用于晶圆载具的洁净度管控方法和系统与流程

1.本公开涉及半导体加工技术领域，具体地，涉及用于晶圆载具的洁净度管控方法和系统。


背景技术：

2.在晶圆生产中，由于晶圆经常会在被装载在载具中的情况下经历各种生产工序，因此载具的洁净度一直是影响晶圆洁净度的重要因素。
3.传统的晶圆载具洁净度管控大多以目视观察或生产时间长度为管理维度，其中，以目视观察为管理维度的洁净度管控指的是以肉眼观察和评判的结果为维度来进行载具洁净度的管控，而以生产时间长度为管理维度的洁净度管控指的是以载具在特定生产工序中所经历的时间长度为维度来进行载具洁净度的管控。
4.然而，这些方式都无法准确地管控载具的洁净度以及因此装载在其中的晶圆的洁净度，容易由于管理不当造成晶圆污染。而且，目前的晶圆载具洁净度管控没有和派工系统达到有机结合，从而使得载具的使用效率和系统的管控程度都较低。


技术实现要素：

5.本部分提供了本公开的总体概要，而不是对本公开的全部范围或所有特征的全面公开。
6.本公开的一个目的在于提供一种能够准确管控晶圆载具的洁净度的洁净度管控方法和系统。
7.本公开的另一目的在于提供一种能够提升晶圆载具的使用效率和系统的管控程度的净度管控方法和系统。
8.为了实现上述目的中的一个或多个，根据本公开的一方面，提供了一种用于晶圆载具的洁净度管控方法，包括：
9.步骤101：确定载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步；
10.步骤102：通过载具的原始洁净寿命与所经历的工步的洁净寿命附加值之和计算载具的当前洁净寿命，其中，原始洁净寿命基于从载具的完全洁净水平到指定的洁净终止水平设定，并且所经历的工步的洁净寿命附加值基于所经历的工步对原始洁净寿命的影响程度确定；以及
11.步骤103：将当前洁净寿命与第一水位值进行比较，并在当前洁净寿命大于第一水位值时，使载具继续用于该特定生产工序，以及在当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，使载具被清洗以恢复至原始洁净寿命。
12.在上述用于晶圆载具的洁净度管控方法中，第一水位值可以大于0。
13.在上述用于晶圆载具的洁净度管控方法中，第一水位值可以等于所经历的工步中的会最大程度地减小原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的绝对值。
14.在上述用于晶圆载具的洁净度管控方法中，所经历的工步可以包括由晶圆在特定
生产工序中所经过的加工站点施加的生产性工步以及不涉及晶圆的加工的非生产性工步。
15.在上述用于晶圆载具的洁净度管控方法中，还可以包括：在步骤103之前，将当前洁净寿命与第一水位值和比第一水位值大的第二水位值进行比较，当当前洁净寿命小于第二水位值但大于第一水位值时，进行报警。
16.在上述用于晶圆载具的洁净度管控方法中，还可以包括：在步骤103之前，将当前洁净寿命与第一水位值进行比较，当当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，使得在步骤103中将当前洁净寿命同换载具工步的洁净寿命附加值与所经历的工步中的会最小程度地减小原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的和进行比较，当当前洁净寿命加上所述和的结果小于或等于0时，通过换载具工步将载具更换并对载具进行清洗；以及当当前洁净寿命加上所述和的结果大于0时，通过换载具工步将载具更换、将载具用于会最小程度地减小原始洁净寿命的工步并在之后对载具进行清洗。
17.在上述用于晶圆载具的洁净度管控方法中，当在步骤103中将当前洁净寿命同所述和进行比较时，如果当前洁净寿命加上所述和的结果小于或等于0且当前洁净寿命加上换载具工步的洁净寿命附加值的结果小于0，则在通过换载具工步将载具更换之后对晶圆进行锁定并对晶圆进行洁净度检查。
