一种硅烷尾气处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅烷处理技术领域，具体为一种硅烷尾气处理装置。


背景技术：

2.硅烷是无色、有大蒜恶心气味的有毒气体，硅烷的化学性质很活跃，与氧反应异常激烈，在与空气接触时会发生自燃，硅烷的爆炸极限为0.8％-98％，因此在硅烷的尾气排放过程中，极易发生燃烧爆炸，现有的对含有硅烷的尾气管道引到厂房以外，同时设计一个负压的抽风系统，并在室外安装燃烧塔，让硅烷燃烧处理掉，这个是目前半导体和太阳能电池行业普遍采用的方法。这个方法的缺点是能耗高，建造成本、运行与维护成本均很高。
3.为了解决上述问题，如公开号为cn206958939u的申请专利，公开了一种硅烷尾气载气、安全处理系统，通过注入定量氮气进入硅烷尾气排气系统，维持排气管道微正压，隔绝硅烷和空气，稀释硅烷，实现硅烷尾气的稀释和向室外的运载过程；在室外，硅烷尾气通过排气管道从高处排放；由于氮气的掺杂，硅烷尾气实现了无火星，无火花，无高温过程的自燃处理；解决了传统技术耗费大量能源的问题，降低了生产成本，同时避免了排气管网堵塞，提高了生产过程的安全性。
4.但是硅烷与空气相接触燃烧生成的二氧化硅烟雾虽然无毒，但是直接排放到空气中会导致空气中的颗粒物增多，从而对空气造成污染，同时空气也可能会进入到排气管中，而导致硅烷在排气管中相接触，从而发生较为危险的爆炸。
5.为此，本实用新型提供一种硅烷尾气处理装置。


