一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法与流程

1.本发明属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.现有技术中公开了申请号为cn201711481351.9的中国专利，公开了一种新型快速清洗的真空镀膜设备，包括真空镀膜设备本体，所述真空镀膜设备本体的上表面固定安装有电机，所述电机的前端固定安装有第一带轮，所述限位板的前表面转动安装有第二带轮，且限位板的前表面靠近第二带轮的一侧位置处转动安装有第三带轮，所述第三带轮的前表面固定安装有折叠杆，所述折叠杆的下端固定安装有限位块，所述承压板的上表面靠近真空镀膜设备本体的另一侧位置处固定安装有清洗装置。本发明通过清洗装置，可在真空镀膜设备使用后，对真空镀膜设备的真空腔内壁进行清洗处理；通过电机、带轮和滑轨可实现防护门的电动开启和关闭，无需人工手动开启，结构科学合理，使用安全方便。
4.目前的大部分真空镀膜设备较小，每次镀膜的数量有限，赶急加工时需要频繁打开柜门，可能会造成灰尘进入真空室内，在使用真空镀膜设备镀膜一段时间后，其内壁会附着一部分电镀液，降低了镀膜的质量，为此我们提出一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法，旨在解决背景技术中存在的至少一个问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
7.一种快速清洗的真空镀膜设备，包括：
8.设备主体，其内部由下而上设置有下腔室、真空镀膜腔和上腔室；
9.箱门，其活动连接于设备主体的一侧，其与真空镀膜腔连通；
10.真空泵，其固定连接于上腔室内，其吸气口与真空镀膜腔连通，其输出端延伸至设备主体外侧；
11.内环架，其可移动设置于真空镀膜腔内，其上端开设有多个定位孔；
12.下位板，其固定连接于真空镀膜腔的下内壁；
13.上位板，其固定连接于下位板的上端；
14.支撑机构，其设置于多组，其分别设置于定位孔内，其用于放置待镀膜工件；
15.移动机构，其设置于真空镀膜腔内，其用于驱动内环架以联动待镀膜工件循环移动；以及
16.清洗机构，其设置于设备主体内，其贯穿下腔室和真空镀膜腔以对真空镀膜腔进行清洗并自动排出污水。
17.作为本发明一种优选的方案，每组所述支撑机构包括挂架、定位梢、定位轴和小齿轮，所述定位轴转动连接于定位孔内，所述定位轴的顶部开设有定位槽，所述定位梢由上而下插入定位槽内，所述挂架固定连接于定位梢的顶部，所述挂架用于安装待镀膜工件，所述小齿轮固定连接于定位轴的底部。
18.作为本发明一种优选的方案，所述移动机构包括：
19.外环架，其固定连接于真空镀膜腔的下内壁；
20.内齿圈，其固定连接于外环架的下内壁，多个所述小齿轮均与内齿圈相啮合；
21.圆槽，其固定连接于真空镀膜腔的下内壁；
22.上位板，其固定连接于下位板的上端；以及
23.皮带轮组件，其设置于下位板和上位板之间，其与内环架连接以带动内环架循环移动。
24.作为本发明一种优选的方案，所述皮带轮组件包括：
25.轮轴，其设置有两个，其均转动连接于下腔室的下内壁，其上端均贯穿圆槽并向上延伸；
26.齿轮盘，其设置有两个，其均位于下位板和上位板之间，其分别固定连接于对应轮轴的圆周表面；
27.内齿带，其传动连接于两个齿轮盘之间，其固定连接于内环架的内壁；以及
28.驱动部件，其设置于下腔室内，其用于驱动其中一个轮轴转动。
29.作为本发明一种优选的方案，所述驱动部件包括伺服电机、主动锥形齿轮和从动锥形齿轮，所述伺服电机固定连接于下腔室的下内壁，所述主动锥形齿轮固定连接于伺服电机的输出端，所述从动锥形齿轮固定连接于轮轴的圆周表面，所述主动锥形齿轮与从动锥形齿轮相啮合。
30.作为本发明一种优选的方案，所述清洗机构包括：
31.中空斗，其固定连接于下腔室的下内壁，所述下位板和上位板的中心处均开设有圆槽，所述中空斗贯穿圆槽与下腔室连通；
32.增压阀，其固定连接于中空斗的下内壁，其输入端固定连接有进水口，所述进水口的另一端贯穿设备主体并向外延伸，所述进水口用于引入清水；
33.伸缩管，其一端固定连接于增压阀的输出端；
34.圆板，其位于中空斗的上侧，其上端可拆卸连接有锥形顶；
