏振光，还能将第二偏振光
分束为第二参考偏振光与第二测试偏振光。其中，参考偏振光会被非偏振分光镜通过反射射向反射镜，再由反射镜反射至接收传感器；测试偏振光则会直接穿过非偏振分光镜，从而射向叠层结构，并在经由叠层结构反射后再次射向非偏振分光镜，最后由非偏振分光镜反射至接收传感器。
47.本技术的迈克尔逊干涉仪还设有偏振调制组件，偏振调制组件包括一个或多个光学元件，偏振调制组件能够调整测试偏振光与参考偏振光的偏振状态，从而使得测试偏振光与参考偏振光的偏振状态相同。当偏振状态相同的测试偏振光与参考偏振光射入接收传感器后，迈克尔逊干涉仪能够生成两组干涉条纹，通过对比测试偏振光与参考偏振光分别生成的干涉条纹，就能反推出叠层结构中第一镜片层与第二镜片层的形貌。本技术通过偏振调制组件对测试偏振光与参考偏振光进行偏振调制，使得测试偏振光与参考偏振光的偏振状态相同，从而避免叠层结构中不同层的光学元件的影响与干扰。这使得迈克尔逊干涉仪通过调整偏振调制组件的组成与安装位置，就能够测量叠层结构中各层光学元件的形貌，减少了叠层结构因拆分而产生的损失。
附图说明
48.图1为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的第一实施例的结构示意图。
49.图2为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的第二实施例的结构示意图。
50.图3为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的第三实施例的结构示意图。
51.图4为图1至图3中叠层结构中各层结构的正视图(叠层结构拆分后)。
52.图5为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的第四实施例的结构示意图。
53.图6为图5中叠层结构中各层结构的正视图(叠层结构拆分后)。
54.图7为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的量测方法的第一实施例的流程示意图。
55.图8为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的量测方法的第二实施例的流程示意图。
56.图9为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的量测方法的第三实施例的流程示意图。
57.附图标号说明：
58.59.具体实施方式
60.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
61.在本技术的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
62.此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括该特征。在本技术的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
63.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
64.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
65.需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本技术所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
66.随着技术的发展与用户需求的增多，电子产品对光学系统的品质的要求在日益提高。而在具体使用时，光学元件的形貌会影响光学系统的品质，因此生产方一般会通过迈克尔逊干涉仪量测光学元件的形貌。但是，传统的迈克尔逊干涉仪在测试叠层结构时，需要先将叠层结构拆分为多个单层镜片，再分别对每一单层镜片进行量测，容易使得叠层结构产生不必要的损失。
67.本技术的技术人员通过研究发现，迈克尔逊干涉仪需要对比参考偏振光与测试偏振光分别生成的干涉条纹的不同，从而反推出待测光学元件与反射镜的形貌的不同，从而量测出待测光学元件的形貌。但是，传统的迈克尔逊干涉仪如果对叠层结构进行形貌量测，叠层结构中不同层的光学元件会相互干扰，导致叠层结构中待测光学元件所射出的偏振光与反射镜射出的偏振光的类型不同，无法比对两者生成的干涉条纹。
68.鉴于此，本技术提出一种迈克尔逊干涉仪，旨在解决传统的迈克尔逊干涉仪在测试叠层结构时，只能先将叠层结构拆分为单层，再分别进行量测的问题。图1至图6为本技术中提出的迈克尔逊干涉仪的一实施例的结构示意图。
