一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统。


背景技术：

2.目前多晶硅企业大部分采用改良西门子法生产多晶硅,三氯氢硅是生产多晶硅的基本原料，为了提升多晶硅的品质，对三氯氢硅的纯度要求较高。多晶硅生产厂家普遍采用二氯二氢硅反歧化化工工艺来获得三氯氢硅。将来自外界系统的二氯二氢硅与四氯化硅及预分离系统返回的四氯化硅按照一定的摩尔比或质量比配比后，送入反歧化反应柱中，控制反歧化反应柱在一定的温度范围内，在反歧化树脂作为催化剂的作用下，二氯二氢硅与四氯化硅反应生成三氯氢硅。反歧化所用到的催化剂主要是负载有氨及铵盐的大孔离子交换树脂，具有催化和吸附硼杂质的作用。
3.现有技术的精馏工序系统中，反歧化反应柱皆为单柱运行，单柱备用；但是，当精馏工序中带来的硼杂质含量过高时，靠单一反歧化反应柱无法有效净除硼杂质；而且，当反歧化反应柱运行时，一旦反歧化出口硼杂质超标，则认为反歧化树脂失效，需要进行更换，此时反歧化树脂作为催化剂的性能未能充分利用，造成资源浪费；或者反歧化树脂催化性能失效导致出口转化率降低，超出指标，则认为反歧化树脂失效，需要进行更换，此时反歧化树脂的吸附性能未充分利用，也造成资源浪费。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，主要目的在于充分利用反歧化树脂的吸附和催化性能，延长反歧化树脂使用寿命，减少反歧化树脂的浪费。
5.为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
6.本实用新型的实施例提供一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，包括:反歧化反应柱一、反歧化反应柱二、反歧化反应柱三，混合器一、混合器二、物料输入管、连接管一、连接管二和物料输出管；
7.所述物料输入管通过管道一与所述反歧化反应柱一的输入口连通；所述管道一上设置有控制阀一；所述物料输入管通过管道二与所述反歧化反应柱二的输入口连通；所述管道二上设置有控制阀十九；所述物料输入管通过管道三与所述反歧化反应柱三的输入口连通；所述管道三上设置有控制阀二；
8.所述混合器一的输入端设置有控制阀九；所述混合器一的输出端设置有控制阀七；所述混合器一上设置有物料入口一；
9.所述混合器二的输入端设置有控制阀十一；所述混合器一的输出端设置有控制阀八；所述混合器二上设置有物料入口二；
10.所述连接管一与所述管道一、所述管道二和所述管道三分别连通；所述混合器一
的输出端和所述混合器二的输出端连通；
11.用于连通所述管道一与所述混合器一的输出端的所述连接管一上设置有控制阀六；
12.用于连通所述管道二与所述混合器一的输出端的所述连接管一上设置有控制阀五；
13.用于连通所述管道二与所述混合器二的输出端的所述连接管一上设置有控制阀四；
14.用于连通所述管道三与所述混合器二的输出端的所述连接管一上设置有控制阀三；
15.所述管道二上设置有控制阀二十；所述控制阀二十设置在所述连接管一与所述物料输入管之间；
16.所述物料输出管通过管道四与所述反歧化反应柱一的输出口连通；所述管道四上设置有控制阀十七；所述物料输出管通过管道五与所述反歧化反应柱二的输出口连通；所述管道五上设置有控制阀十；所述物料输出管通过管道六与所述反歧化反应柱三的输出口连通；所述管道六上设置有控制阀十八；
17.所述连接管二与所述管道四、所述管道五和所述管道六分别连通；所述混合器一的输入端和所述混合器二的输入端连通；
18.用于连通所述管道四与所述混合器一的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十二；
19.用于连通所述管道五与所述混合器一的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十三；
20.用于连通所述管道五与所述混合器二的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十四；
21.用于连通所述管道六与所述混合器二的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十五；
