一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备与流程

1.本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备。


背景技术：

2.由于缝隙过于狭小不易操作，在清洗领域中对缝隙的清洗一直都是困扰工作人员的一个难题，在真空镀膜行业中，镀膜腔室内会设置具有隔气功能的隔板，该隔板会将镀膜腔室分隔成多个子腔室，当发生漏气时为了方便发现是否为隔板漏气，以及隔板漏气的位置，隔板通常会在一侧使用密封连接另一侧不使用密封连接，由于有一侧不使用密封连接所以在隔板和镀膜腔室之间的接触端面会产生缝隙，缝隙中可能会有污渍残留无法进行清洗从而会影响生产质量。


技术实现要素：

3.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种真空镀膜腔体的清洗方法，其通过隔板内部的清洗通道向缝隙处通入清洁液，从而清洗缝隙中的油污，该方法操作方便且对缝隙的油污的清洗效果好。
4.本发明还提出一种真空镀膜设备。
5.根据本发明的第一方面实施例的真空镀膜腔体的清洗方法，用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述箱体的内部具有镀膜腔室，所述隔板设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；所述清洗方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道，并使所述清洁剂从所述间隙中喷出。
6.根据本发明第一方面实施例的真空镀膜腔体的清洗方法，至少具有如下有益效果：本发明通过在隔板断面上设置清洗出口，并通过清洗入口对隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙进行清洗，使得清洗油污更加的方便，也更加容易将油污清洗干净。
7.例如，在制造这个镀膜腔室的过程中，隔板或腔室内壁在切削，打磨的过程中会沾上油污，油污渗透进隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙中，从外部无法将油污清洗干净，通过清洗通道向清洗入口注入清洁剂，清洁剂会将油污一同从隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙排出，从而将隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙清洗干净。
8.相对来说，本发明中隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙较小，所以在通过清洗入口向清洗出口注入清洁剂使需要较大的压强，而压强越大对油污所起到的冲击力也就越大，也就更加容易方便的将油污冲洗干净。
9.根据本发明的一些实施例，所述清洁剂被气体带动而进入所述清洗通道。
10.根据本发明的一些实施例，所述清洁剂为有机溶剂。
11.根据本发明的一些实施例，所述清洗剂包括酒精、丙酮、煤油、汽油、碳氢溶剂中的至少一种。
12.根据本发明的一些实施例，还包括以下步骤：在将所述清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道之前，在所述清洗入口上插入软管；所述清洁剂通过所述软管进入所述清洗通道。
13.根据本发明的一些实施例，还包括以下步骤：停止将所述清洁剂喷入所述清洗通道，然后将气体从所述清洗入口喷入所述清洗通道，使所述气体将残留的所述清洁剂从所述间隙中喷出。
14.根据本发明的第二方面实施例的真空镀膜设备，包括：箱体，内部具有镀膜腔室；隔板，与所述箱体连接，所述隔板设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有，所述隔板的内部还设有供清洁剂流动的若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通。
15.根据本发明的一些实施例，相邻的两个所述清洗出口之间的间隔不大于1000mm且不小于300mm。
16.根据本发明的一些实施例，所述第一面与所述箱体焊接并形成第一焊缝，所述第一焊缝覆盖所述第一面的底端边缘；
17.所述第二面与所述底壁焊接并形成多个间隔设置的第二焊缝，所述第二面的底端边缘未被所述第二焊缝覆盖的部分与所述底壁之间形成有所述间隙。
18.根据本发明的一些实施例，所述清洗出口的长度为500mm所述清洗出口上开设有凹槽。
19.根据本发明的第二方面实施例的真空镀膜设备，至少具有如下有益效果：通过清洗通道，方便对缝隙中的污渍进行清洗。
20.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
