一种高速开关的大型门阀的制作方法

1.本发明涉及真空镀膜设备技术领域，特别是涉及一种高速开关的大型门阀，还涉及应用该门阀的镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜是指在高真空的条件下利用加热金属或非金属材料，使其蒸发或溅射在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法。真空镀膜设备的腔体内需要形成不同的真空度，因此需要设置阀门对真空镀膜腔体提供密封。
3.现有技术中常采用可翻转的门阀对真空镀膜进行密封，但现有门阀结构在翻转盖合腔体的开口时，由于加工误差和形位误差，容易造成盖板不能完整的贴靠在腔体外壁，从而使得密封效果变差。另外，现有的门阀的适用性较差，其装配件仅支持少数特定型号的腔体，而部分厂商因担心定位精度等其他问题，不愿以打孔、开槽等破坏腔体原有外壁结构的形式来加装门阀，从而产生门阀安装困难的问题。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对现有技术中真空镀膜腔体的开口密封结构密封效果欠佳的技术问题，本发明提供一种高速开关的大型门阀。
5.本发明公开一种高速开关的大型门阀，包括：支撑装置、密封装置以及驱动装置。
6.支撑装置包括横梁和支撑座。支撑座设置有两个且对称分布，两个支撑座固定安装在腔体上。横梁的两端分别与两个支撑座固定连接。
7.密封装置包括主轴、密封板以及至少一组传动组件。主轴的轴向平行于横梁和密封板的延伸方向，且主轴的两端分别与两个支撑座转动连接。每组传动组件包括第一摆杆、第二摆杆以及顶杆。第一摆杆的一端固定套接在主轴上，另一端与第二摆杆的一端铰接。第二摆杆的另一端与顶杆的一端铰接。顶杆的另一端与横梁铰接。密封板的一侧为密封侧，另一侧固定连接在顶杆与第二摆杆的铰接处，且密封板与顶杆相对固定。其中，第一摆杆、第二摆杆、顶杆以及横梁一同构成平面四杆机构，进而通过转动主轴实现密封板在竖直状态和非竖直状态的切换，密封板的密封侧用于在其处于竖直状态下时贴合并密封腔体的开口。
8.驱动装置用于驱动主轴绕自身轴线转动。
9.其中，每组传动组件的顶杆从多个型号的顶杆组成的套件中择一选取。顶杆靠近密封板的一侧为平行于密封板的挤压侧，套件中的各型号顶杆与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同，通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度。
10.作为上述方案的进一步改进，门阀还包括：基板。基板与腔体上提供的标准连接件可拆卸式固定连接。基板的一侧与腔体贴合密封，另一侧与两个支撑座可拆卸式固定连接。基板上开设有与腔体的开口匹配且投影面重合的通口。
11.作为上述方案的进一步改进，基板靠近腔体的一侧，以及密封板的密封侧上均设
置有密封橡胶圈。
12.作为上述方案的进一步改进，驱动装置包括气缸、齿轮箱、齿条。气缸与齿轮箱固定安装，且气缸的活塞端伸入齿轮箱内并与齿条固定。齿轮箱内转动连接有输出轴。输出轴上固定套接有与齿条啮合的齿轮，且输出轴与主轴同轴固定。
13.作为上述方案的进一步改进，驱动装置还包括支架，支架的一端同时与齿轮箱和气缸固定连接，另一端固定安装在腔体上。
14.作为上述方案的进一步改进，主轴的两端分别通过轴承与两个支撑座转动连接。每个支撑座背离主轴的一侧上还固定安装有轴承端盖。
15.作为上述方案的进一步改进，横梁上通过螺钉固定连接有支耳座。支耳座的数量与传动组件的数量相对应，且每个支耳座与相应的顶杆铰接，进而实现顶杆与横梁间的铰接。
16.作为上述方案的进一步改进，顶杆靠近相应支耳座的一端开设的铰接孔为腰型孔，相应的铰接轴可转动式安装在腰型孔内，进而实现密封板切换至竖直状态的阶段由转动变为水平的平移运动。
17.作为上述方案的进一步改进，传动组件设置有多组，且多组传动组件沿主轴的轴向等间距排布。
