基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法

1.本发明涉及玻璃节能技术领域，尤其涉及一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法。


背景技术：

2.建筑的窗户玻璃是室内室外热量交换的一个重要渠道。基于氧化钒相变薄膜的温控智能窗概念提出已有几十年的历史，但是实用化的智能窗产品还难以推出。其主要原因在于：首先是玻璃表面的氧化钒相变薄膜对太阳光谱中红外光的调制力还不够强(一般《15％)，使得智能窗的调控效果达不到实际要求。其次是氧化钒相变薄膜对可见光波段的透射率不够高(一般《60％)，满足不了正常的室内采光需求。而且，氧化钒相变薄膜的可见光透射率与红外光的调制能力互相制约，此消彼长，难以兼顾。最后就是氧化钒相变薄膜相对过高的相变温度(约68℃)，极大地限制了其实用化。
3.针对上述问题，传统的解决思路一般是通过掺杂和晶粒纳米化，来降低氧化钒的相变温度，以及通过表面织构或者多层膜等手段，来改变氧化钒的光学特性等，但这些都难以从根本上解决上述问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法。
5.为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
6.本发明提供一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃，包括：
7.衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；
8.所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚点设于所述衬底玻璃的表面上；
9.所述微镜镜面在受热时发生由弯曲向平直的热敏自适应形变，使所述衬底玻璃对应由透光状态转变为被所述微镜镜面遮盖的状态。
10.进一步地，所述微镜镜面包括以表面相贴合的第一镜面层和第二镜面层，所述第一镜面层和所述第二镜面层的材料热膨胀系数不同；其中，初始时，所述微镜镜面受所述第一镜面层和所述第二镜面层材料残余应力作用处于弯曲状态，所述衬底玻璃对应处于透光状态；受热时，所述第一镜面层和所述第二镜面层受热应力作用发生不同程度的形变，使所述微镜镜面向趋于平直的状态转变，将所述衬底玻璃表面遮盖。
11.进一步地，所述第一镜面层和所述第二镜面层中的至少一个为不透光层。
12.进一步地，所述第一镜面层和所述第二镜面层中的至少一个为金属层。
13.进一步地，所述第一镜面层和所述第二镜面层中的至少一个为不同金属层的叠层。
14.进一步地，所述微镜镜面与所述锚点一一对应连接；或者，多个所述微镜镜面同时
与同一个所述锚点连接。
15.进一步地，所述微镜镜面通过悬臂与所述锚点连接。
16.进一步地，所述第一镜面层材料和所述第二镜面层材料延伸进入所述锚点中。
17.本发明还提供一种节能玻璃窗，包括上述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃和保护玻璃，所述保护玻璃相对设于所述衬底玻璃设有所述微镜阵列的一侧，所述微镜阵列密封于所述保护玻璃和所述衬底玻璃之间。
18.进一步地，所述保护玻璃和所述衬底玻璃之间的密封区域中填充有保护介质。
19.本发明还提供一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法，包括：
20.提供衬底玻璃；
21.在所述衬底玻璃的表面上形成牺牲层；
22.在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个锚点；
23.在所述牺牲层表面上依次形成具有不同材料热膨胀系数的第一镜面层和第二镜面层，并图形化，形成密布的多个微镜镜面，并使所述微镜镜面通过一端与所述锚点相连；
24.去除所述牺牲层，释放所述微镜镜面，使所述微镜镜面受所述第一镜面层和所述第二镜面层材料残余应力作用处于弯曲的初始状态，从而使所述衬底玻璃对应处于透光状态。
25.进一步地，所述在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个锚点，具体包括：
