一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备的制作方法

1.本发明涉及刻蚀设备技术领域，更具体地说，它涉及一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备。


背景技术：

2.离子刻蚀机，通过向真空刻蚀机腔体内引入含有适当刻蚀剂或淀积源气体的反应气体，然后再对该刻蚀机腔体施加射频能量，以解离反应气体生成等离子体，用来对放置于刻蚀机腔体内的基片表面进行加工。
3.在刻蚀机的工作过程中，刻蚀机的水平度会严重影响对基片进行刻蚀的均匀度，所以在刻蚀机工作之前，需要把刻蚀机调整到水平状态。
4.现有技术中，调整刻蚀机的水平度通常需要人工手动进行调节，将气泡水平仪放置于刻蚀机内，根据气泡水平仪的气泡位置调整刻蚀机腔体的四个地脚螺丝进行升降，最终将气泡位置调整至位于气泡水平仪的中间，以对刻蚀机的水平进行调节。
5.上述调节工作过程较为复杂，费时费力，且通过人工调节其精确度较低。
6.因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。


技术实现要素：

7.针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备。
8.本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，包括水平度调整平台与刻蚀机本体，所述水平度调整平台包括用于放置刻蚀机本体的底座，所述底座的两端设置竖直的第一支杆与第二支杆，所述第一支杆开设有凹槽，所述凹槽内设置有连接块，所述连接块的两侧转动连接凹槽的内壁，所述底座的另一端设置有转动连接于连接块的第一转动轴，所述底座的另一端活动连接于第二支杆，还包括用于驱动底座位于第二支杆一端升降的第一调节组件，与用于驱动底座以第一转动轴为轴心转动的第二调节组件，所述底座表面还设置有倾角传感器。
9.通过采用上述技术方案，通过倾角传感器以对底座的水平度起到检测作用，根据其检测信号，通过第一调节组件与第二调节组件对底座的水平度进行调节，第一调节组件通过控制底座位于第二支杆一端的高度位置，以控制底座x轴方向的水平度，第二调节组件通过控制底座以第一转动轴发生偏转，以控制底座y轴方向上的水平度，从而高效并精确的对底座的水平度起到调节作用。
10.本发明进一步设置为：所述第二支杆朝向底座的侧壁沿其高度方向开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动块，所述底座的一端活动连接于滑动块，所述第一调节组件用于调节滑动块的高度位置。
11.本发明进一步设置为：所述第一调节组件包括转动连接于滑动槽内的螺纹杆，所述螺纹杆穿设并螺纹连接于滑动块，所述第二支杆的顶部设置有用于驱动螺纹杆的第一电
机。
12.本发明进一步设置为：所述滑动块的外侧壁铰接有两根活动杆，两根活动杆的另一端铰接有活动块，所述底座朝向第二支杆的侧壁设置有转动连接于活动块的第二转动轴。
13.本发明进一步设置为：所述第二调节组件包括安装于连接块表面的第二电机，所述第二电机的输出轴设置有主动齿轮，所述第一转动轴上设置有啮合于主动齿轮的从动齿轮。
14.本发明进一步设置为：所述滑动槽的两侧内壁沿着其高度方向开设有限位槽，所述滑动块的两侧壁设置有滑动连接于限位槽内的限位块。
15.本发明进一步设置为：所述底座的位于第一支杆与第二支杆的另外两侧壁设置有凸块，所述凸块的两侧壁设置支腿，所述支腿与凸块之间设置有固定件。
16.本发明进一步设置为：所述固定件位于螺栓，其穿过支腿并螺纹连接于凸块。
17.本发明具有以下有益效果：通过倾角传感器以对底座的水平度起到检测作用，根据其检测信号，通过第一调节组件与第二调节组件对底座的水平度进行调节，第一调节组件通过控制底座位于第二支杆一端的高度位置，以控制底座x轴方向的水平度，第二调节组件通过控制底座以第一转动轴发生偏转，以控制底座y轴方向上的水平度，从而高效并精确的对底座的水平度起到调节作用。
附图说明
18.图1为本实施例的立体结构示意图；
19.图2为本实施例第一支杆的结构示意图；
20.图3为本实施例第二支杆的结构示意图；
21.图4为本实施例的控制示意框图。
22.附图说明：1、刻蚀机本体；2、底座；3、第一支杆；4、第二支杆；5、凹槽；6、连接块；7、第一转动轴；8、倾角传感器；9、控制器；10、滑动槽；11、滑动块；12、螺纹杆；13、第一电机；14、活动杆；15、活动块；16、第二转动轴；17、第二电机；18、主动齿轮；19、从动齿轮；20、限位块；21、凸块；22、支腿；23、固定件。
具体实施方式
23.以下结合附图对本发明作进一步详细说明。
24.其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
25.如图所示，一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，包括水平度调整平台与刻蚀机本体1，水平度调整平台包括用于放置刻蚀机本体1的底座2，底座2的两端设置竖直的第一支杆3与第二支杆4，第一支杆3开设有凹槽5，凹槽5内设置有连接块6，连接块6的两侧转动连接凹槽5的内壁，底座2的另一端设置有转动连接于连接块6的第一转动轴7，底座2的另一端活动连接于第二支杆4，还包括用于驱动底座2位于第二支杆4一端升降的第一调节组件，与用于驱动底座2以第一转动轴7为轴心转动的第二调节组件，底座2表面还设
置有倾角传感器8，还包括有控制器9，倾角传感器8、第一调节组件与第二调节组件均电信号连接于控制器9。
26.通过倾角传感器8以对底座2的水平度起到检测作用，控制器9根据其检测信号，输出控制信号给第一调节组件与第二调节组件对底座2的水平度进行调节，第一调节组件通过控制底座2位于第二支杆4一端的高度位置，以控制底座2在x轴方向的水平度，第二调节组件通过控制底座2以第一转动轴7发生偏转，以控制底座2在y轴方向上的水平度，从而高效并精确的对底座2的水平度起到调节作用。
27.第二支杆4朝向底座2的侧壁沿其高度方向开设有滑动槽10，滑动槽10内滑动连接有滑动块11，底座2的一端活动连接于滑动块11，第一调节组件用于调节滑动块11的高度位置。第一调节组件包括转动连接于滑动槽10内的螺纹杆12，螺纹杆12穿设并螺纹连接于滑动块11，第二支杆4的顶部设置有用于驱动螺纹杆12的第一电机13，第一电机13电信号连接于控制器9。
28.第一电机13通过空螺纹杆12的转动，以控制滑动块11沿着滑动槽10运动，从而控制底座2位于第二支杆4一端的高度位置，以控制底座2在x轴上的水平度。
29.滑动块11的外侧壁铰接有两根活动杆14，两根活动杆14的另一端铰接有活动块15，底座2朝向第二支杆4的侧壁设置有转动连接于活动块15的第二转动轴16，第二转动轴16与第一转动轴7的轴心在同一直线上，从而第一调节组件能够通过调节滑动块11高度，以调节底座2在x轴方向水平度的同时，第二调节组件能够带动底座2以第一转动轴7与第二转动轴16为中心进行转动，以调节底座2在y轴方向上的水平度。
30.第二调节组件包括安装于连接块6表面的第二电机17，第二电机17电信号连接于控制器9，第二电机17的输出轴设置有主动齿轮18，第一转动轴7上设置有啮合于主动齿轮18的从动齿轮19，第二电机17通过驱动主动齿轮18以驱动从动齿轮19转动，从而带动底座2进行偏转，以对其在y轴方向的水平度进行调节。
31.滑动槽10的两侧内壁沿着其高度方向开设有限位槽，滑动块11的两侧壁设置有滑动连接于限位槽内的限位块20，以提升滑动块11的稳定性。
32.底座2的位于第一支杆3与第二支杆4的另外两侧壁设置有凸块21，凸块21的两侧壁设置支腿22，支腿22与凸块21之间设置有固定件23，固定件23位于螺栓，其穿过支腿22并螺纹连接于凸块21。在进行水平度调节时，通过拧松螺栓，使得支腿22能够发生偏转，在水平度调节完成后，通过拧紧螺栓，其底端能够支撑于地面，以对底座2起到进一步支撑作用，从而保证刻蚀机本体1的稳定性。
33.具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。

