一种自由光瞳产生装置及其产生自由光瞳照明的方法与流程

1.本发明涉及光学光刻领域，特别涉及一种自由光瞳产生装置及其产生自由光瞳照明的方法。


背景技术：

2.随着现代社会信息化程度的不断推进，半导体行业成为现代社会的基石。随着芯片集成度的提高，半导体行业对光刻机的性能要求也越来越高。光刻机分辨率可通过减小曝光波长或增加投影物镜像方数值孔径(na)得到提高，但为在提高分辨率的同时增加焦深，诸如离轴照明等光刻分辨率增强技术被广泛应用。离轴照明技术一般通过衍射光学元件来实现，常用的照明模式有环形照明、四极照明和二极照明等。单个衍射光学元件仅能实现一种类型的照明模式，为实现多种类型的照明模式，需要配备多片衍射光学元件，照明模式切换较慢，限制了照明模式变换的灵活性。以此在集成电路的特征尺寸达到28nm以及以下节点时，对照明模式的种类需求越来越大。针对上述问题，光源掩模联合优化技术以及自由光瞳照明模块被逐渐应用到光刻机中。
3.在先技术“optical raster element,optical integrator and illumination system of amicrolithographic projection exposure apparatus”(申请公布号：us 8724080)，公开了一种光刻投影曝光装置。该发明通过使用第一聚光镜、微反射镜阵列、微透镜阵列和第二聚光镜产生所需光瞳分布。在此专利中，微反射镜阵列位于微透镜阵列的后焦面；微透镜阵列位于第一聚光镜组的后焦面，保证均匀照明；且第一聚光镜的焦距非常长；因此，整体系统长度特别长。


技术实现要素：

4.本发明旨在克服在先技术的不足，提出了一种自由光瞳产生装置及其产生自由光瞳照明的方法，对自由光瞳产生装置进行简化，缩短自由照明系统总长，使照明系统排布简单，并保证自由光瞳产生装置可实现快速产生任意照明模式的功能，以及其光学性能不变。
5.本发明的技术解决方案如下：
6.本发明提供一种自由光瞳产生装置，包括：能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；
7.沿光路传播方向依次设置能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；
8.所述光瞳面与所述傅里叶变换透镜组像方主面之间的距离为第一预设距离，所述第一预设距离小于所述傅里叶变换透镜组的后焦面相对于所述傅里叶变换透镜组像方主面距离；
9.基于所述第一预设距离，调整所述微反射镜阵列单元实现任意的照明模式，具体是调整所述微反射镜阵列单元上的子反射镜的二维偏转角，进而改变反射光束与光轴之间的夹角以调整所述光瞳面上光斑的位置，调整关系是：
[0010][0011][0012]
其中，h
p_x
、h
p_y
分别为经所述微反射镜阵列中子反射镜反射的光斑打在所述光瞳面上的位置h
p
在x方向和y方向的分量，h
m_x
、h
m_y
为子反射镜的中心位置hm在x方向和y方向的分量，f
fl
为傅里叶变换透镜组的焦距，l
p
为第一预设距离，θ
mt_x
、θ
mt_y
分别为入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
在x方向和y方向的分量。
[0013]
进一步优选地，所述能量均衡组件包括匀化组件和聚光镜组，所述匀化组件和聚光镜组之间的距离为第二预设距离，基于所述第一预设距离计算得到所述第二预设距离以实现所述微反射镜阵列单元位于角度零位时光束会聚在所述光瞳面中心，所述第二预设距离由所述第一预设距离决定；通过设计第一预设距离和第二预设距离，当所述微反射镜阵列单元位于角度零位时，光束会聚在所述光瞳面中心，这样可以减小微反射镜阵列单元中微反射镜的转角范围，降低其制造难度；
[0014]
进一步优选地，所述能量均衡组件包括均化组件和聚光镜组，对所述聚光镜组后焦面不同位置出射光束相对光轴的角度进行设计，使所述微反射镜阵列单元位于角度零位时光束会聚在所述光瞳面中心。
[0015]
进一步优选地，基于所述第一预设距离计算所述第二预设距离，以实现所述微反射镜阵列单元位于零位时，入射到所述傅里叶变换透镜组的光束会聚在所述光瞳面中心，具体包括：