18.在上述用于晶圆载具的洁净度管控方法中，当在步骤103之前将当前洁净寿命与第一水位值进行比较时，如果当前洁净寿命小于或等于第一水位值且小于0，则对晶圆进行标记。
19.根据本公开的另一方面，还提供了一种用于晶圆载具的洁净度管控系统，包括：
20.确定单元，其用于确定载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步；
21.计算单元，其用于通过载具的原始洁净寿命与由确定单元确定的所经历的工步的洁净寿命附加值之和计算载具的当前洁净寿命，其中，原始洁净寿命基于从载具的完全洁净水平到指定的洁净终止水平设定，并且所经历的工步的洁净寿命附加值基于所经历的工步对原始洁净寿命的影响程度确定；以及
22.派送单元，其用于将由计算单元算出的当前洁净寿命与第一水位值进行比较，并在当前洁净寿命大于第一水位值时，将载具派送成继续用于特定生产工序，以及在当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，将载具派送成被清洗以恢复至原始洁净寿命。
23.在上述用于晶圆载具的洁净度管控系统中，确定单元可以为eap系统，计算单元可以为mes系统，并且派送单元可以为rtd系统。
24.根据本公开，通过在衡量载具洁净寿命时考虑了载具在特定生产工序中所经历的不同工步对原始洁净寿命的不同影响，使得对载具洁净寿命的衡量更加准确，从而使得能够更准确地实现对载具洁净度的管控。此外，通过根据载具当前所剩余的洁净寿命的多少按照轻度、中度、重度对预警水平进行分级，提升了载具的使用效率并提升了整个系统的管控程度。
25.通过以下结合附图对本公开的示例性实施方式的详细说明，本公开的上述特征和优点以及其他特征和优点将更加清楚。
附图说明
26.图1以框图示意性地示出了根据本公开的实施方式的用于晶圆载具的洁净度管控
方法；
27.图2示意性地示出了衡量载具在特定生产工序中所经历的不同工步对原始洁净寿命的影响程度的方法；
28.图3以框图示例性地示出了根据本公开的实施方式的用于晶圆载具的洁净度管控系统的总体执行框架；以及
29.图4以框图示例性地示出了根据本公开的实施方式的用于晶圆载具的洁净度管控系统的预警执行框架。
具体实施方式
30.下面参照附图、借助于示例性实施方式对本公开进行详细描述。要注意的是，对本公开的以下详细描述仅仅是出于说明目的，而绝不是对本公开的限制。此外，在各个附图中采用相同或相似的附图标记来表示相同的部件。
31.如之前所提到的，传统的晶圆载具洁净度管控大多以目视观察或生产时间长度为管理维度。然而，对于以目视观察为管理维度的洁净度管控而言，肉眼进行的观察和评判缺乏稳定和一致的基准以致不能准确衡量载具的洁净度，且目视结果会因目视者的不同而产生偏差，因此也会造成不准确，由此导致无法准确地进行载具洁净度的管控；而对于以生产时间长度为管理维度的洁净度管控而言，其仅考虑了载具在特定生产中所经历的时间长度，没有考虑载具在特定生产工序中所经历的不同工步例如由不同加工站点施加的不同工步对载具洁净度的影响不同这一事实，因此也是不准确的，由此导致同样无法准确地进行载具洁净度的管控。
32.为了解决上述问题，本公开试图以载具的洁净寿命为管理维度来实现载具洁净度的管控，其中，该洁净寿命考虑了载具在特定生产工序中所经历的不同工步对载具的洁净度带来的不同影响。
33.如图1中所示，根据本公开的实施方式，提出了一种用于晶圆载具的洁净度管控方法，包括：
34.步骤101：确定载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步；
35.步骤102：通过载具的原始洁净寿命与所经历的工步的洁净寿命附加值之和计算载具的当前洁净寿命，其中，原始洁净寿命基于从载具的完全洁净水平到指定的洁净终止水平设定，并且所经历的工步的洁净寿命附加值基于所经历的工步对原始洁净寿命的影响程度确定；以及
36.步骤103：将当前洁净寿命与第一水位值进行比较，并在当前洁净寿命大于第一水位值时，使载具继续用于该特定生产工序，以及在当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，使载具被清洗以恢复至原始洁净寿命。