69.请参阅图1至图3，本技术提出的迈克尔逊干涉仪用于测试叠层结构100中各层结构的形貌，迈克尔逊干涉仪包括光源1、非偏振分光镜4、反射镜2、接收传感器3及偏振调制组件5。光源1用以沿z向与叠层结构100相对设置，光源1用以沿z向朝叠层结构100射出偏振光。
70.非偏振分光镜4用以设于光源1与叠层结构100之间，非偏振分光镜4的朝向与z向之间呈45度角设置；非偏振分光镜4用以将光源1发出的偏振光分束为参考偏振光和测试偏振光，测试偏振光用以传输至叠层结构100。
71.反射镜2沿y向与非偏振分光镜4相对设置；参考偏振光用以传输至反射镜2。接收传感器3沿y向与非偏振分光镜4相对设置，且接收传感器3相对反射镜2设于非偏振分光镜4的另一侧。偏振调制组件5用以对参考偏振光和测试偏振光进行偏振调制，以使由反射镜2反射至接收传感器3的参考偏振光，与经由叠层结构100反射并传输至接收传感器3的测试偏振光具有相同的偏振状态。其中，y向与z向垂直设置。
72.在本技术中，y向与z向为两个相对方向，其中z向可以设为光源1与叠层结构100的相对方向，y向可以为反射镜2与接收传感器3的相对方向。
73.在本技术的技术方案中，迈克尔逊干涉仪通过光源1发出第一偏振光200与第二偏振光300，再通过非偏振分光镜4能够将光源1发出的偏振光分束为测试偏振光与参考偏振光。比如，非偏振分光镜4能够将第一偏振光200分束为第一参考偏振光220与第一测试偏振光210，还能将第二偏振光300分束为第二参考偏振光320与第二测试偏振光310。其中，参考偏振光会被非偏振分光镜4通过反射射向反射镜2，再由反射镜2反射至接收传感器3；测试偏振光则会直接穿过非偏振分光镜4，从而射向叠层结构100，并在经由叠层结构100反射后再次射向非偏振分光镜4，最后由非偏振分光镜4反射至接收传感器3。
74.本技术的迈克尔逊干涉仪还设有偏振调制组件5，偏振调制组件5包括一个或多个光学元件，偏振调制组件5能够调整测试偏振光与参考偏振光的偏振状态，从而使得测试偏振光与参考偏振光的偏振状态相同。当偏振状态相同的测试偏振光与参考偏振光射入接收传感器3后，迈克尔逊干涉仪能够生成两组干涉条纹，通过对比测试偏振光与参考偏振光分别生成的干涉条纹，就能反推出叠层结构100中第一镜片层110与第二镜片层120的形貌。
75.本技术通过偏振调制组件5对测试偏振光与参考偏振光进行偏振调制，使得测试偏振光与参考偏振光的偏振状态相同，从而避免叠层结构100中不同层的光学元件的影响与干扰。这使得迈克尔逊干涉仪通过调整偏振调制组件5的组成与安装位置，就能够测量叠层结构100中各层光学元件的形貌，减少了叠层结构因拆分而产生的损失。实际上，迈克尔逊干涉仪通过调整偏振调制组件5的组成与安装位置，也能对不同的叠层结构100进行量测。
76.在本技术的说明中，叠层结构100包括沿z向依次层叠设置的第一镜片层110和第二镜片层120，第一镜片层110包括第一四分之一波片110a，第二镜片层120包括反射式偏振片120a。当然，叠层结构100还可以是其他结构。
77.请参阅图1至图4，在本技术的一实施例中，偏振调制组件5包括设于光源1与非偏振分光镜4之间的第二四分之一波片51，第二四分之一波片51用以将x向偏振光转化为右旋偏振光。
78.实际上，当四分之一波片的快轴f与入射的偏振光的偏振方向的夹角为+45
°
时，四分之一波片会将入射的偏振光转化为左旋圆偏光；当四分之一波片的快轴f与偏振光的偏振方向的夹角为-45
°
时，四分之一波片会将入射的偏振光转化为右旋圆偏振光。
79.也就是说，本实施例中，第二四分之一波片51的快轴f的延伸方向与x向为-45
°
。此时，光源1选为x向偏振光源1，而第二四分之一波片51将x向偏振光转化为右旋偏振光后，非偏振分光镜4会将右旋偏振光分为两束，其中一束作为测试偏振光射入叠层结构100，另一束作为参考偏振光射入反射镜2，并由反射镜2反射至接收传感器3。此时，叠层结构100中的第一四分之一波片110a会将右旋偏振光反射转化为左旋偏振光，再经过非偏振分光镜4反射转化成右旋偏振光，并射入接收传感器3。同样的，另一束右旋偏振光经过非偏振分光镜4反射后朝向反射镜2射出，并被转化为左旋偏振光，该左旋偏振光会经过反射镜2再次反射，并被转化为右旋偏振光，最后射入接收传感器3。因此测试偏振光与参考偏振光的偏振方向相同，从而能够完成对叠层结构100中第一镜片层110的量测。
80.请参阅图5及图6，在本技术的另一实施例中，偏振调制组件5包括设于反射镜2与非偏振分光镜4之间的第二四分之一波片51，第二四分之一波片51用以将y向偏振光转化为左旋偏振光，或是将右旋偏振光转化为x向偏振光，或是将x向偏振光转化为右旋偏振光，或是将左旋偏振光转化为y偏振光。
