一种烘干炉运输装置及其应用的制作方法

1.本发明涉及烘干炉领域，特别涉及一种烘干炉运输装置及其应用。


背景技术：

2.在光伏电池片制作工序中，对于进行丝网印刷后的硅片，需要使用烘干炉进行硅片的烘干和冷却，在现有烘干设备运行过程中，硅片通常直接放置在运输带的上表面，与运输带之间为完全面接触，硅片易在运输过程中留下印痕，影响硅片的外观和性能。


技术实现要素：

3.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种烘干炉运输装置，能够减少硅片表面在运输过程中的损伤，提升硅片的外观和性能。
4.还提出两种具有上述烘干炉运输装置的烘干炉。
5.还提出一种使用上述烘干炉的烘干方法。
6.根据本发明第一方面实施例的烘干炉运输装置，包括第一运输面和第二运输面，所述第一运输面与所述第二运输面呈角度设置，所述第一运输面与所述第二运输面的夹角为
ɑ
，所述第一运输面与硅片的一侧相接，所述第二运输面与硅片的另一相对侧相接。
7.根据本发明第一方面实施例的烘干炉运输装置，至少具有如下有益效果：
8.通过第一运输面与第二运输面运输硅片的两相对侧，使得硅片仅存在少量表面或没有表面与运输装置相接触，有效减少硅片表面在运输过程中位移，避免划痕产生，使得硅片的表面不易被磨损，避免硅片的性能受到影响，减少不良品的产生。
9.根据本发明的一些实施例，若0
°
＜
ɑ
＜180
°
时，所述第一运输面与所述第二运输面之间形成“v”形的运输腔，于所述运输腔内，所述第一运输面运输硅片侧边，所述第二运输面运输硅片另一相对侧边。
10.根据本发明的一些实施例，若
ɑ
＝180
°
时，所述第一运输面与所述第二运输面平齐且间隔设置，所述第一运输面运输硅片一侧的部分底面，所述第二运输面运输硅片另一相对侧的部分底面。
11.根据本发明的一些实施例，若180
°
＜
ɑ
＜360
°
时，所述第一运输面的顶边与所述第二运输面的顶边平齐且间隔设置，所述第一运输面的顶边与所述第二运输面的顶边一同承接硅片底面。
12.根据本发明的一些实施例，若
ɑ
＝0
°
时，所述第一运输面与所述第二运输面相对且间隔设置，所述第一运输面与硅片的一侧面相抵接，所述第二运输面与硅片的另一相对侧面相抵接。
13.根据本发明的一些实施例，包括驱动源、单独设置的第一运输机构和第二运输机构，所述第一运输机构上设有所述第一运输面，所述第二运输机构上设有所述第二运输面，所述第一运输机构和所述第二运输机构均与所述驱动源传动相连，并在所述驱动源的带动下同步运输。
14.根据本发明的一些实施例，所述驱动源数量为一，所述驱动源通过一轴向调整件与所述第一运输机构传动相连，通过另一轴向调整件与所述第二运输机构传动相连。
15.根据本发明的一些实施例，还包括第一角度调节件和第二角度调节件，所述第一角度调节件与所述第一运输机构相连，能够调整所述第一运输机构相对水平面的角度，所述第二角度调节件与所述第二运输机构相连，能够调整所述第二运输机构相对水平面的角度。
16.根据本发明的一些实施例，所述第一运输机构、所述第二运输机构为筒式输送机、带式输送机或板式输送机其中之一。
17.根据本发明的一些实施例，所述第一运输机构为筒式输送机，所述第二运输机构为筒式输送机。
18.根据本发明的一些实施例，所述第一运输机构和所述第二运输机构的滚筒均为耐冷热冲击材质。
19.根据本发明第二方面实施例的烘干炉，包括：
20.烘干段，设有烘干装置；
21.冷却段，设有冷却装置；
22.运输装置，依次途径所述烘干段和所述冷却段，用于运输硅片依次经过所述烘干段和所述冷却段，所述运输装置为本发明第一方面实施例所述的烘干炉运输装置。
23.根据本发明第二方面实施例的烘干炉，至少具有如下有益效果：通过烘干炉运输装置进行输送，使得硅片表面的磨损程度更小，硅片外观更美观且性能影响更小。
24.根据本发明第三方面实施例的烘干炉，包括：
25.烘干段，设有烘干装置；
26.烘干运输装置，途径所述烘干段设置，能够运输硅片，以供所述烘干装置烘干；
27.冷却段，设有冷却装置；