35.电动推杆，其设置有两个，其均固定连接于中空斗的下内壁，其伸长端固定连接于圆板的底部边缘处；
36.定位环，其固定连接于圆板的下侧，所述伸缩管的另一端与定位环固定连接；
37.旋转喷淋组件，其设置于定位环上，其用于转动喷射清水以清洗真空镀膜腔的死角；以及
38.出水组件，其设置于下腔室内，其用于排出污水。
39.作为本发明一种优选的方案，所述旋转喷淋组件包括减速电机和中空管，所述中空管转动连接于定位环和圆板之间，所述减速电机固定连接于圆板的顶部，所述减速电机
的输出端固定连接于中空管的顶部，所述减速电机位于圆板和锥形顶之间，所述中空管的圆周表面设置有多个喷头。
40.作为本发明一种优选的方案，所述出水组件包括吸水泵、短管和出水管，所述吸水泵固定连接于下腔室的下内壁，所述短管的一端固定连接于吸水泵的吸水口，所述短管的另一端固定连接于中空斗，所述吸水泵的出水口固定连接有出水管，所述出水管的末端贯穿设备主体并向外延伸。
41.作为本发明一种优选的方案，所述上位板的顶部中心处设置有凹槽部，所述中空斗位于凹槽部之间，所述外环架、内环架和上位板之间设置有疏水疏油层。
42.一种快速清洗的真空镀膜设备的使用方法，包括如下步骤：
43.s1.将待镀膜工件依次安装在挂架上，安装完成后关闭箱门，并启动真空泵，通过真空泵抽出真空镀膜腔内的空气，使真空镀膜腔处于真空状态并进行镀膜工作；
44.s2.在进行镀膜工作时，启动伺服电机，通过伺服电机的输出端带动主动锥形齿轮转动，主动锥形齿轮带动从动锥形齿轮减速转动，从动锥形齿轮带动轮轴转动，轮轴带动与其固定的齿轮盘转动，齿轮盘带动内齿带循环移动，继而带动内环架循环移动，多个挂架跟随内环架循环移动，并且小齿轮在与内齿圈啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果；
45.s3.当需要清洗时，将进水口与外部管道连接，清水由外部管道进入进水口内，然后经过增压阀增加压力，清水加速进入伸缩管内，清水进入中空管内，由喷头喷向真空镀膜腔的内壁，然后启动减速电机，通过减速电机的输出端带动中空管转动，使喷头喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔内的死角，以提高清洗效果；
46.s4.清洗完成后，启动吸水泵，使真空镀膜腔内清洗产生的污水进入中空斗内，然后由短管进入出水管内排出，完成自动清洗；
47.s5.排水完成后，通过电动推杆的伸长端带动圆板向下移动，圆板、锥形顶和中空管整体向下移动，圆板的顶部收缩于中空斗内并贴合于凹槽部，使中空斗与圆板闭合。
48.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
49.1、本方案多个挂架跟随内环架循环移动，并且小齿轮在与内齿圈啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，清洗时产生的污水进入中空斗内，然后由短管进入出水管内排出，实现工件在镀膜时不断移动并转动，受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，喷头喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔内的死角，可自动清洗排水，有效清洁真空镀膜腔，减少灰尘和电镀液等对下次镀膜的影响，保持稳定的镀膜质量。
50.2、本方案安装时只需将定位梢插入定位槽内，在定位轴移动时挂架随着移动，定位轴转动时挂架随着转动，拔出定位梢即可拆卸挂架，安装拆卸方式简单，方便工作人员使用。
51.3、本方案外环架、内环架、下位板和上位板的高度持平，且接触面无缝贴合，内环架在外环架、下位板和上位板的支撑下不会发生形变，以保持内环架稳定移动。
52.4、本方案每个的喷头的角度不同，喷水的位置也不同，并且通过减速电机的输出端带动中空管转动，使喷头喷水时不断旋转，增大清理范围，有效清理真空镀膜腔内的死角，提高清洗效果。
附图说明
53.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。
54.在附图中：
55.图1为本发明的整体图；
56.图2为本发明的侧视图；
57.图3为本发明的平面剖视图；
