多头研磨设备的制作方法

1.本实用新型涉及化学机械抛光领域，具体涉及一种多头研磨设备。


背景技术：

2.研磨是精密加工中的一种重要加工方法。国内主要研磨抛光加工还是采用散粒磨料在慢速单杆研磨机上研磨的方式。
3.目前慢速单杆研磨机的设计是主轴连接一个摆针，每次只能完成一盘工件的研磨，为了提高效率我们设计了一款实现传统慢速单杆研磨机可以一次性研磨多盘工件的装置。
4.为了工件研磨面能达到较高的表面质量要求磨盘转速不能太高，采用慢速研磨方式，每次只能研磨一盘工件加工效率低。每次研磨数量少也会造成辅料、人工等多方面的浪费。
5.单盘研磨时工件在研磨盘上实际研磨区域较小，研磨轨迹较为固定，所以研磨盘每个区域研磨频率不一样，导致使用一段时间后研磨盘表面会出现面形不平整的现象，磨盘产生的这种磨损会影响加工工件的表面形状精度，需要定期对研磨盘表面的平整度进行修正，因研磨盘面积大，材质坚硬修正时间较长，严重影响研磨机使用效率。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于解决慢速单杆研磨机研磨效率低的问题，提供一种多头研磨装置，以其提高研磨效率。
7.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
8.一种多头研磨设备，包括：
9.主研磨摆针；
10.安装座：安装在主研磨摆针上；
11.安装杆：呈周向排列安装在安装座上；
12.分研磨摆针：每个安装杆上均安装有一个分研磨摆针；所述分研磨摆针安装后，与主研磨摆针朝向相同；
13.研磨盘：分别安装在主研磨摆针的端部，以及，每个分研磨摆针的端部。
14.本实用新型一些实施例中，所述安装座呈十字形，包括四个支腿；四个支腿的相交处为安装座中心，其中心处设置有通孔，每个支腿处均形成有安装槽；
15.所述主研磨摆针经通孔穿过；每个安装槽处均安装有一个安装杆。
16.本实用新型一些实施例中，每个安装槽的两侧壁处相对设置有固定件安装孔，所述安装杆上设置有固定件安装孔，所述安装杆与安装座经固定件固定。
17.本实用新型一些实施例中，每个安装杆的头部设置有安装套；所述安装套包括套通孔，所述分研磨摆针穿过所述套通孔。
18.本实用新型一些实施例中，进一步包括摇臂，与主研磨摆针连接。
19.本实用新型一些实施例中，进一步包括安装套，所述安装套包括套通孔，所述主研磨摆针穿过所述套通孔；还包括连接杆；所述摆臂经连接杆与安装套连接。
20.本实用新型一些实施例中，所述安装套为长方体，沿垂直分研磨摆针的方向，所述安装套具有贯通安装套侧壁与套通孔的开口槽，沿开口槽的两侧壁相对设置有销轴安装孔，销轴穿过所述销轴安装孔，其穿出端外壁设置有螺纹段，螺纹段设置有螺母。
21.本实用新型一些实施例中，所述销轴的直径小于所述销轴安装孔的孔径。
22.本实用新型一些实施例中，所述主研磨摆针和所述分研磨摆针均呈圆柱状。
23.本实用新型一些实施例中，所述主研磨摆针和所述分研磨摆针安装研磨盘的一端均呈锥形，在锥形端部设置有球状块。
24.较现有技术相比，本实用新型提供的多头研磨设备的技术优势在于：
25.1、多头研磨设备可以实现工件研磨的批量化生产，大幅提高效率。单次研磨工件数量的增加可以降低辅料、人工等成本；
26.2、本装置制作简单，不需要改动慢速单杆研磨机主体结构，改造摆针结构即可；
27.3、多盘联动研磨，研磨盘大部分区域都能参与研磨，可以拉长修正研磨盘的周期，提高慢速单杆研磨机实际使用效率；
28.4、本装置摆针连接套杆与连接座之间的连接方式为销轴连接，摆针联动过程中每个摆针可以根据自身情况做一定范围内的摆动，不是单一的机械性硬接触磨削，增加研磨过程中有利的弹性缓冲，可以提高工件研磨面的表面质量。
附图说明