28.冷却运输装置，途径所述冷却段设置，能够承接所述烘干运输装置运输的硅片并继续运输，以供所述冷却装置冷却，所述冷却运输装置为本发明第一方面实施例所述的烘干炉运输装置。
29.根据本发明第三方面实施例的烘干炉，至少具有如下有益效果：将烘干运输装置和冷却运输装置分开设置，烘干运输装置仅在烘干段内进行运输，其热量将在烘干段内蓄积，不会在经过冷却段后，被冷却段所冷却，热量利用效率更高，并且，烘干运输装置所受冷热变化量小，不会依次经过烘干段和冷却段，发生骤冷骤热，对材质要求更低，长期使用也不会因为骤冷骤热的使用环境而损坏。
30.根据本发明的一些实施例，所述烘干运输装置为本发明第一方面实施例所述的烘干炉运输装置。
31.根据本发明的一些实施例，所述冷却装置包括下冷却组件，所述下冷却组件沿所述冷却运输装置的运输方向设置，位于所述冷却运输装置的中部。
32.根据本发明的一些实施例，所述冷却运输装置为耐冷热冲击运输装置。
33.根据本发明第四方面实施例的烘干方法，使用本发明第二方面实施例所述的烘干炉，其具体步骤包括：
34.所述烘干运输装置与所述冷却运输装置单独设置，二者同步转动运输；
35.硅片通过所述烘干运输装置的运输经过烘干段进行烘干；
36.烘干后，硅片自所述烘干运输装置转移至所述冷却运输装置上，通过所述冷却运输装置的运输经过冷却段进行冷却。
37.根据本发明第四方面实施例的烘干方法，至少具有如下有益效果：烘干运输装置与冷却运输装置同步转动运输，实现硅片的同步输送，使得硅片在经过烘干段与冷却段时，与其原有的输送节拍一致，输送节拍并不受单独设置的烘干运输装置与冷却运输装置的影响，硅片能够有序进行输送，单独设置的烘干运输装置与冷却运输装置能够提高热能利用效率，并且更不易损坏，设备维修成本更低。
38.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
39.下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：
40.图1为本发明一种实施例的烘干炉运输装置的结构示意图；
41.图2为本发明一种实施例的烘干炉运输装置的分解示意图；
42.图3为本发明一种实施例的烘干炉运输装置的滚筒的具体结构示意图；
43.图4为本发明第三方面实施例的烘干炉的结构示意图；
44.图5为本发明第三方面实施例的烘干炉的侧视示意图；
45.图6为本发明第三方面实施例的烘干炉的俯视示意图。
46.附图标号：
47.烘干炉运输装置100；第一运输面110；第二运输面120；第一运输机构130；架体131；滚筒132；连接件133；齿轮134；第二运输机构140；第一角度调节件150；第二角度调节件160；
48.烘干段200；烘干装置210；
49.烘干运输装置300；
50.冷却段400；冷却装置410；下冷却组件411；上箱体412；
51.冷却运输装置500。
具体实施方式
52.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
53.在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
54.在本发明的描述中，若干指的是一个及一个以上，多个指的是两个及两个以上。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
55.本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。
56.须理解的是，相关技术中，烘干炉中通常设置有烘干段和冷却段，在硅片烘干其表面的银浆后，通过冷却段进行冷却，硅片通常是通过带轮输送结构实现运输，硅片底面直接放置在带轮输送结构的传送带的上表面，通过硅片底面与传送带之间的摩擦力实现运输，在烘干段，常会有气流对硅片进行加热，冷却段也多是采用空气吹拂进行冷却，硅片易在传送带上产生位移，进而导致硅片表面因摩擦而产生划痕，而传送带为了顺利输送硅片，其表面必须维持一定的粗糙度，以维持摩擦力的存在，故必须在传送带表面粗糙度与硅片表面损伤度之间进行取舍，而难以两全，在传送带输送过程中，硅片表面始终会出现划痕，影响硅片外观及其性能。晶圆裁切后称为硅片，太阳能电池用硅片多为矩形。
