一种陶瓷产品真空泄漏检测装置的制作方法

1.本实用新型属于陶瓷产品检测技术领域，尤其是涉及一种适用于大型激光设备用陶瓷产品真空泄漏检测装置。


背景技术：

2.随着陶瓷材料的性能和加工技术的日益发展，陶瓷产品从最早的工艺品渐渐发展成现在的具有各种特定工业性能的特种陶瓷。与金属材料相比，陶瓷材料的耐高温、耐磨、抗腐蚀、硬度高、无金属污染、绝缘等特性在各种设备中发挥着优异的效果。
3.随着陶瓷材料的广泛应用，越来越多的产品改为了陶瓷材质，因此陶瓷产品的结构和尺寸也更加多样化，各项要求也在逐步提高。根据陶瓷本身的耐腐蚀性能，半导体激光设备中的核心部件大量的选用了陶瓷材料。
4.对于设有空腔的大型非标准化的陶瓷产品，对其空腔的气密性有较高的要求，其上表面设有连通空腔的气孔，泄漏测试需要使用密封圈同时密封气孔以及空腔并连接在泄漏测试仪上，测试过程中操作难度较大，严重影响了测试的效率，而且由于这种产品为大型非标型陶瓷产品，需要根据产品情况设定专用的泄漏治具以保证产品的密封检查，这种导致了每种大型非标型陶瓷产品都需要制作一款特殊的检查装置，既增加了生产成本，不具有通用性，同时还给检查带来极大的不便。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是为了解决现有的大型非标型陶瓷产品的空腔气密性检测难度大，需要制作专门的检测设备，成本高，不具有通用性，检测效率低的问题，而提供一种结构简单，安装方便快捷，检测高效，而且具有良好的通用性，能够实现各种不同规格的大型非标型陶瓷产品气密性检测的大型激光设备用陶瓷真空泄漏检查装置。
6.本实用新型实现其发明目的所采用的技术方案是：一种陶瓷产品真空泄漏检测装置，包括装置本体，所述的装置本体上设置有密封区域封闭组件，所述的密封区域封闭组件包括激光发射通道密封组件和气孔密封组件，所述的激光发射通道密封组件呈旋转调节式对称设置在装置本体的两端，所述的气孔密封组件活动压接式设置。该陶瓷产品真空泄漏检测装置，通过设置一用于陶瓷产品检测固定用的装置本体，在装置本体上分别设置激光发射通道密封组件和气孔密封组件等密封区域封闭组件，在对陶瓷产品真空泄漏检测时，只需要将待检测的陶瓷产品放置在装置本体上，通过激光发射通道密封组件实现对陶瓷产品上的激光发射通道进行密封，并通过气孔密封组件与气孔连接并与泄漏检测设备的充气口连接，即可实现对陶瓷产品内腔真空度的检测，操作方便快捷，而且该检测装置具有良好的通用性，能够广泛适用于各种规格型号激光设备用的非标型陶瓷产品的空腔气密性检测，极大的提高了检测效率和检测质量。
7.作为优选，所述的装置本体包括一底座和对称固定在底座两端固定块，所述的固定块上沿水平方向设置有旋转调节孔，两固定块之间在底座上形成检测产品定位空间。装
置本体主要包括一底座，底座为水平设置的水平板件，在底座的上表面两端分别固定有两固定块，两固定块一是用于激光发射通道密封组件的顶紧固定用，同时还用于实现对不同规格型号的激光发射通道封闭，通过在固定上设置旋转调节孔，可以实现激光发射通道密封组件与陶瓷产品相对位置的调整，从而实现对激光发射通道口的封闭。
8.作为优选，所述的检测产品定位空间所在的底座上设置有导向件，所述的导向件沿底座长度方向所在的轴线设置。在检测产品定位空间所在的底座上还可以设置一导向件，导向件用于与陶瓷产品底部的底槽相配合，实现对陶瓷产品的限位，从而进一步保护陶瓷产品两端的激光发射通道与激光发射通道密封组件的密封配合，保证真空检测的准确性。