29.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
30.图1为多头研磨设备结构示意图；
31.图2为主研磨摆针结构示意图；
32.图3为安装杆和安装套组装状态结构示意图；
33.图4为主研磨摆针和安装座组装状态结构示意图；
34.图5为主研磨摆针和分研磨摆针组装状态结构示意图；
35.以上各图中：
36.1-主研磨摆针，101-球状块，102-柱状主体；
37.2-安装座，201-通孔，202-安装槽，203-子支腿；
38.3-安装杆；
39.4-分研磨摆针；
40.5-研磨盘；
41.6-固定件；
42.7-安装套，701-套通孔，702-开口槽，703-销轴安装孔；
43.8-销轴；
44.9-摇臂；
45.10-连接杆；
46.11-工件。
具体实施方式
47.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
48.需要说明的是，当元件被称为“设置在”，“连接”，另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
49.需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
50.本实用新型提供一种多头研磨设备，其结构参考图1至图5，包括以下结构单元。
51.主研磨摆针1，呈圆柱状，结构参考图2。
52.安装座2：安装在主研磨摆针1上。
53.安装杆3：呈周向排列安装在安装座2上。
54.分研磨摆针4：每个安装杆3上均安装有一个分研磨摆针4；分研磨摆针4安装后，与主研磨摆针1朝向相同。分研磨摆针4的结构和形状与主研磨摆针1相同，均包括柱状主体102。
55.研磨盘5：分别安装在主研磨摆针1的端部，以及，每个分研磨摆针4的端部。
56.研磨盘5盘体呈圆形，一侧的盘面作为研磨面，另一侧的盘面上设置有柱状安装头，安装头形成插装槽，槽底呈球形；为了方便与研磨盘5的安装，主研磨摆针1和分研磨摆针4安装研磨盘的一端均设计为锥形，在锥形端部设置有球状块101。安装时，将球状块101插入研磨盘的安装槽内的球形槽底，可固定摆针和研磨盘5之间的安装，并且使研磨盘5和摆针之间形成一种非固定连接，可以球状块为转动中心相对转动，以适应不同的待研磨产品。
57.通过上述结构，每个摆针均安装有一个研磨盘5，可以实现同时对多盘工件同步进行研磨。
58.为了解决分研磨摆针4安装的问题，本实用新型一些实施例中，进一步设计安装座2的结构如下。安装座2呈十字形，形成交叉设置的四个支腿；四个支腿的相交处为安装座2中心。其中心处设置有通孔201，主研磨摆针1经通孔201穿过。每个支腿处均形成有安装槽202。具体的，本实施例中，由安装座2的中心位置，沿着一个径向方向相对的两侧分别设置有一个方向的安装支腿；每个安装支腿包括每个间隔设置的两个子支腿203，子支腿203之间的间隙形成安装槽，安装槽处均安装有一个安装杆3。
59.为了固定安装杆3，本实用新型一些实施例中，每个安装槽的两侧壁处相对设置有固定件安装孔204，安装杆3上设置有固定件安装孔204，安装杆3与安装座2经固定件6固定。本实施例中，固定件安装孔204位于子支腿203得侧壁上。
60.为了解决分研磨摆针4安装得问题，本实用新型一些实施例中，每个安装杆3的头部设置有安装套7；安装套7包括套通孔701，分研磨摆针4穿过所述套通孔701。