26.在所述牺牲层表面上形成多个沟槽，并停止于所述衬底玻璃的表面上；
27.在所述沟槽中填充支撑材料，从而在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个所述锚点。
28.进一步地，所述在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个锚点，具体包括：
29.在所述牺牲层表面上形成多个沟槽，并停止于所述衬底玻璃的表面上；
30.在所述牺牲层表面上形成所述第一镜面层和所述第二镜面层时，使所述第一镜面层材料和所述第二镜面层材料填充至所述沟槽中，并通过图形化，在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个所述锚点。
31.由上述技术方案可以看出，本发明通过在玻璃(衬底玻璃)表面上覆盖设置一层热敏自适应的微镜阵列，利用热膨胀系数不同的材料形成微镜镜面，并使微镜镜面在初始时受不同镜面材料之间残余应力作用处于弯曲状态；可在户外温度高的时候(受热时)，使微镜镜面吸收热量而升温，并因受热应力作用发生形变(热致形变)，向趋于平直的状态转变，使得微镜阵列将玻璃覆盖，挡住阳光，将阳光反射到室外，避免阳光加热室内。在户外温度低的时候，使微镜镜面释放热量而降温，并恢复弯曲状态，玻璃上绝大部分区域变得透光，使得阳光可透过玻璃，加热室内，从而形成基于热敏自适应微镜的节能玻璃。本发明的节能玻璃上的微镜阵列具有热敏自适应性，无需电能操控，就可实现玻璃上从趋于零至趋于100％透过率的高调制比。利用本发明的节能玻璃可用于制作例如节能玻璃窗，具有一定的实用价值。
附图说明
32.图1-图2为本发明一较佳实施例的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃的结构示意图；
33.图3为本发明一较佳实施例的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃在受热时的状态示意图；
34.图4-图6为本发明一较佳实施例的一种微镜镜面与锚点的连接结构示意图；
35.图7为本发明一较佳实施例的一种节能玻璃窗的结构示意图；
36.图8-图12为本发明一较佳实施例的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法的工艺流程图；
37.图13-图14为本发明一较佳实施例的一种锚点的形成工艺示意图。
具体实施方式
38.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
39.下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
40.请参阅图1，图1为本发明一较佳实施例的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃的结构示意图，其显示本发明的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃处于初始或低温时的状态。如图1所示，本发明的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃，包括衬底玻璃10和设于衬底玻璃10表面上的微镜阵列12。
41.其中，微镜阵列12包括沿衬底玻璃10表面密集分布的多个微镜镜面13。并且，每个微镜镜面13通过一端悬设于锚点(支撑柱)11上，锚点11设于衬底玻璃10的表面上。这样，微镜镜面13可通过一端固定在锚点11的顶部上，使位于固定部以外的微镜镜面13的其他部分在锚点11上处于悬空状态。
42.在图1所示的初始(例如室温或低温)状态，每个微镜镜面13都处于弯曲状态。例如，每个微镜镜面13可都处于向上方向的弯曲状态。或者，在初始状态，每个微镜镜面13也可都处于向下方向的弯曲状态。此时，微镜阵列12对衬底玻璃10表面将不形成有效覆盖(遮盖)，衬底玻璃10上的绝大部分区域将处于透光状态，其光线透过率(0～100％)的大小可视微镜阵列12中各微镜镜面13的弯曲程度而定。
