一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备的制作方法

：
1.本实用新型涉及采单晶硅棒生产技术领域，具体为一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备。


背景技术：

2.单晶硅棒，是用于制造半导体器件、太阳能电池的，单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的，是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒。单晶硅棒于生产过程中，需要通过降温辅助其成型，于是使用冷却设备对其进行加工。
3.而现有冷却设备于使用过程仅靠单一的降温装置进行冷却，从而导致单晶硅棒冷却速率较低，且副炉下方加热仓内的热气容易影响晶体的冷却效率。由此，设计一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，以解决上述背景技术中提出现有的冷却设备于使用过程仅靠单一的降温装置进行冷却，从而导致单晶硅棒冷却速率较低，且副炉下方加热仓内的热气容易影响晶体的冷却效率的问题。
5.本实用新型由如下技术方案实施：一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，包括底座，所述底座上固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述底座上方固定设有加热仓，且坩埚旋转轴于加热仓内连接碳坩埚，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液，所述加热仓上方固定设有副炉，且副炉顶端设有晶体提升装置，所述晶体提升装置下方于副炉内设有吊线，且吊线下端连接籽晶，且籽晶下端生成晶体，所述副炉、加热仓于连接处穿插有隔热板，且两组隔热板于外端分别穿插有l形卡合杆，所述加热仓上端面对应开设有两组卡合孔，且l形卡合杆卡合于卡合孔内；
6.所述隔热板上方于副炉背面设有盒体，且盒体内固定设有第一电动推杆，所述第一电动推杆一端设有第一伸缩臂，且第一伸缩臂另一端连接凹形连接板，所述凹形连接板上固定连接风扇，且副炉上端面均匀开设有多组通孔；
7.所述副炉于两侧外壁分别设有盒体，且盒体内固定设有第二电动推杆，所述两组第二电动推杆的相对面分别设有第二伸缩臂，且第二伸缩臂另一端分别设有冷水套，且冷水套内固定设有冷水管，所述底座于后方设有蓄水箱，且蓄水箱上端面固定设有水泵，所述水泵上设有进水管，且进水管另一端连接y形分流管，所述y形分流管另一端分别设有连接管，且连接管另一端连接冷水管上端的进水口，所述冷水管下端的出水口分别设有出水管，且出水管另一端连接蓄水箱。
8.优选的，所述隔热板中间开设有与吊线直径大小相契合的半弧形凹槽，且隔热板通过l形卡合杆于卡合孔内与加热仓构成卡合限位结构。
9.优选的，所述风扇在第一电动推杆的驱动下通过第一伸缩臂、凹形连接板与晶体构成水平推动结构。
10.优选的，所述蓄水箱在水泵的驱动下通过进水管、y形分流管对水流进行均匀分散，并通过连接管与冷水管构成连通结构，且冷水管通过出水管与蓄水箱构成循环结构。
11.本实用新型的优点：该直拉式单晶硅棒生产的冷却设备的蓄水箱在水泵的驱动下通过进水管、y形分流管对水流进行均匀分散，并通过连接管与冷水管构成连通结构，从而通过冷水管对晶体表面进行冷却降温，且冷水管通过出水管与蓄水箱构成循环结构，从而保证冷水管内水流持续处于低温状态，进而保证冷水套的降温效率，该装置风扇在第一电动推杆的驱动下通过第一伸缩臂、凹形连接板与晶体构成水平推动结构，从而通过风扇于晶体下方对其进行散热，并通过副炉上方通孔将热气排出，该装置隔热板通过l形卡合杆于卡合孔内与加热仓构成卡合限位结构，从而通过隔热板对加热仓内热气进行隔绝，避免热气对上方冷却装置的工作效率造成影响。
附图说明：
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1为本实用新型一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备结构示意图；
14.图2为本实用新型一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备侧视结构示意图；