[0016]
当所述微反射镜阵列单元子反射镜的二维偏转角位于零位时，可在所述光瞳面上获得会聚在中心处的所需光斑，基于所述第一预设距离计算入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
，计算公式为：
[0017][0018]
其中，θ
mt
为入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角，hm为子反射镜的中心位置，f
fl
为傅里叶变换透镜组的焦距，l
p
为第一预设距离；
[0019]
由所述第二预设距离lr可计算得到所述聚光镜组后焦面出射光束和光轴的夹角θb为：
[0020][0021]
其中，hb为所述光束分割组件中微透镜的中心位置，f
ec
为所述聚光镜组的焦距。
[0022]
由入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
等于所述聚光镜组后焦面出射光束和光轴的夹角θ
l
可知，通过所述第一预设距离可计算得到所述第二预设距离。
[0023]
本发明还提供一种自由光瞳产生装置产生自由光瞳照明的方法，包括步骤：
[0024]
根据掩模板图形的需求得到相应的照明模式；
[0025]
根据照明模式，计算得到所述微反射镜阵列单元上子反射镜在光瞳面形成光斑的
位置分布；
[0026]
根据第一预设距离和光瞳面光斑位置分布，计算可得所述微反射镜阵列单元上子反射镜的二维偏转角分布；
[0027]
调整所述微反射镜阵列单元，在所述光瞳面上得到所需的照明模式。
[0028]
进一步优选地，所述调整微反射镜阵列单元具体是调整所述微反射镜阵列单元上的子反射镜的二维偏转角，从而满足：
[0029][0030][0031]
其中，h
p_x
、h
p_y
分别为经所述微反射镜阵列中子反射镜反射的光斑打在所述光瞳面上的位置h
p
在x方向和y方向的坐标，h
m_x
、h
m_y
为子反射镜的中心位置hm在x方向和y方向的坐标，f
fl
为所述傅里叶变换透镜组的焦距，l
p
为第一预设距离，θ
mt_x
、θ
mt_y
分别为入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
在x方向和y方向的分量。
[0032]
基于本发明提供的自由光瞳产生装置及其产生自由光瞳照明的方法，与在先技术相比，本发明具有如下技术效果：
[0033]
1)本发明可缩短自由光瞳产生模块的系统总长，使照明系统排布简单。
[0034]
2)本发明可通过调节所述能量均衡组件中匀化组件与聚光镜组的距离关系，实现所述能量均衡组件出射光路的远心度调整。
[0035]
3)本发明通过调整所述光瞳面与所述傅里叶变换透镜组的距离关系，实现当所述光瞳面不位于所述傅里叶变换透镜组后焦面情况时，实现产生自由光瞳的作用，缩短了自由光瞳照明系统总长。
[0036]
4)本发明中各元件之间距离关系存在多个预设关系，可实现所述微反射阵列位于零位时，光束会聚在所述光瞳面中心的效果。
[0037]
5)当所述微反射镜阵列单元位于角度零位时，被所述微反射镜单元反射的光束能够会聚在所述光瞳面的中心，这样可以减小微反射镜阵列单元中微反射镜的转角范围，降低其制造难度。
附图说明
[0038]
图1为本发明光刻机自由光瞳产生装置示意图；
[0039]
图2为现有技术中光路系统位置结构示意图；
[0040]
图3为本发明中自由光瞳产生装置光路系统位置示意图；
[0041]
图4为本发明中通过调整所述微反射镜阵列单元组件中子反射镜的二维偏转角以实现在所述光瞳面上得到所需光瞳分布的示意图；
[0042]
图5为本发明中通过调整所述微反射镜阵列单元组件中子反射镜的二维偏转角实现光斑会聚在所述光瞳面中心的示意图；
[0043]
图6为本发明中所述微反射镜阵列单元组件中子反射镜的二维偏转角位于零位
时，基于所述第一预设距离计算并调整所述第二预设距离以实现光斑会聚在所述光瞳面中心的示意图；
[0044]
图7为本发明中所述第二预设距离不为零时，所述能量均衡组件和所述光束分割组件中光束传播情况的示意图。
具体实施方式
[0045]