37.载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步可以是由晶圆在该特定生产工序中所经过的加工站点施加的生产性工步。特定生产工序是为晶圆生产中的特定生产目的而进行的工序，该特定生产工序中的加工站点例如可以是涉及晶圆生产的研磨设备、刻蚀设备、抛光设备等，由此可以理解的是，对应的生产性工步可以是研磨工步、刻蚀工步、抛光工步等。
38.可以设想的是，载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步还可以进一步包括不
涉及晶圆的加工的非生产性工步，例如载具的搬送、存储等。
39.完全洁净水平代表载具在未受污染的情况下的洁净水平，例如，当载具经过清洗设备清洗之后，可以认为此时载具达到未受污染的完全洁净水平；而指定的洁净终止水平是根据洁净度需要人为指定的洁净水平，代表人为指定的洁净寿命终止时的洁净水平，其可以是人为指定的载具无法被利用、或说若利用就可能会对载具内的晶圆造成污染、或说须进行清洗的洁净水平。换句话说，原始洁净寿命是将从完全洁净水平到指定的洁净终止水平的这段变化量以设定的时间量的方式来进行衡量。
40.在本公开的方法中，考虑了载具在特定生产工序中所经历的不同工步对载具的洁净度带来的不同影响。如上所述，例如研磨、刻蚀、抛光等工步会对载具洁净度带来不同影响并最终通过载具影响到装载在载具中的晶圆的洁净度，比如，刻蚀工步由于会涉及将载具浸入刻蚀液中，因此刻蚀工步相比于研磨工步对载具洁净度带来的不利影响要小，甚至可能对载具洁净度带来正向影响，即，使得载具洁净度变好；而清洗设备对载具施加的清洗工步则会使载具直接达到完全洁净水平，即从洁净寿命的角度来看，直接恢复至原始洁净寿命。进一步地，例如搬送、存储等非生产性工步也可能会因该工步所处的外部环境、搬送或存储的时长等因素对载具的洁净度带来不同影响。通过将这些生产性工步和非生产性工步对载具的洁净度带来的影响均考虑在内，可以更全面和准确地衡量载具洁净度在该载具所经历的整个特定生产工序中所受到的影响。
41.根据本公开的方法，载具在特定生产工序中所经历的不同工步对载具的洁净度带来的不同影响通过所经历的工步对原始洁净寿命的影响程度来衡量，也就是说，基于所经历的工步对原始洁净寿命的影响程度为所经历的工步赋予对应的洁净寿命附加值。
42.为便于理解，现参照图2进行示例性说明。
43.如图2中所示，原始洁净寿命可以设定为+100min，其代表了载具从完全洁净水平到指定的洁净终止水平的这段变化量，而且，可以理解的是，当载具经过清洗工步被清洗之后，载具会恢复至原始洁净寿命。特定生产工序例如可以包括以1000、2000、3000和4000表示的工步，这些工步中的每个工步基于其对原始洁净寿命的影响程度被赋予了对应的洁净寿命附加值，即分别为-5min、-10min、-15min和-2min，其中，对于洁净寿命附加值而言，当该工步对原始洁净寿命产生负面影响时，其对应的洁净寿命附加值为负值，反之，则为正值。也就是说，这种影响被反映在对上述变化量造成的数值影响上。
44.以此方式，可以通过上述洁净寿命计算方法，即下述洁净寿命计算公式，来计算出载具的当前洁净寿命：
45.当前洁净寿命＝原始洁净寿命+所经历的工步的洁净寿命附加值。
46.以该计算出的当前洁净寿命为基础，通过将其与第一水位值进行比较，可以判定载具当前的洁净寿命是否能够允许继续进行该特定生产工序，即，如允许则进入到该特定生产工序的下一工步，如不允许则对载具进行清洗，而清洗后的载具会恢复至原始洁净寿命，以便重新计算该载具的当前洁净寿命。
47.由此，通过在衡量载具洁净寿命时考虑了载具在特定生产工序中所经历的不同工步对原始洁净寿命的不同影响，使得对载具洁净寿命的衡量更加准确，从而使得能够更准确地实现对载具洁净度的管控。
48.在本公开中，针对上述洁净度管控方法，还涉及一种用于晶圆载具的洁净度管控
系统，该洁净度管控系统包括：