22.所述管道五上设置有控制阀十六；所述控制阀十六设置在所述连接管二与所述物料输出管之间。
23.进一步地，所述控制阀一、所述控制阀二、所述控制阀三、所述控制阀四、所述控制阀五、所述控制阀六、所述控制阀七、所述控制阀八、所述控制阀九、所述控制阀十、所述控制阀十一、所述控制阀十二、所述控制阀十三、所述控制阀十四、所述控制阀十五、所述控制阀十六、所述控制阀十七、所述控制阀十八、所述控制阀十九和所述控制阀二十均是电动阀。
24.进一步地，还包括：控制装置；
25.所述控制装置与所述控制阀一、所述控制阀二、所述控制阀三、所述控制阀四、所述控制阀五、所述控制阀六、所述控制阀七、所述控制阀八、所述控制阀九、所述控制阀十、所述控制阀十一、所述控制阀十二、所述控制阀十三、所述控制阀十四、所述控制阀十五、所述控制阀十六、所述控制阀十七、所述控制阀十八、所述控制阀十九和所述控制阀二十分别连接，以进行控制。
26.进一步地，所述物料输入管上设置有流量监测装置一。
27.进一步地，所述物料入口一上设置有流量监测装置二。
28.进一步地，所述物料入口二上设置有流量监测装置三。
29.进一步地，所述流量监测装置一、所述流量监测装置二和所述流量监测装置三分别与所述控制装置连接。
30.进一步地，所述管道四上设置有取样口一；所述取样口一上设置有取样阀一。
31.进一步地，所述管道五上设置有取样口二；所述取样口二上设置有取样阀二。
32.进一步地，所述管道六上设置有取样口三；所述取样口三上设置有取样阀三。
33.借由上述技术方案，本实用新型用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统至少具有下列优点：
34.能够充分利用反歧化树脂的吸附和催化性能，延长反歧化树脂使用寿命，减少反歧化树脂的浪费。
35.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
36.图1为本实用新型一个实施例提供的一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统的示意图；
37.图2为本实用新型另一实施例提供的一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统的示意图。
38.图中所示：
39.101为反歧化反应柱一，102为反歧化反应柱二，103为反歧化反应柱三，201为混合器一，202为混合器二，301为物料入口一，302为物料入口二，401为物料输入管，402为物料输出管，501为取样阀一，502为取样阀二，503为取样阀三，1为控制阀一，2为控制阀二，3为控制阀三，4为控制阀四，5为控制阀五，6为控制阀六，7为控制阀七，8为控制阀八，9为控制阀九，10为控制阀十，11为控制阀十一，12为控制阀十二，13为控制阀十三，14为控制阀十四，15为控制阀十五，16为控制阀十六，17为控制阀十七，18为控制阀十八，19为控制阀十九，20为控制阀二十。
具体实施方式
40.为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
41.如图1和图2所示，本实用新型的一个实施例提出的一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，包括:反歧化反应柱一101、反歧化反应柱二102、反歧化反应柱三103，混合器一201、混合器二202、物料输入管401、连接管一、连接管二和物料输出管402；物料输入管401通过管道一与反歧化反应柱一101的输入口连通；管道一上设置有控制阀一1；物料输入管401通过管道二与反歧化反应柱二102的输入口连通；管道二上设置有控制阀十九19；物
料输入管401通过管道三与反歧化反应柱三103的输入口连通；管道三上设置有控制阀二2；混合器一201的输入端设置有控制阀九9；混合器一201的输出端设置有控制阀七7；混合器一201上设置有物料入口一301；混合器二202的输入端设置有控制阀十一11；混合器一201的输出端设置有控制阀八8；混合器二202上设置有物料入口二302；