81.如上所说的，在这一实施例中，第二四分之一波片51的快轴f的延伸方向与y向的夹角为+45
°
，也就是与x向的夹角为-45
°
，因此能够将y向偏振光转化为左旋偏振光，将右旋偏振光转化为x向偏振光，也能将x向偏振光转化为右旋偏振光，还能将左旋偏振光转化为y偏振光。
82.实际上，当叠层结构100的具体组成与本技术中所提出的不同时，只需要调整第二四分之一波片51的朝向，或者根据需求采用不同的偏振调制组件5进行偏振调制，如此同样能够量测叠层结构100中各层结构的形貌。
83.此外，x向为本技术中另一相对方向，实际上x向是与y向及z向分别垂直的另一方向。
84.请参阅图3，在一些实施例中，叠层结构100包括沿z向依次层叠设置的第一镜片层110和第二镜片层120，第一镜片层110包括第一四分之一波片110a，第二镜片层120包括反
射式偏振片120a。偏振调制组件5包括二分之一波片52及第二四分之一波片51，自光源1指向非偏振分光镜4，二分之一波片52与第二四分之一波片51依次间隔设于光源1与非偏振分光镜4之间。二分之一波片52用以将y向偏振光转化为x向偏振光，四分之一波板用以将x向偏振光转化为右旋偏振光。
85.二分之一波片52会使线偏振光的角度转变90度，因此能够将y向偏振光转化为x向偏振光。而第二四分之一波片51的快轴f的延伸方向与x向为-45
°
，此时第二四分之一波片51能够将x向偏振光转化为右旋偏振光，从而完成后续的量测。
86.请参阅图2及图5，在实际应用时，测试偏振光在射入叠层结构100中后，叠层结构100中的其他结构可能会反射出多余的光线，与测试偏振光一同朝向接收传感器3射出，干扰形貌的量测。因此在一些实施例中，迈克尔逊干涉仪还包括安装于非偏振分光镜4与接收传感器3之间的第一光学元件6，第一光学元件6设为x向线偏振片61或y向线偏振片62。
87.当非偏振分光镜4与接收传感器3之间设置y向线偏振片62时，只有y向偏振光与圆偏振光中y向的分量能够进入接收传感器3中；当非偏振分光镜4与接收传感器3之间设置x向线偏振片61时，只有x向偏振光与圆偏振光中x向的分量能够进入接收传感器3中；从而避免了多余的光线对形貌量测的干扰。而在本技术中，第一光学元件6可以根据需求进行调整与选择，比如可以是x向线偏振片61，也可以是y向线偏振片62，甚至第一光学元件6可以不进行设置。
88.基于上述硬件条件，本技术还提出了一种迈克尔逊干涉仪的量测方法，图7至图9为本技术提出的迈克尔逊干涉仪的量测方法的一实施例的流程示意图。迈克尔逊干涉仪包括光源1、反射镜2、接收传感器3及非偏振分光镜4。光源1、非偏振分光镜4及叠层结构100沿z向依次间隔设置，反射镜2、非偏振分光镜4及接收传感器3沿y向依次间隔设置，且z向与y向相互垂直。叠层结构100包括沿z向依次层叠设置的第一镜片层110和第二镜片层120。
89.请参阅图1及图7，量测方法包括：
90.s10：根据第一镜片层110的光学特性与第二镜片层120的光学特性，发出第一偏振光200。在实际应用时，迈克尔逊干涉仪可能需要测试不同的叠层结构100的形貌。因此在开始测试前，需要根据叠层结构100的具体结构，也就是第一镜片层110的光学特性与第二镜片层120的光学特性，选择光源1种类并发出对应的第一偏振光200，方便后续对第一镜片层110的量测。
91.s20：将第一偏振光200分束为传输至反射镜2的第一参考偏振光220和传输至第一镜片层110的第一测试偏振光210。第一偏振光200会经过非偏振分光镜4，非偏振分光镜4会将第一偏振光200中的部分反射至反射镜2，从而形成第一参考偏振光220，而第一偏振光200中的另一部分会直接穿过非偏振分光镜4，射向叠层结构100，从而形成第一测试偏振光210。要说明的是，非偏振分光镜4是根据光线的能量进行分光，但会转化被反射光线的偏振状态，因此此时第一参考偏振光220与第一测试偏振光210的偏振状态不同。
92.s30：对第一参考偏振光220和第一测试偏振光210进行偏振调制，以使由反射镜2反射至接收传感器3的第一参考偏振光220，与经由第一镜片层110反射并传输至接收传感器3的第一测试偏振光210具有相同的偏振状态。叠层结构100中各光学元件会对第一测试偏振光210进行转换，导致第一测试偏振光210与第一参考偏振光220的偏振不同，无法进行量测。因此在申请中，迈克尔逊干涉仪会通过偏振调制组件5对第一参考偏振光220和第一
测试偏振光210分别进行偏振调制，从而使得第一参考偏振光220与第一测试偏振光210具有相同的偏振状态，从而完成对叠层结构100中第一镜片层110形貌的量测。