61.为了固定分研磨摆针4，以及提高设备的灵活性，本实用新型一些实施例中，安装套7为长方体，沿垂直分研磨摆针4的方向，安装套7具有贯通安装套侧壁与套通孔的开口槽702，沿开口槽702的两侧壁相对设置有销轴安装孔703，销轴8穿过销轴安装孔703，其穿出端外壁设置有螺纹段，螺纹段设置有螺母，用于调整固定销轴8的安装位置。销轴8的直径小于销轴安装孔703的孔径，以使得销轴8具有一定的运动余量。在研磨过程中工件表面与磨盘完全的硬接触式磨削是很难达到较高表面质量的，本实施例提供的设备运行时，安装套7可以和销轴8之间产生一定幅度的摆动，安装套7带动分研磨摆针4的轻微摆动可以在磨削过程中让工件11表面与磨盘有一定弹性缓冲，更利于取得较高的表面质量。
62.本实用新型提供的多头研磨设备可以配合单杆研磨机使用。为了解决其与单杆研磨机安装的问题，本实用新型一些实施例中，进一步包括摇臂9，与主研磨摆针1连接。摇臂9可以被单杆研磨机驱动来回摆动，进而带动主研磨摆针1运动，进而同步驱动分研磨摆针4运动。
63.主研磨摆针1和摇臂9之间通过连接杆10连接，连接杆10的结构与安装杆3相同，其端部同样设置有安装套7，结构与前文所述的安装套7相同，不再赘述。
64.进行研磨工作时，摆放好工件11，组装好主研磨摆针1和研磨盘5、分研磨摆针4和研磨盘5，调整好销轴8的位置，以调整好安装套7对分研磨摆针4的夹持力，启动单杆研磨机，主研磨摆针1和分研磨摆针4启动工作，完成对工件11的研磨处理。
65.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种多头研磨设备，其特征在于，包括：主研磨摆针；安装座：安装在主研磨摆针上；安装杆：呈周向排列安装在安装座上；分研磨摆针：每个安装杆上均安装有一个分研磨摆针；所述分研磨摆针安装后，与主研磨摆针朝向相同；研磨盘：分别安装在主研磨摆针的端部，以及，每个分研磨摆针的端部。2.如权利要求1所述的多头研磨设备，其特征在于，所述安装座呈十字形，包括四个支腿；四个支腿的相交处为安装座中心，其中心处设置有通孔，每个支腿处均形成有安装槽；所述主研磨摆针经通孔穿过；每个安装槽处均安装有一个安装杆。3.如权利要求2所述的多头研磨设备，其特征在于，每个安装槽的两侧壁处相对设置有固定件安装孔，所述安装杆上设置有固定件安装孔，所述安装杆与安装座经固定件固定。4.如权利要求1所述的多头研磨设备，其特征在于，每个安装杆的头部设置有安装套；所述安装套包括套通孔，所述分研磨摆针穿过所述套通孔。5.如权利要求1所述的多头研磨设备，其特征在于，进一步包括摇臂，与主研磨摆针连接。6.如权利要求5所述的多头研磨设备，其特征在于，进一步包括安装套，所述安装套包括套通孔，所述主研磨摆针穿过所述套通孔；还包括连接杆；所述摇臂经连接杆与安装套连接。7.如权利要求4或6所述的多头研磨设备，其特征在于，所述安装套为长方体，沿垂直分研磨摆针的方向，所述安装套具有贯通安装套侧壁与套通孔的开口槽，沿开口槽的两侧壁相对设置有销轴安装孔，销轴穿过所述销轴安装孔，其穿出端外壁设置有螺纹段，螺纹段设置有螺母。8.如权利要求7所述的多头研磨设备，其特征在于，所述销轴的直径小于所述销轴安装孔的孔径。9.如权利要求1或2或4所述的多头研磨设备，其特征在于，所述主研磨摆针和所述分研磨摆针均呈圆柱状。10.如权利要求5所述的多头研磨设备，其特征在于，所述主研磨摆针和所述分研磨摆针安装研磨盘的一端均呈锥形，在锥形端部设置有球状块。

技术总结
本实用新型提供一种多头研磨装置，包括：主研磨摆针；安装座安装在主研磨摆针上；安装杆周向排列安装在安装座上；每个安装杆上均安装有一个分研磨摆针；分研磨摆针安装后，与主研磨摆针朝向相同；研磨盘分别安装在主研磨摆针的端部，以及，每个分研磨摆针的端部。多头研磨设备可以实现工件研磨的批量化生产，大幅提高效率。单次研磨工件数量的增加可以降低辅料、人工等成本。人工等成本。人工等成本。


技术研发人员：杨亚琴 马红波 王世武
受保护的技术使用者：青岛海泰光电技术有限公司
技术研发日：2023.02.22
技术公布日：2023/9/3