43.本发明的微镜镜面13具有热敏自适应形变(热致形变)特性，其在受热(即处于高于初始状态的温度)时，能发生由上述弯曲状态向趋于平直状态(参考图3)的热敏自适应形变，使衬底玻璃10对应由透光状态转变为被微镜镜面13遮盖的不透光状态。
44.请参阅图1。在一些实施例中，微镜镜面13可包括以表面相贴合的第一镜面层14和第二镜面层15。第一镜面层14材料和第二镜面层15材料不同，且第一镜面层14和第二镜面层15的材料热膨胀系数不同。初始状态时，微镜镜面13受到第一镜面层14和第二镜面层15
材料残余应力的作用，处于弯曲状态，衬底玻璃10对应处于透光状态。受热时，第一镜面层14和第二镜面层15受到热应力的作用，将发生不同程度的形变，使微镜镜面13向趋于平直的状态转变，将衬底玻璃10表面遮盖，使得衬底玻璃10对应处于不透光状态。
45.例如，假定第一镜面层14位于第二镜面层15的下层，即第一镜面层14靠近衬底玻璃10，第二镜面层15远离衬底玻璃10，且第二镜面层15材料的热膨胀系数大于第一镜面层14材料的热膨胀系数。当微镜镜面13受热升温时，由于第二镜面层15的膨胀形变程度相对较大，第一镜面层14的膨胀形变程度相对较小，使得第二镜面层15因受到相对较大的热应力的作用，将对应发生较大程度的形变，而第一镜面层14因受到相对较小的热应力的作用，将对应发生较小程度的形变，因而微镜镜面13将发生向下的弯曲。如果微镜镜面13的初始状态是向上弯曲的(如图1所示)，那么微镜镜面13受热后向下弯曲变形，可使得微镜镜面13成为平直的状态，形成对衬底玻璃10表面的覆盖遮挡，如图3所示。如此，可有效隔绝外部过多的热能，避免或减少采用反向降温措施。反之，当微镜镜面13受到降温作用时，即可自动发生相反方向的变形，并恢复原有的弯曲状态，使衬底玻璃10表面再次处于透光状态。如此，可最大程度利用外部热能，避免或减少采用反向取暖措施。从而形成基于热敏自适应微镜的节能玻璃。
46.在一些实施例中，第一镜面层14和第二镜面层15中的至少一个可为不透光层。例如第二镜面层15可采用不透光层。
47.进一步地，第一镜面层14和第二镜面层15中的至少一个可为不透光的金属层。例如第二镜面层15可采用不透光的金属层。
48.进一步地，第一镜面层14和第二镜面层15中的至少一个可为不同金属层的叠层。例如第二镜面层15可采用不同金属层的叠层结构。
49.在一些实施例中，每个微镜镜面13可通过一端与一个锚点11对应连接，即微镜镜面13与锚点11之间采用一一对应的方式相连接，如图4所示。
50.在一些实施例中，多个微镜镜面13也可通过一端与同一个锚点11共同连接，即一个锚点11同时与多个微镜镜面13连接，且每个微镜镜面13都仅与该同一个锚点11连接，如图6所示。例如，可将4个微镜镜面13对称连接在同一个锚点11的顶部上，形成一个矩形的微镜镜面组，并可由多个微镜镜面组依次排列进一步形成微镜阵列12。
51.在一些实施例中，微镜镜面13的一端可通过悬臂16与锚点11连接，如图5-图6所示。
52.在一些实施例中，锚点11可采用与微镜镜面13不同的材料，与微镜镜面13分别设置，并与微镜镜面13进行连接，如图1所示。
53.请参阅图2。在一些实施例中，锚点11也可采用与微镜镜面13相同的材料形成，并可以成为微镜镜面13的一部分，即微镜镜面13的第一镜面层14材料和第二镜面层15材料可延伸进入锚点11中，从而使微镜镜面13与锚点11成为整体结构。
54.在一些实施例中，第一镜面层14材料可包括sio2。第二镜面层15材料可包括au、ag、pt或al等金属。
55.在一些实施例中，第二镜面层15材料可包括au与cr的复合叠层、ag与ti的复合叠层、pt与ti的复合叠层，或al与ti的复合叠层等。其中，复合叠层中的cr或ti可作为黏附层，以增加au、ag、pt或al层与sio2第一镜面层14之间的附着力。
56.请参阅图7。上述本发明的基于热敏自适应微镜的节能玻璃可用于形成本发明的一种节能玻璃窗。节能玻璃窗除了包括上述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃外，还包括保护玻璃20。其中，保护玻璃20可与衬底玻璃10并列设置在窗框上，并使得保护玻璃20相对设于衬底玻璃10设有微镜阵列12的一侧，且与微镜阵列12保持适当距离，形成具有双层玻璃结构的节能玻璃窗，从而可对位于衬底玻璃10与保护玻璃20之间的微镜(微镜阵列12)加以保护，使其不会受到外部碰擦和水汽侵蚀等带来的损伤。
