一种卡扣式芯片检测头定位装置的制作方法

1.本实用新型主要涉及芯片检测工具的技术领域，具体为一种卡扣式芯片检测头定位装置。


背景技术：

2.芯片又称集成电路、微电路、 微芯片，在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，并通常制造在半导体晶圆表面上，前述将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路，另有一种厚膜混成集成电路是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。
3.检测探针的晶圆测试是对芯片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以钨材料制成的钨探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当芯片以晶粒为单位切割成晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。
4.这就意味着检测探针的使用是否正确，将在很大程度上影响到产出的集成电路的优良率和效率，测试时，工作人员需要手持检测头的外壳，将针头直接接触被测晶圆的衬垫，从而实现对晶圆的电性能测试，由于探针的针头很细，在工作人员手持探针接触衬垫的时间段内，容易出现手抖的情况，从而会导致检测的接触点出现偏差，降低检测的精度。


技术实现要素：

5.本实用新型技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案，具体地本实用新型主要提供了一种卡扣式芯片检测头定位装置，用以解决上述背景技术中提出的由于针头很细，在工作人员手持探针接触衬垫的时间段内，容易出现手抖造成偏差的情况，降低检测精度的技术问题。
6.本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：
7.一种卡扣式芯片检测头定位装置，包括检测定位组件，所述检测定位组件包括弹性卡件，所述弹性卡件为u型，且所述弹性卡件的内壁两端位置均为圆角，所述弹性卡件的内壁上侧和下侧均设置有锯齿形状的弹性防滑垫，靠近每个所述弹性防滑垫一侧均设置有滑槽，且两个滑槽上下对应，两个所述滑槽共同滑动连接有移动块，所述弹性卡件上侧通过螺钉连接有接线板，所述接线板上等间距线性设置有若干个针座，且每个所述针座内均设置有检测探针。
8.进一步的，每个所述检测探针上端共同设置有接线端块，且接线端块的每个接线口位置均设置有杜邦线，杜邦线下端通过接线端块与检测探针上端连接。
9.进一步的，两个所述滑槽中位于上侧的滑槽顶面和位于下侧的滑槽底面均为斜面。
10.进一步的，所述移动块的上侧和下侧均为斜面，且移动块的斜面与两个滑槽的斜面相互贴合。
11.进一步的，所述弹性卡件的底部设置有防滑海绵垫。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
13.本实用新型通过设置的弹性卡件、弹性防滑垫、滑槽和移动块，
14.实现了在对芯片的检测过程中，可以快速的将弹性卡件卡在芯片板的侧缘位置，然后将检测探针的针头定位在被测晶圆的衬垫上，对晶圆的电性能测试，避免了传统的在接触衬垫的时间段内，需要工作人员手持探针，防止了由于手抖而造成的接触点偏差，提高了检测的精度，并且结构简单，方便操作，容易生产，成本低，具有一定的实用和市场价值。
15.以下将结合附图与具体的实施例对本实用新型进行详细的解释说明。
附图说明
16.图1为本实用新型的检测定位组件结构示意图；
17.图2为本实用新型的弹性卡件结构示意图；
18.图3为本实用新型的检测探针结构示意图。
19.图中：1、检测定位组件；11、弹性卡件；12、弹性防滑垫；13、滑槽；14、移动块；15、接线板；16、针座；17、接线端块；2、检测探针；3、防滑海绵垫；4、杜邦线。
具体实施方式
20.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更加全面的描述，附图中给出了本实用新型的若干实施例，但是本实用新型可以通过不同的形式来实现，并不限于文本所描述的实施例，相反的，提供这些实施例是为了使对本实用新型公开的内容更加透彻全面。