技术特征：
1.一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：包括水平度调整平台与刻蚀机本体，所述水平度调整平台包括用于放置刻蚀机本体的底座，所述底座的两端设置竖直的第一支杆与第二支杆，所述第一支杆开设有凹槽，所述凹槽内设置有连接块，所述连接块的两侧转动连接凹槽的内壁，所述底座的另一端设置有转动连接于连接块的第一转动轴，所述底座的另一端活动连接于第二支杆，还包括用于驱动底座位于第二支杆一端升降的第一调节组件，与用于驱动底座以第一转动轴为轴心转动的第二调节组件，所述底座表面还设置有倾角传感器。2.根据权利要求1所述的一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：所述第二支杆朝向底座的侧壁沿其高度方向开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动块，所述底座的一端活动连接于滑动块，所述第一调节组件用于调节滑动块的高度位置。3.根据权利要求2所述的一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：所述第一调节组件包括转动连接于滑动槽内的螺纹杆，所述螺纹杆穿设并螺纹连接于滑动块，所述第二支杆的顶部设置有用于驱动螺纹杆的第一电机。4.根据权利要求2所述的一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：所述滑动块的外侧壁铰接有两根活动杆，两根活动杆的另一端铰接有活动块，所述底座朝向第二支杆的侧壁设置有转动连接于活动块的第二转动轴。5.根据权利要求4所述的一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：所述第二调节组件包括安装于连接块表面的第二电机，所述第二电机的输出轴设置有主动齿轮，所述第一转动轴上设置有啮合于主动齿轮的从动齿轮。6.根据权利要求1所述的一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：所述滑动槽的两侧内壁沿着其高度方向开设有限位槽，所述滑动块的两侧壁设置有滑动连接于限位槽内的限位块。7.根据权利要求1所述的一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：所述底座的位于第一支杆与第二支杆的另外两侧壁设置有凸块，所述凸块的两侧壁设置支腿，所述支腿与凸块之间设置有固定件。8.根据权利要求7所述的一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，其特征在于：所述固定件位于螺栓，其穿过支腿并螺纹连接于凸块。

技术总结
本发明公开了一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备，涉及刻蚀设备技术领域，旨在解决水平度调节的技术问题。其技术方案要点是：包括水平度调整平台与刻蚀机本体，水平度调整平台包括用于放置刻蚀机本体的底座，底座的两端设置竖直的第一支杆与第二支杆，第一支杆开设有凹槽，凹槽内设置有连接块，连接块的两侧转动连接凹槽的内壁，底座的另一端设置有转动连接于连接块的第一转动轴，底座的另一端活动连接于第二支杆，还包括用于驱动底座位于第二支杆一端升降的第一调节组件，与用于驱动底座以第一转动轴为轴心转动的第二调节组件。本发明的目的在于提供一种具有水平度自动调节装置的等离子刻蚀设备。调节装置的等离子刻蚀设备。调节装置的等离子刻蚀设备。


技术研发人员：苏竑森 管士亚
受保护的技术使用者：嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司
技术研发日：2023.07.21
技术公布日：2023/10/11