57.在一些实施例中，微镜阵列12可被密封于保护玻璃20和衬底玻璃10之间。例如，可通过在窗框内侧上设置密封圈30，将微镜阵列12密封于窗框以内的保护玻璃20和衬底玻璃10之间。
58.进一步地，密封圈30以内的保护玻璃20和衬底玻璃10之间的密封区域中还可填充有保护介质，例如氮气等，以提高对微镜的保护。
59.当户外温度升高的时候(例如高于室温温度时)，节能玻璃窗上的微镜镜面13因吸收热量而升温，会在热应力作用下发生形变(热致形变)，因而会由弯曲向趋于平直的状态转变(即由图1所示的状态转变为图3所示的状态)，使得微镜阵列12将衬底玻璃10覆盖，挡住阳光，将阳光反射到室外，避免阳光加热室内。此时的光线透过率可趋近于0。而当户外温度降低的时候，微镜镜面13因释放热量而降温，会恢复至弯曲状态，从而使衬底玻璃10上绝大部分区域变得透光，使得阳光可透过衬底玻璃10，加热室内。此时的光线透过率可趋近于1(100％)。这样，在户外温度较高的时候，可利用热敏自适应的微镜自动对阳光进行隔离，使室内温度保持在适宜的状态，从而可无需额外采取降温方式，来降低室内的温度；在户外温度较低的时候，可利用热敏自适应的微镜自动透过阳光，同样可使室内温度保持在适宜的状态，因而可无需额外采取取暖方式，来提高室内的温度，从而实现智能化的节能。
60.下面通过具体实施方式并结合附图，对本发明的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法作进一步的详细说明。
61.请参阅图8-图12，图8-图12为本发明一较佳实施例的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法的工艺流程图。如图8-图12所示，本发明的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法，可用于制造例如图1所示的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃，并可包括以下步骤：
62.步骤s1：提供衬底玻璃10。
63.请参阅图8。可采用常规透光平板玻璃作为衬底玻璃10。
64.步骤s2：在衬底玻璃10的表面上形成牺牲层。
65.请参阅图9。可采用沉积等工艺，在衬底玻璃10的表面上形成牺牲层17。牺牲层17可采用与衬底玻璃10、锚点11、微镜镜面13之间具有高刻蚀选择比的材料。
66.步骤s3：在牺牲层17中形成底部连接衬底玻璃10表面的多个锚点11。
67.请参阅图9。然后，可采用光刻和刻蚀等工艺，在牺牲层17表面上形成多个沟槽18，并使沟槽18的底部停止于衬底玻璃10的表面上。
68.请参阅图10。接着，可采用沉积等工艺，在沟槽18中填充支撑材料(锚点11材料)，并可通过平坦化，去除沟槽18外位于牺牲层17表面上的多余的支撑材料，从而在牺牲层17中形成底部连接衬底玻璃10表面的多个锚点11。其中，支撑材料可采用与微镜镜面13不同的材料。
69.步骤s4：在牺牲层17表面上依次形成具有不同材料热膨胀系数的第一镜面层14和第二镜面层15，并图形化，形成密布的多个微镜镜面13，并使微镜镜面13通过一端与锚点11相连。
70.请参阅图11。接着，可采用沉积等工艺，在牺牲层17表面上依次形成例如sio2第一镜面层14和al与ti的复合叠层的第二镜面层15(ti层与sio2第一镜面层14相贴合，al层位于ti层之上)，将锚点11全部覆盖起来，并可通过图形化，形成密布在牺牲层17表面上的多个微镜镜面13。其中，由al与ti的复合叠层组成的第二镜面层15的热膨胀系数大于sio2第一镜面层14的热膨胀系数。
71.在图形化时，可使形成的微镜镜面13通过一端与锚点11一一对应连接(参考图4)。此时，微镜镜面13的数量将与锚点11的数量一致。
72.也可在图形化时，使形成的多个(例如4个)微镜镜面13通过一端与同一个锚点11对称连接(参考图6)。此时，微镜镜面13的数量将为锚点11数量的4倍。
73.还可在图形化时，通过形成介于锚点11和微镜镜面13之间的悬臂16，使形成的微镜镜面13的一端通过悬臂16与锚点11相连接(参考图5-图6)。