58.图4为本发明的侧面剖视图；
59.图5为本发明的移动机构处爆炸图；
60.图6为本发明的皮带轮组件处结构图；
61.图7为本发明的挂架处结构图；
62.图8为本发明的下腔室结构图；
63.图9为本发明的图8的a处爆炸图；
64.图10为本发明的中空斗剖视图；
65.图11为本发明的中空管处爆炸图。
66.图中标号说明：1、设备主体；101、下腔室；102、真空镀膜腔；103、上腔室；2、箱门；3、外环架；4、内环架；5、内齿圈；6、定位孔；7、定位轴；8、小齿轮；9、定位槽；10、挂架；11、定位梢；12、伺服电机；13、主动锥形齿轮；14、轮轴；15、从动锥形齿轮；16、齿轮盘；17、内齿带；18、下位板；19、上位板；20、凹槽部；21、圆槽；22、中空斗；23、增压阀；24、进水口；25、伸缩管；26、圆板；27、电动推杆；28、锥形顶；29、减速电机；30、定位环；31、中空管；32、喷头；33、吸水泵；34、短管；35、出水管；36、真空泵。
具体实施方式
67.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
68.实施例
69.请参阅图1-图11，本实施例提供的技术方案如下：
70.一种快速清洗的真空镀膜设备，包括设备主体1、箱门2、真空泵36、内环架4、下位板18、上位板19、支撑机构、移动机构和清洗机构，其中：设备主体1内部由下而上设置有下腔室101、真空镀膜腔102和上腔室103；箱门2活动连接于设备主体1的一侧，其与真空镀膜腔102连通；真空泵36固定连接于上腔室103内，其吸气口与真空镀膜腔102连通，其输出端延伸至设备主体1外侧；内环架4可移动设置于真空镀膜腔102内，其上端开设有多个定位孔6下位板18固定连接于真空镀膜腔102的下内壁；上位板19固定连接于下位板18的上端；支撑机构设置于多组，其分别设置于定位孔6内，其用于放置待镀膜工件；移动机构设置于真空镀膜腔102内，其用于驱动内环架4以联动待镀膜工件循环移动；清洗机构设置于设备主体1内，其贯穿下腔室101和真空镀膜腔102以对真空镀膜腔102进行清洗并自动排出污水。
71.在本发明的具体实施例中，真空镀膜腔102位于下腔室101与上腔室103之间，内环
架4为橡胶材质，可以发生形变，内齿圈5位于外环架3内，小齿轮8位于内环架4内，外环架3和内环架4之间构成空间，下位板18和上位板19的侧部均贴合于内环架4的内壁，以防止内环架4在移动时发生形变，定位孔6用于安装定位轴7，定位轴7可以在定位孔6内转动，且小齿轮8与内齿圈5啮合，使内环架4在移动，定位轴7跟随小齿轮8移动，此时小齿轮8在内齿圈5的啮合作用下不断转动，真空泵36位于上腔室103内，真空泵36工作时将真空镀膜腔102抽真空，以辅助真空镀膜工作，此时通过伺服电机12的输出端带动主动锥形齿轮13转动，主动锥形齿轮13带动从动锥形齿轮15减速转动，从动锥形齿轮15带动轮轴14转动，轮轴14带动与其固定的齿轮盘16转动，齿轮盘16带动内齿带17循环移动，继而带动内环架4循环移动，多个挂架10跟随内环架4循环移动，并且小齿轮8在与内齿圈5啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体1内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，当需要清洗时，将进水口24与外部管道连接，清水由外部管道进入进水口24内，然后经过增压阀23增加压力，清水加速进入伸缩管25内，清水进入中空管31内，由喷头32喷向真空镀膜腔102的内壁，然后启动减速电机29，通过减速电机29的输出端带动中空管31转动，使喷头32喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔102内的死角，以提高清洗效果，清洗完成后，启动吸水泵33，使真空镀膜腔102内清洗产生的污水进入中空斗22内，然后由短管34进入出水管35内排出，完成自动清洗，排水完成后，通过电动推杆27的伸长端带动圆板26向下移动，圆板26、锥形顶28和中空管31整体向下移动，圆板26的顶部收缩于中空斗22内并贴合于凹槽部20，使中空斗22与圆板26闭合回到原位，本方案有效实现工件在镀膜时不断移动并转动，受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，喷头32喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔102内的死角，可自动清洗排水，有效清洁真空镀膜腔102，减少灰尘和电镀液等对下次镀膜的影响，保持稳定的镀膜质量。
