大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统的制作方法

1.本实用新型涉及特气供应技术领域，具体是大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统。


背景技术：

2.大宗特殊气体供应系统一般由特气存储容器、大宗特气供应柜、特气分歧柜、大宗特气监控系统4个主要功能模块组成，并由气体管道顺次连接，当发生泄露异常事件时，大宗特气监控系统会发生对应报警信息及联动关闭措施，避免特气泄漏至环境中。
3.目前大宗特气的供应一般由容积小的钢瓶(47l)进行供应。例如中国专利cn202211222046.9公开的一种大宗特气用钢瓶泄露的检测装置及其方法，用于检测大宗特气用钢瓶的泄露。
4.但伴随着半导体产技术的不断更新换代，各芯片制造工厂和液晶面板厂的产能也逐渐增大，同时各工厂对特气的需求量亦随之增加，若使用容积小的钢瓶，换瓶频率高，供应稳定性较差。
5.故此亟需开发大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统来解决现有技术中的问题。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统，便于外接大容量供应设备，以解决上述背景技术中提出的使用容积小的钢瓶时换瓶频率高及供应稳定性较差的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
8.大宗特气供应吹扫装置，包括管路组件，所述管路组件包括吹扫管路、特气管路、排放管路和对接管路，所述吹扫管路的一端分别与所述对接管路一端、所述特气管路的一端和所述排放管路的一端连通，所述吹扫管路的另一端用于与大宗特气供应柜的吹扫系统。
9.进一步，所述吹扫管路上设置有吹扫气体进入阀门。
10.进一步，所述吹扫管路上还设置有单向阀。
11.进一步，所述对接管路的一端与所述特气管路的一端连通，所述对接管路上设置有电子压力表和/或高压压力表。
12.进一步，所述特气管路上设置有高压气体进入阀门和过滤器。
13.进一步，所述排放管路上设置有排放阀门。
14.进一步，所述吹扫气体进入阀门、所述高压气体进入阀门和所述排放阀门都为气动阀。
15.进一步，还包括特气监控系统，所述特气监控系统通过监控管路分别与所述吹扫管路、所述排放管路和所述特气管路连接。
16.大宗特气供应系统，包括所述的大宗特气供应吹扫装置。
17.进一步，还包括鱼雷车，所述对接管路的另一端与所述鱼雷车连接。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：提供了大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统，便于大宗特气供应柜与大容量供应设备间的连接，降低了供应设备的更换频率，提高了供应稳定性。且所述吹扫管路的另一端与大宗特气供应柜的吹扫系统连接，使得大宗特气供应吹扫系统pn2对本技术整体管道做吹扫置换，使此段管路没有其他杂质，防止对制程工艺的品质产生影响。
19.进一步，还包括特气监控系统，所述特气监控系统通过监控管路分别与所述吹扫管路、所述排放管路和所述特气管路连接，所述特气监控系统可以监控所述吹扫管路、所述排放管路和所述特气管路。
20.本实用新型的其他特点和优点将会在下面的具体实施方式、附图中详细的揭露。
附图说明
21.图1是本实用新型的整体结构示意图。
22.图中标记说明：1、吹扫管路；11、单向阀；12、吹扫气体进入阀门；2、对接管路；21、高压压力表；22、电子压力表；3、特气管路；31、过滤器；32、高压气体进入阀门；4、排放管路；41、排放阀门；5、特气监控系统；51、监控管路；6、鱼雷车；7、大宗特气供应柜。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.大宗特气供应吹扫装置，如图1所示，包括吹扫管路1、特气管路3、排放管路4和对接管路2。
26.所述吹扫管路1的一端分别与所述对接管路2一端、所述特气管路3的一端和所述排放管路4的一端连通。所述吹扫管路1上设置有吹扫气体进入阀门12和单向阀11，所述吹扫管路1的另一端用于连接大宗特气供应柜7的吹扫系统pn2。
27.所述对接管路2的一端与所述特气管路3的一端连通，所述对接管路2的另一端用于连接鱼雷车6。所述对接管路2上设置有电子压力表22和高压压力表21。
28.所述特气管路3上设置有高压气体进入阀门32和过滤器31，所述特气管路3的另一端用于为大宗气体供应柜提供特气。
29.所述排放管路4上设置有排放阀门41，所述排放管路4的另一端用于连接大宗气体供应柜的vent系统。
30.所述吹扫气体进入阀门12为pgi，所述单向阀11为cvp，所述电子压力表22为hpt，所述高压压力表21为hpg，所述高压气体进入阀门32为hpi，所述过滤器31为gf，所述排放阀门41为hpv。