18.本发明还公开一种镀膜机，包括：腔体以及安装在腔体开口处的门阀。门阀采用上述任意一种门阀。
19.与现有技术相比，本发明公开的技术方案具有如下有益效果：
20.1、本发明公开的门阀通过四连杆结构驱动密封板对腔体的开口提供密封，通过将四连杆机构中的顶杆设置为可选择的不同型号组成套件，不同信号顶杆在装配时与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同，以此通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度，从而通过调试可以将密封板较为紧密地密封在腔体开口处。
21.2、本发明通过在支撑装置内增设横梁，为顶杆提供良好地支撑，横梁可以保证翻板阀的一体性，免除在真空镀膜腔体上打孔安装四杆机构的工序。另外还提供可选择的基板，基板同时与支撑装置及真空镀膜腔体可拆卸连接，这样以来，由于基板的结构简单，易于制造，通过加装基板这一部件，可以使得密封装置适用于更多型号的腔体，且不需要破坏腔体原有的外壁结构，降低门阀的安装难度。
22.3、本发明对四连杆机构的顶杆还进行结构改进，在顶杆的一铰接端开设腰型孔，从而密封板在转动的最后阶段，铰接轴从腰型孔的一端挪向另外一端，将密封板由转动变为平移运动，压缩密封橡胶圈来实现密封。
附图说明
23.图1为本发明实施例1中高速开关的大型门阀的立体结构图；
24.图2为图1中门阀背面的立体结构图；
25.图3为图1中门阀的局部立体结构图；
26.图4为图3中门阀的支撑装置以及密封装置的局部结构图；
27.图5为图4中b处局部放大图；
28.图6为本发明实施例1中四杆机构和密封板运动时的位移量-时间变化曲线；
29.图7为图4中传动组件的剖视图；
30.图8为本发明实施例1中套件中的一种顶杆(无限位块)的侧视图；
31.图9为本发明实施例1中顶杆的立体结构图；
32.图10为本发明实施例1中门阀的密封板在开启状态的侧视结构示意图；
33.图11为图10中密封板关闭时的侧视结构示意图；
34.图12为本发明实施例1中门阀在主视剖面图；
35.图13为图12中驱动装置的侧视剖面图；
36.图14为本发明实施例1中氦检漏仪在测试门阀密封效果时的显示面板状态图。
37.主要元件符号说明
38.1、支撑装置；11、横梁；111、支耳座；12、支撑座；121、轴承端盖；2、密封装置；21、主轴；22、密封板；221、密封侧；222、限位槽；23、传动组件；231、第一摆杆；232、第二摆杆；233、顶杆；2331、挤压侧；2332、腰型孔；2333、限位块；234、压板；2341、凹口；3、驱动装置；31、气缸；32、齿轮箱；33、齿条；34、齿轮；35、输出轴；36、支架；4、基板；41、通口；501、联轴器；502、深沟球轴承；503、滚针轴承；504、第一摆杆转轴；505、第二摆杆转轴；506、开口挡圈；507、轴承垫；508、摆杆垫。
39.以上主要元件符号说明结合附图及具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
具体实施方式
40.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
41.需要说明的是，当组件被称为“安装于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
42.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
43.实施例1
44.请参阅图1至4，本实施例提供一种高速开关的大型门阀，其可安装在真空镀膜腔体垂直于水平面的一侧上，且位于大气内，可以用于对腔体上水平的条形开口进行密封，进而隔绝腔体内部与大气侧的连通。这里需要说明的是，高速开关中的“高速”，表示开关的响应速度在1秒内；大型门阀中的“大型”，表示门阀的最大宽度超过1.5米。该门阀包括：支撑装置1、密封装置2以及驱动装置3，还可以包括基板4。
