一种氧化镍薄膜的制备方法与应用

1.本发明涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种氧化镍薄膜的制备方法与应用。


背景技术：

2.倒置结构钙钛矿太阳能电池由于工作稳定性要优于正式结构从而吸引了研究者的广泛关注。空穴传输材料nio
x
不仅具有较高的稳定性和优异的光电性能，而且制备方法多样等优点更容易实现工业化生产。
3.目前，已经报道的大面积制备氧化镍的方法包括：磁控溅射、原子层沉积、电化学沉积、热喷雾法和化学浴沉积法。其中，虽然磁控溅射、原子层沉积和电化学沉积可以得到重复性好，均衡度高的氧化镍薄膜。但是，磁控溅射和原子层沉积需要在真空条件下才能制备，设备造价昂贵，所需的真空工艺耗能更高；而电化学沉积虽然设备简单，工艺耗能较低，但是工艺放大后，随着尺寸的放大，为了保证产品的均一性就需要电极材料的均一性更高，也会增加成本；喷雾热解法大多使用有机溶剂会增加对环境的潜在威胁，同时对原料的利用率低，造成成本升高，也不是实现工业化生产的理想方法。
4.现已报道的化学浴沉积法制备氧化镍薄膜，需要使用氧化剂对氧化镍前体膜进行氧化，这会对生态环境和人体造成较大的伤害。
5.因此提供一种氧化镍薄膜的制备方法，能够避免氧化剂的使用，是当务之急。


技术实现要素：

6.本发明旨在至少解决上述现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种氧化镍薄膜的制备方法，避免了制备过程中氧化剂的使用，对生态环境和人体不会造成伤害。
7.根据本发明的第一方面的实施例，提供了一种氧化镍薄膜的制备方法，包括如下步骤：
8.将表面具有导电层的基底与前驱液接触，进行化学浴沉积；
9.所述前驱液含有镍源和有机配体。
10.根据本发明的第一方面的实施例至少具有以下有益效果：
11.本发明的氧化镍薄膜的制备方法通过将表面具有导电层的基底与前驱液接触来进行化学浴沉积的方法，不需要对基底的另一面进行遮挡，这种方法非常容易实现连续的面积放大，以便工业化生产应用；同时由于在制备过程中没有使用氧化剂，对生态环境和人体不会造成伤害。以本发明的氧化镍薄膜制备得到的钙钛矿光伏器件在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率高于19％。
12.根据本发明的一些实施例，所述镍源包括碳酸镍，硝酸镍，甲酸镍，硫酸镍，乙酰丙酮镍，氯化镍，溴化镍和硫化镍中的至少一种。
13.根据本发明的一些实施例，所述有机配体包括乙酰丙酮，三乙醇胺，尿素，氨水，醋
酸，乙醇胺，丙烯酸，二乙胺四乙酸，异丙醇和二乙醇胺中的至少一种。
14.根据本发明的一些实施例，所述镍源的浓度为0.0001-1mol/l；所述有机配体的浓度为0.0001-4mol/l。
15.根据本发明的一些优选地实施例，所述镍源浓度包括0.0001mol/l、0.0005mol/l、0.0010mol/l、0.0015mol/l、0.0020mol/l、0.0025mol/l、0.0050mol/l、0.3mol/l、0.4mol/l、0.5mol/l、1mol/l。
16.通过控制前驱液中镍源的浓度在上述范围内，可以进一步有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。
17.根据本发明的一些优选地实施例，所述有机配体的浓度包括0.0001mol/l、0.0005mol/l、0.0010mol/l、0.0015mol/l、0.0020mol/l、0.0025mol/l、0.0050mol/l、0.3mol/l、0.4mol/l、1mol/l。
18.通过控制前驱液中有机配体的浓度在上述范围内，可以进一步有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。不使用氧化剂的氧化镍薄膜更容易调控，且氧化剂的存在会影响氧化镍中镍价态过高或过低，会影响其能级结构，从而影响其与钙钛矿之间的能级匹配，最终影响钙钛矿光伏电池的开路电压。
19.根据本发明的一些实施例，所述化学浴沉积的过程中，包括采用碱液调节所述前驱液的ph值为9～12。