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
[0046]
实施例1：
[0047]
本实施例提供一种自由光瞳产生装置，结构图如图1所示：本发明的光刻机自由光瞳产生装置1，该装置包括能量均衡组件11、光束分割组件12、失效微反射镜屏蔽组件13、微反射镜阵列单元14、傅里叶变换透镜组15和光瞳面16。
[0048]
上述元部件的位置关系如下：沿光路传播方向依次放置的为能量均衡组件11、光束分割组件12、失效微反射镜屏蔽组件13、微反射镜阵列单元14、傅里叶变换透镜组15和光瞳面16。其中，所述光束分割组件12位于所述能量均衡组件11的后焦面或附近；所述微反射镜阵列单元14位于所述光束分割组件12后焦面或附近，所述微反射镜阵列单元14与所述光束分割组件12的位置关系满足所述光束分割组件12会聚在所述微反射镜阵列单元14上的光斑大小不超过所述微反射镜阵列单元14子反射镜的光学有效区域；所述微反射镜阵列单元14位于所述傅里叶变换透镜组15的前焦面或附近。
[0049]
入射光束经所述能量均衡组件11后形成特定分布的照明光场，随后经所述光束分割组件12后被分割为与所述微反射镜阵列单元14中微反射镜数量匹配的光斑照射在所述微反射镜阵列单元14上，经所述微反射镜阵列单元14反射后的光束再次通过所述傅里叶变换透镜组15，在所述光瞳面16上可得到所需的光瞳分布。
[0050]
所述能量均衡组件11由匀化组件111和聚光镜组112组成。所述匀化组件111可为衍射光学元件、衍射型微透镜阵列(单排微透镜阵列)，也可为成像型微透镜阵列(双排微透镜阵列)，优选成像型微透镜阵列。
[0051]
所述光束分割组件12可由衍射光学元件或微透镜阵列构成，优选微透镜阵列。所述光束分割组件12位于所述能量均衡组件11的后焦面或附近，可将所述能量均衡组件11形成的照明光场进行分割并聚焦。所述光束分割组件12汇聚光斑阵列的规模不小于所述微反射镜阵列单元14中实际使用子反射镜的规模。
[0052]
所述失效微反射镜屏蔽组件13用于遮挡所述微反射镜阵列单元14中无法正常工作或不需要工作的子反射镜。
[0053]
所述微反射镜阵列单元14中子反射镜的角度二维可调。
[0054]
图2为现有技术方案中常采用的自由光瞳产生装置光路排布结构。为方便叙述，将光路作为直通光路处理。所述光瞳面16位于傅里叶变换透镜组15的后焦面，导致系统总长较长，在有限距离内排布困难。为解决该问题，本技术创造性地提出另外一种可根据具体需求进行预设的光路排布结构，缩短光瞳面16与傅里叶变换透镜组15的常规排布距离，打破常规的光瞳面16位于傅里叶变换透镜组15后焦面的常规排布方式，以实现系统整体结构缩小。
[0055]
图3为本发明中采用的自由光瞳产生装置光路的第一种排布结构。所述光瞳面16与所述傅里叶变换透镜组15的距离l
p
为第一预设距离，所述第一预设距离小于所述傅里叶变换透镜组15后焦面相对于所述傅里叶变换透镜组15像方主面距离，可缩短系统总长。在此实施例中，所述能量均衡组件11中所述匀化组件111位于所述聚光镜组112的前焦面，并且所述聚光镜组112是远心光学系统。
[0056]
参阅图4，经过所述微反射阵列单元14的光束经过所述傅里叶变换透镜组15后落在所述光瞳面16上的位置h
p
与第一预设距离l
p
以及所述微反射镜阵列单元14上子反射镜的反射光束和光轴夹角θ
mt
的关系可由公式(1)和(2)描述。
[0057][0058][0059]
其中，h
p_x
、h
p_y
分别为经所述微反射镜阵列中子反射镜反射的光斑打在所述光瞳面上的位置h
p
在x方向和y方向的分量，h
m_x
、h
m_y
为子反射镜的中心位置hm在x方向和y方向的分量，f
fl
为傅里叶变换透镜组的焦距，l
p
为第一预设距离，θ
mt_x
、θ
mt_y
分别为入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
在x方向和y方向的分量。
[0060]
参阅图5，当经过所述傅里叶变换透镜组15的光束会聚在所述光瞳面16中心时，入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角为θ