49.确定单元，其用于确定载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步；
50.计算单元，其用于通过载具的原始洁净寿命与由确定单元确定的所经历的工步的洁净寿命附加值之和计算载具的当前洁净寿命，其中，原始洁净寿命基于从载具的完全洁净水平到指定的洁净终止水平设定，并且所经历的工步的洁净寿命附加值基于所经历的工步对原始洁净寿命的影响程度确定；以及
51.派送单元，其用于将由计算单元算出的当前洁净寿命与第一水位值进行比较，并在当前洁净寿命大于第一水位值时，将载具派送成继续用于特定生产工序，以及在当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，将载具派送成被清洗以恢复至所述原始洁净寿命。
52.下面，结合图3，示例性地描述该用于晶圆载具的洁净度管控系统的总体执行框架。
53.在特定生产工序中，在某一生产设备施加的工步或由清洗设备施加的清洗工步完成之后会被上报至例如eap系统(设备自动化系统)的确定单元，eap系统会确定该工步并将确定结果上报至例如mes系统(生产执行系统)的计算单元，mes系统会基于上述洁净寿命计算公式计算出载具的当前洁净寿命并将计算结果传送至例如rtd系统(自动派工系统)的派送单元，rtd系统会按照上述比较方法来确定搬送逻辑，即，是将载具搬送至生产设备以进入下一工步，还是搬送至清洗设备以进行清洗，在该派工过程中，rtd系统可以将搬送命令发送至例如mcs系统(搬送系统)并由其指令例如机械臂的搬送设备将载具搬送至相应的设备，从而形成完全的闭环以重新开始计算载具的当前洁净寿命。
54.在本公开的洁净度管控方法中，可以设想的是，第一水位值大于0。
55.以此方式，可以在载具的当前洁净寿命快到0，即洁净寿命快要结束的情况下，为载具洁净寿命设置一道警戒线，由此降低因当前洁净寿命不够完成下一工步而在进入该下一工步后变为负值从而导致载具受到污染并最终导致装载在其中的晶圆受到污染的风险。
56.还可以设想的是，第一水位值可以等于载具在该特定生产工序中所经历的工步中的会最大程度地减小原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的绝对值。
57.以此方式，当载具的当前洁净寿命大于第一水位值时，该当前洁净寿命也必然大于载具在该特定生产工序中所经历的工步中的会最大程度地减小原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的绝对值。在这种情况下，当载具因其当前洁净寿命大于第一水位值而进入该特定生产工序中的下一工步时，不会发生因当前洁净寿命不够完成该下一工步而变为负值从而导致载具受到污染并最终导致装载在其中的晶圆受到污染的问题。
58.然而，可以理解的是，第一水位值也可以为0，甚至也可以根据需要或具体情况设定为负值。
59.在本公开的洁净度管控方法和系统中，还可以设置预警结构以提高载具的使用效率以及系统的管控程度，并且为更好地进行预警，可以在第一水位值大于0的情况下设置该预警结构。
60.下面，参照图4，分别针对根据本公开的实施方式的用于晶圆载具的洁净度管控方法和系统来对预警结构进行说明。
61.作为轻度预警，用于晶圆载具的洁净度管控方法还可以包括：在步骤103之前，将当前洁净寿命与第一水位值和比第一水位值大的第二水位值进行比较，并在当前洁净寿命
小于第二水位值但大于第一水位值时，进行报警。
62.在这种情况下，由于当前洁净寿命大于第一水位值，载具仍会被继续用于该特定生产工序以进入下一工步，但因当前洁净寿命小于第二水位值，故会例如向用户进行报警，换句话说，该报警仅有警示提醒的作用，并不发生其他操作。由此，可以在载具的当前洁净寿命接近第一水位值时提醒用户注意。当大批新的或清洗后的达到完全洁净水平的载具被基本同时使用时，可能出现这些载具差不多同时达到洁净寿命终止的情况，在清洗设备数量有限的情况下，会造成需要清洗的载具过多，产生堆积，从而无法有效处理继而降低生产效率的问题。通过设置第二水位值并在当前洁净寿命小于第二水位值时进行报警，可以使用户能够对将会差不多同时到达洁净寿命的多个载具的清洗工作进行提早规划，避免了无法有效处理载具清洗继而降低生产效率的问题。