42.连接管一与管道一、管道二和管道三分别连通；混合器一201的输出端和混合器二202的输出端连通；用于连通管道一与混合器一201的输出端的连接管一上设置有控制阀六6；用于连通管道二与混合器一201的输出端的连接管一上设置有控制阀五5；用于连通管道二与混合器二202的输出端的连接管一上设置有控制阀四4；用于连通管道三与混合器二202的输出端的连接管一上设置有控制阀三3；管道二上设置有控制阀二十20；控制阀二十20设置在连接管一与物料输入管401之间。
43.物料输出管402通过管道四与反歧化反应柱一101的输出口连通；管道四上设置有控制阀十七17；物料输出管402通过管道五与反歧化反应柱二102的输出口连通；管道五上设置有控制阀十10；物料输出管402通过管道六与反歧化反应柱三103的输出口连通；管道六上设置有控制阀十八18；连接管二与管道四、管道五和管道六分别连通。混合器一201的输入端和混合器二202的输入端连通；用于连通管道四与混合器一201的输入端的连接管一上设置有控制阀十二12；用于连通管道五与混合器一201的输入端的连接管一上设置有控制阀十三13；用于连通管道五与混合器二202的输入端的连接管一上设置有控制阀十四14；用于连通管道六与混合器二202的输入端的连接管一上设置有控制阀十五15；管道五上设置有控制阀十六16；控制阀十六16设置在连接管二与物料输出管402之间。
44.当打开控制阀一1、控制阀五5、控制阀七7、控制阀九9、控制阀十10、控制阀十二12、控制阀十六16、控制阀十九19，其余阀门关闭；二氯二氢硅先通过反歧化反应柱一101除杂，再在混合器一201中与四氯化硅进行混合后，通入反歧化反应柱二102，进行反歧化反应和除杂。反歧化反应柱一101中只通入二氯二氢硅，反歧化反应柱一101中的反歧化树脂的作用主要是吸附硼杂质；反歧化反应柱二102中通入二氯二氢硅和四氯化硅的混合料，此时，反歧化反应柱二102中的反歧化树脂起到吸附除硼杂质和催化作用。
45.当打开控制阀一1、控制阀三3、控制阀四4、控制阀五5、控制阀七7、控制阀九9、控制阀十二12、控制阀十八18，其余阀门关闭；二氯二氢硅先通过反歧化反应柱一101除杂，再在混合器一201中与四氯化硅进行混合后，通入反歧化反应柱三103，进行反歧化反应和除杂。反歧化反应柱一101中只通入二氯二氢硅，反歧化反应柱一101中的反歧化树脂的作用主要是吸附硼杂质，反歧化反应柱三103中通入二氯二氢硅和四氯化硅的混合料；此时，反歧化反应柱三103中的反歧化树脂起到吸附除硼杂质和催化作用。
46.当打开控制阀三3、控制阀八8、控制阀十10、控制阀十一11、控制阀十四14、控制阀十八18、控制阀十九19、控制阀二十20，其余阀门关闭；二氯二氢硅先通过反歧化反应柱二102除杂，再在混合器二202中与四氯化硅进行混合后，通入反歧化反应柱三103，进行反歧化反应和除杂。反歧化反应柱二102中只通入二氯二氢硅，反歧化反应柱二102中的反歧化树脂的作用主要是吸附硼杂质；反歧化反应柱三103中通入二氯二氢硅和四氯化硅的混合料，反歧化反应柱三103中的反歧化树脂起到吸附除硼杂质和催化作用。
47.当打开控制阀六6、控制阀七7、控制阀九9、控制阀十10、控制阀十三13、控制阀十七17、控制阀十九19、控制阀二十20，其余阀门关闭；二氯二氢硅先通过反歧化反应柱二102
除杂，再在混合器一201中与四氯化硅进行混合后，通入反歧化反应柱一101，进行反歧化反应和除杂。反歧化反应柱二102中只通入二氯二氢硅，反歧化反应柱二102中的反歧化树脂的作用主要是吸附硼杂质；反歧化反应柱一101中通入二氯二氢硅和四氯化硅的混合料，反歧化反应柱一101中的反歧化树脂起到吸附除硼杂质和催化作用。
48.当打开控制阀二2、控制阀四4、控制阀五5、控制阀六6、控制阀八8、控制阀十一11、控制阀十五15、控制阀十七17，其余阀门关闭；二氯二氢硅先通过反歧化反应柱三103除杂，再在混合器二202中与四氯化硅进行混合后，通入反歧化反应柱一101，进行反歧化反应和除杂。反歧化反应柱三103柱只通入二氯二氢硅，反歧化反应柱三103中的反歧化树脂的作用主要是吸附硼杂质；反歧化反应柱一101中通入二氯二氢硅和四氯化硅的混合料，反歧化反应柱一101中的反歧化树脂起到吸附除硼杂质和催化作用。