57.参照图1与图2所示，烘干炉运输装置100包括第一运输面110和第二运输面120，第一运输面110与第二运输面120呈角度设置，第一运输面110与第二运输面120的夹角为
ɑ
，第一运输面110与硅片的一侧相接，第二运输面120与硅片的另一相对侧相接。
58.值得理解的是，通过第一运输面110与第二运输面120运输硅片的两相对侧，使得硅片仅存在少量表面或没有表面与烘干炉运输装置100相接触，有效减少硅片表面在运输过程中位移，避免划痕产生，使得硅片的表面不易被磨损，避免硅片的性能受到影响，减少不良品的产生。
59.具体地，第一运输面110与第二运输面120呈角度设置，使得第一运输面110仅与硅片的一侧相接，第二运输面120与硅片的另一相对侧相接，第一运输面110和第二运输面120一同支撑硅片的两相对侧，通过烘干炉运输装置100的运动实现硅片的运输，运输时，也仅有硅片的两相对侧分别与烘干炉运输装置100的第一运输面110和第二运输面120相接，硅片与烘干炉运输装置100的接触范围更小，硅片表面不易产生划痕，运输质量更高。
60.参照图1与图2所示，若0
°
＜
ɑ
＜180
°
时，第一运输面110与第二运输面120之间形成“v”形的运输腔，于运输腔内，第一运输面110运输硅片侧边，第二运输面120运输硅片另一相对侧边。
61.其中，“v”形的运输腔，可以是第一运输面110和第二运输面120间隔设置，第一运输面110或其延长面与第二运输面120或其延长面形成“v”形，或者是第一运输面110或其延长面与第二运输面120或其延长面形成“y”形，在“y”形的上部形成“v”形的运输腔。
62.值得理解的是，在硅片位于“v”形的运输腔内时，硅片仅有一侧边与第一运输面110相接，硅片另一相对侧边与第二运输面120相接，实现硅片的悬空运输，且硅片的表面不与第一运输面110和第二运输面120相接触，进而避免硅片表面产生划痕，硅片表面不易磨损。
63.在本实施例中，若
ɑ
＝180
°
时，第一运输面110与第二运输面120平齐且间隔设置，第一运输面110运输硅片一侧的部分底面，第二运输面120运输硅片另一相对侧的部分底面。
64.值得理解的是，第一运输面110与第二运输面120平齐间隔设置时，第一运输面110与硅片的一侧的部分底面相接触，第二运输面120与硅片另一相对侧的部分底面相接触，第一运输面110和第二运输面120之间的空隙对应的硅片底面悬空，悬空部分的硅片底面不会
因摩擦产生划痕，仅有少部分的硅片底面磨损。可在硅片设计时，在硅片两侧预留磨损区，磨损区与运输位置相对应，进而减小硅片两侧运输位置对硅片整体的影响，提高硅片的性能。
65.在本实施例中，若180
°
＜
ɑ
＜360
°
时，第一运输面110的顶边与第二运输面120的顶边平齐且间隔设置，第一运输面110的顶边与第二运输面120的顶边一同承接硅片底面。
66.值得理解的是，通过第一运输面110的顶边和第二运输面120的顶边一同承接硅片底面，实现硅片的运输，而硅片的底面仅与第一运输面110和第二运输面120线接触，其接触面积更小，对硅片底部划伤的区域更小，而其他部分的硅片表面不易磨损。同样的，可在硅片设计时，在硅片两侧预留出条状的磨损区，磨损区与运输位置相对应，减小硅片两侧运输位置对硅片整体的影响，提高硅片的性能。
67.在本实施例中，若
ɑ
＝0
°
时，第一运输面110与第二运输面120相对且间隔设置，第一运输面110与硅片的一侧面相抵接，第二运输面120与硅片的另一相对侧面相抵接。
68.值得理解的是，第一运输面110与第二运输面120一同夹持硅片的两相对侧，实现硅片的运输，而硅片的侧面即便存在一定的划痕也不易影响到硅片的外观和性能，仅在硅片的侧面产生一定的划痕，而硅片的下表面完全悬空，有效避免硅片下表面因为摩擦而磨损。
69.具体地，第一运输面110可以为弹性面，第二运输面120也可以为弹性面，其具体可以通过海绵等易凹陷的弹性材料制成，以对硅片施加合适的夹持力，避免硅片因为夹持力过大而破碎。
70.值得理解的是，
ɑ
＝0
°
即为
ɑ
＝360
°
。
