一种显影槽或退膜槽的清洗方法与流程

1.本发明涉及设备清洗维护领域，具体涉及一种显影槽或退膜槽的清洗方法。


背景技术：

2.目前，在音圈马达弹簧片的生产过程中通常要进行显影作业和退膜作业；其中，显影作业主要是去除曝光制程中板面上未被光固化的干膜；退膜作业主要是去除蚀刻完成后的板面保护膜。
3.然而在显影作业过程中退膜槽的槽壁、辊轮以及喷洒喷嘴处会有部分干膜残留，在退膜作业过程中显影槽的槽壁、辊轮以及喷洒喷嘴处也会有部分干膜残留，会影响下一批板的显影效果；因此在每次显影作业和退膜作业后通常会对显影槽和退膜槽进行清洗来保证每次音圈马达弹簧片的使用性能，同时保证显影槽和退膜槽的使用寿命；其中，干膜主要是丙烯酸树脂、丙烯酯单体、盐酸与乙基-4-二亚甲胺苯酸脂等材料。
4.基于此现有技术cn102757871a提出了一种pcb干膜显影槽清洗剂，所述清洗剂由以下重量百分比的溶剂a和溶剂b组成，其中，溶剂a的组成为：磷酸：15-20％，乙酸：4-10％，余量为水；溶剂b的组成，以溶剂a为基础量：乳化剂：3-6％，增溶剂：0.5-1％,表面活性剂：1-3％。
5.又如cn108373950a一种用于pcb干膜显影槽的清洗剂及其清洗工艺。其由含量为以下质量百分数的组分组成：硫酸：10-20％；乙酸：10-30％；增溶剂：1-5％；表面活性剂：0.5-3％；水：余量。
6.然而上述现有技术提供的清洗剂，在清洗剂中引入了相当量的乙酸，而乙酸在使用过程中会挥发进而导致作业环境差，同时由于清洗剂还引入了其他有机助剂，长时间使用后会导致有机组分的残留导致对显影槽或退膜槽作业产生不良影响；进一步地，现有技术公开清洗液仍存在清洗时间长和清洗效率低的问题。