mt
，θ
mt
的计算公式如公式(3)所示。
[0061][0062]
此时，入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
由所述微反射镜阵列单元14上子反射镜二维偏转角θ的改变实现。入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束和所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
与所述微反射镜阵列单元14上子反射镜二维偏转角θ的计算关系如公式(4)所示。
[0063][0064]
本实施例中，通过调整所述微反射镜阵列单元14上子反射镜的二维偏转角θ可改变子反射镜的反射光的反射角θ
mt
，改变光斑在所述光瞳面16上的位置，进而产生自由光瞳照明模式，也可以实现光斑会聚在所述光瞳面16中心位置的作用。因此本发明可实现任意的照明模式，实现自由光瞳产生的作用，并缩短了系统长度。
[0065]
实施例2：
[0066]
基于实施例1，本实施例提供另外一种自由光瞳产生装置，本实施例提供的自由光瞳产生装置的结构组成与实施例1提供的自由光瞳产生装置结构组成相同，不同点在于，本实施例提供的自由光瞳产生装置，能量均衡组件11中匀化组件111与聚光镜组112的距离lr为第二预设距离。
[0067]
请继续参考图1，本发明的光刻机自由光瞳产生装置1能量均衡组件11、光束分割组件12、失效微反射镜屏蔽组件13、微反射镜阵列单元14、傅里叶变换透镜组15和光瞳面16。
[0068]
上述元部件的位置关系如下：沿光路传播方向依次放置的为能量均衡组件11、光束分割组件12、失效微反射镜屏蔽组件13、微反射镜阵列单元14、傅里叶变换透镜组15和光瞳面16。其中，所述光束分割组件12位于所述能量均衡组件聚光镜组11的后焦面或附近；所述微反射镜阵列单元14位于所述光束分割组件12后焦面或附近，所述微反射镜阵列单元14与所述光束分割组件12的位置关系满足所述光束分割组件12会聚在所述微反射镜阵列单元14上的光斑大小不超过所述微反射镜阵列单元14子反射镜的光学有效区域；所述微反射镜阵列单元14位于所述傅里叶变换透镜组15的前焦面或附近。
[0069]
入射光束经所述能量均衡组件11后形成特定分布的照明光场，随后经所述光束分割组件12后被分割为与所述微反射镜阵列单元14中微反射镜数量匹配的光斑照射在所述微反射镜阵列单元14上，经所述微反射镜阵列单元14反射后的光束再次经过所述傅里叶变换透镜组15，在所述光瞳面16上可得到所需的光瞳分布。
[0070]
所述能量均衡组件11由匀化组件111和聚光镜组112组成。所述匀化组件111可为衍射光学元件、衍射型微透镜阵列(单排微透镜阵列)，也可为成像型微透镜阵列(双排微透镜阵列)，优选成像型微透镜阵列。所述匀化组件111与所述聚光镜组112的距离lr为第二预设距离。
[0071]
所述光束分割组件12可由衍射光学元件或微透镜阵列构成，优选微透镜阵列。所述光束分割组件12位于所述能量均衡组件11的后焦面或附近，可将所述能量均衡组件11形成的照明光场进行分割并聚焦。所述光束分割组件12汇聚光斑阵列的规模不小于所述微反射镜阵列单元14中实际使用子反射镜的规模。
[0072]
所述失效微反射镜屏蔽组件13用于遮挡所述微反射镜阵列单元14中无法正常工作或不需要工作的子反射镜。
[0073]
所述微反射镜阵列单元14中子反射镜的角度二维可调。
[0074]
图6为本发明中采用的自由光瞳产生装置光路的第二种排布结构，将光路作为直通光路处理。所述光瞳面16与所述傅里叶变换透镜组15的距离l
p
为第一预设距离，所述第一预设距离小于所述傅里叶变换透镜组15后焦面相对于所述傅里叶变换透镜组15像方主面距离；所述匀化组件111与所述聚光镜组112的距离lr为第二预设距离。改变所述第二预设距离可改变所述能量均衡组件11中所述聚光镜组112后焦面出射光束和光轴的夹角θb。
[0075]
经过所述微反射镜阵列单元14的光束经过所述傅里叶变换透镜组15后，落在所述光瞳面16上的位置h
p
与第一预设距离l
p