71.参照图1与图2所示，烘干炉运输装置100包括驱动源、单独设置的第一运输机构130和第二运输机构140，第一运输机构130上设有第一运输面110，第二运输机构140上设有第二运输面120，第一运输机构130和第二运输机构140均与驱动源传动相连，并在驱动源的带动下同步运输。
72.值得理解的是，单独设置的第一运输机构130和第二运输机构140之间将留有空间，避免二者相互干涉，能够在二者之间设置其他装置，例如，烘干装置210或冷却装置410，以提高硅片与烘干装置210的直接接触面积或硅片与冷却装置410的直接接触面积，提高硅片的烘干效果或冷却效果，硅片加工更加高效。
73.作为另一种实施方式，烘干炉运输装置100也可为整体运输机构，整体运输机构的第一运输面110和第二运输面120一体化设置，例如多个v形轮通过链带与驱动源相连，实现同步转动，多个v形轮的v形槽形成呈角度设置的第一运输面110和第二运输面120，或两相对侧同向翘起的传送带，传送带两相对侧的翘起部位形成第一运输面110和第二运输面120。
74.在本实施例中，驱动源数量为一，驱动源通过一轴向调整件与第一运输机构130传动相连，通过另一轴向调整件与第二运输机构140传动相连。
75.其中，轴向调整件可以为万向联轴器或斜齿轮134组，通过轴向调整件可以对驱动源输出轴的方向进行调整并维持其转速转向一致，实现第一运输机构130和第二运输机构140的同步运输。斜齿轮134组为一对斜齿轮134配合使用，而斜齿轮134本身即用于调整输出轴的方向。
76.值得理解的是，第一运输机构130和第二运输机构140通过同一驱动源驱动进行运输，第一运输机构130和第二运输机构140所受的动力相同，能够以相同的速率进行运输，其同步程度更高，能够稳定运输硅片。
77.作为另一种实施方式，第一运输机构130和第二运输机构140单独设置，其驱动源的数量可以为二，一驱动源与第一运输机构130传动相连，另一驱动源与第二运输机构140传动相连，仅需控制两驱动源同转速运转，即可实现第一运输机构130和第二运输机构140的同步输送。但实际上难以控制两驱动源同转速运转，驱动源的转速不同，易导致第一运输机构130和第二运输机构140的运输速度不同，进而导致运输硅片的偏移或受力不均，难以稳定运输硅片。
78.参照图1、图2与图3所示，在本实施例中，烘干炉运输装置100还包括第一角度调节件150和第二角度调节件160，第一角度调节件150与第一运输机构130相连，能够调整第一运输机构130相对水平面的角度，第二角度调节件160与第二运输机构140相连，能够调整第二运输机构140相对水平面的角度。
79.具体地，第一运输机构130上设有沿其运输方向的转动轴，第一角度调节件150为调节板，调节板设有安装侧面，安装侧面与第一运输机构130沿运输方向的端部侧面相连，第一运输机构130于此端部侧面上设有伸出的螺杆，调节板上设有圆弧通槽，圆弧通槽的轴线与转动轴的轴线共轴设置，螺杆穿过弧状通槽伸出调节板外，并能够通过螺母锁紧至弧状通槽上，而在未锁紧螺母时，第一运输机构130沿弧状通槽绕转动轴转动，以调节第一运输机构130的角度，在调整至需要角度时，锁紧螺母对第一运输机构130进行固定。
80.其中，调节板与安装侧面相对的另一侧面上设有圆弧刻度，便于确定第一运输机构130的转动角度。
81.其中，第二角度调节件160的结构及安装方式与第一角度调节件150相同，在此不再进行赘述。
82.值得理解的是，第一运输机构130通过第一角度调节进行角度调节，第二运输机构140通过第二角度调节件160进行角度调节，便于调节第一运输机构130与第二运输机构140的角度，并且能够将第一运输机构130和第二运输机构140调节至对称设置，在运输时，第一运输机构130和第二运输机构140对硅片施加的力方向相同，避免硅片受力不均，更有利于对硅片进行输送。
83.并且，第一运输机构130和第二运输机构140之间的距离也可以调节，通过调节第一运输机构130和第二运输机构140之间的夹角和距离适应不同规格大小的硅片，提高硅片的运输效果。
84.在本实施例中，第一运输机构130、第二运输机构140为筒式输送机、带式输送机或板式输送机其中之一。