72.具体的，每组支撑机构包括挂架10、定位梢11、定位轴7和小齿轮8，定位轴7转动连接于定位孔6内，定位轴7的顶部开设有定位槽9，定位梢11由上而下插入定位槽9内，挂架10固定连接于定位梢11的顶部，挂架10用于安装待镀膜工件，小齿轮8固定连接于定位轴7的底部。
73.在本发明的具体实施例中，如图6和图7所示，安装时只需将定位梢11插入定位槽9内，在定位轴7移动时挂架10随着移动，定位轴7转动时挂架10随着转动，拔出定位梢11即可拆卸挂架10，安装拆卸方式简单，方便工作人员使用。
74.具体的，移动机构包括：
75.外环架3，其固定连接于真空镀膜腔102的下内壁；
76.内齿圈5，其固定连接于外环架3的下内壁，多个小齿轮8均与内齿圈5相啮合；
77.圆槽21，其固定连接于真空镀膜腔102的下内壁；
78.上位板19，其固定连接于下位板18的上端；
79.皮带轮组件，其设置于下位板18和上位板19之间，其与内环架4连接以带动内环架4循环移动，皮带轮组件包括：
80.轮轴14，其设置有两个，其均转动连接于下腔室101的下内壁，其上端均贯穿圆槽21并向上延伸；
81.齿轮盘16，其设置有两个，其均位于下位板18和上位板19之间，其分别固定连接于对应轮轴14的圆周表面；
82.内齿带17，其传动连接于两个齿轮盘16之间，其固定连接于内环架4的内壁；
83.驱动部件，其设置于下腔室101内，其用于驱动其中一个轮轴14转动，驱动部件包括伺服电机12、主动锥形齿轮13和从动锥形齿轮15，伺服电机12固定连接于下腔室101的下内壁，主动锥形齿轮13固定连接于伺服电机12的输出端，从动锥形齿轮15固定连接于轮轴14的圆周表面，主动锥形齿轮13与从动锥形齿轮15相啮合。
84.在本发明的具体实施例中，外环架3贴合于真空镀膜腔102的内壁，内齿圈5位于外环架3内，小齿轮8位于内环架4内，外环架3和内环架4之间构成空间，下位板18和上位板19的侧部均贴合于内环架4的内壁，外环架3、内环架4、下位板18和上位板19的高度持平，且接触面无缝贴合，内环架4在外环架3、下位板18和上位板19的支撑下不会发生形变，以保持内环架4稳定移动，具体工作时，通过伺服电机12的输出端带动主动锥形齿轮13转动，主动锥形齿轮13带动从动锥形齿轮15减速转动，从动锥形齿轮15带动轮轴14转动，轮轴14带动与其固定的齿轮盘16转动，齿轮盘16带动内齿带17循环移动，继而带动内环架4循环移动，多个挂架10跟随内环架4循环移动，并且小齿轮8在与内齿圈5啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体1内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果。
85.具体的，清洗机构包括：
86.中空斗22，其固定连接于下腔室101的下内壁，下位板18和上位板19的中心处均开设有圆槽21，中空斗22贯穿圆槽21与下腔室101连通；
87.增压阀23，其固定连接于中空斗22的下内壁，其输入端固定连接有进水口24，进水口24的另一端贯穿设备主体1并向外延伸，进水口24用于引入清水；
88.伸缩管25，其一端固定连接于增压阀23的输出端；
89.圆板26，其位于中空斗22的上侧，其上端可拆卸连接有锥形顶28；
90.电动推杆27，其设置有两个，其均固定连接于中空斗22的下内壁，其伸长端固定连接于圆板26的底部边缘处；
91.定位环30，其固定连接于圆板26的下侧，伸缩管25的另一端与定位环30固定连接；
92.旋转喷淋组件，其设置于定位环30上，其用于转动喷射清水以清洗真空镀膜腔102的死角，旋转喷淋组件包括减速电机29和中空管31，中空管31转动连接于定位环30和圆板26之间，减速电机29固定连接于圆板26的顶部，减速电机29的输出端固定连接于中空管31的顶部，减速电机29位于圆板26和锥形顶28之间，中空管31的圆周表面设置有多个喷头32；