31.还包括特气监控系统5，所述特气监控系统5通过监控管路51分别与所述吹扫管路1、所述排放管路4和所述特气管路3连接，监测所述吹扫管路1、所述排放管路4和所述特气管路3。所述特气监控系统5还与所述高压气体进入阀门32连接，所述特气监控系统5控制所述高压气体进入阀门32的打开与关闭。
32.大宗特气供应系统，包括所述的大宗特气供应吹扫装置，还包括大宗特气供应柜7、特气分歧柜和鱼雷车6。所述鱼雷车6与所述大宗特气供应吹扫装置连接，具体为与所述大宗特气供应吹扫装置的对接管路2的另一端连接，所述大宗特气供应吹扫装置与所述大宗特气供应柜7连接，所述大宗特气供应柜7与所述特气分歧柜连接。
33.本实用新型工作过程如下：
34.1.当鱼雷车6到达特气房时，操作人员将鱼雷车6接口与大宗特气供应吹扫侦测箱接口对接，对接完毕后，打开吹扫系统pn2，使高纯氮气通过连接的管路充满整个系统，并做持续充吹cvp单向阀开启，避免气体逆流；pgi气动阀开启，使氮气通过；hpi气动阀关闭，阻止氮气进入制程特气中；hpv气动阀开启，将吹扫氮气排入大宗特气供应柜7的vent系统处理。
35.2.吹扫结束后，关闭pgi气动阀(停止氮气进入管路)，hpv气动阀仍然开启，保持氮气供应，自身vent系统作用，使管路抽为负压状态，不影响工艺特气纯度)；抽真空结束后，关闭hpv气动阀(让此段管路保持负压状态)；打开hpi气动阀，并使工艺特气进入到管路，进而送气至大宗特气供应柜7的特气进口(图中标注为特气)。
36.特气监控系统5可以实时从监控管路51中取样，如发生特气浓度超标，则监控系统可以远程关断hpi气动阀(停止工艺特气供应)。使用监控系统远程关闭阀门为现有技术，本技术不再赘述。所述监控管路51优选为exhaust负压抽风管道。
37.本实用新型提供了大宗特气供应吹扫装置及供应系统，结构简单，使用方便，可靠性高。本实用新型一方面解决了大容量特气供应设备(鱼雷车6)与大宗特气供应柜7之间的衔接问题，另一方面对此段管路所有衔接处做实时侦测取样，对特气的泄漏风险起到全天候预警与远程关断。
38.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
39.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，包括管路组件，所述管路组件包括吹扫管路、特气管路、排放管路和对接管路，所述吹扫管路的一端分别与所述对接管路一端、所述特气管路的一端和所述排放管路的一端连通，所述吹扫管路的另一端用于与大宗特气供应柜的吹扫系统。2.根据权利要求1所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述吹扫管路上设置有吹扫气体进入阀门。3.根据权利要求2所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述吹扫管路上还设置有单向阀。4.根据权利要求2所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述对接管路的一端与所述特气管路的一端连通，所述对接管路上设置有电子压力表和/或高压压力表。5.根据权利要求4所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述特气管路上设置有高压气体进入阀门和过滤器。6.根据权利要求5所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述排放管路上设置有排放阀门。7.根据权利要求6所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，所述吹扫气体进入阀门、所述高压气体进入阀门和所述排放阀门都为气动阀。8.根据权利要求6所述的大宗特气供应吹扫装置，其特征在于，还包括特气监控系统，所述特气监控系统通过监控管路分别与所述吹扫管路、所述排放管路和所述特气管路连接。9.大宗特气供应系统，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的大宗特气供应吹扫装置。10.根据权利要求9所述的大宗特气供应系统，其特征在于，还包括鱼雷车，所述鱼雷车与对接管路的另一端连接。

技术总结
大宗特气供应吹扫装置及大宗特气供应系统，涉及特气供应技术领域，包括管路组件，所述管路组件包括吹扫管路、特气管路、排放管路和对接管路，所述吹扫管路的一端分别与所述对接管路一端、所述特气管路的一端和所述排放管路的一端连通，所述吹扫管路的另一端用于与大宗特气供应柜的吹扫系统。本实用新型提供了大宗特气供应吹扫装置，便于大宗特气供应柜与大容量供应设备间的连接，降低了供应设备的更换频率及提高了供应稳定性。率及提高了供应稳定性。率及提高了供应稳定性。


技术研发人员：剧腾飞
受保护的技术使用者：浙江东开半导体科技有限公司
技术研发日：2023.03.07
技术公布日：2023/7/14