炉管热电偶清洗装置及清洗方法与流程

1.本技术涉及半导体炉管热电偶处理技术领域，具体涉及一种炉管热电偶清洗装置及清洗方法。


背景技术：

2.半导体加工过程中需采用热电偶进行温度传感工作。为保证热电偶测温的准确，需保持热电偶的清洁，故需对热电偶及时进行清洗。
3.目前半导体炉管热电偶清洗主要以在立式石英清洗机的parts bath(零件清洗槽)中浸泡清洗为主。然而浸泡清洗效果差，且供排酸时间长、效率低。一些情况下如不具有parts bath则无法清洗热电偶，或者由于热电偶尺寸不同导致现有parts bath无法实现热电偶的浸泡清洗。
4.因此，需要一种新的半导体炉管热电偶清洗的方案。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本说明书实施例提供一种炉管热电偶清洗装置及清洗方法，应用于半导体炉管热电偶清洗的过程。
6.本说明书实施例提供以下技术方案：
7.本说明书实施例提供一种炉管热电偶清洗装置，所述炉管热电偶清洗装置包括：
8.在垂直清洗腔竖直内壁上设置热电偶固定支架；热电偶的一端固定于所述热电偶固定支架；
9.热电偶的另一端设置于垂直清洗腔底部对应清洗液喷口处；
10.其中清洗液喷口处垂直喷出清洗液来对热电偶完成向上和向下的清洗。
11.一些选例中，所述热电偶固定支架通过固定架连接座可拆卸设置于垂直清洗腔竖直内壁。
12.一些选例中，热电偶一端对应的延长线挂设于垂直清洗腔中的顶部喷淋头上。
13.一些选例中，所述热电偶固定支架包括扳手形状。
14.一些选例中，所述清洗液喷口处设置垂直喷射的喷头。
15.一些选例中，所述清洗液喷口处设置不同直径的喷头，不同直径的喷头适配不同直径的热电偶。
16.一些选例中，在所述清洗液喷口处设置调压阀，所述调压阀适配不同长度的热电偶来控制清洗液垂直喷出的高度。
17.本说明书实施例还提供一种炉管热电偶清洗方法，采用如前述任一项技术方案中所述的炉管热电偶清洗装置，所述炉管热电偶清洗方法包括：
18.将热电偶竖直设置于垂直清洗腔内部；其中热电偶一端固定于垂直清洗腔内壁设置的热电偶固定支架；热电偶的另一端设置于垂直清洗腔底部对应的清洗液喷口处；
19.通过清洗液喷口处垂直喷出清洗液在垂直清洗腔内对热电偶完成向上和向下的
清洗。
20.一些选例中，所述炉管热电偶清洗方法还包括：
21.根据垂直清洗腔内热电偶的不同长度，清洗液喷口处垂直喷出不同高度的清洗液来对热电偶进行清洗。
22.与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
23.通过将热电偶竖直放置于垂直清洗腔内，通过垂直清洗腔内自下而上喷出的清洗液对热电偶进行垂直喷洗，采用喷泉式清洗方式实现热电偶的高效清洗。无需将热电偶浸泡清洗，解决了热电偶无法浸泡清洗或浸泡清洗效率较低的问题。
附图说明
24.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
25.图1是本技术中的一种炉管热电偶清洗装置的示意图；
26.图2是本技术中的一种炉管热电偶清洗装置中热电偶一端的结构示意图；
27.图3是本技术中的一种炉管热电偶清洗装置中热电偶另一端的结构示意图；
28.图4是现有技术中采用浸泡方式清洗热电偶的设备示意图；
29.图5是本技术中一种炉管热电偶清洗方法的流程图。
30.图1-图3中，1、热电偶，2、热电偶固定支架，3、延长线，4、垂直喷泉式清洗，5、喷头，6、固定架连接座，7、清洗液喷口处，8、垂直清洗腔，9、调压阀。
具体实施方式
31.下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
32.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