45.支撑装置1包括横梁11和支撑座12。支撑座12设置有两个且对称分布，两个支撑座12固定安装在腔体上。横梁11的两端分别与两个支撑座12固定连接。
46.密封装置2包括主轴21、密封板22以及多组传动组件23。
47.主轴21的轴向平行于横梁11和密封板22的延伸方向，且主轴21的两端分别与两个支撑座12转动连接。其中，主轴21的两端可分别通过轴承与两个支撑座12转动连接。具体地，支撑座12内部装有两个深沟球轴承，轴承和轴承之间用每个支撑座12背离主轴21的一侧上还固定安装有轴承端盖121，支撑座12搭配轴承和轴承端盖121可以实现主轴21的轴向固定和径向固定，显著减少高温条件下主轴21的形变。
48.请结合图5，多组传动组件23沿主轴21的轴向等间距排布，每组传动组件23包括第一摆杆231、第二摆杆232以及顶杆233。
49.第一摆杆231的一端固定套接在主轴21上，另一端与第二摆杆232的一端铰接。本实施例中，主轴21与第一摆杆231之间通过轴孔配合进行连接，并选择间隙配合保证四杆机构运行的流畅性，通过紧定螺钉实现第一摆杆的轴向固定，防止与主轴21相对滑动。
50.第二摆杆232的另一端与顶杆233的一端铰接。本实施例中，第二摆杆232可以为成对使用的薄摆杆，与第一摆杆231之间可通过滚针轴承503连接，滚针轴承503位于两片薄摆杆中间，并使用第一摆杆转轴504与薄摆杆、滚针轴承503之间形成轴孔配合，于滚针轴承503和两片薄摆杆之间使用轴承垫507来减少磨损，于第一摆杆转轴504的较细端用开口挡圈506固定，实现轴向固定。第二摆杆232与顶杆233的连接方式和其与第一摆杆231的连接方式相同，在此不再赘述。
51.顶杆233的另一端与横梁11铰接。密封板22的一侧为密封侧221，另一侧固定连接在顶杆233与第二摆杆232的铰接处，且密封板22与顶杆233相对固定。
52.其中，第一摆杆231、第二摆杆232、顶杆233以及横梁11一同构成平面四杆机构，进而通过转动主轴21实现密封板22在竖直状态和非竖直状态的切换，密封板22的密封侧221用于在其处于竖直状态下时贴合并密封腔体的开口，四杆机构能够传递力矩，为密封板22提供充足压力达到密封效果。
53.本实施例还利用solidworks等软件对四连杆机构带动的密封板22进行了运动仿真分析，如图6a、图6b所示，图中的左侧为密封板22及四连杆机构的运动状态，右侧为位移-时间曲线。其中，位于上方的曲线为密封板22的位移量随时间变化的曲线，位于下方的曲线为第一摆杆231的位移量随时间变化的曲线。可以明显看出，在密封板22由非竖直状态切换至竖直状态的过程中，由于四杆机构的急回特性，密封板22的速度逐渐趋于缓慢，这样以来，在可在靠近腔体开口时实现缓慢盖合，不仅减少对部件的冲击磨损，还可以使盖合更加紧密。
54.请参阅图7，本实施例中，横梁11上可通过螺钉固定连接有支耳座111。支耳座111的数量与传动组件23的数量相对应，且每个支耳座111与相应的顶杆233铰接，进而实现顶杆233与横梁11间的铰接。顶杆233和支耳座111之间通过第二摆杆转轴505连接，支耳座111和第二摆杆转轴505之间使用摆杆垫508减小磨损，防止晃动。
55.另外，密封板22的制作材料是7系铝，而主轴21与腔体都是由不锈钢制成，在受热时7系铝的变形量大于不锈钢的变形量，因此四杆机构由于密封板22和主轴21的变形量不同可能会受力变形，影响密封的可靠性和运动的流畅性。为解决上述问题，本实施例可将第一摆杆转轴504和第二摆杆转轴505进行长度调整，使其左侧到右侧开口挡圈506之间的距离略大于中间四杆机构的厚度，留出轴向的间隙，这样就能够很大程度上抵消热变形带来的影响。
56.本发明通过设置横梁11这一部件，并利用横梁11实现四杆机构的部分结构固定，即支耳座111和顶杆233的安装，横梁11可以保证翻板阀的一体性，免除在真空镀膜腔体上打孔安装四杆机构的工序。