20.根据本发明的一些优选地实施例，所述化学浴沉积的过程中，包括采用碱液调节所述前驱液的ph值为9、10、10.5、11、12。
21.碱液可以在调节ph的同时，也作为络合剂和沉淀剂，由此，可以进一步有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。如果前驱液ph高于12，会影响薄膜沉积工艺导致薄膜均一性变差，如果前驱液ph低于9，会延缓薄膜沉积工艺的时间导致薄膜厚度发生明显变化。
22.根据本发明的一些实施例，所述的制备方法还包括对所述化学浴沉积后得到的氧化镍前体薄膜退火。
23.根据本发明的一些实施例，所述退火的温度为100～300℃。
24.根据本发明的一些实施例，所述退火的温度包括100℃、200℃、250℃、300℃。
25.退火处理的温度过高或者过长，不仅增加了工艺的耗能以及成本，也降低了氧化镍薄膜的方阻。
26.根据本发明的一些实施例，所述退火的时间为30～200min。
27.根据本发明的一些优选地实施例，所述退火的时间包括30min、60min、90min、120min、150min、200min。
28.根据本发明的一些实施例，所述化学浴沉积的沉积时间为3～200min。
29.根据本发明的一些实施例，所述化学浴沉积的沉积时间包括3min、5min、10min、15min、30min、60min、120min、200min。
30.上述化学浴沉积时间下，有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。
31.根据本发明的一些优选地实施例，所述氧化镍薄膜的制备方法包括：
32.s10、提供基底和前驱液，所述前驱液含有镍源和有机配体；
33.所述基底的表面具有导电层。
34.具体来说，基底可以采用本领域常见的导电玻璃，可以对基底进行前预处理，预处
理包括超声清洗，紫外臭氧处理和化学处理。
35.具体的可以依次利用清洗剂、去离子水、乙醇对基底进行超声清洗，以使基底表面获得良好的浸润性，再利用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧或者化学处理。前驱液可以将镍源与有机配体加入到去离子水中制备得到，制备得到的前驱液要不含有氧化剂。
36.s20、将所述基底的导电层与所述前驱液接触，并进行化学浴沉积，在所述导电层的表面形成氧化镍前体薄膜。
37.具体来说，可以将所述基底水平、垂直浸泡放置在上述前驱液内或者悬浮放置于所述前驱液中，是使所述基底的导电层完全与所述前驱溶液充分接触，并进行化学浴沉积，以便在所述基底的导电面形成氧化镍前体薄膜。
38.根据本发明的第二方面的实施例提出了一种氧化镍薄膜，所述氧化镍薄膜采用所述的氧化镍薄膜的制备方法制备得到。
39.根据本发明的一些实施例，所述氧化镍薄膜的厚度为5-30nm。
40.根据本发明的一些优选地实施例，所述氧化镍薄膜的膜厚包括5nm～10nm，10nm～15nm，15nm～20nm，20nm～25nm，25nm～30nm。
41.上述条件下的氧化镍薄膜，薄膜电阻小，有利于界面电荷的提取，提高光电转换效率。
42.根据本发明的第三方面的实施例提出了一种钙钛矿光伏电池，包括空穴传输层，所述空穴传输层包括所述的氧化镍薄膜。
43.通过采用氧化镍薄膜作为空穴传输层，实现了大面积钙钛矿光伏电池模组的制备。
44.根据本发明的一些实施例，所述钙钛矿光伏电池，包括基底，空穴传输层、钙钛矿层、电子传输层以及电极层。
45.根据本发明的一些实施例，所述钙钛矿的组分包括mapbi3、fapbi3、fa
x
ma
1-x
pbiybr
3-y
和cszfa
x
ma
1-x
pbiybr
3-y
中的至少一种，其中x和z的组分配比可以为0-1，y的组分配比可以为0-3。
46.根据本发明的一些实施例，所述钙钛矿光伏电池的制备方法包括按照所需要的化学计量比称取csi、csbr、fai、mai、fabr、mabr、pbi2、pbbr2，中的两种及以上，溶液为n,n-二甲基甲酰胺：二甲基亚砜体积比为(10-1)：1的混合液，前驱液浓度0.5-4mol/l。采用旋涂法制备钙钛矿薄膜，制得的钙钛矿薄膜在热台上100-150℃退火10-30min。在10-5
