一种IGBT产品的测试方法及装置与流程

一种igbt产品的测试方法及装置
技术领域
1.本发明中涉及半导体测试技术领域，特别涉及一种igbt产品的测试方法及装置。


背景技术：

2.绝缘栅双极型晶体管，即igbt，是常见的一种半导体器件，其兼具金属-氧化层半导体场效晶体管和双极型晶体管的优点，具有输入阻抗高、控制功率小、驱动电路简单、开关速度高、电流密度大、饱和压降低、电流处理能力强等一系列优点。
3.现有的igbt产品在出厂的时候需要对其进行逐一测试，然而现有技术中的测试装置存在以下缺陷：1.一个测试座对应一个产品测试，产品测试完成后，测试好产品取出后，才能放入下一个产品测试，增加了机构的动作时间，影响了生产效率；2.吸盘吸放产品，精度不高，取放动作太频繁，增加了产品放入测试座到位风险。
4.因此提出一种igbt产品的测试方法及装置以改善上述问题。


技术实现要素：

5.本技术的目的在于提供一种igbt产品的测试方法及装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种igbt产品的，包括以下步骤：s1、将多个igbt产品均匀排布在产品托盘的上端面；s2、利用搬运机械手将产品托盘移动至测试支架上的检测区域；s3、利用压合z轴下压固定igbt产品；s4、利用测试y轴和测试x轴配合移动产品托盘，使得产品托盘中的第一测试位与测试座对位；s5、测试z轴下压测试压板进行测试；s6、第一测试位测试完毕后，测试z轴上升，利用测试y轴和测试x轴配合移动产品托盘，使得产品托盘中的第二测试位与测试座对位；s7、测试z轴下压进行测试；s8、第二测试位测试完毕后，测试z轴上升，利用测试y轴和测试x轴配合移动产品托盘至下一测试位，如此循环至产品托盘上端的igbt产品全部检测完毕。
7.进一步的，s1中，利用对位销一将igbt产品定位在产品托盘的上端面。
8.进一步的，s4和s6中，利用对位结构使得产品托盘中的第二测试位与测试座对位。
9.一种igbt产品的测试装置，包括安装于机架上的测试y轴、测试x轴、压合z轴、测试z轴、搬运机械手和测试座，以及放置有多个igbt产品的产品托盘，所述测试z轴的下端安装有测试支架，且测试支架上安装有测试压板，所述产品托盘位于测试压板与测试座之间。
10.进一步的，所述igbt产品与产品托盘之间安装有对位结构一，所述产品托盘与测试座之间安装有对位结构二。
11.进一步的，所述对位结构一包括安装于igbt产品与产品托盘之间的对位销一。
12.进一步的，所述对位结构二包括安装于测试座上端的对位销二，所述产品托盘的下端设置有与测试座相适配的对位槽。
13.进一步的，所述对位槽的槽口处设置有对位倒角一。
14.进一步的，所述对位销二的顶端设置有对位倒角二。
15.综上，本发明的技术效果和优点：1、本发明中，通过将多个igbt产品放置在同一个产品托盘中进行统一压合，移动产品托盘，igbt产品随动，可保证igbt产品的测试精度，保证测试良品率，采用一个测试座对应一个产品托盘和一个测试压板，可以节省搬运机械手取放igbt产品动作的次数，减少igbt产品的检测时间，提高生产效率。
16.2、本发明中，通过利用测试y轴和测试x轴配合移动产品托盘，方便调节igbt产品的测试位置，更好的满足igbt产品上的测试位与测试座对接，保证测试良品率；另外，通过在igbt产品与产品托盘之间安装对位销一，igbt产品放入产品托盘后，利用对位销一固定基准，保证对位销一与产品托盘之间的配合精度；通过在产品托盘与测试座之间安装对位结构二，保证igbt产品测试的对位精度，提高测试良品率。
17.3、本发明中，通过在对位槽槽口处设置的对位倒角一以及对位销二顶端设置的对位倒角二，使得对位销二与对位槽之间的对位容错性更好，对位更加顺利。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本实施例中的结构示意图；图2为本实施例中的测试z轴部分的结构示意图；图3为本实施例中的部分拆分结构示意图；图4为本实施例中的产品托盘处的结构示意图；图5为本实施例中的方法流程框图；图6为现有技术中的结构示意图；图7为现有技术中的方法流程框图。
20.图中：1、测试y轴；2、测试x轴；3、压合z轴；4、测试z轴；5、产品托盘；6、搬运机械手；7、测试座；8、测试压板；9、测试支架；10、igbt产品；11、对位销一。