技术实现要素：

6.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种硅烷尾气处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型通过在出气管顶部安装花洒，在出气管的周侧安装集水盘，这样在排放硅烷尾气的时候，花洒喷水，硅烷与空气反应产生的二氧化硅就会被水沉淀进入集水盘中进行回收，二氧化硅不会直接排放到空气中，从而不会增加空气中粉尘的含量，减少硅烷尾气的排放对空气的污染，同时花洒转动也可以加快空气的流动，从而可以使得硅烷尾气可以充分的与空气相接触，硅烷尾气可以充分的与空气反应，通过三通管将氮气管与硅烷箱相连通，可以对硅烷气体进行稀释，防止硅烷遇到空气发生爆炸，在出气管内的顶部安装堵板，可以防止在不排放硅烷尾气时，空气进入出气管内，防止下一次排放时硅烷遇到出气管内的空气发生爆炸。
7.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种硅烷尾气处理装置，包括pevcd设备和硅烷箱，所述pevcd设备与硅烷箱之间装设有连接管，硅烷箱上侧装设有加压泵，硅烷箱一侧装设有与硅烷箱相连通的三通管，三通管其一管口装设有与三通管相连通的氮气管，三通管另一管口装设有与三通管相连通的出气管，出气管顶部转动配合有花洒，出气管的周侧装设有集水盘，集水盘下侧装设有出水管，花洒上侧转动配合有与花洒相连通的进水管，出气管内的顶部滑动配合有堵板。
8.进一步的，所述出气管的顶部转动配合有转环，转环的轴心部固定有转轴，转轴的一端与花洒固定，转轴的另一端装设有扇叶。
9.进一步的，所述堵板为工形结构，工形结构的顶部开设有出气孔。
10.进一步的，所述出气管内的顶部装设有多个限位板，且限位板与堵板相对应。
11.进一步的，所述三通管与氮气管连通处转动配合有转板，且出气管内滑动配合有挡板，挡板与转板相对应，挡板与堵板之间装设有连接杆。
12.进一步的，所述pevcd设备的一端装设有进气管，且三通管与硅烷箱的连通处和三通管与氮气管的连通处均装设有阀门。
13.本实用新型的有益效果：本实用新型一种硅烷尾气处理装置，包含出气管；花洒；集水盘；三通管；氮气管；硅烷箱；堵板。
14.1、在出气管顶部安装花洒，在出气管的周侧安装集水盘，这样在排放硅烷尾气的时候，花洒喷水，硅烷与空气反应产生的二氧化硅就会被水沉淀进入集水盘中进行回收，二氧化硅不会直接排放到空气中，从而不会增加空气中粉尘的含量，减少硅烷尾气的排放对空气的污染，同时花洒转动也可以加快空气的流动，从而可以使得硅烷尾气可以充分的与空气相接触，硅烷尾气可以充分的与空气反应。
15.2、通过三通管将氮气管与硅烷箱相连通，可以对硅烷气体进行稀释，防止硅烷遇到空气发生爆炸，在出气管内的顶部安装堵板，可以防止在不排放硅烷尾气时，空气进入出气管内，防止下一次排放时硅烷遇到出气管内的空气发生爆炸。
附图说明
16.图1为本实用新型一种硅烷尾气处理装置整体的装配立体结构示意图；
17.图2为本实用新型一种硅烷尾气处理装置中出气管的装配剖面结构示意图；
18.图中：1、pevcd设备；2、加压泵；3、连接管；4、进气管；5、出气管；6、氮气管；7、阀门；8、三通管；9、硅烷箱；10、进水管；11、出水管；12、花洒；14、集水盘；15、连接杆；16、堵板；17、挡板；18、限位板；19、转板；20、转环；21、转轴；22、扇叶。
具体实施方式
19.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
20.请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种硅烷尾气处理装置，包括pevcd设备1和硅烷箱9，所述pevcd设备1与硅烷箱9之间装设有连接管3，硅烷箱9上侧装设有加压泵2，硅烷箱9一侧装设有与硅烷箱9相连通的三通管8，三通管8其一管口装设有与三通管8相连通的氮气管6，三通管8另一管口装设有与三通管8相连通的出气管5，出气管5顶部转动配合有花洒12，出气管5的周侧装设有集水盘14，集水盘14下侧装设有出水管11，花洒12上侧转动配合有与花洒12相连通的进水管10，出气管5内的顶部滑动配合有堵板16。
21.本实施例，出气管5的顶部转动配合有转环20，转环20的轴心部固定有转轴21，转轴21的一端与花洒12固定，转轴21的另一端装设有扇叶22，堵板16为工形结构，工形结构的顶部开设有出气孔，出气管5内的顶部装设有多个限位板18，且限位板18与堵板16相对应，三通管8与氮气管6连通处转动配合有转板19，且出气管5内滑动配合有挡板17，挡板17与转
板19相对应，挡板17与堵板16之间装设有连接杆15，pevcd设备1的一端装设有进气管4，且三通管8与硅烷箱9的连通处和三通管8与氮气管6的连通处均装设有阀门7。
22.具体的，在对硅烷尾气进行排放时，首先向氮气管6内通入氮气，通入氮气带动转板19转动，使得转板19被挡板17限位，然后氮气充满三通管8，向进气管4通入硅烷，硅烷经过pevcd设备1净化后进入硅烷箱9，经过加压泵2加压后，打开阀门7，硅烷气体进入三通管8内，然后被氮气稀释后的硅烷气体向上顶起转板19，转板19带动挡板17向上滑动，从而挡板17通过连接杆15带动堵板16向上滑动，转板19转动打开出气管5，被氮气稀释后的硅烷就可以从堵板16的出气口向上吹出，被稀释后的硅烷带动扇叶22转动，从而带动转环20和花洒12转动，硅烷和空气发生反应生成二氧化硅烟雾，然后向进水管10通水，花洒12将水洒出，水带着二氧化硅烟雾沉淀到集水盘14上，然后从出水管11流出进行回收，当停止通气时，关上阀门7，因为没有气体流动，则转板19复位，之后堵板16因为自身重力向下滑动直至被限位板18限位，同时堵板16向下滑动通过连接杆15带动挡板17复位，这样就可以防止外部空气进入出气管5中，防止硅烷还没有被氮气相接触时就与空气发生反应而产生爆炸。
23.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.一种硅烷尾气处理装置，包括pevcd设备(1)和硅烷箱(9)，其特征在于，所述pevcd设备(1)与硅烷箱(9)之间装设有连接管(3)，硅烷箱(9)上侧装设有加压泵(2)，硅烷箱(9)一侧装设有与硅烷箱(9)相连通的三通管(8)，三通管(8)其一管口装设有与三通管(8)相连通的氮气管(6)，三通管(8)另一管口装设有与三通管(8)相连通的出气管(5)，出气管(5)顶部转动配合有花洒(12)，出气管(5)的周侧装设有集水盘(14)，集水盘(14)下侧装设有出水管(11)，花洒(12)上侧转动配合有与花洒(12)相连通的进水管(10)，出气管(5)内的顶部滑动配合有堵板(16)。2.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气处理装置，其特征在于：所述出气管(5)的顶部转动配合有转环(20)，转环(20)的轴心部固定有转轴(21)，转轴(21)的一端与花洒(12)固定，转轴(21)的另一端装设有扇叶(22)。3.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气处理装置，其特征在于：所述堵板(16)为工形结构，工形结构的顶部开设有出气孔。4.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气处理装置，其特征在于：所述出气管(5)内的顶部装设有多个限位板(18)，且限位板(18)与堵板(16)相对应。5.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气处理装置，其特征在于：所述三通管(8)与氮气管(6)连通处转动配合有转板(19)，且出气管(5)内滑动配合有挡板(17)，挡板(17)与转板(19)相对应，挡板(17)与堵板(16)之间装设有连接杆(15)。6.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气处理装置，其特征在于：所述pevcd设备(1)的一端装设有进气管(4)，且三通管(8)与硅烷箱(9)的连通处和三通管(8)与氮气管(6)的连通处均装设有阀门(7)。

技术总结
本实用新型提供一种硅烷尾气处理装置，包括PEVCD设备和硅烷箱，所述PEVCD设备与硅烷箱之间装设有连接管，硅烷箱上侧装设有加压泵，硅烷箱一侧装设有与硅烷箱相连通的三通管，三通管其一管口装设有与三通管相连通的氮气管，三通管另一管口装设有与三通管相连通的出气管，出气管顶部转动配合有花洒，出气管的周侧装设有集水盘，集水盘下侧装设有出水管，花洒上侧转动配合有与花洒相连通的进水管。在本实用新型中，在排放硅烷尾气的时候，花洒喷水，硅烷与空气反应产生的二氧化硅就会被水沉淀进入集水盘中进行回收，二氧化硅不会直接排放到空气中，从而不会增加空气中粉尘的含量，减少硅烷尾气的排放对空气的污染。硅烷尾气的排放对空气的污染。硅烷尾气的排放对空气的污染。


技术研发人员：陈谋杰 陈佳
受保护的技术使用者：湖北君德新材料有限公司
技术研发日：2022.12.30
技术公布日：2023/7/12