85.值得理解的是，第一运输机构130和第二运输机构140的具体结构并不受其运输结构的影响，而仅与第一运输机构130的第一运输面110和第二运输机构140的第二运输面120所呈角度相关，使用任一上述运输结构均能够实现运输。且上述运输结构属于本领域的常规设置，其具体结构在此不再进行赘述。
86.参照图1、图2与图3所示，在本实施例中，第一运输机构130为筒式输送机，第二运输机构140为筒式输送机。
87.值得理解的是，第一运输机构130和第二运输机构140均为筒式输送机时，第一运输机构130和第二运输机构140与硅片的接触方式为点接触或线接触，第一运输机构130、第二运输机构140与硅片的接触面积进一步地减小，使得第一运输机构130、第二运输机构140输送的硅片会产生磨损的区域更小，对硅片的影响更小。
88.具体地，在0
°
＜
ɑ
＜180
°
时、180
°
＜
ɑ
＜360
°
时时，第一运输机构130和第二运输机构140与硅片点接触，在
ɑ
＝180
°
时、
ɑ
＝0
°
时时，第一运输机构130和第二运输机构140与硅片线接触。
89.具体地，第一运输机构130的具体结构包括：架体131和多个沿运输方向并列设置的滚筒132，滚筒132的两端均通过连接件133与架体131相连，并且滚筒132与连接件133转动相连，滚筒132的一端设有齿轮134，齿轮134的轴线与滚筒132的轴线共线设置，所有齿轮134可通过同一链带与驱动源传动相连，驱动源可以为电机，电机转动带动链带转动，链带带动所有齿轮134一同转动，所有齿轮134带动所有滚筒132一同转动，实现第一运输机构130的输送。第二运输机构140的结构与第一运输机构130的结构相同，在此不再进行赘述。
90.其中，架体131的材质可以为铝型材，可有效减少第一运输机构130整体的重量，便于对其与水平面之间的角度进行调节。
91.在本实施例中，第一运输机构130和第二运输机构140的滚筒132均为耐冷热冲击材质。
92.其中，耐冷热冲击材质是指：能够同时承受烘干炉内烘干段200的烘干温度和冷却段400内的冷却温度，不易因温差而损坏，例如陶瓷、不锈钢。
93.值得理解的是，在第一运输机构130与第二运输机构140在整个烘干炉内或在烘干炉的冷却段400内使用时，耐冷热冲击材质的第一运输机构130和第二运输机构140不易受热受冷变形，且长期使用也不易损坏，使用寿命更长。
94.在本实施例中，根据本发明第二方面实施例的烘干炉，包括：
95.烘干段200，设有烘干装置210；
96.冷却段400，设有冷却装置410；
97.运输装置，依次途径烘干段200和冷却段400，用于运输硅片依次经过烘干段200和冷却段400，运输装置为本发明第一方面实施例的烘干炉运输装置100。
98.值得理解的是，通过烘干炉运输装置100进行输送，使得硅片表面的磨损程度更小，硅片外观更美观且性能影响更小。
99.参照图4、图5与图6所示，根据本发明第三方面实施例的烘干炉，包括：
100.烘干段200，设有烘干装置210；
101.烘干运输装置300，途径烘干段200设置，能够运输硅片，以供烘干装置210烘干；
102.冷却段400，设有冷却装置410；
103.冷却运输装置500，途径冷却段400设置，能够承接烘干运输装置300运输的硅片并继续运输，以供冷却装置410冷却，冷却运输装置500为本发明第一方面实施例的烘干炉运输装置100。
104.须理解的是，在使用同一运输装置经过烘干段200和冷却段400时，在烘干段200内，运输装置被加热，在经过冷却段400时，运输装置被冷却，运输装置重复加热—冷却，运输装置所承受的极限温差大，运输装置长期承受冷热冲击时，其材质易老化、变脆、寿命缩
短，不利于长期使用。同时，冷却后的运输装置进入烘干段200内时，会重新吸收烘干段200内的热量，降低烘干段200的加热效果，加热后的运输装置进入冷却段400时，会与硅片一同进行散热，降低冷却段400的冷却效果，其能量利用效率低。