mpa条件下，真空蒸镀c
60
、bcp和cu电极，完成钙钛矿光伏电池器件的制备。
47.下面通过具体的制备实施例，来对本发明所提供的氧化镍薄膜及其制备方法做进一步的解释和说明。
附图说明
48.下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：
49.图1为本发明实施例提供的氧化镍薄膜的制备方法流程示意图；
50.图2为400平方厘米的基底上沉积氧化镍后的氧化图；
51.图3为0.1平方厘米和25平方厘米的基底上沉积氧化镍后的器件电流-电压曲线图；
52.图4为以化学浴沉积为基底的器件断面图；
53.图5为对比例1制备得到的氧化镍薄膜。
具体实施方式
54.以下将结合实施例对本发明的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本发明的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本发明的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本发明保护的范围。
55.为了解决现有钙钛矿薄膜结晶度差的问题以及将其用于钙钛矿太阳能电池容易出现非辐射复合，导致太阳能电池光电转换效率偏低的问题。
56.s10、提供基底和前驱液，前驱液含有镍源和有机配体但不含氧化剂；基底的表面具有导电层。
57.具体来说，基底可以采用本领域常见的导电玻璃，可以对基底进行前预处理，预处理包括超声清洗，紫外臭氧处理和化学处理。具体的可以依次利用清洗剂、去离子水、乙醇对基底进行超声清洗，以使基底表面获得良好的浸润性，再利用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧或者化学处理。前驱液可以将镍源与有机配体加入到去离子水中制备得到，制备得到的前驱液要不含有氧化剂。其中，镍源包括但不限于碳酸镍，硝酸镍，甲酸镍，硫酸镍，乙酰丙酮镍，氯化镍，溴化镍，硫化镍。有机配体包括但不限于乙酰丙酮，三乙醇胺，尿素，氨水，醋酸，乙醇胺，丙烯酸，二乙胺四乙酸，异丙醇，二乙醇胺。
58.镍源浓度可以为0.0001-1mol/l，例如0.0001mol/l、0.0005mol/l、0.0010mol/l、0.0015mol/l、0.0020mol/l、0.0025mol/l、0.0050mol/l、1mol/l等。通过控制前驱液中镍源的浓度在上述范围内，可以进一步有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。
59.有机配体不含氧化剂的浓度可以为0.0001-1mol/l，例如0.0001mol/l、0.0005mol/l、0.0010mol/l、0.0015mol/l、0.0020mol/l、0.0025mol/l、0.0050mol/l、1mol/l等。通过控制前驱液中有机配体不含氧化剂的浓度在上述范围内，可以进一步有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。不使用氧化剂的氧化镍薄膜更容易调控，且氧化剂的存在会影响氧化镍中镍价态过高或过低，会影响其能级结构，从而影响其与钙钛矿之间的能级匹配，最终影响钙钛矿光伏电池的电压。
60.s20、将基底的导电层与所述前驱液接触，并进行化学浴沉积，在导电层的表面形成氧化镍前体薄膜。
61.具体来说，可以将所述基底水平、垂直浸泡放置在上述前驱液内或者悬浮放置于前驱液中，是使基底的导电层完全与前驱溶液充分接触，并进行化学浴沉积，以便在基底的导电面形成氧化镍前体薄膜。化学浴沉积的沉积时间可以为3-200min，例如3min、5min、10min、15min、30min、60min、120min、200min等。由此，可以进一步有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。其中，化学浴沉积中，利用碱调节所属前驱液的ph为9-12，如9、10、11、12等。碱可以在调节ph的同时，也作为络合剂和沉淀剂，由此，可以进一步有利于获得致密均一且薄的氧化镍薄膜。如果前驱液ph高于12，会影响薄膜沉积工艺导致薄膜均一性变差，如果前驱液ph低于9，会延缓薄膜沉积工艺的时间导致薄膜厚度发生明显变化。