技术实现要素：

7.鉴于现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种显影槽或退膜槽的清洗方法，以解决针对显影槽或退膜槽进行清洗时存在的清洗时间长，清洗效率低及清洗环境差等问题。
8.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
9.本发明提供了一种显影槽或退膜槽的清洗方法，所述清洗方法包括：对显影槽或退膜槽依次进行酸洗和盐洗；
10.所述酸洗中所用洗液为无氟盐酸；
11.所述盐洗中所用洗液为碳酸钠溶液和/或碳酸氢钠溶液。
12.本发明提供的清洗方法，通过对清洗过程中洗液组成的调整，使得针对不锈钢类槽进行清洗过程中，盐酸使得不锈钢中的铬形成致密氧化铬膜，从而防止盐酸腐蚀不锈钢，同时也可以将槽内的粘附杂质进行去除，实现显影槽和退膜槽的高效清洗。
13.作为本发明优选的技术方案，所述无氟盐酸的质量浓度为3-5％。
14.作为本发明优选的技术方案，所述酸洗的温度为25-40℃。
15.作为本发明优选的技术方案，所述酸洗的时间为30-40min。
16.作为本发明优选的技术方案，所述盐洗中所用洗液的质量浓度为0.2-0.5％。
17.作为本发明优选的技术方案，所述盐洗的温度为25-40℃。
18.作为本发明优选的技术方案，所述盐洗的时间为30-40min。
19.作为本发明优选的技术方案，所述酸洗前还包括水洗。
20.作为本发明优选的技术方案，所述水洗的温度为25-40℃；
21.所述水洗的时间为30-40min。
22.作为本发明优选的技术方案，所述清洗中退膜槽的材质包括不锈钢，显影槽的材质包括不锈钢。
23.与现有技术方案相比，本发明具有以下有益效果：
24.(1)本发明提供的清洗方法，通过对洗液的改进，清洗显著提升，从而更好的缩短长时间的清洗保养，总清洗时间可控制2h以内，所使用的设备能耗大大降低，提升了设备生产的时效性。
25.(2)本发明提供的清洗方法，清洗后槽体无残留干膜丝及黄色污垢规避了干膜丝残留在产品表面而导致产品装配后部分功能不良，提高了显影蚀刻退膜的品质。
26.(3)本发明提供的清洗方法，通过对洗液的组成进行调整，在提升清洗效果的基础上能有效地改善工作环境，有利于保障生产人员的身体健康，降低了对环境的污染；同时有效的减少刺激性气味对眼和鼻危害，大大的降低生产人员中度慢性中毒而引发疾病概率。
具体实施方式
27.为更好地说明本发明，便于理解本发明的技术方案，本发明的典型但非限制性的实施例如下：
28.本实施例提供一种显影槽或退膜槽的清洗方法，所述清洗方法包括：对显影槽或退膜槽依次进行酸洗和盐洗；
29.所述酸洗中所用洗液中为无氟盐酸；
30.所述盐洗中所用洗液为碳酸钠溶液和/或碳酸氢钠溶液。
31.本发明中，所述无氟盐酸指盐酸中的氟含量＜5mg/kg。
32.本发明中，所述显影槽或退膜槽的材质为不锈钢材质如可选择为sus304不锈钢或sus316不锈钢。
33.具体地，所述无氟盐酸的质量浓度为3-5％，例如可以是3％、3.2％、3.4％、3.6％、3.8％、4％、4.2％、4.4％、4.6％、4.8％或5％等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
34.本发明中，控制无氟盐酸的质量浓度为3-5％，是为了保证可以实现对槽的高效清洗，同时也不会对槽体产生腐蚀。如盐酸含量低，处理时间长，盐酸含量高，处理时间短，分解不干净，会有残留，加快反应速度，放热反应，腐蚀设备。
35.具体地，所述酸洗的温度为25-40℃，例如可以是25℃、26℃、28℃、30℃、32℃、34℃、36℃、38℃或40℃等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
36.具体地，所述酸洗的时间为30-40min，例如可以是30min、32min、34min、36min、38min或40min等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
37.具体地，所述盐洗中所用洗液的质量浓度为0.2-0.5％，例如可以是0.2％、0.2％、0.22％、0.24％、0.26％、0.28％、0.3％、0.32％、0.34％、0.36％、0.38％、0.4％、0.42％、0.44％、0.46％、0.48％或0.5％等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
38.具体地，所述盐洗的温度为25-40℃，例如可以是25℃、26℃、28℃、30℃、32℃、34℃、36℃、38℃或40℃等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
39.具体地，所述盐洗的时间为30-40min，例如可以是30min、32min、34min、36min、38min或40min等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
40.进一步地，为了提升酸洗的效果，在进行酸洗前还可以进行水洗，将槽内残余的试剂和沉渣进行冲洗去除，以保证后续酸洗中的酸可以全部发挥功效，而非与槽内其他残余组分进行反应而发生损耗。
41.具体地，所述酸洗前还包括水洗。
42.其中，所述水洗的温度为25-40℃，例如可以是25℃、26℃、28℃、30℃、32℃、34℃、36℃、38℃或40℃等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
43.其中，所述水洗的时间为30-40min，例如可以是30min、32min、34min、36min、38min或40min等，但不限于所列举数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
44.进一步地，为了更加详细的阐明本发明提供的清洗方案的优势，提供了如下具体的实际清洗实施例，具体如下：
45.实施例1
46.本实施例提供一种显影槽的清洗方法，所述清洗方法包括：对显影槽依次进行酸洗和盐洗；
47.所述酸洗中所用洗液为无氟盐酸；所述无氟盐酸的质量浓度为4％；所述酸洗的温度为30℃；所述酸洗的时间为32min；
48.所述盐洗中所用洗液为碳酸钠溶液；所述盐洗中所用洗液的质量浓度为0.3％；所述盐洗的温度为35℃；所述盐洗的时间为36min。
49.清洗后的退膜槽可以达到清洗前退膜槽的使用效果，退膜槽表面无干膜残留和沉淀。
50.实施例2
51.本实施例提供一种显影槽的清洗方法，所述清洗方法包括：对显影槽依次进行水洗、酸洗和盐洗；
52.所述水洗的温度为25℃，时间为40min；
53.所述酸洗中所用洗液为无氟盐酸；所述无氟盐酸的质量浓度为4.5％；所述酸洗的温度为35℃；所述酸洗的时间为35min；
54.所述盐洗中所用洗液为碳酸氢钠溶液；所述盐洗中所用洗液的质量浓度为0.4％；所述盐洗的温度为30℃；所述盐洗的时间为33min。
55.清洗后的显影槽可以达到清洗前显影槽的使用效果，显影槽槽表面无干膜残留和沉淀。
56.实施例3
57.本实施例提供一种退膜槽的清洗方法，所述清洗方法包括：对退膜槽依次进行酸洗和盐洗；
58.所述酸洗中所用洗液为无氟盐酸；所述无氟盐酸的质量浓度为3％；所述酸洗的温度为40℃；所述酸洗的时间为30min；
59.所述盐洗中所用洗液为碳酸钠溶液；所述盐洗中所用洗液的质量浓度为0.2％；所述盐洗的温度为40℃；所述盐洗的时间为30min。
60.清洗后的退膜槽可以达到清洗前退膜槽的使用效果，退膜槽表面无干膜残留和沉淀。
61.实施例4
62.本实施例提供一种退膜槽的清洗方法，所述清洗方法包括：对退膜槽依次进行水洗、酸洗和盐洗；
63.所述水洗的温度为40℃，时间为30min；
64.所述酸洗中所用洗液为无氟盐酸；所述无氟盐酸的质量浓度为5％；所述酸洗的温度为25℃；所述酸洗的时间为40min；
65.所述盐洗中所用洗液为碳酸氢钠溶液；所述盐洗中所用洗液的质量浓度为0.5％；所述盐洗的温度为25℃；所述盐洗的时间为40min。
66.清洗后的退膜槽可以达到清洗前退膜槽的使用效果，退膜槽表面无干膜残留和沉淀。
67.对比例1
68.与实施例2的区别仅在于将无氟盐酸替换为冰乙酸。清洗后显影槽表面的仍有部分干膜残留，且清洗后一定时间内残留有刺鼻的酸味，不利于后续作业的进行。
69.对比例2
70.与实施例2的区别仅在于将无氟盐酸中的氟含量调整为20mg/kg。清洗后显影槽表面有腐蚀点出现，对设备产生腐蚀不利于设备的使用，显著增加了生产成本。
71.上述实施例1-4中显影槽和退膜槽的材质分别为sus304不锈钢和sus316不锈钢。
72.本发明提供的清洗方法，通过对清洗过程中洗液组成的调整，使得针对不锈钢类槽进行清洗过程中，盐酸使得不锈钢中的铬形成致密氧化铬膜，从而防止盐酸腐蚀不锈钢，而盐酸通过与槽中的干膜组分反应实现树脂类干膜的去除，进而实现槽内的粘附杂质进行去除，实现显影槽和退膜槽的高效清洗，显著缩短了清洗时间。
73.声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
74.以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
75.另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可
能的组合方式不再另行说明。
76.此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