93.出水组件，其设置于下腔室101内，其用于排出污水，出水组件包括吸水泵33、短管34和出水管35，吸水泵33固定连接于下腔室101的下内壁，短管34的一端固定连接于吸水泵33的吸水口，短管34的另一端固定连接于中空斗22，吸水泵33的出水口固定连接有出水管35，出水管35的末端贯穿设备主体1并向外延伸。
94.在本发明的具体实施例中，中空斗22的底部固定于下腔室101的下内壁，中空斗22的顶部向上贯穿真空镀膜腔102、下位板18和上位板19，并贴合于凹槽部20的最低处，增压阀23位于中空斗22内，进水口24与外部管道连接，清水经过外部管道进入进水口24内，然后由增压阀23增加压力，使清水加速进入伸缩管25内，最后通过喷头32喷出，每个的喷头32的角度不同，喷水的位置也不同，并且通过减速电机29的输出端带动中空管31转动，使喷头32喷水时不断旋转，增大清理范围，有效清理真空镀膜腔102内的死角，提高清洗效果，清洗完成后产生污水，污水流动至中空斗22内，启动吸水泵33产生吸力，使真空镀膜腔102内的污
水吸入中空斗22内，避免污水残留，电动推杆27设置有两个，通过电动推杆27的伸长端带动圆板26向下移动，圆板26、锥形顶28和中空管31整体向下移动，圆板26的顶部收缩于中空斗22内并贴合于凹槽部20，使中空斗22与圆板26闭合，保持真空镀膜腔102处于密封环境，结构更加合理，优选的，锥形顶28与圆板26螺纹连接，方便更换拆卸减速电机29。
95.具体的，上位板19的顶部中心处设置有凹槽部20，中空斗22位于凹槽部20之间，外环架3、内环架4和上位板19之间设置有疏水疏油层。
96.在本发明的具体实施例中，如图5所示，凹槽部20位于圆槽21的周围，凹槽部20向内逐渐下凹，使真空镀膜腔102内的污水更容易流动至中空斗22内，疏水疏油层的设置，起到防水防油的作用，提高密封性。
97.本实施例还提供以上所述一种快速清洗的真空镀膜设备的使用方法，其包括如下步骤：
98.s1.将待镀膜工件依次安装在挂架10上，安装完成后关闭箱门2，并启动真空泵36，通过真空泵36抽出真空镀膜腔102内的空气，使真空镀膜腔102处于真空状态并进行镀膜工作；
99.s2.在进行镀膜工作时，启动伺服电机12，通过伺服电机12的输出端带动主动锥形齿轮13转动，主动锥形齿轮13带动从动锥形齿轮15减速转动，从动锥形齿轮15带动轮轴14转动，轮轴14带动与其固定的齿轮盘16转动，齿轮盘16带动内齿带17循环移动，继而带动内环架4循环移动，多个挂架10跟随内环架4循环移动，并且小齿轮8在与内齿圈5啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体1内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果；
100.s3.当需要清洗时，将进水口24与外部管道连接，清水由外部管道进入进水口24内，然后经过增压阀23增加压力，清水加速进入伸缩管25内，清水进入中空管31内，由喷头32喷向真空镀膜腔102的内壁，然后启动减速电机29，通过减速电机29的输出端带动中空管31转动，使喷头32喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔102内的死角，以提高清洗效果；
101.s4.清洗完成后，启动吸水泵33，使真空镀膜腔102内清洗产生的污水进入中空斗22内，然后由短管34进入出水管35内排出，完成自动清洗；
102.s5.排水完成后，通过电动推杆27的伸长端带动圆板26向下移动，圆板26、锥形顶28和中空管31整体向下移动，圆板26的顶部收缩于中空斗22内并贴合于凹槽部20，使中空斗22与圆板26闭合。