57.请参阅图8和图9，本发明每组传动组件23的顶杆233从多个型号的顶杆233组成的套件中择一选取。顶杆233靠近密封板22的一侧为平行于密封板22的挤压侧2331，套件中的各型号顶杆233与第二摆杆232铰接处的铰接轴心到挤压侧2331的间距a不同，通过更换套件中不同型号的顶杆233以调节密封板22的盖合度。
58.在将门阀装配在真空镀膜腔体上之后，可通过观察或相关的气密性检测模块，来判断密封板22在极限盖合状态下的密封效果，若密封板22与腔体上的开口存在间隙，则可根据间隙大小，统一将各个顶杆233更换为前述间距a更大的顶杆233型号，调节至密封板22可以紧密地将腔体开口密封。
59.需要说明的是，多组传动组件23的顶杆233均选取同一型号，也就是说，多组传动组件23的结构相同。
60.另外，顶杆233靠近相应支耳座111的一端开设的铰接孔为腰型孔2332，相应的铰接轴可转动式安装在腰型孔2332内，进而实现密封板22切换至竖直状态的阶段由转动变为水平的平移运动。具体原理为：在密封板22处于张开的极限位置时，铰接轴抵在腰型孔2332的其中一端，随着四杆机构运动，密封板22在转动的最后阶段，铰接轴挪向腰型孔2332的另外一端，从而将密封板22由转动变为平移运动，压缩密封橡胶圈来实现密封。
61.进一步地，顶杆233的挤压侧2331上可以一体连接有向外延伸的限位块2333，限位块2333的形状为可以为截面为等边三角形的三棱柱。密封板22上开设有与限位块2333匹配的限位槽222。每组传动组件23还包括两块压板234，每块压板234上开设有凹口2341，当然，凹口2341也可以开设在限位块2333上。两块压板234的凹口2341分别对齐限位块2333向外延伸的两端，且压板234两端通过螺栓固定连接在密封板22上，进而实现将限位块2333压合在限位槽222内。在实际安装过程中，压板234在挤压限位块2333时可产生弯曲形变。这样以来，便于将顶杆233与密封板22安装固定，同时限位块2333使得压板234产生弹性形变，从而为压板234两端的螺栓提供预紧力，增加顶杆233与密封板22安装的稳固性。
62.本实施例中，横梁11可通过两个支撑座12直接固定安装在腔体上，具体地，腔体上可以铣出1mm深的凹槽平面用于支撑座12的定位，然后可以将支撑座12通过螺栓与腔体外壁上预先开设好的螺纹孔配合固定。当然，这是针对可以破坏腔体原有结构的情况。
63.而在要求不破坏腔体原有结构时，可以通过基板4这一部件实现。具体地，基板4的一侧可以与腔体上提供的原有标准连接件可拆卸固定连接，另一侧可以与两个支撑座12可拆卸式固定连接。这样以来，由于基板4的结构简单，易于制造，通过加装基板4这一部件，可以使得密封装置2适用于更多型号的腔体，且不需要破坏腔体原有的外壁结构，降低门阀的安装难度。
64.请结合图10和图11，需要说明的是，基板4上开设有与腔体的开口匹配且投影面重合的通口41。并且基板4靠近腔体的一侧，以及密封板22的密封侧221均设置有密封橡胶圈。这样以来，在不加装基板4的情况下，密封板22的密封侧221可通过挤压其密封橡胶圈，消除其与腔体外壁表面的间隙，实现密封。而在加装基板4的情况下，基板4与腔体贴合后相当于一个整体，而基板4上的通口41可以视作腔体的开口，从而密封板22的密封侧221可以对基
板4的通口41进行密封，进而实现腔体密封。
65.当然，在一些实施例中，密封橡胶圈也可固定在腔体表面。密封橡胶圈可以采用氟橡胶，氟橡胶是耐高温的橡胶材料，但长期处于高温条件下还是会缩短橡胶圈的寿命，增加阀门的使用成本。因此，在一些实施例中，可以在密封板22的密封侧221上开设密封槽，密封槽可以采用真空设计手册中40
°
燕尾槽的标准尺寸要求，并在燕尾槽尾端和外侧分别采用0.2mm的圆角，防止划伤橡胶圈，将橡胶圈放入密封板22的密封槽中，可以大幅度减少橡胶圈接触高温腔体的时间，延长它的使用寿命。