9.作为优选，所述的激光发射通道密封组件包括顶杆和密封顶块，所述的密封顶块包括顶接端和密封端，所述的顶接端上设置有顶接孔，所述的密封端的端面设置有顶块密封槽，所述的顶块密封槽内部设置有顶块密封件；所述的顶杆包括一体设置的操作端、旋转螺纹段和顶杆顶接端，所述的顶杆顶接端与顶接孔配合设置。激光发射通道密封组件包括一根顶杆和一密封顶块，密封顶块包括一个顶接端和一个密封端，顶接端上设置有顶接孔，是为了方便顶杆上的顶杆顶接端与其配合，通过顶杆将密封顶块顶紧在陶瓷产品的激光发射通道口，从而实现密封，而密封端则是为了实现对激光发射通道口的密封，因此，在密封端设置有顶块密封槽，在顶块密封槽内部设置的顶块密封件，顶块密封件与激光发射通道所在的密封区域相配合，实现对激光发射通道的密封。顶杆设置有操作端是为了实现对顶杆的旋转顶紧操作，可以是手动式旋转，也可以是通过动力带动自动旋转，而旋转螺纹段用于与固定块上的旋转调节孔相配合，实现顶杆与陶瓷产品上激光发射通道端距离的调节，即调节密封顶块的密封位置与密封效果。顶杆顶接端是为了与密封顶块上的顶接孔活动配合，既保证顶杆在旋转过程中不会带动密封顶块转动，同时还能够在密封顶块与陶瓷产品端部接触后的顶接定位，保护在抽气过程中密封顶块与陶瓷产品之间始终处于顶紧密封状态。
10.作为优选，所述的气孔密封组件包括一密封连接件，所述的密封连接件包括连接座和一连接管，所述的连接座上设置有连接座密封槽，所述的连接座密封槽内部设置有连接座密封件，所述的连接管内部设置有连通气孔和外部泄漏设备的通气腔。气孔密封组件优选使用一密封连接件，密封连接件可以是一体式设置有连接座和连接管，连接座用于对气孔的压接密封，而连接管用于与管路连接，从而实现陶瓷产品内腔与泄漏检测设备抽气孔的连接。连接座与陶瓷产品孔孔配合密封的一侧设置有连接座密封槽，在连接座密封槽内部设置有连接座密封件，当使用时，将连接座压设在气孔上，将气孔的周边进行密封，从而保证在真空泄漏检测过程中的精确性。
11.作为优选，所述的气孔密封组件包括一密封连接件，所述的密封连接件包括连接座和连接管，所述的连接座上与连接管反向的一侧设置有密封塞，所述的连接管内部设置有连通气孔和外部泄漏设备的通气腔。作为另一种优选方案，密封连接件还可以直接在连接座上设置一与气孔插接密封的密封塞，使用时，直接将密封塞插入到气孔内部，实现与气孔的密封连接，并且通过通气孔与外部泄漏检测设备的充气口连接，实现真空泄漏检测。
12.作为优选，还包括泄漏点检测组件，所述的泄漏点检测组件包括检测针筒和泄漏气压流量计，所述的检测针筒通过气管与泄漏气压流量计连接，所述的泄漏气压流量计连
接外部泄漏设备。通过检测针筒对上扣板和下扣板连接处进行泄漏点检测，并通过泄漏气压流量计来检测气压变化，最终在外部泄漏设备上显示泄漏值，可以对泄漏点进行密封补救，从而保证陶瓷产品内腔的真空要求。
13.本实用新型的有益效果：该陶瓷产品真空泄漏检测装置，操作方便快捷，具有良好的通用性，能够广泛适用于各种规格型号激光设备用的非标型陶瓷产品的空腔气密性检测，极大的提高了检测效率和检测质量。
附图说明
14.图1是本实用新型中非标型的大型激光设备用陶瓷产品的一种结构示意图；
15.图2是本实用新型非标型的大型激光设备用陶瓷产品的一种剖视图；
16.图3是本实施新型陶瓷产品真空泄漏检测装置的一种结构示意图；
17.图4是本实用新型中密封连接件的一种结构示意图；
18.图5是本实用新型中密封顶块的一种结构示意图；
19.图6是本实用新型中密封顶块另一角度的结构示意图；
20.图7是本实用新型中顶杆的一种结构示意图；
21.图8是本实用新型陶瓷产品真空泄漏检测装置的一种应用结构示意图；