21.下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：
22.图1为本发明一个实施例中的真空镀膜设备的腔体内部连接示意图；
23.图2为图1中的隔板的底部示意图；
24.图3为本发明一个实施例中隔板和箱体的连接关系示意图；
25.图4为本发明另一实施例中隔板的端面的示意图；
26.图5为本发明一些实施例中的隔板与第一焊缝、第二焊缝之间的相对位置示意图；
27.图6为图1所示的隔板与底板的剖面示意图。
28.附图标记：
29.1、箱体；11、第一腔体；12、第二腔体；13、底壁；2、隔板；21、端面；22、第二面；23、第一面；3、清洗通道；31、清洗入口；32、清洗出口；33、凹槽；41、第一焊缝；42、第二焊缝；5、缝隙；6、间隙。
具体实施方式
30.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
31.在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
32.在本发明的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
33.本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。
34.在真空镀膜腔体进行进行加工时必然会使用一些切削液、润滑油等油类物质，这类油污不容易清洗干净，尤其是在焊接的缝隙5中，残留的油类物质在真空镀膜中挥发缓慢严重影响真空度的纯净度，对镀膜质量和抽气效率都有较大影响。
35.为方便介绍本发明的清洗方法，下面先对适用于该清洗方法的真空镀膜设备进行介绍。本发明一种清洗方法的实施例如图1、图3和图4所示，真空镀膜设备包括相互连接的箱体1和隔板2，所述箱体1的内部具有镀膜腔室，镀膜腔室用于进行真空镀膜，所述隔板2设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔体。两个子腔室为第一腔体和第二腔体，两个子腔室为分别独立的腔室，所述隔板2的外表面包括相互背对设置的第一面23和第二面22，所述第一面23和所述第二面22分别朝向不同的所述子腔室，第一面23朝向第一腔体11，第二面22朝向第二腔体12。所述第一面23的边缘与所述镀膜腔室的底壁13密封连接，所述的密封连接由第一焊缝41形成，而所述隔板2与所述箱体1接触的端面21之间会产生缝隙5，所以在所述第二面22的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁13之间设置有间隙6，所述间隙6由间断的第二焊缝42的间断处的缝隙5形成，则所述间隙6可以将所述缝隙5和所述第二腔体12进行连通，所述隔板2的内部还设有若干清洗通道3，所述清洗通道3包括清洗入口31和清洗出口32，所述清洗入口31设置在所述隔板2的第二面22，所述清洗出口32位于所述隔板2的端面21并与所述间隙6连通。
36.本发明的清洗方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口31喷入所述清洗通道3，并使所述清洁剂从所述间隙6中喷出。清洁剂的流动路径可参照图6，其中标出了流动路径。
37.由于在镀膜腔室中需要将两个腔室分别密封所以设置隔板2，为了方便对密封性
的检测所以隔板2只能在一侧进行密封连接，而另一侧不可以进行密封连接，如果两侧均密封连接，由于所述隔板2与所述箱体1之间会产生缝隙5，而缝隙5中的空气这会影响密封性的检测；例如在对腔室进行抽真空时其中一侧的连接发生细微漏气，缝隙5中的空气会缓慢渗透到腔体中会造成漏气的假象，而缝隙的另一侧也是密封状态则很难检测出漏点，故只能对隔板2的一侧与箱体1进行密封连接而另一侧的连接设置有间隙6；不仅可以在抽取真空时直接将缝隙中的空气抽出避免漏气，且在一侧的密封处发生漏气时可以很方便的对另一侧腔体进行加压，从而很容易找到漏点。隔板与底壁之间形成了缝隙5，而缝隙的一侧密封，另一侧在连接处有连通缝隙与腔体的通道为。所以通过该间隙6会在箱体1和隔板2所产生的缝隙5之中会产生各种油污，为了将缝隙5中的油污清洗干净在隔板2上设置了清洗通道3，所述清洗通道3的清洗入口31应开设在所述第二面22上，所述清洗通道3的清洗出口32应开设在所述隔板2与所述箱体1接触的端面21上，并与所述间隙6通过所述缝隙5可以连通。从而通过向清洗通道3内注入清洁剂，所述清洁剂通过清洗通道3进入所述隔板2与所述箱体1之间的缝隙5之中，在从与所述缝隙5连通的间隙6中流入第二腔体12，所述清洁剂在流动过程中将所述缝隙5中的油污冲洗干净。