66.请参阅图12和图13，驱动装置3用于驱动主轴21绕自身轴线转动。驱动装置3可以采用多种形式为主轴21直接或间接提供转矩，例如伺服电机、步进电机等。本实施例中，驱动装置3包括气缸31、齿轮箱32、齿条33，还可以包括支架36。
67.气缸31与齿轮箱32可以通过四个螺钉固定安装，当然在一些实施例中，二者可一同通过支架36固定安装在腔体上，也可固定安装在支撑座12或横梁11上。本实施例中，气缸21、齿轮箱32通过支架36实现与腔体之间的固定，能够承受动力结构的重量以及扭矩，减轻运动过程中产生的震动。支架36上还可焊接加强筋以提高强度和抗扭矩的能力，支架36上可钻通孔，通过螺钉与腔体以及齿轮箱32连接。另外，齿轮箱32的顶部可以设置齿轮箱帽，其通过螺钉可拆洗式安装，平时可以起到防尘的作用，打开箱帽可以为衬套添加润滑剂。
68.气缸31的活塞端伸入齿轮箱32内并可与圆柱形的齿条33螺纹连接固定，圆柱齿条33与齿轮箱32内壁之间有两个衬套，可以减少零件磨损。齿轮箱32内转动连接有输出轴35。输出轴35上固定套接有与齿条33啮合的齿轮34，齿轮34通过键槽与输出轴35固定，且输出轴35可通过联轴器501与主轴21同轴固定。联轴器501、主轴21和输出轴35上均可设置键槽，以此传递较大的转矩。通过气缸31活塞端带动齿条33直线运动，从而带动齿轮34产生转动，进而为输出轴35以及主轴21提供扭矩。
69.为了验证本发明公开的门阀密封效果，本实施例中还使用氦检漏仪对门阀的气密性进行多次氦检漏测试，如图14所示，在密封装置2处于密封状态下时，氦检漏仪的最后定格数字(即稳定的阀座漏率值)在1
×
10-7
mbarls-1
，且整个过程保持低于1
×
10-6
mbarls-1
，满足阀座漏率1
×
10-5
mbarls-1
的技术要求。
70.实施例2
71.本实施例提供一种镀膜机，包括：腔体以及安装在腔体开口处的门阀。门阀可以采用实施例1中的门阀，腔体上可以通过基板4间接安装密封装置2，也可取消基板4直接安装密封装置2，根据实际需求进行选择设置。
72.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
73.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种高速开关的大型门阀，其特征在于，包括：支撑装置(1)，其包括横梁(11)和支撑座(12)；支撑座(12)设置有两个且对称分布，两个支撑座(12)固定安装在所述腔体上；横梁(11)的两端分别与两个支撑座(12)固定连接；密封装置(2)，其包括主轴(21)、密封板(22)以及至少一组传动组件(23)；主轴(21)的轴向平行于横梁(11)和密封板(22)的延伸方向，且主轴(21)的两端分别与两个支撑座(12)转动连接；每组传动组件(23)包括第一摆杆(231)、第二摆杆(232)以及顶杆(233)；第一摆杆(231)的一端固定套接在主轴(21)上，另一端与第二摆杆(232)的一端铰接；第二摆杆(232)的另一端与顶杆(233)的一端铰接；顶杆(233)的另一端与横梁(11)铰接；密封板(22)的一侧为密封侧(221)，另一侧固定连接在顶杆(233)与第二摆杆(232)的铰接处，且密封板(22)与顶杆(233)相对固定；其中，第一摆杆(231)、第二摆杆(232)、顶杆(233)以及横梁(11)一同构成平面四杆机构，进而通过转动主轴(21)实现密封板(22)在竖直状态和非竖直状态的切换，密封板(22)的密封侧(221)用于在其处于所述竖直状态下时贴合并密封所述腔体的开口；以及驱动装置(3)，其用于驱动所述主轴(21)绕自身轴线转动；其中，每组传动组件(23)的顶杆(233)从多个型号的顶杆(233)组成的套件中择一选取；顶杆(233)靠近密封板(22)的一侧为平行于密封板(22)的挤压侧(2331)，所述套件中的各型号顶杆(233)与第二摆杆(232)铰接处的铰接轴心到挤压侧(2331)的间距不同，通过更换所述套件中不同型号的顶杆(233)以调节所述密封板(22)的盖合度。