实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.实施例：如图5所示的一种igbt产品的测试方法，包括以下步骤：
s1、将多个igbt产品10(例如8个)均匀排布在产品托盘5的上端面；s2、利用搬运机械手6将产品托盘5移动至测试支架9上的检测区域；s3、利用压合z轴3下压固定igbt产品10；s4、利用测试y轴1和测试x轴2配合移动产品托盘5，使得产品托盘5中的第一测试位与测试座7对位；s5、测试z轴4下压测试压板8进行测试；s6、第一测试位测试完毕后，测试z轴4上升，利用测试y轴1和测试x轴2配合移动产品托盘5，使得产品托盘5中的第二测试位与测试座7对位；s7、测试z轴4下压进行测试；s8、第二测试位测试完毕后，测试z轴4上升，利用测试y轴1和测试x轴2配合移动产品托盘5至下一测试位，如此循环至产品托盘5上端的igbt产品10全部检测完毕。
23.该测试方法通过将多个igbt产品10放置在同一个产品托盘5中进行统一压合，移动产品托盘5，igbt产品10随动，可保证igbt产品10的测试精度，保证测试良品率，采用一个测试座7对应一个产品托盘5和一个测试压板8，可以节省搬运机械手6取放igbt产品10动作的次数，减少igbt产品10的检测时间，提高生产效率。
24.利用测试y轴1和测试x轴2配合移动产品托盘5，方便调节igbt产品10的测试位置，配合s1中，利用对位销一11将igbt产品10定位在产品托盘5的上端面，s4和s6中，利用对位结构使得产品托盘5中的第二测试位与测试座7对位，更好的满足igbt产品10上的测试位与测试座7对接，保证测试良品率。
25.应用于上述igbt产品的测试方法的测试装置，参考图1-4,包括安装于机架上的测试y轴1、测试x轴2、压合z轴3、测试z轴4、搬运机械手6和测试座7，以及放置有多个igbt产品10(例如8个)的产品托盘5，测试z轴4的下端安装有测试支架9，且测试支架9上安装有测试压板8，产品托盘5位于测试压板8与测试座7之间。
26.需要说明的是，测试y轴1、测试x轴2、压合z轴3、测试z轴4、搬运机械手6和测试座7均采用现有技术中常用且适用于本实施例的机械结构，测试y轴1、测试x轴2、压合z轴3和测试z轴4用于移动和检测产品，搬运机械手6用于输送产品，测试座7用于放置产品进行测试，测试y轴1、测试x轴2、压合z轴3、测试z轴4、搬运机械手6和测试座7在附图中均未标识处具体结构，下面使用现有技术中常用的结构来进行示例说明：测试y轴1包括设置在测试支架上由多个连接块组成的y轴框架，以及y轴电机、y轴滑轨模组、y轴驱动连接块和y轴移动辅助滑轨，y轴电机驱动y轴滑轨模组，y滑轨模组通过y轴驱动连接块驱使y轴框架移动；测试x轴2包括滑动连接在测试支架上的x轴移动框架、x轴滑轨模组、x轴驱动电机、x轴驱动连接块以及x轴移动辅助滑轨，x轴驱动电机通过x轴滑轨模组驱使x轴移动框架沿x轴移动辅助滑轨运动；测试z轴4包括z轴测试电机、z轴驱动螺杆、两个对称设置的z轴移动滑轨以及z轴测试支架，z轴测试电机通过z轴驱动螺杆驱使z轴测试之间沿z轴移动滑轨滑动；压合z轴3包括压合z轴电机、压合z轴驱动螺杆、压合z轴导杆、压合z轴导套、测试板缓冲弹簧、压合移动板、压合连接杆以及测试板缓冲柱，其中，测试板缓冲弹簧、压合移动板、压合连接杆以及测试板缓冲柱与测试版组合成压合z轴模组，测试板缓冲弹簧和测试板
缓冲柱为测试板提供缓冲保护，压合z轴电机通过压合z轴驱动螺杆驱使压合z轴模组移动；需要进一步说明的是，上述测试y轴1、测试x轴2、测试z轴4和压合z轴3的结构是为了进行说明，可以用现有技术中已有能够达到测试移动目的的任意测试移动轴进行替换。
27.进一步的，igbt产品10与产品托盘5之间安装有对位销一11，igbt产品10放入产品托盘5后，利用对位销一11固定基准，保证对位销一11与产品托盘5之间的配合精度。
28.产品托盘5与测试座7之间安装有对位结构二，具体的，对位结构二包括安装于测试座7上端的对位销二，产品托盘5的下端设置有与测试座7相适配的对位槽，保证igbt产品10测试的对位精度，提高测试良品率。
29.进一步的，对位槽的槽口处设置有对位倒角一，进一步的，对位销二的顶端设置有对位倒角二，使得对位销二与对位槽之间的对位容错性更好，对位更加顺利。