74.步骤s5：去除牺牲层17，释放微镜镜面13，使微镜镜面13受第一镜面层14和第二镜面层15材料残余应力作用处于弯曲的初始状态，从而使衬底玻璃10对应处于透光状态。
75.请参阅图12。最后，可采用刻蚀等工艺，利用牺牲层17材料相对其他材料所具有的较高的刻蚀选择比(例如大于5～10)，将牺牲层17去除，使微镜镜面13得到释放，处于一端固定在锚点11上，其他部分悬空的状态。
76.当制造工艺完成并降温至常温时，微镜镜面13上的第一镜面层14和第二镜面层15将受到各自不同大小的材料残余应力的作用，产生不同大小的形变，并处于弯曲的初始状态，对衬底玻璃10不构成有效遮挡，从而使衬底玻璃10对应处于透光状态。本实施例中，微镜镜面13将朝向图示的上方发生弯曲。
77.利用上述形成的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，可进一步采用双层玻璃窗工艺，进一步制造形成例如图7所示的本发明的一种节能玻璃窗。
78.请参阅图13-图14。在其他实施例中，还可采用与微镜镜面13相同的材料，在牺牲层17中形成底部连接衬底玻璃10表面的锚点11，具体可包括：
79.如图13所示，在牺牲层17中形成多个沟槽18后(参考图9)，直接在牺牲层17表面上依次形成第一镜面层14和第二镜面层15，并使第一镜面层14和第二镜面层15材料进入沟槽18中进行填充。
80.然后，可通过对第一镜面层14和第二镜面层15进行图形化，在牺牲层17表面上形成密布的多个微镜镜面13，同时在牺牲层17中形成由第一镜面层14和第二镜面层15材料填充，且底部连接衬底玻璃10表面的多个锚点11。这样，就可同步形成微镜镜面13和锚点11，并可使形成的微镜镜面13的一端与相同材料的锚点11直接相连形成整体。
81.如图14所示，可采用刻蚀等工艺，去除牺牲层17，使微镜镜面13得到释放。从而可形成初始状态下使微镜镜面13向上弯曲的微镜阵列12，并得到本发明的一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃。
82.综上，本发明通过在玻璃(衬底玻璃10)表面上覆盖设置一层热敏自适应的微镜阵列12，利用热膨胀系数不同的材料形成微镜镜面13，并使微镜镜面13在初始时受不同镜面
材料之间残余应力作用处于弯曲状态；可在户外温度高的时候(受热时)，使微镜镜面13吸收热量而升温，并因受热应力作用发生形变(热致形变)，向趋于平直的状态转变，使得微镜阵列12将玻璃覆盖，挡住阳光，将阳光反射到室外，避免阳光加热室内。在户外温度低的时候，使微镜镜面13释放热量而降温，并恢复弯曲状态，玻璃上绝大部分区域变得透光，使得阳光可透过玻璃，加热室内，从而形成基于热敏自适应微镜的节能玻璃。本发明的节能玻璃上的微镜阵列12具有热敏自适应性，无需电能操控，就可实现玻璃上从趋于零至趋于100％透过率的高调制比。利用本发明的节能玻璃可用于制作例如节能玻璃窗，具有一定的实用价值。
83.虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

技术特征：
1.基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，包括：衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚点设于所述衬底玻璃的表面上；所述微镜镜面在受热时发生由弯曲向平直的热敏自适应形变，使所述衬底玻璃对应由透光状态转变为被所述微镜镜面遮盖的状态。2.根据权利要求1所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，所述微镜镜面包括以表面相贴合的第一镜面层和第二镜面层，所述第一镜面层和所述第二镜面层的材料热膨胀系数不同；其中，初始时，所述微镜镜面受所述第一镜面层和所述第二镜面层材料残余应力作用处于弯曲状态，所述衬底玻璃对应处于透光状态；受热时，所述第一镜面层和所述第二镜面层受热应力作用发生不同程度的形变，使所述微镜镜面向趋于平直的状态转变，将所述衬底玻璃表面遮盖。3.根据权利要求2所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，所述第一镜面层和所述第二镜面层中的至少一个为不透光层。4.