33.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
34.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构
想，图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
35.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
36.现有技术半导体炉管热电偶清洗主要采用立式清洗机的零件清洗槽浸泡清洗。如图4示例的parts bath(零件清洗槽)，图4a为侧视图、图4b为俯视图和图4c为立体图。热电偶虽然可在零件清洗槽中清洗，但采用浸泡清洗的效果差，且供排酸时间长效率低。一些情况受工艺设备限制如不具有parts bath则无法清洗热电偶，或者由于热电偶尺寸不同导致现有parts bath无法实现热电偶的浸泡清洗。
37.有鉴于此，发明人发现石英管在垂直清洗腔清洗排液方便，清洗效率高。
38.基于此，本说明书实施例提出了一种半导体炉管热电偶清洗方案：将热电偶竖直放置于现有垂直清洗腔内进行清洗，利用现有垂直清洗腔内固有设置，稍微改进将热电偶稳固于该垂直清洗腔内，并利用现有垂直清洗腔设置的排液方式，解决了浸泡式清洗热电偶酸液排出效率低，造成清洗工艺效率低，或者无法对热电偶浸泡式清洗的技术问题。
39.以下结合附图，说明本技术各实施例提供的技术方案。
40.如图1所示，本发明实施例的一种炉管热电偶清洗装置，基于垂直清洗腔8竖直内壁上设置热电偶固定支架2，热电偶1的一端(如上端)固定于热电偶固定支架2，热电偶1的另一端(如下端，热电偶本体的头部等)设置于垂直清洗腔底部对应清洗液喷口处7。本发明实施例基于现有垂直清洗腔，利用该垂直清洗腔内部结构为热电偶增设固定结构等，不仅利用垂直清洗腔中原有的排液结构很好的实现清洗液的排出，还解决了热电偶无法清洗等问题。
41.具体地在垂直清洗腔中从底部清洗液喷口处垂直喷出清洗液以使清洗液垂直冲刷竖立于底部的热电偶，如图1中箭头4所示的清洗液先垂直向上冲刷，然后在重力作用下再向下回落冲刷热电偶外壁，从而清洗液对热电偶完成向上和向下的完整清洗。最终清洗完的清洗液借助垂直清洗腔底部的排液结构及时排出。
42.现有垂直清洗腔呈中空的圆柱状(根据实际需要可设置不同形状实现清洗功能即可)，垂直清洗腔内设置石英管可拆卸固定架，石英管放置底部对应的清洗液喷口处，为清洗石英管内壁，喷口处清洗液呈预设角度朝向石英管内壁清洗，最终清洗液通过垂直清洗腔底部的排液结构将清洗液及时排出。其中垂直清洗腔的顶部及竖直侧壁内均设置有清洗液喷射处，从不同角度对石英管进行清洗液的喷淋，实现石英管外壁的清洗。
43.本说明书实施例的炉管热电偶清洗装置保留清洗石英管的清洗功能，通过极小改进可实现热电偶的竖立清洗，相比于现有技术中浸泡式清洗热电偶，清洗效果好，实现清洗酸液的及时排出，更便于热电偶的清洗，即在工艺生产过程中提升热电偶清洗这一流程的便捷性和高效性，从而整体上提升半导体制造加工整体流程的效率。
44.在一些实施例中，热电偶固定支架通过固定架连接座可拆卸设置于垂直清洗腔竖直内壁。
45.结合图1和图2，热电偶1一端固定于热电偶固定支架2上。通过固定架连接座6将热电偶固定支架2以及热电偶1可拆卸设置于垂直清洗腔8内壁上。如图2a的侧视图和图2b的
俯视图所示，垂直清洗腔8内壁设置适配于热电偶固定支架2的固定架连接座6，使得热电偶固定支架2以及热电偶1本体可拆卸设置。
46.本说明书实施例的热电偶固定支架与固定架连接座结构简单，即可实现微小改动将热电偶的上端设置于垂直清洗腔内。进而热电偶沿垂直清洗腔的竖直方向设置热电偶，从而解决了现有技术中热电偶采用水平面内放置浸泡的方式实现清洗。