49.当打开控制阀二2、控制阀四4、控制阀八8、控制阀十10、控制阀十一11、控制阀十五15、控制阀十六16、控制阀十九19，其余阀门关闭；二氯二氢硅先通过反歧化反应柱三103除杂，再在混合器二202中与四氯化硅进行混合后，通入反歧化反应柱二102，进行反歧化反应和除杂。反歧化反应柱三103中只通入二氯二氢硅，反歧化反应柱三103中的反歧化树脂的作用主要是吸附硼杂质；反歧化反应柱二102中通入二氯二氢硅和四氯化硅的混合料，反歧化反应柱二102中的反歧化树脂起到吸附除硼杂质和催化作用。
50.本实用新型的一个实施例提出的一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，能够充分利用反歧化树脂的吸附和催化性能，延长反歧化树脂使用寿命，减少反歧化树脂的浪费。
51.本实用新型的一个实施例提出的一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，二氯二氢硅先经过第一台反歧化反应柱吸附硼杂质，后和四氯化硅混合后进入第二台反歧化反应柱再次对硼杂质进行吸附，达到两次吸附的目的，能够改善对硼杂质的去除效果。
52.本实用新型的一个实施例提出的一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，在运行时，二氯二氢硅先经过反歧化反应柱一101，在反歧化反应柱一101中反歧化树脂作用下进行吸附除硼，之后进入混合器一201和四氯化硅混合后进入反歧化反应柱二102，在反歧化反应柱二102中反歧化树脂进行二次除硼和发生反歧化反应；当反歧化反应柱一101的出口硼杂质含量超标后，改变原有运行方式，二氯二氢硅先经过反歧化反应柱二102，在反歧化反应柱二102中反歧化树脂作用下进行吸附除硼，之后进入混合器一201和四氯化硅混合后进入反歧化反应柱一101，在反歧化反应柱一101中反歧化树脂进行二次除硼和发生反歧化反应；当反歧化反应柱一101或反歧化反应柱二102失效后，启用反歧化反应柱三103，将失效的反歧化反应柱一101或反歧化反应柱二102作为备用柱，进行更换树脂操作。实现对反歧化反应柱一101、反歧化反应柱二102、反歧化反应柱三103的作用相互切换，充分利用反歧化树脂的催化性能和吸附性能，延长反歧化树脂的使用时长，提高效益。
53.经实践，反歧化反应柱一101、反歧化反应柱二102和反歧化反应柱三103的容积为6方，内部加装4方树脂；二氯二氢硅的流量控制在1m3/h，先通过反歧化反应柱一101对硼杂质进行吸附，之后和流量为2m3/h的四氯化硅混合后进入反歧化反应柱二102进行吸附硼杂质和反歧化反应。当反歧化反应柱一101或反歧化反应柱二102中的树脂部分性能失效后，更换运行方式，二氯二氢硅先进入反歧化反应柱二102，然后和四氯化硅混合后进入反歧化反应柱一101，继续使用，直至反歧化反应柱一101或反歧化反应柱二102中的树脂吸附性能
和催化性能全部失效，再进行更换，此时反歧化树脂平均使用时长可延长3个月。
54.作为上述实施例的优选，控制阀一1、控制阀二2、控制阀三3、控制阀四4、控制阀五5、控制阀六6、控制阀七7、控制阀八8、控制阀九9、控制阀十10、控制阀十一11、控制阀十二12、控制阀十三13、控制阀十四14、控制阀十五15、控制阀十六16、控制阀十七17、控制阀十八18、控制阀十九19和控制阀二十20均是电动阀，以便于对各控制阀进行控制。进一步优选，本实用新型的一个实施例提出的一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，还包括：控制装置；控制装置与控制阀一1、控制阀二2、控制阀三3、控制阀四4、控制阀五5、控制阀六6、控制阀七7、控制阀八8、控制阀九9、控制阀十10、控制阀十一11、控制阀十二12、控制阀十三13、控制阀十四14、控制阀十五15、控制阀十六16、控制阀十七17、控制阀十八18、控制阀十九19和控制阀二十20分别连接，能够实现对各控制阀进行自动化控制。