及所述微反射镜阵列单元14上子反射镜的反射光束和所述傅里叶变换透镜组15光轴夹角θ
mt
的关系可由公式(1)和(2)描述。
[0076]
参阅图5，当经过所述傅里叶变换透镜组15的光束会聚在所述光瞳面16中心时，所述傅里叶变换单元15上光束入射角为θ
mt
，入射角θ
mt
的计算公式如公式(3)所示。
[0077]
参阅图6，此时，所述微反射镜阵列单元14中的子反射镜均处于零位状态，即θ＝0，入射到所述傅里叶变换透镜组15上的光束与所述傅里叶变换透镜组15光轴的夹角θ
mt
由所述第二预设距离lr实现。参阅图7，所述能量均衡组件11中匀化组件111与聚光镜组112的距离lr为第二预设距离，所述聚光镜组112后焦面出射光束和光轴的夹角θb与lr的关系如公式(5)所示。
[0078]
[0079]
当所述微反射镜阵列单元14中的子反射镜均处于零位状态时，θb＝θ
mt
，即通过改变所述第二预设距离lr，可实现所述微反射镜阵列单元14中的子反射镜均处于零位状态时光斑会聚在所述光瞳面16中心位置的作用。
[0080]
在调整所述第二预设距离lr的基础上，根据公式(1)和(2)通过调整所述微反射镜阵列单元14中的子反射镜的二维偏转角θ，可实现光斑落在所述光瞳面16任意位置的作用，可在所述光瞳面16上产生所需光瞳分布。
[0081]
实施例2中，通过改变所述能量均衡组件11中匀化组件111与聚光镜组112的第二预设距离lr，可实现所述微反射镜阵列单元14中子反射镜均处于角度零位状态时光斑会聚在所述光瞳面16中心位置的作用。在调整所述第二预设距离lr的基础上，根据公式(1)和公式(2)调整所述微反射镜阵列单元14中子反射镜反射光的反射角，可实现光斑落在所述光瞳面16任意位置的作用，可在所述光瞳面16上产生自由光瞳分布。
[0082]
在其他实施例中，可以不设计第二预设距离，而是对聚光镜组进行特定的光学设计，在进行聚光镜组光学设计时，对后焦面不同位置出射光束相对光轴的角度进行约束，使所述微反射镜阵列单元位于角度零位时光束会聚在所述光瞳面中心。
[0083]
实施例3：
[0084]
基于实施例1和实施例2，本实施例提供一种采用上述实施例的自由光瞳产生装置产生自由光瞳照明的方法，具体包括以下步骤。
[0085]
s1：根据掩模板图形的需求选择相应的照明模式。
[0086]
s2：根据照明模式，计算得到所述微反射镜阵列单元上子反射镜在光瞳面光斑的位置分布。
[0087]
s3：根据第一预设距离和光瞳面光斑位置分布，计算可得所述微反射镜阵列单元上子反射镜的二维偏转角分布。
[0088]
s4：调整所述微反射镜阵列单元，在所述光瞳面上得到所需的照明模式。
[0089]
其中，在步骤s4中，调整所述微反射镜阵列单元具体是调整所述微反射镜阵列单元上子反射镜的角位置，使入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
满足公式(1)和公式(2)。

技术特征：
1.一种自由光瞳产生装置，其特征在于，包括：能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；沿光路传播方向依次设置能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；所述光瞳面与所述傅里叶变换透镜组像方主面之间的距离为第一预设距离，所述第一预设距离小于所述傅里叶变换透镜组后焦面相对于所述傅里叶变换透镜组像方主面距离；基于所述第一预设距离，调整所述微反射镜阵列单元实现任意的照明模式。2.根据权利要求1所述的自由光瞳产生装置，其特征在于，所述能量均衡组件包括匀化组件和聚光镜组，所述匀化组件和聚光镜组之间的距离为第二预设距离，基于所述第一预设距离计算得到所述第二预设距离以实现所述微反射镜阵列单元位于角度零位时光束会聚在所述光瞳面中心，以减小所述微反射镜阵列单元中子反射镜的转角范围。3.根据权利要求1所述的自由光瞳产生装置，其特征在于，所述能量均衡组件包括均化组件和聚光镜组，对所述聚光镜组后焦面不同位置出射光束相对光轴的角度进行设计，使所述微反射镜阵列单元位于角度零位时光束会聚在所述光瞳面中心。4.根据权利要求1所述的自由光瞳产生装置，其特征在于，基于所述第一预设距离调整所述微反射镜阵列单元以实现任意的照明模式，具体是调整所述微反射镜阵列单元上子反射镜的二维偏转角，进而改变反射光束与所述傅里叶变换透镜组光轴之间的夹角以调整所述光瞳面上光斑的位置，调整关系是：述光瞳面上光斑的位置，调整关系是：其中，h