93.s40：根据第一镜片层110的光学特性和第二镜片层120的光学特性，发出第二偏振光300。在实际应用时，迈克尔逊干涉仪可能需要测试不同的叠层结构100的形貌。因此在开始测试前，需要根据叠层结构100的具体结构，也就是第一镜片层110的光学特性与第二镜片层120的光学特性，选择光源1种类并发出对应的第二偏振光300，方便后续对第二镜片层120的量测。
94.s50：将第二偏振光300分束为传输至反射镜2的第二参考偏振光320和传输至叠层结构100的第二镜片层120的第二测试偏振光310。第二偏振光300会经过非偏振分光镜4，非偏振分光镜4会将第二偏振光300中的部分反射至反射镜2，从而形成第二参考偏振光320，而第二偏振光300中的另一部分会直接穿过非偏振分光镜4，射向叠层结构100，从而形成第二测试偏振光310。要说明的是，非偏振分光镜4是根据光线的能量进行分光，但会转化被反射光线的偏振状态，因此此时第二参考偏振光320与第二测试偏振光310偏振状态不同。
95.s60：对第二参考偏振光320和第二测试偏振光310进行偏振调制，以使由反射镜2反射至接收传感器3的第二参考偏振光320，与经由第二镜片层120反射并传输至接收传感器3的第二测试偏振光310具有相同的偏振状态。叠层结构100中各光学元件会对第二测试偏振光310进行转换，导致第二测试偏振光310与第二参考偏振光320的偏振不同，无法进行量测。因此在申请中，迈克尔逊干涉仪会通过偏振调制组件5对第二参考偏振光320和第二测试偏振光310分别进行偏振调制，从而使得第二参考偏振光320与第二测试偏振光310具有相同的偏振状态，从而完成对叠层结构100中第二镜片层120形貌的量测。
96.在实际应用时，迈克尔逊干涉仪有时能够通过偏振调制组件5将第一测试偏振光210的偏振方向调整至与第一参考偏振光220的偏振方向一致，或者是将第一参考偏振光220的偏振方向调整至与第一测试偏振光210的偏振方向一致。也就是说，迈克尔逊干涉仪不需要每次都同时对第一测试偏振光210与第一参考偏振光220进行调制，而是可以根据实际需求，对第一测试偏振光210与第一参考偏振光220其中之一进行调制。因此在本技术中，步骤s30还具有其他实施方式。步骤s30还可以是：对第一参考偏振光220或第一测试偏振光210进行偏振调制，以使由反射镜2反射至接收传感器3的第一参考偏振光220，与经由第一镜片层110反射并传输至接收传感器3的第一测试偏振光210具有相同的偏振状态。
97.同样的，迈克尔逊干涉仪有时能够通过偏振调制组件5将第二测试偏振光310的偏振方向调整至与第二参考偏振光320的偏振方向一致，或者是将第二参考偏振光320的偏振方向调整至与第二测试偏振光310的偏振方向一致。因此迈克尔逊干涉仪不需要每次都同时对第二测试偏振光310与第二参考偏振光320进行调制，而是可以根据实际需求，对第二测试偏振光310与第二参考偏振光320其中之一进行调制。因此在本技术中，步骤s30还具有其他实施方式。步骤s30还可以是：对第二参考偏振光320或第二测试偏振光310进行偏振调制，以使由反射镜2反射至接收传感器3的第二参考偏振光320，与经由第二镜片层120反射并传输至接收传感器3的第二测试偏振光310具有相同的偏振状态。
98.此外，在本技术中，x向、y向及z向为三个相对方向。其中，z向为光源1射出光线的射出方向，而x向偏振光为光学领域中s偏振光，y向偏振光为光学领域中的p偏振光。在本技术中，为便于说明，统一称为x向偏振光与y向偏振光。
99.请参阅图1，在一些实施例中，步骤s10具体包括：
100.s11：当第一镜片层110包括第一四分之一波片110a，第二镜片层120包括反射式偏振片120a时，朝向非偏振分光镜4发出x向偏振光或y向偏振光。其中，x向、y向及z向两两垂直设置。当测试第一镜片层110，即第一四分之一波片110a的形貌时，迈克尔逊干涉仪可以选用x向偏振光源1，也可以选用y向偏振光源1，迈克尔逊干涉仪在选用这两种光源1时都能测量出第一四分之一波片110a的形貌，不会受到光源1类型的限制。
101.在本技术中，将以第一镜片层110为第一四分之一波片110a，第二镜片层120为反射式偏振片120a进行举例说明，实际上叠层结构100还可以是更多层的光学结构，而第一镜片层110与第二镜片层120也可以是其他光学结构，迈克尔逊干涉仪只需要适应性调整偏振调制组件5就可以。
102.在一些实施例中，迈克尔逊干涉仪还包括二分之一波片52及第二四分之一波片51。步骤s30具体包括：
103.s31：当第一偏振光200为x向偏振光时，利用第二四分之一波片51，将第一参考偏振光220与第一测试偏振光210转化为右旋偏振光。请参阅图1，第二四分之一波片51的快轴f的延伸方向与x向为-45
°