技术特征：
1.一种显影槽或退膜槽的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括：对显影槽或退膜槽依次进行酸洗和盐洗；所述酸洗中所用洗液为无氟盐酸；所述盐洗中所用洗液为碳酸钠溶液和/或碳酸氢钠溶液。2.如权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述盐酸的质量浓度为3-5％。3.如权利要求1或2所述清洗方法，其特征在于，所述酸洗的温度为25-40℃。4.如权利要求3所述清洗方法，其特征在于，所述酸洗的时间为30-40min。5.如权利要求1或4所述清洗方法，其特征在于，所述盐洗中所用洗液的质量浓度为0.2-0.5％。6.如权利要求5所述清洗方法，其特征在于，所述盐洗的温度为25-40℃。7.如权利要求1或6所述清洗方法，其特征在于，所述盐洗的时间为30-40min。8.如权利要求7所述清洗方法，其特征在于，所述酸洗前还包括水洗。9.如权利要求8所述清洗方法，其特征在于，所述水洗的温度为25-40℃；所述水洗的时间为30-40min。10.如权利要求7或8所述清洗方法，其特征在于，所述清洗中退膜槽的材质包括不锈钢，显影槽的材质包括不锈钢。

技术总结
本发明涉及一种显影槽或退膜槽的清洗方法，所述清洗方法包括：对显影槽或退膜槽依次进行酸洗和盐洗；所述酸洗中所用洗液中为无氟盐酸；所述盐洗中所用洗液为碳酸钠溶液和/或碳酸氢钠溶液。本发明提供的清洗方法，通过对清洗过程中洗液组成的调整，使得针对不锈钢类槽进行清洗过程中，盐酸使得不锈钢中的铬形成致密氧化铬膜，从而防止盐酸腐蚀不锈钢，同时也可以将槽内的粘附杂质进行去除，实现显影槽和退膜槽的高效清洗。和退膜槽的高效清洗。


技术研发人员：何燕飞 邵卫华
受保护的技术使用者：立讯精密工业（滁州）有限公司
技术研发日：2023.08.22
技术公布日：2023/10/11