62.s30、对氧化镍前体薄膜进行退火处理，得到氧化镍薄膜。
63.具体来说，退火处理可以在100-300℃下进行30-200min完成。示例性地，退火温度可以为100℃、200℃、250℃、300℃等，退火温度可以为30min、60min、90min、120min、150min、200min等。如果退火处理的温度过高或者过长，不仅增加了工艺的耗能以及成本，也降低了氧化镍薄膜的方阻。
64.基于相同的发明构思，本发明还提供一种氧化镍薄膜，该氧化镍薄膜采用上述制备方法制备得到，具体的制备方法在此不做赘述。所述氧化镍薄膜的膜厚可以为5nm至10nm，10nm至15nm，15nm至20nm，20nm至25nm，25nm至30nm。更薄的薄膜电阻小，有利于界面电荷的提取，提高光电转换效率。
65.基于相同的发明构思，本发明还提供一种钙钛矿光伏电池，包括基底，空穴传输层、钙钛矿层、电子传输层以及电极层，其中，空穴传输层为上述的氧化镍薄膜。通过采用氧化镍薄膜作为空穴传输层，实现了大面积柔性钙钛矿光伏电池的制备。
66.在本实施例中，钙钛矿组分可以是mapbi3，fapbi3，fa
x
ma
1-x
pbiybr
3-y
，cszfa
x
ma
1-x
pbiybr
3-y
，其中x和z的组分配比可以为0-1，y的组分配比可以为0-3。按照所需要的化学计量比称取csi、csbr、fai、mai、fabr、mabr、pbi2、pbbr2，中的两种及以上，溶液为n,n-二甲基甲酰胺：二甲基亚砜体积比为(10-1)：1的混合液，前驱液浓度0.5-4mol/l。采用旋涂法制备钙钛矿薄膜，制得的钙钛矿薄膜在热台上100-150℃退火10-30min。在10-5
mpa条件下，真空蒸镀c
60
、bcp和cu电极，完成钙钛矿光伏电池器件的制备。
67.实施例1
68.本实施例提供了种氧化镍薄膜的制备方法，制备方法流程示意图如图1所示，具体步骤为：
69.将导电玻璃衬底依次进行清洗剂、去离子水、乙醇进行超声清洗，用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧处理15min。将硫酸镍和乙酰丙酮加入到去离子水中搅拌溶解，得到硫酸镍浓度为0.3mol/l，乙酰丙酮的浓度为0.3mol/l的前驱液。向上述前驱溶液中加入碱，调节前驱液ph值至9。将导电玻璃衬底垂直放置于上述前驱液内。并进行沉积3min，以便在基底的导电面形成氧化镍薄膜前体。将所述氧化镍薄膜前体进行干燥处理。然后放置在热板上，300℃下退火60min，得到形成在导电玻璃衬底上的氧化镍薄膜。对制备得到的氧化镍薄膜进行表征，其光学照片如图2所示。可见，其实覆盖在衬底上的一层均一的致密的完整的大面积(400平方厘米)薄膜，且厚度在约15nm。对制备得到的氧化镍薄膜进行钙钛矿光伏电池制备，并对所得的钙钛矿光伏电池进行光电性能测试，测试结果：在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率为22.03％。
70.实施例2
71.本实施例提供了种氧化镍薄膜的制备方法，具体步骤为：
72.将导电玻璃衬底依次进行清洗剂、去离子水、乙醇进行超声清洗，用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧处理15min。将硫酸镍、碳酸镍和乙酰丙酮加入到去离子水中搅拌溶解，得到浓度为0.4mol/l，乙酰丙酮的浓度为0.4mol/l的前驱液。向上述前驱溶液中加入碱，调节前驱液ph值至10。将导电玻璃衬底悬浮放置于上述前驱液表面。并进行沉积5min，以便在基底的导电面形成氧化镍薄膜前体。将所述氧化镍薄膜前体进行干燥处理。然后放置在热板上，200℃下退火60min，得到形成在导电玻璃衬底上的氧化镍薄膜，且厚度在约20nm。对制备得到的氧化镍薄膜进行钙钛矿光伏电池制备，并对所得的钙钛矿光伏电池
进行光电性能测试，测试结果：在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率为21.12％。