，此时，当光源1选为x向偏振光源1，第二四分之一波片51会将x向偏振光转化为右旋偏振光。非偏振分光镜4会将右旋偏振光分为两束，其中一束作为第一测试偏振光210射入叠层结构100，另一束作为第一参考偏振光220射入反射镜2。此时，叠层结构100中的第一四分之一波片110a会将第一测试偏振光210通过反射转化为左旋偏振光，左旋偏振光经过非偏振分光镜4的反射会进入接收传感器3，并转化为右旋偏振光。第一参考偏振光经过非偏振分光镜4反射转化为左旋偏振光，并射入反射镜2，反射镜2会将左旋偏振光通过反射转化为右旋偏振光，并射入接收传感器3。因此在一些实施例中，迈克尔逊干涉仪通过在光源1与非偏振分光镜4之间设置第二四分之一波片51，就能使得第一测试偏振光210与第一参考偏振光220的偏振方向相同，从而能够完成对叠层结构100中第一镜片层110的量测。要说明的是，四分之一波片本身具备一定的反射率，而这使得四分之一波片能够完成形貌的量测。
104.s32：当第一偏振光200为y向偏振光时，利用二分之一波片52及第二四分之一波片51，将第一参考偏振光220与第一测试偏振光210转化为右旋偏振光。请参阅图3，实际上，二分之一波片52与第二四分之一波片51可以依次间隔设于光源1与非偏振分光镜4之间。此时，第一偏振光200会先射入二分之一波片52，从而由y向偏振光被转化为x向偏振光，再射入第二四分之一波片51，第二四分之一波片51会将x向偏振光转化为右旋偏振光。右旋偏振光再由非偏振分光镜4分为两束，其中一束作为第一测试偏振光210射入叠层结构100，另一束作为第一参考偏振光220射入反射镜2。后续的光线转化与步骤s31相同，迭层结构100中的第一四分之一波片110a会将第一测试偏振光210通过反射转化为左旋偏振光，左旋偏振光经过非偏振分光镜4的反射会进入接收传感器3，并转化为右旋偏振光。第一参考偏振光经过非偏振分光镜4反射转化为左旋偏振光，并射入反射镜2，反射镜2会将左旋偏振光通过反射转化为右旋偏振光，并射入接收传感器。
105.也就是说，迈克尔逊干涉仪中选用x向偏振光源1或y向偏振光源1都能对第一镜片层110进行形貌量测，只是需要通过不同光学元件进行偏振调制。实际上，当叠层结构100的组成不同时，迈克尔逊干涉仪通过调整，利用不同光学元件进行偏振调制，同样能够完成量
测。
106.在实际应用时，测试偏振光在射入叠层结构100中后，叠层结构100中的其他结构可能会反射出多余的光线，与测试偏振光一同朝向接收传感器3射出，干扰形貌的量测。因此在一些实施例中，迈克尔逊干涉仪还包括x向线偏振片61与y向线偏振片62。请参阅图2，量测方法还包括步骤s33：
107.利用x向线偏振片61，将第一参考偏振光220与第一测试偏振光210转化为x向偏振光。
108.通过x向偏振片能够阻挡除x向偏振光以外的其余光线，从而避免其他光线干扰形貌的量测。实际上，当射入x向偏振片的光线为圆偏振光时，x向偏振片会将圆偏振光中y向的偏振分量阻挡。比如在本实施例中，第一参考偏振光220与第一测试偏振光210都为右旋偏振光，当射入x向线偏振片61时，第一参考偏振光220与第一测试偏振光210中的y向偏振分量会被阻挡，而只有x偏振分量才能射入接收传感器3，从而将第一参考偏振光220与第一测试偏振光210都转化为x向偏振光。
109.此外，请参阅图2，量测方法还可以包括步骤s34：
110.利用y向线偏振片62，将第一参考偏振光220与第一测试偏振光210转化为y向偏振光。
111.当射入y向线偏振片62的光线为圆偏振光时，y向偏振片会将圆偏振光中x向的偏振分量阻挡。比如在本实施例中，第一参考偏振光220与第一测试偏振光210都为右旋偏振光，当射入y向线偏振片62时，第一参考偏振光220与第一测试偏振光210中的x向偏振分量会被阻挡，而只有y偏振分量才能射入接收传感器3，从而将第一参考偏振光220与第一测试偏振光210都转化为y向偏振光。
112.在一些实施例中，请参阅图4，量测方法还包括步骤s35：
113.绕平行于z向的轴线旋转叠层结构100，以使x向偏振光能够穿过反射式偏振片120a。
114.在实际应用时，叠层结构100中具有多层依次叠设的光学元件，因此当转动叠层结构100时，能够在一定程度上利用光学元件的不同的特性。而绕平行于z向的轴线转动叠层结构100后，可以将叠层结构100中反射式偏振片120a的穿透轴t的轴向调整至x向。此时，当x向偏振光射入反射式偏振片120a时会直接穿过，从而避免反射式偏振片120a反射额外的光线，因此此时只有第一测试偏振光210与第一参考偏振光220进入接收传感器3，也就避免了迈克尔逊干涉仪对第一镜片层110的量测受到干扰，使得迈克尔逊干涉仪的量测更加顺利。
115.在一些实施例中，步骤s40具体包括：