15.图3为本实用新型一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备风扇组件俯视结构示意图；
16.图4为本实用新型一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备冷水套组件俯视结构示意图；
17.图5为本实用新型一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备隔热板组件俯视结构示意图；
18.图6为本实用新型一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备图2中a处放大结构示意图。
19.图中：1、底座，2、加热仓，3、副炉，4、晶体提升装置，5、籽晶，6、晶体，7、隔热板，8、第一电动推杆，9、第一伸缩臂，10、凹形连接板，11、风扇，12、第二电动推杆，13、第二伸缩臂，14、冷水套，15、冷水管，16、蓄水箱，17、水泵，18、进水管、19、y形分流管，20、连接管，21、出水管。
具体实施方式：
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，包括底座1，底座1上固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，底座1上方固定设有加热仓2，且坩埚旋转轴于加热仓2内连接碳坩埚，碳坩埚上方固定设有石
英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液，加热仓2上方固定设有副炉3，且副炉3顶端设有晶体提升装置4，晶体提升装置4下方于副炉3内设有吊线，且吊线下端连接籽晶 5，且籽晶5下端生成晶体 6，副炉3、加热仓2于连接处穿插有隔热板7，且两组隔热板7于外端分别穿插有l形卡合杆，加热仓2上端面对应开设有两组卡合孔，且l形卡合杆卡合于卡合孔内；
22.进一步的，隔热板7中间开设有与吊线直径大小相契合的半弧形凹槽，且隔热板7通过l形卡合杆于卡合孔内与加热仓2构成卡合限位结构，从而于晶体6冷却过程中，通过隔热板7避免加热仓2内的热气进入副炉3内，进而降低副炉3内的温度。
23.隔热板7上方于副炉3背面设有盒体，且盒体内固定设有第一电动推杆 8，第一电动推杆8一端设有第一伸缩臂 9，且第一伸缩臂9另一端连接凹形连接板 10，凹形连接板10上固定连接风扇 11，且副炉3上端面均匀开合有多组通孔；
24.进一步的，风扇11在第一电动推杆8的驱动下通过第一伸缩臂9、凹形连接板10与晶体6构成水平推动结构，从而通过风扇11于晶体6下方进行吹风散热，并使其热气通过副炉3上端面的通孔离开，从而对晶体6进行初步降温。
25.副炉3于两侧外壁分别设有盒体，且盒体内固定设有第二电动推杆 12，两组第二电动推杆12的相对面分别设有第二伸缩臂 13，且第二伸缩臂13另一端分别设有冷水套14，且冷水套14内固定设有冷水管15，底座1于后方设有蓄水箱 16，且蓄水箱16上端面固定设有水泵 17，水泵17上设有进水管18，且进水管18另一端连接y形分流管19，y形分流管19另一端分别设有连接管20，且连接管20另一端连接冷水管15上端的进水口，冷水管15下端的出水口分别设有出水管21，且出水管21另一端连接蓄水箱16；
26.进一步的，蓄水箱16在水泵17的驱动下通过进水管18、y形分流管19对水流进行均匀分散，并通过连接管20与冷水管15构成连通结构，从而通过冷水管15对晶体6表面进行冷却降温，且冷水管15通过出水管21与蓄水箱16构成循环结构，从而保证冷水管15内的水流持续处于低温状态，进而增加该装置的冷却效率。
27.工作原理：在使用该直拉式单晶硅棒生产的冷却设备时，首先向上方提拉隔热板7上的l形卡合块，从而将隔热板7向两侧移动，进而通过晶体提升装置4将籽晶5及其下方生成的晶体6向上提拉，当晶体6置于副炉3内后，可将两侧的隔热板7向中间推动，并通过l形卡合杆卡合于卡合孔内，从而对隔热板7进行限位，进而通过隔热板7对下方加热仓2内的热气进行隔绝，避免热气降低该装置的冷却效率，随后同时启动第一电动推杆8、第二电动推杆12，第一电动推杆8通过第一伸缩臂9驱动风扇11进行移动，从而使风扇11位于晶体6正下方，并通过风扇11对晶体表面进行散热，且热气通过副炉3上端面的通孔排出，从而对晶体6进行初步降温，第二电动推杆12通过第二伸缩臂13驱动冷水套14进行移动，从而使两组冷水套14贴近晶体6的表面，接着启动水泵17，蓄水箱16内的水在水泵17的驱动下通过进水管18、y形分流管19均匀进行分流，并通过连接管20进行冷水管15内，从而通过冷水管15对晶体6表面进行冷却，且冷水管15内的水通过出水管21回到蓄水箱16内，从而保证冷水管15内水流的流通性，并使冷水管15内的水流持续属于低温状态，进而增加该装置的冷却效率，将这就是该直拉式单晶硅棒生产的冷却设备的使用过程。