73.实施例3
74.本实施例提供了种氧化镍薄膜的制备方法，具体步骤为：
75.将导电玻璃衬底依次进行清洗剂、去离子水、乙醇进行超声清洗，用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧处理15min。将硫酸镍、碳酸镍和乙酰丙酮、三乙醇胺加入到去离子水中搅拌溶解，得到浓度为0.5mol/l，乙酰丙酮、三乙醇胺的浓度为1.0mol/l的前驱液。向上述前驱溶液中加入碱，调节前驱液ph值至10.5。将导电玻璃衬底悬浮放置于上述前驱液表面。并进行沉积20min，以便在基底的导电面形成氧化镍薄膜前体。将所述氧化镍薄膜前体进行干燥处理。然后放置在热板上，100℃下退火120min，得到形成在导电玻璃衬底上的氧化镍薄膜，且厚度在约25nm。对制备得到的氧化镍薄膜进行钙钛矿光伏电池制备，并对所得的钙钛矿光伏电池进行光电性能测试，测试结果：在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率为21.03％。
76.实施例4
77.本实施例提供了种氧化镍薄膜的制备方法，具体步骤为：
78.将导电玻璃衬底依次进行清洗剂、去离子水、乙醇进行超声清洗，用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧处理15min。将硫酸镍、碳酸镍、乙酰丙酮镍和乙酰丙酮、三乙醇胺、二乙醇胺加入到去离子水中搅拌溶解，得到浓度为0.001mol/l，乙酰丙酮、三乙醇胺、二乙醇胺的浓度为0.5mol/l的前驱液。向上述前驱溶液中加入碱，调节前驱液ph值至11。将导电玻璃衬底悬浮放置于上述前驱液表面。并进行沉积200min，以便在基底的导电面形成氧化镍薄膜前体。将所述氧化镍薄膜前体进行干燥处理。然后放置在热板上，100℃下退火30min，得到形成在导电玻璃衬底上的氧化镍薄膜，且厚度在约5nm。对制备得到的氧化镍薄膜进行钙钛矿光伏电池制备，并对所得的钙钛矿光伏电池进行光电性能测试，测试结果：在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率为19.03％。
79.实施例5
80.本实施例提供了种氧化镍薄膜的制备方法，具体步骤为：
81.将导电玻璃衬底依次进行清洗剂、去离子水、乙醇进行超声清洗，用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧处理15min。将碳酸镍和乙酰丙酮、三乙醇胺加入到去离子水中搅拌溶解，得到浓度为0.01mol/l，乙酰丙酮、三乙醇胺的浓度为0.1mol/l的前驱液。向上述前驱溶液中加入碱，调节前驱液ph值至11。将导电玻璃衬底悬浮放置于上述前驱液表面。并进行沉积200min，以便在基底的导电面形成氧化镍薄膜前体。将所述氧化镍薄膜前体进行干燥处理。然后放置在热板上，100℃下退火30min，得到形成在导电玻璃衬底上的氧化镍薄膜，且厚度在约10nm。对制备得到的氧化镍薄膜进行钙钛矿光伏电池制备，并对所得的钙钛矿光伏电池进行光电性能测试，测试结果：在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率为20.01％。
82.实施例6
83.本实施例提供了一种氧化镍薄膜的制备方法，具体步骤为：
84.将导电玻璃衬底依次进行清洗剂、去离子水、乙醇进行超声清洗，用压缩空气将基底吹干后，在进行紫外臭氧处理15min。将硫酸镍、乙酰丙酮镍和乙酰丙酮、三乙醇胺加入到去离子水中搅拌溶解，得到浓度为0.6mol/l，乙酰丙酮、三乙醇胺的浓度为1mol/l的前驱
液。向上述前驱溶液中加入碱，调节前驱液ph值至12。将导电玻璃衬底悬浮放置于上述前驱液表面。并进行沉积200min，以便在基底的导电面形成氧化镍薄膜前体。将所述氧化镍薄膜前体进行干燥处理。然后放置在热板上，100℃下退火25min，得到形成在导电玻璃衬底上的氧化镍薄膜，且厚度在约30nm。对制备得到的氧化镍薄膜进行钙钛矿光伏电池制备，并对所得的钙钛矿光伏电池进行光电性能测试，测试结果：在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率为19.01％。