103.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，包括：设备主体(1)，其内部由下而上设置有下腔室(101)、真空镀膜腔(102)和上腔室(103)；箱门(2)，其活动连接于设备主体(1)的一侧，其与真空镀膜腔(102)连通；真空泵(36)，其固定连接于上腔室(103)内，其吸气口与真空镀膜腔(102)连通，其输出端延伸至设备主体(1)外侧；内环架(4)，其可移动设置于真空镀膜腔(102)内，其上端开设有多个定位孔(6)；下位板(18)，其固定连接于真空镀膜腔(102)的下内壁；上位板(19)，其固定连接于下位板(18)的上端；支撑机构，其设置于多组，其分别设置于定位孔(6)内，其用于放置待镀膜工件；移动机构，其设置于真空镀膜腔(102)内，其用于驱动内环架(4)以联动待镀膜工件循环移动；以及清洗机构，其设置于设备主体(1)内，其贯穿下腔室(101)和真空镀膜腔(102)以对真空镀膜腔(102)进行清洗并自动排出污水。2.根据权利要求1所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，每组所述支撑机构包括挂架(10)、定位梢(11)、定位轴(7)和小齿轮(8)，所述定位轴(7)转动连接于定位孔(6)内，所述定位轴(7)的顶部开设有定位槽(9)，所述定位梢(11)由上而下插入定位槽(9)内，所述挂架(10)固定连接于定位梢(11)的顶部，所述挂架(10)用于安装待镀膜工件，所述小齿轮(8)固定连接于定位轴(7)的底部。3.根据权利要求2所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述移动机构包括：外环架(3)，其固定连接于真空镀膜腔(102)的下内壁；内齿圈(5)，其固定连接于外环架(3)的下内壁，多个所述小齿轮(8)均与内齿圈(5)相啮合；圆槽(21)，其固定连接于真空镀膜腔(102)的下内壁；上位板(19)，其固定连接于下位板(18)的上端；以及皮带轮组件，其设置于下位板(18)和上位板(19)之间，其与内环架(4)连接以带动内环架(4)循环移动。4.根据权利要求3所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述皮带轮组件包括：轮轴(14)，其设置有两个，其均转动连接于下腔室(101)的下内壁，其上端均贯穿圆槽(21)并向上延伸；齿轮盘(16)，其设置有两个，其均位于下位板(18)和上位板(19)之间，其分别固定连接于对应轮轴(14)的圆周表面；内齿带(17)，其传动连接于两个齿轮盘(16)之间，其固定连接于内环架(4)的内壁；以及驱动部件，其设置于下腔室(101)内，其用于驱动其中一个轮轴(14)转动。5.根据权利要求4所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动部件包括伺服电机(12)、主动锥形齿轮(13)和从动锥形齿轮(15)，所述伺服电机(12)固定连接于下腔室(101)的下内壁，所述主动锥形齿轮(13)固定连接于伺服电机(12)的输出端，所述从
动锥形齿轮(15)固定连接于轮轴(14)的圆周表面，所述主动锥形齿轮(13)与从动锥形齿轮(15)相啮合。6.根据权利要求5所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述清洗机构包括：中空斗(22)，其固定连接于下腔室(101)的下内壁，所述下位板(18)和上位板(19)的中心处均开设有圆槽(21)，所述中空斗(22)贯穿圆槽(21)与下腔室(101)连通；增压阀(23)，其固定连接于中空斗(22)的下内壁，其输入端固定连接有进水口(24)，所述进水口(24)的另一端贯穿设备主体(1)并向外延伸，所述进水口(24)用于引入清水；伸缩管(25)，其一端固定连接于增压阀(23)的输出端；圆板(26)，其位于中空斗(22)的上侧，其上端可拆卸连接有锥形顶(28)；电动推杆(27)，其设置有两个，其均固定连接于中空斗(22)的下内壁，其伸长端固定连接于圆板(26)的底部边缘处；定位环(30)，其固定连接于圆板(26)的下侧，所述伸缩管(25)的另一端与定位环(30)固定连接；旋转喷淋组件，其设置于定位环(30)上，其用于转动喷射清水以清洗真空镀膜腔(102)的死角；以及出水组件，其设置于下腔室(101)内，其用于排出污水。7.根据权利要求6所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述旋转喷淋组件包括减速电机(29)和中空管(31)，所述中空管(31)转动连接于定位环(30)和圆板(26)之间，所述减速电机(29)固定连接于圆板(26)的顶部，所述减速电机(29)的输出端固定连接于中空管(31)的顶部，所述减速电机(29)位于圆板(26)和锥形顶(28)之间，所述中空管(31)的圆周表面设置有多个喷头(32)。