105.值得理解的是，将烘干运输装置300和冷却运输装置500分开设置，烘干运输装置300仅在烘干段200内进行运输，其热量将在烘干段200内蓄积，不会在经过冷却段400后，被冷却段400所冷却，热量利用效率更高，并且，烘干运输装置300所受冷热变化量小，不会依次经过烘干段200和冷却段400，发生骤冷骤热，对材质要求更低，长期使用也不会因为骤冷骤热的使用环境而损坏。
106.具体地，烘干运输装置300与冷却运输装置500之间可临近设置，使得硅片能够直接自烘干运输装置300上转移至冷却运输装置500上，实现硅片的转移。当然，在对硅片的输送节拍进行取舍后，也可将烘干运输装置300与冷却运输装置500间隔长距离，通过转运装置承接烘干运输装置300上的硅片，并转运至冷却运输装置500。转运装置可以为机械手。
107.并且，烘干运输装置300上可设置对中结构，使得硅片始终位于烘干运输装置300的中轴位置，便于硅片与冷却运输装置500的中轴对齐，便于硅片自烘干运输装置300转移至冷却运输装置500上。
108.在本实施例中，烘干运输装置300为本发明第一方面实施例的烘干炉运输装置100。
109.值得理解的是，在烘干段200使用烘干炉运输装置100也可以直接减小烘干段200内硅片表面磨损的区域，使得硅片的下表面不易在烘干段200内被磨损。
110.参照图4、图5与图6所示，冷却装置410包括下冷却组件411，下冷却组件411沿冷却运输装置500的运输方向设置，位于冷却运输装置500的中部。
111.其中，冷却装置410多为空冷，通过常温或低温气体朝向硅片吹动实现硅片的冷却。下冷却组件411能够朝向硅片的下表面吹出常温或低温气流。
112.值得理解的是，在第一运输机构130和第二运输机构140单独设置，且第一运输面110和第二运输面120间隔设置时，硅片的下表面中部悬空，硅片的下表面将更易与下冷却组件411的气流相接触，实现对流换热，且硅片的下表面整体被气流吹拂，其散热更加均匀。
113.并且，硅片在运输过程中，可能存在一定的偏转，导致硅片倾斜运输，冷却气流向上吹动硅片，气流均匀分布在硅片表面，在硅片倾斜时，气流对倾斜部位施加的力更大，能够起到一定的纠偏作用，使得硅片在运输过程中，由倾斜状态转化为水平状态。
114.具体地，下冷却组件411可以为多个风扇。
115.此外，冷却装置410还包括上箱体412，上箱体412内设有连通外部的抽风组件，抽风组件能够抽出经过硅片后的气流，形成完整的风道，提高冷却装置410的冷却效率。
116.在本发明的一些具体实施例中，冷却运输装置500为耐冷热冲击运输装置。耐冷热冲击运输装置是指其输送面的材质为耐冷热冲击材质，其具体材质可以为陶瓷、不锈钢。
117.值得理解的是，冷却运输装置500在冷却段400内使用时，会与烘干后仍高温状态的硅片相接触，并进行热交换，使得冷却运输装置500升温，同时冷却运输装置500与硅片一同被冷却装置410冷却，冷却运输装置500受到一定的冷热冲击，而耐温差运输机构能够更好的承受此冷却冲击，不易因冷热冲击变形，且长期使用也不易损坏，使用寿命更长。
118.在本实施例中，根据本发明第四方面实施例的烘干方法，使用本发明第二方面实
施例的烘干炉，其具体步骤包括：
119.烘干运输装置300与冷却运输装置500单独设置，二者同步转动运输；
120.硅片通过烘干运输装置300的运输经过烘干段200进行烘干；
121.烘干后，硅片自烘干运输装置300转移至冷却运输装置500上，通过冷却运输装置500的运输经过冷却段400进行冷却。
122.值得理解的是，烘干运输装置300与冷却运输装置500同步转动运输，实现硅片的同步输送，使得硅片在经过烘干段200与冷却段400时，与其原有的输送节拍一致，输送节拍并不受单独设置的烘干运输装置300与冷却运输装置500的影响，硅片能够有序进行输送，单独设置的烘干运输装置300与冷却运输装置500能够提高热能利用效率，并且更不易损坏，设备维修成本更低。
123.上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下做出各种变化。

技术特征：
1.一种烘干炉运输装置，其特征在于，包括：第一运输面和第二运输面，所述第一运输面与所述第二运输面呈角度设置，所述第一运输面与所述第二运输面的夹角为