85.对比例1
86.该方法并不能得到完整且均一的氧化镍薄膜，结果如图5所示。
87.测试例1
88.分别取多组实施例1制备得到的形成氧化镍薄膜的导电玻璃衬底(1平方厘米，25平方厘米)，进一步用于钙钛矿光伏电池的制备。使用mapbi3钙钛矿组分，溶液为n,n-二甲基甲酰胺：二甲基亚砜体积比为9：1的混合液，前驱液浓度1.8mol/l。采用旋涂法制备钙钛矿薄膜，制得的钙钛矿薄膜在热台上100℃退火30min。将得到的钙钛矿薄膜在10-5
mpa条件下，真空蒸镀c
60
、bcp和cu电极，完成钙钛矿光伏电池器件的制备。并对所得的钙钛矿光伏电池进行光电性能测试，结果如图3所示。器件的断面图为图4所示，在0.1cm2的有效面积内，钙钛矿光伏器件效率为22.03％，在全面积为25cm2(有效面积18.1cm2)的钙钛矿光伏组件效率为18.56％。
89.综上，本发明提供一种氧化镍薄膜及其制备方法、钙钛矿光伏电池，其中，方法包括：提供前驱液和表面具有导电层的基底，所述前驱液含有镍源和有机配体但不含氧化剂；将所述基底的导电层与所述前驱液接触，并进行化学浴沉积，在所述导电层的表面形成氧化镍前体薄膜；对所述氧化镍前体薄膜进行退火处理，得到所述氧化镍薄膜。由于在制备的过程中没有使用氧化剂，该制备方法对生态环境和人体不会造成伤害，采用该制备方法可以大面积的制备氧化镍薄膜，制备得到的氧化镍薄膜的膜厚较现有的要薄。且该制备方法适于工业化生产氧化镍薄膜。
90.将所制备得到的氧化镍薄膜用于钙钛矿光伏电池中，用作空穴传输层，使得所制备的钙钛矿光伏电池具有较高的光电转换效率。
91.应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

技术特征：
1.一种氧化镍薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将表面具有导电层的基底与前驱液接触，进行化学浴沉积；所述前驱液含有镍源和有机配体。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镍源包括碳酸镍，硝酸镍，甲酸镍，硫酸镍，乙酰丙酮镍，氯化镍，溴化镍和硫化镍中的至少一种。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述有机配体包括乙酰丙酮，三乙醇胺，尿素，氨水，醋酸，乙醇胺，丙烯酸，二乙胺四乙酸，异丙醇和二乙醇胺中的至少一种。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镍源的浓度为0.0001-1mol/l；所述有机配体的浓度为0.0001-4mol/l。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述化学浴沉积的过程中，包括采用碱液调节所述前驱液的ph值为9～12。6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括对所述化学浴沉积后得到的氧化镍前体薄膜退火；优选地，所述退火的温度为100-300℃。7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述化学浴沉积的沉积时间为3-200min。8.一种氧化镍薄膜，其特征在于，所述氧化镍薄膜采用如权利要求1～7任一所述的氧化镍薄膜的制备方法制备得到。9.根据权利要求8所述的氧化镍薄膜，其特征在于，所述氧化镍薄膜的厚度为5-30nm。10.一种钙钛矿光伏电池，包括空穴传输层，其特征在于，所述空穴传输层包括权利要求8或9所述的氧化镍薄膜。

技术总结
本发明公开了一种氧化镍薄膜的制备方法与应用，包括如下步骤：将表面具有导电层的基底与前驱液接触，进行化学浴沉积；前驱液含有镍源和有机配体。本发明的制备方法不需要对基底的另一面进行遮挡，容易实现连续的面积放大，以便工业化生产应用；同时由于在制备过程中没有使用氧化剂，对生态环境和人体不会造成伤害。伤害。


技术研发人员：丘龙斌 李思博 王欣
受保护的技术使用者：南方科技大学
技术研发日：2023.03.27
技术公布日：2023/7/12