28.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，包括底座(1)，所述底座(1)上固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述底座(1)上方固定设有加热仓(2)，且坩埚旋转轴于加热仓(2)内连接碳坩埚，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液，所述加热仓(2)上方固定设有副炉(3)，且副炉(3)顶端设有晶体提升装置(4)，所述晶体提升装置(4)下方于副炉(3)内设有吊线，且吊线下端连接籽晶(5)，且籽晶(5)下端生成晶体(6)，其特征在于：所述副炉(3)、加热仓(2)于连接处穿插有隔热板(7)，且两组隔热板(7)于外端分别穿插有l形卡合杆，所述加热仓(2)上端面对应开设有两组卡合孔，且l形卡合杆卡合于卡合孔内；所述隔热板(7)上方于副炉(3)背面设有盒体，且盒体内固定设有第一电动推杆(8)，所述第一电动推杆(8)一端设有第一伸缩臂(9)，且第一伸缩臂(9)另一端连接凹形连接板(10)，所述凹形连接板(10)上固定连接风扇(11)，且副炉(3)上端面均匀开设有多组通孔；所述副炉(3)于两侧外壁分别设有盒体，且盒体内固定设有第二电动推杆(12)，所述两组第二电动推杆(12)的相对面分别设有第二伸缩臂(13)，且第二伸缩臂(13)另一端分别设有冷水套(14)，且冷水套(14)内固定设有冷水管(15)，所述底座(1)于后方设有蓄水箱(16)，且蓄水箱(16)上端面固定设有水泵(17)，所述水泵(17)上设有进水管(18)，且进水管(18)另一端连接y形分流管(19)，所述y形分流管(19)另一端分别设有连接管(20)，且连接管(20)另一端连接冷水管(15)上端的进水口，所述冷水管(15)下端的出水口分别设有出水管(21)，且出水管(21)另一端连接蓄水箱(16)。2.根据权利要求1所述的一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，其特征在于：所述隔热板(7)中间开设有与吊线直径大小相契合的半弧形凹槽，且隔热板(7)通过l形卡合杆于卡合孔内与加热仓(2)构成卡合限位结构。3.根据权利要求1所述的一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，其特征在于：所述风扇(11)在第一电动推杆(8)的驱动下通过第一伸缩臂(9)、凹形连接板(10)与晶体(6)构成水平推动结构。4.根据权利要求1所述的一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，其特征在于：所述蓄水箱(16)在水泵(17)的驱动下通过进水管(18)、y形分流管(19)对水流进行均匀分散，并通过连接管(20)与冷水管(15)构成连通结构，且冷水管(15)通过出水管(21)与蓄水箱(16)构成循环结构。

技术总结
本实用新型公开了一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，所述底座上固定设有坩埚传动装置，且坩埚传动装置上方设有坩埚旋转轴，所述碳坩埚上方固定设有石英坩埚，且石英坩埚内放置有硅溶液。该直拉式单晶硅棒生产的冷却设备的蓄水箱在水泵的驱动下通过进水管、Y形分流管对水流进行均匀分散，并通过连接管与冷水管构成连通结构，从而通过冷水管对晶体表面进行冷却降温，且冷水管通过出水管与蓄水箱构成循环结构，从而保证冷水管内水流持续处于低温状态，进而保证冷水套的降温效率，该装置风扇在第一电动推杆的驱动下通过第一伸缩臂、凹形连接板与晶体构成水平推动结构，从而通过风扇于晶体下方对其进行散热，并通过副炉上方通孔将热气排出。热气排出。热气排出。


技术研发人员：吴雄 任宝宝 张子龙
受保护的技术使用者：内蒙古豪安能源科技有限公司
技术研发日：2023.04.20
技术公布日：2023/9/16