38.根据本发明的一些实施例，如图2、图5和图6所示，隔板2开设有凹槽33，凹槽33作为清洗通道3的一部分，凹槽33的底部开口为清洗出口32。通过在隔板2设置凹槽33，可以在隔板2与箱体1之间的缝隙5中形成空腔，由于隔板2与箱体1之间所形成的缝隙5较小，因此在清洁剂流入缝隙5进行清洗时所受到的阻力会更大，而设置凹槽33形成的空腔可以在缝隙5处形成较大的压强，同时，增大了清洁剂进入缝隙5的通道即可以延凹槽33的四周进入缝隙5，凹槽33越大则进入缝隙5的通道则越大。而且通过设置凹槽33可以降低缝隙5的深度，从而更加容易对缝隙5中的油污进行清洗。
39.根据本发明的一些实施例，与清洁剂一同喷入清洗通道3的还包括气体，例如压缩的空气，清洁剂为有机溶剂有机溶剂可以更好的将油污进行溶解并清洗出去，且有机溶剂具有一定的挥发性可以在将油污清理干净之后进行自我挥发出去，不必担心在将油污清洗干净之后，清洁剂继续在缝隙5之中造成污染。在喷入清洁剂时或在喷入清洁剂后喷入空气，喷入空气首先可以更好的在清洗通道3或者凹槽33内形成压强，使得清洁剂更容易进入缝隙5将油污清洗干净，在清洗干净之后还可以通过喷入空气将清洁剂吹出或帮助清洁剂进行挥发。同时，在清洗过程中通过调节气体与清洁剂之间的比例从而更好的达到清洗效果。
40.根据本发明的一些实施例，所述清洗剂包括酒精、丙酮、煤油、汽油、碳氢溶剂中的至少一种。此类清洁剂流通性较好更加容易进入缝隙5中，可以比较容易的获得较大的流量，从而更快的将有五进行溶解并清洗出去，而碳氢溶剂不仅有此优点而且不易燃烧更具安全性。
41.根据本发明的一些实施例，还包括以下步骤：在将清洁剂从清洗入口31喷入所述清洗通道3之前，在所述清洗入口31上插入软管；所述清洁剂通过所述软管进入所述清洗通道3。在进行清洗时，清洁剂进入清洗通道3和缝隙5，需要对清洁剂施加较大的压力，如果直接对清洗入口31进行加压，则容易造成漏液使得清洁剂只有少量可以通过清洗通道3进入缝隙5中对油污进行清洗，而在清洗入口31插入软管后，通过软管的连接，可以更加方便的对软管进行加压，从而使得获得压力的清洁剂更多的通过清洗通道3进入缝隙5中对油污进
行清洗。
42.根据本发明的一些实施例，还包括以下步骤：将气体从所述清洗入口31喷入所述清洗通道3，使所述气体将残留的清洁剂从所述间隙6中喷出。在清洁剂将油污清洗干净后，继续向通道内喷入气体，可以更快的将残留的清洁剂清理干净。该气体优选的选择惰性气体，可以对隔板2形成保护，避免隔板2上的清洗通道3被氧化破坏。
43.第一腔体11通过隔板2和箱体1在第一面23上的密封连接形成密封的腔体，而第二腔体12液通过隔板2和箱体1在第一面23上的密封连接形成密封的腔体，在隔板2的端面21上开设的清洗出口32和在第二面22上所开设的清洗入口31均设置在所述第二腔体12的内部，也不会影响第一腔体11和第二腔体12之间的密封性。对于所述第一面23的边缘与所述镀膜腔室的底壁13的密封连接优选的为进行密封焊接。而所述第二面22的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁13之间设置的间隙6优选的为通过间断的焊接，在焊接的间断处为所述间隙6。
44.根据本发明的一些实施例，如图5所示，所述清洗出口32上开设有凹槽33，相邻的两个所述凹槽33的间隔l1不大于1000mm且不小于300mm。通过设置凹槽33不仅可以在所述端面21处形成空腔，从而在空腔内对清洁剂形成压力；同时扩大了清洁剂通过清洗出口32进入缝隙5的通道，从而增大了清洁剂的流量；还通过设置凹槽33减少了所述端面21与所述底壁13之间的接触面积，从而使得所述缝隙5的深度减小，而凹槽33的间隔不宜过大也不宜过小，当凹槽33间隔过小时会影响隔板2结构的强度，从而可能照成结构强度的失效，而当凹槽33的间隔过大时会使得之间缝隙5的深度过深，从而使得清洗难度加大。
45.根据本发明的一些实施例，所述第一面23与所述箱体1焊接并形成第一焊缝41，所述第一焊缝41覆盖所述第一面23的底端边缘；所述第二面22与所述底壁13焊接并形成多个间隔设置的第二焊缝42，所述第二面22的底端边缘未被所述第二焊缝42覆盖的部分与所述底壁13之间形成有所述间隙6。通过第一焊缝41的焊接保证了第一腔体11和第二腔体12的密封性，通过第二焊缝42的焊接不仅增强了结构强度，而且将焊缝的间断处所形成的间隙6设置在所述凹槽33的间隔处，可以进一步的控制清洁剂的流向，避免清洁剂直接从凹槽33的一侧流出，而无法对缝隙5更深处的油污进行清洗。
46.根据本发明的一些实施例，如图5所示，所述凹槽33的长度为500mm。所述凹槽33的长度l2不宜过长也不宜过短，当凹槽33过长时会影响隔板2结构的强度，从而可能照成结构强度的失效，而当凹槽33的长度过短时会使得凹槽33之间的缝隙5的深度过深从而增加清洗的难度。同时，优选的凹槽33的壁厚l3为隔板2厚度的三分之一，从而在保证隔板2与所述箱体1之间连接强度的同时减小缝隙5的深度。
47.本发明的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