47.在一些实施例中，热电偶一端对应的延长线挂设于垂直清洗腔中的顶部喷淋头上。
48.结合上述实施例，如图1所示，竖直设立于垂直清洗腔内部的热电偶一端对应有延长线，如热电偶的上端对应的延长线3，为防止该延长线被清洗液冲刷等造成腐蚀，本说明书实施例将该延长线挂设于垂直清洗腔中的顶部喷淋头上。
49.在一些实施例中，热电偶固定支架包括扳手形状。
50.如图2b的俯视图所示，热电偶固定支架2整体呈扳手形状。热电偶固定支架2连接热电偶1的一端呈开口u形，热电偶固定支架2的另一端直接配合固定连接座6可拆卸连接。
51.本说明书实施例的热电偶固定支架结构简单，即热电偶采用简单的固定支架安装即可设置于垂直清洗腔。另外热电偶固定支架的开口u形还可适配不同直径大小的热电偶，从而使得热电偶一端固定于此。
52.在一些实施例中，清洗液喷口处设置垂直喷射的喷头。其中清洗液喷口处可根据清洗需要喷射酸性清洗液或者纯水diw(即指经过初步离子交换/反渗透后离子含水量比较低的水)。
53.结合上述实施例，垂直清洗腔底部设有清洗液喷口处，在清洗液喷口处设置垂直喷射的喷头。如图1所示，通过垂直喷射的喷头向热电偶喷射清洗液，使得清洗液在喷射过程中向上清洗热电偶外壁，进而在喷射于一定高度位置后，随自身重力从上而下回落于垂直清洗腔的底部。从而完成清洗液对热电偶向上和向下的清洗。相比于现有技术浸泡式清洗热电偶极大提升热电偶的清洗力度，而且利用垂直清洗腔底部的排液结构等及时将清洗液排出，提升了热电偶清洗的便捷性和高效性。
54.在一些实施例中，清洗液喷口处设置不同直径的喷头，不同直径的喷头适配不同直径的热电偶。
55.结合上述实施例，垂直清洗腔底部设有清洗液喷口处，保留原垂直清洗腔底部设置的清洗结构及排液结构，保留对石英管的清洗功能的同时，为适配热电偶垂直喷射清洗液，可将清洗液喷口处原有喷头更换为匹配热电偶直径的喷头。如图3a的侧视图和图3b的俯视图所示，可将喷液喷头直接更换，并且可针对不同直径的热电偶设置与其适配的直径喷头等。从而实现清洗液喷口处垂直喷出清洗液使得热电偶在垂直清洗腔内采用喷泉式清洗方式实现高效、快速清洗。其中喷头采用螺栓、螺母等紧固于垂直清洗腔底部。
56.在一些实施例中，清洗液喷口处设置调压阀，所述调压阀适配不同长度的热电偶来控制清洗液垂直喷出的高度。
57.结合上述实施例，如图1所示，在垂直清洗腔底部清洗液喷口处设置调压阀9，通过该调压阀9可调节清洗液喷射的压强，进而实现清洗液向上清洗时的高度。为保证不同长度的热电偶清洗干净，通过调压阀调节清洗液向上清洗的高度，进而在清洗液回落时向下清洗的过程中均能保证热电偶被清洗液冲刷，使得热电偶全部长度均能实现可靠的清洗。
58.结合上述实施例，如图5所示的炉管热电偶清洗方法流程图，该炉管热电偶清洗方法包括步骤s510～步骤s520。其中步骤s510、将热电偶竖直设置于垂直清洗腔内部；其中热电偶一端固定于垂直清洗腔内壁设置的热电偶固定支架；热电偶的另一端设置于垂直清洗腔底部对应的清洗液喷口处。步骤s520、通过清洗液喷口处垂直喷出清洗液在垂直清洗腔内对热电偶完成向上和向下的清洗。
59.如图1所示，热电偶1依照垂直清洗腔8竖直设置于垂直清洗腔8内部。其中热电偶一端(如上端)固定于垂直清洗腔8内壁设置的热电偶固定支架2，热电偶1的另一端(为热电偶本体的头部，方向上是下端)设置于垂直清洗腔8底部对应的清洗液喷口处7。利用现有垂直清洗腔内固有设置，垂直清洗腔8从底部清洗液喷口处垂直喷出清洗液以使清洗液垂直冲刷竖立于底部的热电偶，如图1中箭头4所示的清洗液先垂直向上冲刷，然后在重力作用下再向下回落冲刷热电偶外壁，从而清洗液对热电偶完成向上和向下的清洗。最终清洗完的清洗液借助垂直清洗腔底部的排液结构及时排出。本说明书实施例对热电偶采用喷泉式的清洗方式，不仅提升热电偶清洗的有效性，还可借助垂直清洗腔的排液结构等及时将清洗液排出。