ɑ
，所述第一运输面与硅片的一侧相接，所述第二运输面与硅片的另一相对侧相接。2.根据权利要求1所述的烘干炉运输装置，其特征在于：若0
°
＜
ɑ
＜180
°
时，所述第一运输面与所述第二运输面之间形成“v”形的运输腔，于所述运输腔内，所述第一运输面运输硅片侧边，所述第二运输面运输硅片另一相对侧边。3.根据权利要求1所述的烘干炉运输装置，其特征在于：若
ɑ
＝180
°
时，所述第一运输面与所述第二运输面平齐且间隔设置，所述第一运输面运输硅片一侧的部分底面，所述第二运输面运输硅片另一相对侧的部分底面。4.根据权利要求1所述的烘干炉运输装置，其特征在于：若180
°
＜
ɑ
＜360
°
时，所述第一运输面的顶边与所述第二运输面的顶边平齐且间隔设置，所述第一运输面的顶边与所述第二运输面的顶边一同承接硅片底面。5.根据权利要求1所述的烘干炉运输装置，其特征在于：若
ɑ
＝0
°
时，所述第一运输面与所述第二运输面相对且间隔设置，所述第一运输面与硅片的一侧面相抵接，所述第二运输面与硅片的另一相对侧面相抵接。6.根据权利要求1至5任一项所述的烘干炉运输装置，其特征在于，包括：驱动源、单独设置的第一运输机构和第二运输机构，所述第一运输机构上设有所述第一运输面，所述第二运输机构上设有所述第二运输面，所述第一运输机构和所述第二运输机构均与所述驱动源传动相连，并在所述驱动源的带动下同步运输。7.根据权利要求6所述的烘干炉运输装置，其特征在于：所述驱动源数量为一，所述驱动源通过一轴向调整件与所述第一运输机构传动相连，通过另一轴向调整件与所述第二运输机构传动相连。8.根据权利要求6所述的烘干炉运输装置，其特征在于，还包括：第一角度调节件和第二角度调节件，所述第一角度调节件与所述第一运输机构相连，能够调整所述第一运输机构相对水平面的角度，所述第二角度调节件与所述第二运输机构相连，能够调整所述第二运输机构相对水平面的角度。9.根据权利要求6所述的烘干炉运输装置，其特征在于：所述第一运输机构、所述第二运输机构为筒式输送机、带式输送机或板式输送机其中之一。10.根据权利要求9所述的烘干炉运输装置，其特征在于：所述第一运输机构为筒式输送机，所述第二运输机构为筒式输送机。11.一种烘干炉，其特征在于，包括：烘干段，设有烘干装置；冷却段，设有冷却装置；运输装置，依次途径所述烘干段和所述冷却段，用于运输硅片依次经过所述烘干段和所述冷却段，所述运输装置为权利要求1至10任一项所述的烘干炉运输装置。12.一种烘干炉，其特征在于，包括：烘干段，设有烘干装置；烘干运输装置，途径所述烘干段设置，能够运输硅片，以供所述烘干装置烘干；冷却段，设有冷却装置；
冷却运输装置，途径所述冷却段设置，能够承接所述烘干运输装置运输的硅片并继续运输，以供所述冷却装置冷却所述冷却运输装置为权利要求1至10任一项所述的烘干炉运输装置。13.根据权利要求12所述的烘干炉，其特征在于：所述烘干运输装置为权利要求1至10任一项所述的烘干炉运输装置。14.根据权利要求12所述的烘干炉，其特征在于：所述冷却装置包括下冷却组件，所述下冷却组件沿所述冷却运输装置的运输方向设置，位于所述冷却运输装置的中部。15.根据权利要求12所述的烘干炉，其特征在于：所述冷却运输装置为耐冷热冲击运输装置。16.一种烘干方法，其特征在于，使用权利要求12至15任一项所述的烘干炉，其具体步骤包括：所述烘干运输装置与所述冷却运输装置单独设置，二者同步转动运输；硅片通过所述烘干运输装置的运输经过烘干段进行烘干；烘干后，硅片自所述烘干运输装置转移至所述冷却运输装置上，通过所述冷却运输装置的运输经过冷却段进行冷却。

技术总结
本发明公开了一种烘干炉运输装置及其应用，其中烘干炉运输装置包括：第一运输面和第二运输面，所述第一运输面与所述第二运输面呈角度设置，所述第一运输面与所述第二运输面的夹角为


技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：广东利元亨智能装备股份有限公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/7/12