116.当第一镜片层110包括第一四分之一波片110a，第二镜片层120包括反射式偏振片120a时，朝向非偏振分光镜4发出x向偏振光或y向偏振光。其中，x向、y向及z向两两垂直设置。当测试第二镜片层120，即反射式偏振片120a的形貌时，迈克尔逊干涉仪可以选用x向偏振光源1，也可以选用y向偏振光源1，迈克尔逊干涉仪在选用这两种光源1时都能测量出反射式偏振片120a的形貌，不会受到光源1类型的限制。
117.在一些实施例中，迈克尔逊干涉仪还包括第二四分之一波片51、x向线偏振片61及y向线偏振片62。请参阅图5及图9，步骤s60具体包括：
118.s61：当第二偏振光300为x向偏振光时，利用第二四分之一波片51，将第二参考偏振光320转化为y向偏振光，并利用y向线偏振片62，将第二测试偏振光310转化为y向偏振光。在实际应用时，第二四分之一波片51可以设于反射镜2与非偏振分光镜4之间，y向线偏振片62可以设置在非偏振分光镜4与接收传感器3之间。在此时对于第二参考偏振光320，第二四分之一波片51能够将射向反射镜2的x向偏振光转化为右旋偏振光，右旋偏振光再射至反射镜2，并经过反射转化为左旋偏振光，而左旋偏振光再次穿过第二四分之一波片51而转化为y偏振光。
119.在此时对于第二测试偏振光310，x向偏振光射入第一四分之一波片110a后不会发生变化，而x向偏振光继续射向反射式偏振片120a，并被反射式偏振片120a反射而转化为偏振方向与y向呈45
°
角的线偏振光，此线偏振光再次穿透第一四分之一波片110a后会转化为右旋偏振光，此右旋偏振光经非偏振分光镜4反射转化成左旋偏振光，左旋偏振光最后会穿过y向线偏振片62而被转化为y向偏振光。因此，迈克尔逊干涉仪通过第二四分之一波片51与y向线偏振片62就能够将第二参考偏振光320与第二测试偏振光310都调整为y向偏振光，从而完成对反射式偏振片120a的量测。
120.s62：当第二偏振光300为y向偏振光时，利用第二四分之一波片51，将第二参考偏振光320转化为x向偏振光，并利用x向线偏振片61，将第二测试偏振光310转化为x向偏振光。同样在实际应用时，第二四分之一波片51可以设于反射镜2与非偏振分光镜4之间，x向线偏振片61可以设置在非偏振分光镜4与接收传感器3之间。在此时对于第二参考偏振光320，第二四分之一波片51能够将射向反射镜2的y向偏振光转化为左旋偏振光，左旋偏振光再射至反射镜2，并经过反射转化为右旋偏振光，而右旋偏振光再次穿过第二四分之一波片51而转化为x向偏振光。
121.在此时对于第二测试偏振光310，y向偏振光射入第一四分之一波片110a后不会发生变化，而y向偏振光会继续射向反射式偏振片120a，并被反射式偏振片120a反射而转化为偏振方向与x向呈45
°
角的线偏振光，此线偏振光再次穿透第一四分之一波片110a后会转化为左旋偏振光，此左旋偏振光经非偏振分光镜4反射转化成右旋偏振光，右旋偏振光最后会穿过x向线偏振片61而被转化为x向偏振光。因此，迈克尔逊干涉仪通过第二四分之一波片51与x向线偏振片61同样能够将第二参考偏振光320与第二测试偏振光310都调整为x向偏振光，从而完成对反射式偏振片120a的量测。
122.在一些实施例中，请参阅图6，量测方法还包括步骤s63：
123.绕平行于z向的轴线旋转叠层结构100，以使反射式偏振片120a反射后的线偏振光穿过第一四分之一波片110a后能够转化为圆偏振光。
124.在实际应用时，叠层结构100中具有多层依次叠设的光学元件，因此当转动叠层结构100时，能够在一定程度上利用光学元件的不同的特性。而绕平行于z向的轴线转动叠层结构100后，可以使叠层结构100中第一四分之一波片110a的快轴f的延伸方向与y向平行，此时反射式偏振片120a的反射轴r的延伸方向与y向的夹角为45度。
125.此时，当y向偏振光射入第一四分之一波片110a时不会发生变化，y向偏振光会继续射向反射式偏振片120a，并被反射式偏振片120a反射而转化为偏振方向与x向呈45
°
角的线偏振光，此线偏振光再次穿透第一四分之一波片110a后会转化为左旋偏振光，从而使得迈克尔逊干涉仪后续的偏振调制更加顺利。
126.另外，当x向偏振光射入第一四分之一波片110a时同样不会发生变化，而x向偏振光会继续射向反射式偏振片120a，并被反射式偏振片120a反射而转化为偏振方向与y向呈45
°
角的线偏振光，此线偏振光再次穿透第一四分之一波片110a后会转化为右旋偏振光，从而使得迈克尔逊干涉仪后续的偏振调制更加顺利。