63.作为该轻度预警的执行框架，示例性地，如图4中所示，例如mes系统的计算单元还可以用于在例如rtd系统的派送单元操作之前将当前洁净寿命与第一水位值和第二水位值进行比较
①
，并在当前洁净寿命小于第二水位值但大于第一水位值时，通知例如ams系统(报警管理系统)的预警单元进行轻度预警
②
。ams系统可以发送报警邮件给用户，以便用户提早规划载具清洗工作。
64.作为中度预警，用于晶圆载具的洁净度管控方法还可以包括：在步骤103之前，将当前洁净寿命与第一水位值进行比较，当载具的当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，使得在步骤103中将当前洁净寿命同换载具工步的洁净寿命附加值与所经历的工步中的会最小程度地减小原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的和进行比较，当载具的当前洁净寿命加上该和的结果小于或等于0时，通过换载具工步将载具更换并对载具进行清洗；以及当载具的当前洁净寿命加上该和的结果大于0时，通过换载具工步将载具更换、将载具用于会最小程度地减小原始洁净寿命的工步并在之后对载具进行清洗。
65.在这种情况下，由于当前洁净寿命小于或等于第一水位值，载具会被移去清洗，但此时载具的洁净寿命没有到0，也就是说，载具的洁净寿命此时尚有剩余，为了利用这些剩余的洁净寿命以提高载具的使用效率以及因此提升管控程度，需要对该载具的当前洁净寿命即当前剩余的洁净寿命的可利用性进行评估。在本公开的实施方式中，只要载具的当前洁净寿命足够用于会最小程度地减小原始洁净寿命的工步就可以实现对载具剩余价值的利用。然而，由于在用于该工步时需要将晶圆从原载具取出并装入新载具，因此原载具还需要经过换载具设备后才能送至会最小程度地减小原始洁净寿命的工步。在这种情况下，需要将当前洁净寿命同换载具工步的洁净寿命附加值与会最小程度地减小原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的和进行比较，当载具的当前洁净寿命加上该和的结果小于或等于0时，表示载具的当前剩余的洁净寿命已不够用于会最小程度地减小原始洁净寿命的工步，即已不适合再利用其剩余价值，此时会在更换载具后将原载具送去清洗以使其恢复至原始洁净寿命；而当载具的当前洁净寿命加上该和的结果大于0时，表示载具的当前剩余的洁净寿命足够用于会最小程度地减小原始洁净寿命的工步，此时会在更换载具后将原载具送至会最小程度地减小原始洁净寿命的工步并在该工步结束之后对载具进行清洗。由此，可以提高载具的使用效率并因此提升载具的洁净度管控程度。
66.根据本公开的实施方式，还可以设想的是，当在步骤103中将当前洁净寿命同该和进行比较时，如果当前洁净寿命加上该和的结果小于或等于0且当前洁净寿命加上换载具
工步的洁净寿命附加值的结果小于0，则在通过换载具工步将载具更换之后对晶圆进行锁定并对晶圆进行洁净度检查。
67.当载具的当前洁净寿命加上该和的结果小于或等于0时，会在更换载具后将原载具送去清洗，然而，当载具的当前洁净寿命加上换载具工步的洁净寿命附加值的结果小于0时，代表在更换载具时原载具的当前洁净寿命会变为负值，由此，在载具更换时仍存在于原载具中的晶圆存在受到原载具污染的可能性。在这种情况下，需要对晶圆进行锁定，人为检查晶圆洁净度以判断是否存在被污染的问题。只有当确认晶圆没有被污染后才能将晶圆及装载晶圆的新载具放行。可以理解的是，对晶圆的洁净度检测可以通过目视、线下测试等方式进行。通过上述方式，可以更准确地管控晶圆受载具污染的风险，提升洁净度管控的水平和程度。
68.作为该中度预警的执行框架，示例性地，如图4中所示，例如mes系统的计算单元还可以用于在例如rtd系统的派送单元操作之前将当前洁净寿命与第一水位值进行比较
①