2.根据权利要求1所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，所述门阀还包括：基板(4)，其与所述腔体上提供的标准连接件可拆卸式固定连接；基板(4)的一侧与所述腔体贴合密封，另一侧与两个支撑座(12)可拆卸式固定连接；基板(4)上开设有与所述腔体的开口匹配且投影面重合的通口(41)。3.根据权利要求2所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，基板(4)靠近所述腔体的一侧，以及密封板(22)的密封侧(221)上均设置有密封橡胶圈。4.根据权利要求1所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，所述驱动装置(3)包括气缸(31)、齿轮箱(32)、齿条(33)；所述气缸(31)与齿轮箱(32)固定安装，且气缸(31)的活塞端伸入齿轮箱(32)内并与齿条(33)固定；齿轮箱(32)内转动连接有输出轴(35)；输出轴(35)上固定套接有与所述齿条(33)啮合的齿轮(34)，且输出轴(35)与主轴(21)同轴固定。5.根据权利要求4所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，所述驱动装置(3)还包括支架(36)，支架(36)的一端同时与齿轮箱(32)和气缸(31)固定连接，另一端固定安装在所述腔体上。6.根据权利要求1所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，主轴(21)的两端分别通过轴承与两个支撑座(12)转动连接；每个支撑座(12)背离主轴(21)的一侧上还固定安装有轴承端盖(121)。7.根据权利要求1所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，所述横梁(11)上通过螺钉固定连接有支耳座(111)；支耳座(111)的数量与所述传动组件(23)的数量相对应，且每个支耳座(111)与相应的顶杆(233)铰接，进而实现顶杆(233)与横梁(11)间的铰接。8.根据权利要求7所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，顶杆(233)靠近相应支耳座(111)的一端开设的铰接孔为腰型孔(2332)，相应的铰接轴可转动式安装在所述腰型孔
(2332)内，进而实现密封板(22)切换至竖直状态的阶段由转动变为水平的平移运动。9.根据权利要求1所述的高速开关的大型门阀，其特征在于，所述传动组件(23)设置有多组，且多组传动组件(23)沿主轴(21)的轴向等间距排布。10.一种镀膜机，包括：腔体，以及门阀，其安装在所述腔体开口处；其特征在于，所述门阀采用如权利要求1至9中任意一项所述的门阀。

技术总结
本发明涉及一种高速开关的大型门阀。该门阀包括：支撑装置、密封装置以及驱动装置。支撑装置包括横梁和支撑座。支撑座设置有两个且对称分布，两个支撑座固定安装在腔体上。横梁的两端分别与两个支撑座固定连接。密封装置包括主轴、密封板以及至少一组传动组件。传动组件包括第一摆杆、第二摆杆及顶杆，与横梁一同构成平面四杆机构。每组传动组件的顶杆从多个型号的顶杆组成的套件中择一选取。顶杆靠近密封板的一侧为平行于密封板的挤压侧，套件中的各型号顶杆与第二摆杆铰接处的铰接轴心到挤压侧的间距不同，通过更换套件中不同型号的顶杆以调节密封板的盖合度，提升真空镀膜腔体开口的密封效果。的密封效果。的密封效果。


技术研发人员：吴大鹏 董方方 张进
受保护的技术使用者：中导半导体（合肥）有限公司
技术研发日：2023.05.23
技术公布日：2023/10/11