22.图9是本发明实施例2中密封连接件的一种结构示意图；
23.图中：100、陶瓷产品，101、上扣板，102、下扣板，103、内腔，104、渐变槽，105、激光发射通道，106、气孔，107、底槽，200、泄漏设备；
24.300、装置本体，400、激光发射通道密封组件，500、气孔密封组件，600、检测产品定位空间，700、泄漏点检测组件；
25.1、底座，2、固定块，3、顶杆，31、操作端，32、旋转螺纹段，33、顶杆顶接端，4、密封顶块，41、顶接端，42、密封端，43、顶接孔，
26.5、密封槽，6、顶块密封件，7、导向件，8、密封连接件，9、连接座，10、连接管，11、连接座密封槽，12、连接座密封件，13、通气腔，14、旋转调节孔，15、检测针筒，16、泄漏气压流量计。
具体实施方式
27.下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
28.实施例1：
29.如图1、图2所示为本实施例中是一种非标型的大型激光设备用陶瓷产品100，所述的陶瓷产品100包括密封式连接的上扣板101和下扣板102，所述的上扣板101和下扣板102扣合形成内腔103，所述的上扣板101上设置有内凹的渐变槽104，所述的上扣板101和下扣板102的两端的端面上设置有激光发射通道105，在上扣板101的板面上设置有连通内腔103的气孔106。激光发射通道所在的端部设置为端部密封区域，气孔所在的板面设置为面密封区域。在下扣板的下板面上设置有渐变式内凹的底槽107。陶瓷产品的规格大小有多种，针对该非标型的大型激光设备用陶瓷产品100特设计了一款通用型的真空检测装置。
30.本实施例中，外部泄漏设备200包括一气泵、充气气压流量计和泄漏仪。
31.如图3所示，一种陶瓷产品真空泄漏检测装置，包括装置本体300，所述的装置本体300上设置有密封区域封闭组件，所述的密封区别封闭组件包括激光发射通道密封组件400和气孔密封组件500，所述的激光发射通道密封组件400呈旋转调节式对称设置在装置本体300的两端，所述的气孔密封组件500活动压接式设置。其广泛适用于非标型大型激光设备陶瓷产品真空泄漏的检测，该检测装置采用铝合金制成。
32.所述的装置本体300包括一底座1和对称固定在底座两端固定块2，所述的固定块2上沿水平方向设置有旋转调节孔14，两固定块2之间在底座1上形成检测产品定位空间600。
33.所述的激光发射通道密封组件400包括顶杆3和密封顶块4，如图5、图6所示，所述的密封顶块4包括顶接端41和密封端42，所述的顶接端41上设置有顶接孔43，所述的密封端42的端面设置有顶块密封槽5，所述的顶块密封槽5内部设置有顶块密封件6；如图7所示，所述的顶杆3包括一体设置的操作端31、旋转螺纹段32和顶杆顶接端33，所述的顶杆顶接端33与顶接孔43配合设置。
34.两固定块2通过螺栓与底座1固定连接，顶杆3水平设置且与固定块2移动调节式连接，本实施例中采用旋转式螺纹连接，所述的顶杆3从固定块2的外侧向内侧设置，操作端31设在固定块的外侧，而旋转螺纹段32与固定块上的旋转调节孔14螺纹配合，而顶杆顶接端延伸在固定块内侧并且正对密封顶块4上的顶接孔43设置，顶杆顶接端与顶接孔活动配合，在顶杆旋转过程中密封顶块不随顶杆转动。所述的密封顶块4上的密封端42设置有顶块密封槽5，顶块密封槽5内部设置有顶块密封件6，顶块密封件6与陶瓷产品上的激光发射通道区域配合设置，实现对激光发射通道的密封。通过旋转调节顶杆3可以实现顶杆与固定块之间相对位置的变化，即顶杆与密封顶块相对位置的变化，从而可以实现对密封顶块的顶紧密封，进行真空检测时用于实现对激光发射通道进行密封。