，并在当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，告知rtd系统，例如进行中度预警
③
，以由rtd系统将当前洁净寿命同换载具工步的洁净寿命附加值与所经历的工步中的会最小程度地减小原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的和进行比较，并在当前洁净寿命加上该和的结果小于或等于0时
④
，将载具派送成通过换载具工步将载具更换并对载具进行清洗，清洗完成后初始化载具洁净寿命，即使载具恢复至原始洁净寿命
⑦
；以及在当前洁净寿命加上该和的结果大于0时
⑧
，将载具派送成通过换载具工步将载具更换、将载具用于会最小程度地减小原始洁净寿命的工步并在之后对载具进行清洗以初始化载具洁净寿命，即，搬送至生产设备继续生产，生产完成后推送至mes系统，由mes系统重新计算洁净寿命
⑨
。
69.当由rtd系统将当前洁净寿命同该和进行比较时，如果当前洁净寿命加上该和的结果小于或等于0且当前洁净寿命加上换载具工步的洁净寿命附加值的结果小于0
⑤
，则在rtd系统派送成通过换载具工步将载具更换之后，通知例如ams系统的预警单元对晶圆进行锁定以便对晶圆的洁净度进行检查，并且在检查结果为晶圆未被污染的情况下进行解锁放行
⑥
。
70.作为重度预警，当在步骤103之前将当前洁净寿命与第一水位值进行比较时，如果当前洁净寿命小于或等于第一水位值且小于0，则对晶圆进行标记。具体地，可以将晶圆锁定并标记放行规格，并在完成操作后继续生产，其中，放行规格可以是中度预警或允许放行一次，以使载具进入中度预警的逻辑判断路径。
71.当载具的当前洁净寿命小于0时，代表装载在载具中的晶圆存在已受到载具污染的可能性，在这种情况下，在不强制阻止生产的情况下，通过标记放行规格来形成逻辑环路，以使载具继续直到经过
⑤
和
⑥
，以进行相应的逻辑操作和判断。可以理解的是，在紧急情况下，人员也可以直接手动使载具达到换载具工步。
72.作为该重度预警的执行框架，示例性地，如图4中所示，当例如mes系统的计算单元在例如rtd系统的派送单元操作之前将当前洁净寿命与第一水位值进行比较时，如果当前洁净寿命小于或等于第一水位值且小于0，则向例如ams系统的预警单元报送重度预警
⑩
以通知用户并对晶圆进行锁定由人员操作mes系统标记放行规格完成操作后继续生产。
73.可以设想的是，轻度预警、中度预警和重度预警可以是各自独立进行的，也就是
说，在预警结构中仅包括轻度预警，或者仅包括中度预警、或者仅包括重度预警；但还可以设想的是，在预警结构中包括这三者中的任意两者，或者包括全部这三者。
74.由此，通过根据载具的当前剩余的洁净寿命的多少按照轻度、中度、重度对预警水平进行分级，提升了载具的使用效率并提升了整个系统的管控程度。
75.以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，包括：步骤101：确定载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步；步骤102：通过所述载具的原始洁净寿命与所述所经历的工步的洁净寿命附加值之和计算所述载具的当前洁净寿命，其中，所述原始洁净寿命基于从所述载具的完全洁净水平到指定的洁净终止水平设定，并且所述所经历的工步的洁净寿命附加值基于所述所经历的工步对所述原始洁净寿命的影响程度确定；以及步骤103：将所述当前洁净寿命与第一水位值进行比较，并在所述当前洁净寿命大于所述第一水位值时，使所述载具继续用于所述特定生产工序，以及在所述当前洁净寿命小于或等于所述第一水位值时，使所述载具被清洗以恢复至所述原始洁净寿命。2.根据权利要求1所述的用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，所述第一水位值大于0。3.根据权利要求2所述的用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，所述第一水位值等于所述所经历的工步中的会最大程度地减小所述原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的绝对值。