60.在一些实施例中，所述炉管热电偶清洗方法还包括：根据垂直清洗腔内热电偶的不同长度，清洗液喷口处垂直喷出不同高度的清洗液来对热电偶进行清洗。
61.结合上述实施例，为保证不同长度的热电偶清洗干净，根据热电偶的实际长度设置清洗液喷口处垂直喷出清洗液的压强，从而实现清洗液向上清洗的喷出高度。进而在清洗液回落时向下清洗的过程中均能保证热电偶被清洗液冲刷，使得热电偶全部长度均能实现有效清洗。即本说明书实施例可控制喷泉式清洗热电偶方式中清洗液的喷出高度，从而适配不同长度的热电偶，保证不同的热电偶均能实现全部长度的清洗。
62.要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
63.本说明书中的各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的产品实施例而言，由于其与方法是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。
64.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种炉管热电偶清洗装置，其特征在于，所述炉管热电偶清洗装置包括：在垂直清洗腔竖直内壁上设置热电偶固定支架；热电偶的一端固定于所述热电偶固定支架；热电偶的另一端设置于垂直清洗腔底部对应清洗液喷口处；其中清洗液喷口处垂直喷出清洗液来对热电偶完成向上和向下的清洗。2.根据权利要求1所述的炉管热电偶清洗装置，其特征在于，所述热电偶固定支架通过固定架连接座可拆卸设置于垂直清洗腔竖直内壁。3.根据权利要求1所述的炉管热电偶清洗装置，其特征在于，热电偶一端对应的延长线挂设于垂直清洗腔中的顶部喷淋头上。4.根据权利要求1所述的炉管热电偶清洗装置，其特征在于，所述热电偶固定支架包括扳手形状。5.根据权利要求1所述的炉管热电偶清洗装置，其特征在于，所述清洗液喷口处设置垂直喷射的喷头。6.根据权利要求5所述的炉管热电偶清洗装置，其特征在于，所述清洗液喷口处设置不同直径的喷头，不同直径的喷头适配不同直径的热电偶。7.根据权利要求1所述的炉管热电偶清洗装置，其特征在于，在所述清洗液喷口处设置调压阀，所述调压阀适配不同长度的热电偶来控制清洗液垂直喷出的高度。8.一种炉管热电偶清洗方法，其特征在于，采用如权利要求1-7中任一项所述的炉管热电偶清洗装置，所述炉管热电偶清洗方法包括：将热电偶竖直设置于垂直清洗腔内部；其中热电偶一端固定于垂直清洗腔内壁设置的热电偶固定支架；热电偶的另一端设置于垂直清洗腔底部对应的清洗液喷口处；通过清洗液喷口处垂直喷出清洗液在垂直清洗腔内对热电偶完成向上和向下的清洗。9.根据权利要求8所述的炉管热电偶清洗方法，其特征在于，所述炉管热电偶清洗方法还包括：根据垂直清洗腔内热电偶的不同长度，清洗液喷口处垂直喷出不同高度的清洗液来对热电偶进行清洗。

技术总结
本申请提供一种炉管热电偶清洗装置及清洗方法，其中，所述炉管热电偶清洗装置包括：在垂直清洗腔竖直内壁上设置热电偶固定支架；热电偶的一端固定于所述热电偶固定支架；热电偶的另一端设置于垂直清洗腔底部对应清洗液喷口处；其中清洗液喷口处垂直喷出清洗液来清洗热电偶。本说明书实施例将热电偶放置于现有垂直清洗腔内进行清洗，利用现有垂直清洗腔内固有设置，稍微改进将热电偶稳固于该垂直清洗腔内进行清洗，并利用现有垂直清洗腔设置的排液方式，解决了浸泡式清洗热电偶酸液排出效率低，造成清洗流程效率较低，或者由于工艺条件限制造成无法通过浸泡进行热电偶清洗的技术问题。问题。问题。


技术研发人员：喻泽锋 李天涯 杨卫钢 李立 苏畅
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：2023.03.03
技术公布日：2023/7/12