35.在底座1上两固定块2之间的底座1上沿底座长度方向的中心轴线设置有导向件7，所述的导向件7与陶瓷产品下扣板上的底槽107配合设置并且其长度小于底槽的长度。用于实现在检测过程中对陶瓷产品100的限位，以保证检测效果的准确性。本实施例中，导向件7为一导向导轨，采用导向导轨，使用有时，陶瓷产品上的底槽扣合在导向导轨上，保证陶瓷产品能够处于底座长度方向的中心轴线上，保证两端的密封顶块能够对激光发射通道里进行有效密封。
36.如图4所示，还包括一密封连接件8，所述的密封连接件8包括连接座9和一连接管10，所述的连接座9上设置有连接座密封槽11，所述的连接座密封槽11内部设置有连接座密封件12，连接座密封件12与陶瓷产品100上的气孔106配合设置，实现在真空泄漏检测时对气孔103的密封，所述的连接管10内部设置有连通气孔103和外部泄漏设备200的通气腔13。使用时，该密封连接件通过螺栓与上扣板连接，密封连接在气孔所在的上扣板上，用于实现对气孔的密封。当然，该密封连接件8也可以通过粘接方式与上扣板进行连接。
37.如图3所示，还包括泄漏点检测组件700，所述的泄漏点检测组件700包括检测针筒15和泄漏气压流量计16，所述的检测针筒15通过气管与泄漏气压流量计连接，所述的泄漏气压流量计连接外部泄漏设备200，当需要检测泄漏点时，检测针筒沿上扣板和下扣板连接处进行移动，当有气体泄漏时，气压流量计会发生变化，泄漏设备上的气压数值会产生变化，说明此处存在泄漏。
38.如图8所示，该真空泄漏检测装置，具体操作如下：当需要对大型非标型陶瓷产品
真空泄漏检测时，将待检测的陶瓷产品水平放置到底座1上，同时，使下扣板上的底槽107刚好罩在导向件7上，使得陶瓷产品能够被定位在底座的中心轴线位置，使得陶瓷产品两端部的激光发射通道正对密封顶块4，然后旋转两端的顶杆，通过顶杆带动密封顶块向激光发射通道靠近，当密封顶块与陶瓷产品两端抵接后，通过密封顶块上的顶块密封件将陶瓷产品两端的激光发射通道进行密封，此时，由于顶杆与固定块是旋转螺纹连接，能够保证密封顶块的位置不动，始终将激光发射通道密封住。最后将密封连接件与气孔连接，实现对气孔周边的密封，
39.然后将密封连接件与泄漏设备200的充气口进行连接，通过气泵对陶瓷产品内腔充氮气，当氮气充到大于等于设定值，一般设定值为1.02
×
10
－11
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·
m3/s，则说明该内腔的真空度符合产品要求，从而实现了对陶瓷产品内腔真空度的密封测试。当泄漏设备上显示的氮气充气量始终达不到设定数值则说明陶瓷产品内腔真空密封不合格。此时，将泄漏点测试组件沿陶瓷产品上扣板和下扣板连接的缝隙处移动，当泄漏点检测组件中的气压流量值出现变化时，则说明该处为泄漏点，进而对该处进行重新密封，从而使其达到设定真空要求。
40.实施例2：
41.在图9所示的实施例中，其技术方案与实施例1基本相同，不之处在于：所述的密封连接件8包括连接座9和连接管10，所述的连接座9上与连接管10反向的一侧设置有密封塞，密封塞与陶瓷产品100上的气孔106配合设置，实现在真空泄漏检测时对气孔103的密封，所述的连接管10内部设置有连通气孔103和外部泄漏设备的通气腔13。使用时，将密封塞插入陶瓷产品的气孔106内部，对气孔的密封。连接管10通过气管与外部的泄漏设备充气口连接，用于实现对陶瓷产品内腔的抽真空，从而进行真空泄漏测试。