55.作为上述实施例的优选，物料输入管401上设置有流量监测装置一，用于监测物料输入管401输入的二氯二氢硅的流量，以便于自动化控制。进一步优选，物料入口一301上设置有流量监测装置二，用于监测输入混合器一201的四氯化硅的流量，以便于自动化控制。进一步优选，物料入口二302上设置有流量监测装置三，用于监测输入混合器二202的四氯化硅的流量，以便于自动化控制。进一步优选，流量监测装置一、流量监测装置二和流量监测装置三分别与控制装置连接，以通过控制装置记录分析流量数据，也可以根据数据对各控制阀进行控制。
56.作为上述实施例的优选，管道四上设置有取样口一；取样口一上设置有取样阀一501，取样阀一501用于控制取样口一的开闭，以便于对反歧化反应柱一101输出的吸附后或反歧化反应后的物料进行取样检测。
57.进一步优选，管道五上设置有取样口二；取样口二上设置有取样阀二502，取样阀二502用于控制取样口二的开闭，以便于对反歧化反应柱二102输出的吸附后或反歧化反应后的物料进行取样检测。
58.进一步优选，管道六上设置有取样口三；取样口三上设置有取样阀三503，取样阀三503用于控制取样口三的开闭，以便于对反歧化反应柱三103输出的吸附后或反歧化反应后的物料进行取样检测。
59.进一步说明，虽然术语第一、第二等在本文中可以用于描述各种元件，但是这些术语不应该限制这些元件。这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。例如，第一元件可以被称为第二元件，并且，类似地，第二元件可以被称为第一元件，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。这没有脱离示例性实施例的范围。类似地，元件一、元件二也不代表元件的顺序，这些术语仅用于区别一个元件与另一元件。如本文所用，术语“和/或”包括一个或多个相关联的列出项目的任意结合和所有结合。
60.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
61.本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊
接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
62.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

技术特征：
1.一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，包括:反歧化反应柱一、反歧化反应柱二、反歧化反应柱三，混合器一、混合器二、物料输入管、连接管一、连接管二和物料输出管；所述物料输入管通过管道一与所述反歧化反应柱一的输入口连通；所述管道一上设置有控制阀一；所述物料输入管通过管道二与所述反歧化反应柱二的输入口连通；所述管道二上设置有控制阀十九；所述物料输入管通过管道三与所述反歧化反应柱三的输入口连通；所述管道三上设置有控制阀二；所述混合器一的输入端设置有控制阀九；所述混合器一的输出端设置有控制阀七；所述混合器一上设置有物料入口一；所述混合器二的输入端设置有控制阀十一；所述混合器一的输出端设置有控制阀八；所述混合器二上设置有物料入口二；所述连接管一与所述管道一、所述管道二和所述管道三分别连通；所述混合器一的输出端和所述混合器二的输出端连通；用于连通所述管道一与所述混合器一的输出端的所述连接管一上设置有控制阀六；用于连通所述管道二与所述混合器一的输出端的所述连接管一上设置有控制阀五；用于连通所述管道二与所述混合器二的输出端的所述连接管一上设置有控制阀四；用于连通所述管道三与所述混合器二的输出端的所述连接管一上设置有控制阀三；所述管道二上设置有控制阀二十；所述控制阀二十设置在所述连接管一与所述物料输入管之间；所述物料输出管通过管道四与所述反歧化反应柱一的输出口连通；所述管道四上设置有控制阀十七；所述物料输出管通过管道五与所述反歧化反应柱二的输出口连通；所述管道五上设置有控制阀十；所述物料输出管通过管道六与所述反歧化反应柱三的输出口连通；所述管道六上设置有控制阀十八；所述连接管二与所述管道四、所述管道五和所述管道六分别连通；所述混合器一的输入端和所述混合器二的输入端连通；用于连通所述管道