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，所述所经历的工步包括由所述晶圆在所述特定生产工序中所经过的加工站点施加的生产性工步以及不涉及所述晶圆的加工的非生产性工步。5.根据权利要求2或3所述的用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，还包括：在所述步骤103之前，将所述当前洁净寿命与所述第一水位值和比所述第一水位值大的第二水位值进行比较，当所述当前洁净寿命小于所述第二水位值但大于所述第一水位值时，进行报警。6.根据权利要求2或3所述的用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，还包括：在所述步骤103之前，将所述当前洁净寿命与所述第一水位值进行比较，当所述当前洁净寿命小于或等于所述第一水位值时，使得在所述步骤103中将所述当前洁净寿命同换载具工步的洁净寿命附加值与所述所经历的工步中的会最小程度地减小所述原始洁净寿命的工步的洁净寿命附加值的和进行比较，当所述当前洁净寿命加上所述和的结果小于或等于0时，通过所述换载具工步将所述载具更换并对所述载具进行清洗；以及当所述当前洁净寿命加上所述和的结果大于0时，通过所述换载具工步将所述载具更换、将所述载具用于所述会最小程度地减小所述原始洁净寿命的工步并在之后对所述载具进行清洗。7.根据权利要求6所述的用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，当在所述步骤103中将所述当前洁净寿命同所述和进行比较时，如果所述当前洁净寿命加上所述和的结果小于或等于0且所述当前洁净寿命加上所述换载具工步的洁净寿命附加值的结果小于0，则在通过所述换载具工步将所述载具更换之后对所述晶圆进行锁定并对所述晶圆进行洁净度检查。8.根据权利要求7所述的用于晶圆载具的洁净度管控方法，其特征在于，当在所述步骤103之前将所述当前洁净寿命与所述第一水位值进行比较时，如果所述当前洁净寿命小于或等于所述第一水位值且小于0，则对所述晶圆进行标记。9.一种用于晶圆载具的洁净度管控系统，包括：确定单元，其用于确定载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步；
计算单元，其用于通过所述载具的原始洁净寿命与由所述确定单元确定的所述所经历的工步的洁净寿命附加值之和计算所述载具的当前洁净寿命，其中，所述原始洁净寿命基于从所述载具的完全洁净水平到指定的洁净终止水平设定，并且所述所经历的工步的洁净寿命附加值基于所述所经历的工步对所述原始洁净寿命的影响程度确定；以及派送单元，其用于将由所述计算单元算出的所述当前洁净寿命与第一水位值进行比较，并在所述当前洁净寿命大于所述第一水位值时，将所述载具派送成继续用于所述特定生产工序，以及在所述当前洁净寿命小于或等于所述第一水位值时，将所述载具派送成被清洗以恢复至所述原始洁净寿命。10.根据权利要求9所述的用于晶圆载具的洁净度管控系统，其特征在于，所述确定单元为eap系统，所述计算单元为mes系统，并且所述派送单元为rtd系统。

技术总结
本公开涉及一种用于晶圆载具的洁净度管控方法和系统，该方法包括：确定载具在晶圆的特定生产工序中所经历的工步；通过载具的原始洁净寿命与所经历的工步的洁净寿命附加值之和计算载具的当前洁净寿命；以及将当前洁净寿命与第一水位值进行比较，并在当前洁净寿命大于第一水位值时，使载具继续用于特定生产工序，以及在当前洁净寿命小于或等于第一水位值时，使载具被清洗以恢复至原始洁净寿命。通过该方法和系统，使得对载具洁净寿命的衡量更加准确，从而使得能够更准确地实现对载具洁净度的管控。的管控。的管控。


技术研发人员：张钊 陈建勇
受保护的技术使用者：西安欣芯材料科技有限公司
技术研发日：2023.05.26
技术公布日：2023/9/6