42.上述实施例所示的，该陶瓷产品真空泄漏检查装置，可以广泛适用于各种非标型大型激光设备用的陶瓷产品进行真空泄漏检测，结构简单、方便实用，通用性好，能够很好的解决大型激光设备陶瓷产品的密封检测问题。

技术特征：
1.一种陶瓷产品真空泄漏检测装置，包括装置本体（300），其特征在于：所述的装置本体（300）上设置有密封区域封闭组件，所述的密封区别封闭组件包括激光发射通道密封组件（400）和气孔密封组件（500），所述的激光发射通道密封组件（400）呈旋转调节式对称设置在装置本体（300）的两端，所述的气孔密封组件（500）活动压接式设置。2.根据权利要求1所述的陶瓷产品真空泄漏检测装置，其特征在于：所述的装置本体（300）包括一底座（1）和对称固定在底座两端固定块（2），所述的固定块（2）上沿水平方向设置有旋转调节孔（14），两固定块（2）之间在底座（1）上形成检测产品定位空间（600）。3.根据权利要求2所述的陶瓷产品真空泄漏检测装置，其特征在于：所述的检测产品定位空间（600）所在的底座上设置有导向件（7），所述的导向件（7）沿底座长度方向所在的轴线设置。4.根据权利要求1所述的陶瓷产品真空泄漏检测装置，其特征在于：所述的激光发射通道密封组件（400）包括顶杆（3）和密封顶块（4），所述的密封顶块（4）包括顶接端（41）和密封端（42），所述的顶接端（41）上设置有顶接孔（43），所述的密封端（42）的端面设置有顶块密封槽（5），所述的顶块密封槽（5）内部设置有顶块密封件（6）。5.根据权利要求4所述的陶瓷产品真空泄漏检测装置，其特征在于：所述的顶杆（3）包括一体设置的操作端（31）、旋转螺纹段（32）和顶杆顶接端（33），所述的顶杆顶接端（33）与顶接孔（43）配合设置。6.根据权利要求1至5任意一项所述的陶瓷产品真空泄漏检测装置，其特征在于：所述的气孔密封组件（500）包括一密封连接件（8），所述的密封连接件（8）包括连接座（9）和一连接管（10），所述的连接座（9）上设置有连接座密封槽（11），所述的连接座密封槽（11）内部设置有连接座密封件（12），所述的连接管（10）内部设置有连通气孔（103）和外部泄漏设备的通气腔（13）。7.根据权利要求1至5任意一项所述的陶瓷产品真空泄漏检测装置，其特征在于：所述的气孔密封组件（500）包括一密封连接件（8），所述的密封连接件（8）包括连接座（9）和连接管（10），所述的连接座（9）上与连接管（10）反向的一侧设置有密封塞，所述的连接管（10）内部设置有连通气孔（103）和外部泄漏设备的通气腔（13）。8.根据权利要求1至5任意一项所述的陶瓷产品真空泄漏检测装置，其特征在于：还包括泄漏点检测组件（700），所述的泄漏点检测组件（700）包括检测针筒（15）和泄漏气压流量计（16），所述的检测针筒（15）通过气管与泄漏气压流量计（16）连接，所述的泄漏气压流量计（16）连接外部泄漏设备。

技术总结
本实用新型公开了一种陶瓷产品真空泄漏检测装置，包括装置本体，所述的装置本体上设置有密封区域封闭组件，所述的密封区域封闭组件包括激光发射通道密封组件和气孔密封组件，所述的激光发射通道密封组件呈旋转调节式对称设置在装置本体的两端，所述的气孔密封组件活动压接式设置。该陶瓷产品真空泄漏检测装置，操作方便快捷，具有良好的通用性，能够广泛适用于各种规格型号激光设备用的非标型陶瓷产品的空腔气密性检测，极大的提高了检测效率和检测质量。和检测质量。和检测质量。


技术研发人员：王轶军 姚相民 马玉琦 李奇
受保护的技术使用者：浙江富乐德半导体材料科技有限公司
技术研发日：2022.12.29
技术公布日：2023/9/1