8.根据权利要求7所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述出水组件包括吸水泵(33)、短管(34)和出水管(35)，所述吸水泵(33)固定连接于下腔室(101)的下内壁，所述短管(34)的一端固定连接于吸水泵(33)的吸水口，所述短管(34)的另一端固定连接于中空斗(22)，所述吸水泵(33)的出水口固定连接有出水管(35)，所述出水管(35)的末端贯穿设备主体(1)并向外延伸。9.根据权利要求8所述的一种快速清洗的真空镀膜设备，其特征在于，所述上位板(19)的顶部中心处设置有凹槽部(20)，所述中空斗(22)位于凹槽部(20)之间，所述外环架(3)、内环架(4)和上位板(19)之间设置有疏水疏油层。10.一种快速清洗的真空镀膜设备的使用方法，应用于如权利要求1-9任一项所述的真空镀膜设备中，其特征在于，包括如下步骤：s1.将待镀膜工件依次安装在挂架(10)上，安装完成后关闭箱门(2)，并启动真空泵(36)，通过真空泵(36)抽出真空镀膜腔(102)内的空气，使真空镀膜腔(102)处于真空状态并进行镀膜工作；s2.在进行镀膜工作时，启动伺服电机(12)，通过伺服电机(12)的输出端带动主动锥形齿轮(13)转动，主动锥形齿轮(13)带动从动锥形齿轮(15)减速转动，从动锥形齿轮(15)带动轮轴(14)转动，轮轴(14)带动与其固定的齿轮盘(16)转动，齿轮盘(16)带动内齿带(17)循环移动，继而带动内环架(4)循环移动，多个挂架(10)跟随内环架(4)循环移动，并且小齿
轮(8)在与内齿圈(5)啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体(1)内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果；s3.当需要清洗时，将进水口(24)与外部管道连接，清水由外部管道进入进水口(24)内，然后经过增压阀(23)增加压力，清水加速进入伸缩管(25)内，清水进入中空管(31)内，由喷头(32)喷向真空镀膜腔(102)的内壁，然后启动减速电机(29)，通过减速电机(29)的输出端带动中空管(31)转动，使喷头(32)喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔(102)内的死角，以提高清洗效果；s4.清洗完成后，启动吸水泵(33)，使真空镀膜腔(102)内清洗产生的污水进入中空斗(22)内，然后由短管(34)进入出水管(35)内排出，完成自动清洗；s5.排水完成后，通过电动推杆(27)的伸长端带动圆板(26)向下移动，圆板(26)、锥形顶(28)和中空管(31)整体向下移动，圆板(26)的顶部收缩于中空斗(22)内并贴合于凹槽部(20)，使中空斗(22)与圆板(26)闭合。

技术总结
本发明提供一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法，属于真空镀膜技术领域，所述真空镀膜设备包括设备主体、箱门、真空泵、内环架、下位板、上位板、支撑机构、移动机构和清洗机构，其中：设备主体内部由下而上设置有下腔室、真空镀膜腔和上腔室；箱门活动连接于设备主体的一侧，其与真空镀膜腔连通；真空泵固定连接于上腔室内，其吸气口与真空镀膜腔连通，其输出端延伸至设备主体外侧；利用本发明可实现工件在镀膜时不断移动并转动，受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，喷头喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔内的死角，可自动清洗排水，有效清洁真空镀膜腔，减少灰尘和电镀液等对下次镀膜的影响，保持稳定的镀膜质量。保持稳定的镀膜质量。保持稳定的镀膜质量。


技术研发人员：汪立 尹心恒 陈子俊
受保护的技术使用者：湖北中一科技股份有限公司
技术研发日：2023.04.21
技术公布日：2023/10/8