根据权利要求2所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，所述第一镜面层和所述第二镜面层中的至少一个为金属层。5.根据权利要求2所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，所述第一镜面层和所述第二镜面层中的至少一个为不同金属层的叠层。6.根据权利要求1所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，所述微镜镜面与所述锚点一一对应连接；或者，多个所述微镜镜面同时与同一个所述锚点连接。7.根据权利要求1所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，所述微镜镜面通过悬臂与所述锚点连接。8.根据权利要求2所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃，其特征在于，所述第一镜面层材料和所述第二镜面层材料延伸进入所述锚点中。9.节能玻璃窗，其特征在于，包括权利要求1-8任意一项所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃和保护玻璃，所述保护玻璃相对设于所述衬底玻璃设有所述微镜阵列的一侧，所述微镜阵列密封于所述保护玻璃和所述衬底玻璃之间。10.根据权利要求9所述的节能玻璃窗，其特征在于，所述保护玻璃和所述衬底玻璃之间的密封区域中填充有保护介质。11.基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法，其特征在于，包括：提供衬底玻璃；在所述衬底玻璃的表面上形成牺牲层；在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个锚点；在所述牺牲层表面上依次形成具有不同材料热膨胀系数的第一镜面层和第二镜面层，并图形化，形成密布的多个微镜镜面，并使所述微镜镜面通过一端与所述锚点相连；去除所述牺牲层，释放所述微镜镜面，使所述微镜镜面受所述第一镜面层和所述第二镜面层材料残余应力作用处于弯曲的初始状态，从而使所述衬底玻璃对应处于透光状态。12.根据权利要求11所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法，其特征在于，所述在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个锚点，具体包括：
在所述牺牲层表面上形成多个沟槽，并停止于所述衬底玻璃的表面上；在所述沟槽中填充支撑材料，从而在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个所述锚点。13.根据权利要求11所述的基于热敏自适应微镜的节能玻璃的制造方法，其特征在于，所述在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个锚点，具体包括：在所述牺牲层表面上形成多个沟槽，并停止于所述衬底玻璃的表面上；在所述牺牲层表面上形成所述第一镜面层和所述第二镜面层时，使所述第一镜面层材料和所述第二镜面层材料填充至所述沟槽中，并通过图形化，在所述牺牲层中形成底部连接所述衬底玻璃表面的多个所述锚点。

技术总结
本发明公开了一种基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法，节能玻璃包括：衬底玻璃和设于所述衬底玻璃表面上的微镜阵列；所述微镜阵列包括沿所述衬底玻璃表面密布的多个微镜镜面，所述微镜镜面通过一端悬设于锚点上，所述锚点设于所述衬底玻璃的表面上；所述微镜镜面在受热时发生由弯曲向平直的热敏自适应形变，使所述衬底玻璃对应由透光状态转变为被所述微镜镜面遮盖的状态。本发明的节能玻璃上的微镜阵列具有热敏自适应性，无需电能操控，就可实现玻璃上从趋于零至趋于100％透过率的高调制比，可用于制作例如节能玻璃窗，具有一定的实用价值。具有一定的实用价值。具有一定的实用价值。


技术研发人员：程正喜 徐鹤靓 陈永平 马斌
受保护的技术使用者：中国科学院上海技术物理研究所
技术研发日：2023.06.12
技术公布日：2023/9/6