四与所述混合器一的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十二；用于连通所述管道五与所述混合器一的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十三；用于连通所述管道五与所述混合器二的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十四；用于连通所述管道六与所述混合器二的输入端的所述连接管一上设置有控制阀十五；所述管道五上设置有控制阀十六；所述控制阀十六设置在所述连接管二与所述物料输出管之间。2.根据权利要求1所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述控制阀一、所述控制阀二、所述控制阀三、所述控制阀四、所述控制阀五、所述控制阀六、所述控制阀七、所述控制阀八、所述控制阀九、所述控制阀十、所述控制阀十一、所述控制阀十二、所述控制阀十三、所述控制阀十四、所述控制阀十五、所述控制阀十六、所述控制阀十七、所述控制阀十八、所述控制阀十九和所述控制阀二十均是电动阀。3.根据权利要求1所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，还包括：控制装置；所述控制装置与所述控制阀一、所述控制阀二、所述控制阀三、所述控制阀四、所述控
制阀五、所述控制阀六、所述控制阀七、所述控制阀八、所述控制阀九、所述控制阀十、所述控制阀十一、所述控制阀十二、所述控制阀十三、所述控制阀十四、所述控制阀十五、所述控制阀十六、所述控制阀十七、所述控制阀十八、所述控制阀十九和所述控制阀二十分别连接，以进行控制。4.根据权利要求3所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述物料输入管上设置有流量监测装置一。5.根据权利要求4所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述物料入口一上设置有流量监测装置二。6.根据权利要求5所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述物料入口二上设置有流量监测装置三。7.根据权利要求6所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述流量监测装置一、所述流量监测装置二和所述流量监测装置三分别与所述控制装置连接。8.根据权利要求1所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述管道四上设置有取样口一；所述取样口一上设置有取样阀一。9.根据权利要求8所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述管道五上设置有取样口二；所述取样口二上设置有取样阀二。10.根据权利要求9所述的用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，其特征在于，所述管道六上设置有取样口三；所述取样口三上设置有取样阀三。

技术总结
本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种用于制备三氯氢硅的反歧化反应系统，物料输入管通过管道一与反歧化反应柱一连通；物料输入管通过管道二与反歧化反应柱二连通；物料输入管通过管道三与反歧化反应柱三连通；混合器一上设有物料入口一；混合器二上设有物料入口二；连接管一与管道一、管道二和管道三分别连通，混合器一和混合器二连通；物料输出管通过管道四与反歧化反应柱一连通；物料输出管通过管道五与反歧化反应柱二连通；物料输出管通过管道六与反歧化反应柱三连通；连接管二与管道四、管道五和管道六分别连通，混合器一和混合器二连通。采用本实用新型能充分利用反歧化树脂的吸附和催化性能，延长反歧化树脂使用寿命。用寿命。用寿命。


技术研发人员：刘飞 牛刚 刘华鹏 李鹏
受保护的技术使用者：新疆大全新能源股份有限公司
技术研发日：2023.04.21
技术公布日：2023/9/3