技术特征：
1.真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述箱体的内部具有镀膜腔室，所述隔板设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；所述清洗方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道，并使所述清洁剂从所述间隙中喷出。2.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，所述清洁剂被气体带动而进入所述清洗通道。3.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，所述清洁剂为有机溶剂。4.根据权利要求3所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，所述清洗剂包括酒精、丙酮、煤油、汽油、碳氢溶剂中的至少一种。5.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，还包括以下步骤：在将所述清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道之前，在所述清洗入口上插入软管；所述清洁剂通过所述软管进入所述清洗通道。6.根据权利要求1至5中任一所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，还包括以下步骤：停止将所述清洁剂喷入所述清洗通道，然后将气体从所述清洗入口喷入所述清洗通道，使所述气体将残留的所述清洁剂从所述间隙中喷出。7.真空镀膜设备，其特征在于，包括：箱体，内部具有镀膜腔室；隔板，与所述箱体连接，所述隔板设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有，所述隔板的内部还设有供清洁剂流动的若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通。8.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，相邻的两个所述清洗出口之间的间隔不大于1000mm且不小于300mm。9.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一面与所述箱体焊接并形成第一焊缝，所述第一焊缝覆盖所述第一面的底端边缘；所述第二面与所述底壁焊接并形成多个间隔设置的第二焊缝，所述第二面的底端边缘未被所述第二焊缝覆盖的部分与所述底壁之间形成有所述间隙。10.根据权利要求8所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述清洗出口的长度为500mm。

技术总结
本发明提供了一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备，方法包括：用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；所述清洗方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道，并使所述清洁剂从所述间隙中喷出。本发明的的方法和结构使对缝隙中的污渍的清理更加的方便。的方便。


技术研发人员：雷雨 陈海峰 肖世洪
受保护的技术使用者：中国南玻集团股份有限公司
技术研发日：2023.07.13
技术公布日：2023/10/15