30.相较于现有技术(如图6和图7所示)，本方案通过将多个igbt产品10放置在同一个产品托盘5中进行统一压合，移动产品托盘5，igbt产品10随动，可保证igbt产品10的测试精度，保证测试良品率，采用一个测试座7对应一个产品托盘5和一个测试压板8，可以节省搬运机械手6取放igbt产品10动作的次数，减少igbt产品10的检测时间，提高生产效率；利用测试y轴1和测试x轴2配合移动产品托盘5，方便调节igbt产品10的测试位置，更好的满足igbt产品10上的测试位与测试座7对接，保证测试良品率；另外，通过在igbt产品10与产品托盘5之间安装对位销一11，igbt产品10放入产品托盘5后，利用对位销一11固定基准，保证对位销一11与产品托盘5之间的配合精度；通过在产品托盘5与测试座7之间安装对位结构二，保证igbt产品10测试的对位精度，提高测试良品率。
31.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种igbt产品的测试方法，其特征在于：包括以下步骤：s1、将多个igbt产品（10）均匀排布在产品托盘（5）的上端面；s2、利用搬运机械手（6）将产品托盘（5）移动至测试支架（9）上的检测区域；s3、利用压合z轴（3）下压固定igbt产品（10）；s4、利用测试y轴（1）和测试x轴（2）配合移动产品托盘（5），使得产品托盘（5）中的第一测试位与测试座（7）对位；s5、测试z轴（4）下压测试压板（8）进行测试；s6、第一测试位测试完毕后，测试z轴（4）上升，利用测试y轴（1）和测试x轴（2）配合移动产品托盘（5），使得产品托盘（5）中的第二测试位与测试座（7）对位；s7、测试z轴（4）下压进行测试；s8、第二测试位测试完毕后，测试z轴（4）上升，利用测试y轴（1）和测试x轴（2）配合移动产品托盘（5）至下一测试位，如此循环至产品托盘（5）上端的igbt产品（10）全部检测完毕。2.根据权利要求1所述的一种igbt产品的测试方法，其特征在于：s1中，利用对位销一（11）将igbt产品（10）定位在产品托盘（5）的上端面。3.根据权利要求1所述的一种igbt产品的测试方法，其特征在于：s4和s6中，利用对位结构使得产品托盘（5）中的第二测试位与测试座（7）对位。4.一种igbt产品的测试装置，其特征在于：包括安装于机架上的测试y轴（1）、测试x轴（2）、压合z轴（3）、测试z轴（4）、搬运机械手（6）和测试座（7），以及放置有多个igbt产品（10）的产品托盘（5），所述测试z轴（4）的下端安装有测试支架（9），且测试支架（9）上安装有测试压板（8），所述产品托盘（5）位于测试压板（8）与测试座（7）之间。5.根据权利要求4所述的一种igbt产品的测试装置，其特征在于：所述igbt产品（10）与产品托盘（5）之间安装有对位结构一，所述产品托盘（5）与测试座（7）之间安装有对位结构二。6.根据权利要求5所述的一种igbt产品的测试装置，其特征在于：所述对位结构一包括安装于igbt产品（10）与产品托盘（5）之间的对位销一（11）。7.根据权利要求5所述的一种igbt产品的测试装置，其特征在于：所述对位结构二包括安装于测试座（7）上端的对位销二，所述产品托盘（5）的下端设置有与测试座（7）相适配的对位槽。8.根据权利要求7所述的一种igbt产品的测试装置，其特征在于：所述对位槽的槽口处设置有对位倒角一。9.根据权利要求8所述的一种igbt产品的测试装置，其特征在于：所述对位销二的顶端设置有对位倒角二。

技术总结
本发明公开了一种IGBT产品的测试方法及装置，涉及到半导体测试技术领域，通过将多个IGBT产品放置在同一个产品托盘中进行统一压合，可同步移动IGBT产品，保证IGBT产品的测试精度，保证测试良品率，采用一个测试座对应一个产品托盘和一个测试压板，可以节省搬运机械手取放IGBT产品动作的次数，减少IGBT产品的检测时间，提高生产效率，通过利用测试Y轴和测试X轴配合移动产品托盘，方便调节IGBT产品的测试位置，配合IGBT产品与产品托盘之间安装的对位销一，IGBT产品放入产品托盘后，利用对位销一固定基准，保证对位销一与产品托盘之间的配合精度，以及配合产品托盘与测试座之间安装的对位结构二，更好的满足IGBT产品上的测试位与测试座对接，保证测试良品率。保证测试良品率。保证测试良品率。


技术研发人员：肖武 王体 李辉
受保护的技术使用者：深圳市诺泰芯装备有限公司
技术研发日：2023.08.03
技术公布日：2023/9/6