127.要说明的是，在使用本方法进行光路设计与调整时需要考虑叠层结构100本身的组成，而本技术进行说明时，所举例的叠层结构100包括作为第一镜片层110的第一四分之一波片110a及作为第二镜片层120的反射式偏振片120a，但这并不表示本技术只能应用于量测该叠层结构100。本技术提出的迈克尔逊干涉仪与迈克尔逊干涉仪的量测方法，再经过适应性的调整后，都能应用于不同的叠层结构100。
128.实际上，本技术提出的叠层结构100还可以包括第三镜片层130，而第三镜片层130实际为线偏振片130a。线偏振片130a在实际应用时不会出现反射，而是只会出现吸收与穿透，因此这并不会对光学系统造成干扰，也不会对形貌的量测造成干扰。线偏振片130a实际应用时也无需进行形貌量测，因此在本技术中未提及，但是在附图进行了标识。
129.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
130.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪包括光源、反射镜、接收传感器及非偏振分光镜；所述光源、所述非偏振分光镜及叠层结构沿z向依次间隔设置，所述反射镜、所述非偏振分光镜及所述接收传感器沿y向依次间隔设置，且所述z向与所述y向相互垂直；所述叠层结构包括沿所述z向依次层叠设置的第一镜片层和第二镜片层；所述量测方法包括：根据所述第一镜片层的光学特性与所述第二镜片层的光学特性，发出第一偏振光；将所述第一偏振光分束为传输至所述反射镜的第一参考偏振光和传输至所述第一镜片层的第一测试偏振光；对所述第一参考偏振光和/或所述第一测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第一参考偏振光，与经由所述第一镜片层反射并传输至所述接收传感器的第一测试偏振光具有相同的偏振状态；根据所述第一镜片层的光学特性和所述第二镜片层的光学特性，发出第二偏振光；将所述第二偏振光分束为传输至所述反射镜的第二参考偏振光和传输至所述叠层结构的第二镜片层的第二测试偏振光；对所述第二参考偏振光和/或所述第二测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第二参考偏振光，与经由所述第二镜片层反射并传输至所述接收传感器的第二测试偏振光具有相同的偏振状态。2.根据权利要求1所述的迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述根据所述第一镜片层的光学特性与所述第二镜片层的光学特性，发出第一偏振光的步骤具体包括：当所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片时，朝向所述非偏振分光镜发出x向偏振光或y向偏振光；其中，所述x向、所述y向及所述z向两两垂直设置。3.根据权利要求2所述的迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪还包括二分之一波片及第二四分之一波片；所述对所述第一参考偏振光和/或所述第一测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第一参考偏振光，与经由所述第一镜片层反射并传输至所述接收传感器的第一测试偏振光具有相同的偏振状态的步骤具体包括：当所述第一偏振光为x向偏振光时，利用所述第二四分之一波片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为右旋偏振光；当所述第一偏振光为y向偏振光时，利用所述二分之一波片及所述第二四分之一波片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为右旋偏振光。4.根据权利要求3所述的迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪还包括x向线偏振片与y向线偏振片，所述量测方法还包括：利用所述x向线偏振片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为x向偏振光；或利用所述y向线偏振片，将所述第一参考偏振光与所述第一测试偏振光转化为y向偏振光。5.根据权利要求2至4任意一项所述的迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述