p_x
、h
p_y
分别为经所述微反射镜阵列中子反射镜反射的光斑打在所述光瞳面上的位置h
p
在x方向和y方向的分量，h
m_x
、h
m_y
为子反射镜的中心位置h
m
在x方向和y方向的分量，f
fl
为傅里叶变换透镜组的焦距，l
p
为第一预设距离，θ
mt_x
、θ
mt_y
分别为入射到所述傅里叶变换透镜组上光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
在x方向和y方向的分量。5.根据权利要求2所述的自由光瞳产生装置，其特征在于，基于所述第一预设距离计算得到所述第二预设距离，以实现当所述微反射镜阵列单元子反射镜的二维偏转角位于零位时，入射到所述傅里叶变换透镜组的光束会聚在所述光瞳面的中心，具体包括：当所述微反射镜阵列上子反射镜的二维偏转角处于零位时，可在所述光瞳面上获得会聚在中心处所需光斑，基于所述第一预设距离计算入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
，计算公式为：其中，θ
mt
为入射到所述傅里叶变换透镜组上光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角，h
m
为子反射镜的中心位置，f
fl
为傅里叶变换透镜组的焦距，l
p
为第一预设距离；由所述第二预设距离l
r
可计算得到所述聚光镜组后焦面出射光束和光轴的夹角θ
b
：
其中，h
b
为光束分割组件中微透镜的中心位置，f
ec
为聚光镜组的焦距；由入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束和所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
等于所述聚光镜组后焦面出射光束和光轴的夹角θ
b
可知，通过所述第一预设距离可计算得到所述第二预设距离。6.一种采用权利要求1-5任一项所述的自由光瞳产生装置产生自由光瞳照明的方法，其特征在于，包括步骤：根据掩模板图形的需求得到相应的照明模式；根据照明模式，计算得到所述微反射镜阵列单元上子反射镜在光瞳面光斑的位置分布；根据第一预设距离和光瞳面光斑位置分布，计算可得所述微反射镜阵列单元上子反射镜的二维偏转角分布。调整所述微反射镜阵列单元，在所述光瞳面上得到所需的照明模式。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述调整微反射镜阵列单元具体是调整所述微反射镜阵列单元上的子反射镜的二维偏转角，从而满足：述微反射镜阵列单元上的子反射镜的二维偏转角，从而满足：其中，h
p_x
、h
p_y
分别为经所述微反射镜阵列中子反射镜反射的光斑打在所述光瞳面上的位置h
p
在x方向和y方向的分量，h
m_x
、h
m_y
为子反射镜的中心位置h
m
在x方向和y方向的分量，f
fl
为傅里叶变换透镜组的焦距，l
p
为第一预设距离，θ
mt_x
、θ
mt_y
分别为入射到所述傅里叶变换透镜组上的光束与所述傅里叶变换透镜组光轴的夹角θ
mt
在x方向和y方向的分量。

技术总结
一种自由光瞳产生装置及其产生自由光瞳照明的方法，自由光瞳产生装置包括：能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；沿光路传播方向依次设置能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面。该装置极大地缩短自由照明系统总长，同时还可实现快速产生任意照明模式。生任意照明模式。生任意照明模式。


技术研发人员：张方 张泽龙 邱嘉桦 杨增辉 曾爱军 黄惠杰
受保护的技术使用者：上海镭望光学科技有限公司
技术研发日：2023.04.06
技术公布日：2023/7/12