量测方法包括：绕平行于所述z向的轴线旋转所述叠层结构，以使x向偏振光能够穿过所述反射式偏振片。6.根据权利要求1所述的迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述根据所述第一镜片层的光学特性和所述第二镜片层的光学特性，发出第二偏振光的步骤具体包括：当所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片时，朝向所述非偏振分光镜发出x向偏振光或y向偏振光；其中，所述x向、所述y向及所述z向两两垂直设置。7.根据权利要求6所述的迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪还包括第二四分之一波片、x向线偏振片及y向线偏振片；所述对所述第二参考偏振光和/或所述第二测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述第二参考偏振光，与经由所述第二镜片层反射并传输至所述接收传感器的第二测试偏振光具有相同的偏振状态的步骤具体包括：当所述第二偏振光为x向偏振光时，利用所述第二四分之一波片，将所述第二参考偏振光转化为y向偏振光，并利用所述y向线偏振片，将所述第二测试偏振光转化为y向偏振光；当所述第二偏振光为y向偏振光时，利用所述第二四分之一波片，将所述第二参考偏振光转化为x向偏振光，并利用所述x向线偏振片，将所述第二测试偏振光转化为x向偏振光。8.根据权利要求6或7任意一项所述的迈克尔逊干涉仪的量测方法，其特征在于，所述量测方法包括：绕平行于所述z向的轴线旋转所述叠层结构，以使所述反射式偏振片反射后的线偏振光穿过所述第一四分之一波片后能够转化为圆偏振光。9.一种迈克尔逊干涉仪，用于测试叠层结构中各层结构的形貌，其特征在于，所述迈克尔逊干涉仪包括：光源，用以沿z向与所述叠层结构相对设置，所述光源用以沿z向朝所述叠层结构射出偏振光；非偏振分光镜，用以设于所述光源与所述叠层结构之间，所述非偏振分光镜的朝向与所述z向之间呈45度角设置；所述非偏振分光镜用以将所述光源发出的偏振光分束为参考偏振光和测试偏振光，所述测试偏振光用以传输至所述叠层结构；反射镜，沿y向与所述非偏振分光镜相对设置；所述参考偏振光用以传输至所述反射镜；接收传感器，沿所述y向与所述非偏振分光镜相对设置，且所述接收传感器相对所述反射镜设于所述非偏振分光镜的另一侧；以及偏振调制组件，用以对所述参考偏振光和所述测试偏振光进行偏振调制，以使由所述反射镜反射至所述接收传感器的所述参考偏振光，与经由所述叠层结构反射并传输至所述接收传感器的所述测试偏振光具有相同的偏振状态；其中，所述y向与所述z向垂直设置。10.根据权利要求9所述的迈克尔逊干涉仪，其特征在于，所述叠层结构包括沿所述z向依次层叠设置的第一镜片层和第二镜片层，所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片，其中：
所述偏振调制组件包括设于所述光源与所述非偏振分光镜之间的第二四分之一波片，所述第二四分之一波片用以将x向偏振光转化为右旋偏振光；或所述偏振调制组件包括设于所述反射镜与所述非偏振分光镜之间的第二四分之一波片，所述第二四分之一波片用以将y向偏振光转化为左旋偏振光，或是将右旋偏振光转化为x向偏振光，或是将x向偏振光转化为右旋偏振光，或是将左旋偏振光转化为y偏振光；其中，所述x向、所述y向与所述z向呈两两垂直设置。11.根据权利要求9所述的迈克尔逊干涉仪，其特征在于，所述叠层结构包括沿所述z向依次层叠设置的第一镜片层和第二镜片层，所述第一镜片层包括第一四分之一波片，所述第二镜片层包括反射式偏振片；所述偏振调制组件包括二分之一波片及第二四分之一波片，自所述光源指向所述非偏振分光镜，所述二分之一波片与所述第二四分之一波片依次间隔设于所述光源与所述非偏振分光镜之间；所述二分之一波片用以将y向偏振光转化为x向偏振光，所述四分之一波板用以将x向偏振光转化为右旋偏振光。12.根据权利要求9所述的迈克尔逊干涉仪，其特征在于，还包括安装于所述非偏振分光镜与所述接收传感器之间的第一光学元件，所述第一光学元件设为x向线偏振片或y向线偏振片。

技术总结
本申请涉及一种迈克尔逊干涉仪的量测方法及迈克尔逊干涉仪。量测方法包括：根据第一镜片层的光学特性与第二镜片层的光学特性，发出第一偏振光；对第一参考偏振光和/或第一测试偏振光进行偏振调制，以使第一参考偏振光与第一测试偏振光具有相同的偏振状态；根据第一镜片层的光学特性和第二镜片层的光学特性，发出第二偏振光；对第二参考偏振光和/或第二测试偏振光进行偏振调制，以使第二参考偏振光与第二测试偏振光具有相同的偏振状态。本申请通过设置偏振调制组件对参考偏振光和对应的测试偏振光分别进行偏振调制，从而使得每一参考偏振光与对应的测试偏振光都具有相同的偏振状态，从而对叠层结构中的各层结构分别进行形貌的量测。貌的量测。貌的量测。


技术研发人员：叶肇懿 吴朵朵
受保护的技术使用者：业成光电（深圳）有限公司 业成光电（无锡）有限公司 英特盛科技股份有限公司
技术研发日：2023.04.11
技术公布日：2023/8/24