21.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上也可以存在居中的元件，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件，本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
22.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常连接的含义相同，本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语知识为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型，本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
23.请着重参照附图1-3，一种卡扣式芯片检测头定位装置，包括检测定位组件1，所述检测定位组件1包括弹性卡件11，所述弹性卡件11为u型，且所述弹性卡件11的内壁两端位置均为圆角，所述弹性卡件11的内壁上侧和下侧均设置有锯齿形状的弹性防滑垫12，靠近每个所述弹性防滑垫12一侧均设置有滑槽13，且两个滑槽13上下对应，两个所述滑槽13共同滑动连接有移动块14，所述弹性卡件11上侧通过螺钉连接有接线板15，所述接线板15上等间距线性设置有若干个针座16，且每个所述针座16内均设置有检测探针2。
24.上述结构通过检测定位组件1，实现了在对芯片的检测过程中，可以快速的将检测探针2的针头定位在被测晶圆的衬垫上，对晶圆的电性能测试，避免了传统的在接触衬垫的时间段内，需要工作人员手持探针，防止了由于手抖而造成的接触点偏差，提高了检测的精度，并且结构简单，方便操作，成本低，具有一定的实用和市场价值；
25.具体操作如下，一手的大拇指抵触在弹性卡件11的折弯位置，食指拉动移动块14向大拇指一侧移动，由于位于上方的滑槽13顶面为斜面，位于下方的滑槽13底面为斜面，且底面和顶面之间的距离越靠近弹性卡件11的折弯位置一侧越短，故在拉动移动块14的过程中，移动块14将弹性卡件11两端之间的距离逐渐撑开，然后另一只手将芯片板上的被测晶圆的衬垫放在检测探针2的针头位置，随后松开移动块14，弹性卡件11的两端形变复位，将检测探针2定位在衬垫上。
26.请着重参照附图1和附图2，两个所述滑槽13中位于上侧的滑槽13顶面和位于下侧的滑槽13底面均为斜面，所述移动块14的上侧和下侧均为斜面，且移动块14的斜面与两个滑槽13的斜面相互贴合，通过带有斜面的滑槽13和移动块14之间的相互配合，实现了在使用的时候，将弹性卡件11撑开，所述弹性卡件11的底部设置有防滑海绵垫3，通过防滑海绵垫3，实现了增加弹性卡件11外壁底部的最大静摩擦力，便于平稳的放在水平工作面上。
27.请着重参照附图3，每个所述检测探针2上端共同设置有接线端块17，且接线端块17的每个接线口位置均设置有杜邦线4，杜邦线4下端通过接线端块17与检测探针2上端连接，通过接线端块17，实现了将杜邦线4和检测探针2连接。
28.上述结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的这种非实质改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：
1.一种卡扣式芯片检测头定位装置，包括检测定位组件（1）,其特征在于，所述检测定位组件（1）包括弹性卡件（11），所述弹性卡件（11）为u型，且所述弹性卡件（11）的内壁两端位置均为圆角，所述弹性卡件（11）的内壁上侧和下侧均设置有锯齿形状的弹性防滑垫（12），靠近每个所述弹性防滑垫（12）一侧均设置有滑槽（13），且两个滑槽（13）上下对应，两个所述滑槽（13）共同滑动连接有移动块（14），所述弹性卡件（11）上侧通过螺钉连接有接线板（15），所述接线板（15）上等间距线性设置有若干个针座（16），且每个所述针座（16）内均设置有检测探针（2）。2.根据权利要求1所述的一种卡扣式芯片检测头定位装置，其特征在于，每个所述检测探针（2）上端共同设置有接线端块（17），且接线端块（17）的每个接线口位置均设置有杜邦线（4），杜邦线（4）下端通过接线端块（17）与检测探针（2）上端连接。3.根据权利要求1所述的一种卡扣式芯片检测头定位装置，其特征在于，两个所述滑槽（13）中位于上侧的滑槽（13）顶面和位于下侧的滑槽（13）底面均为斜面。4.根据权利要求1所述的一种卡扣式芯片检测头定位装置，其特征在于，所述移动块（14）的上侧和下侧均为斜面，且移动块（14）的斜面与两个滑槽（13）的斜面相互贴合。5.根据权利要求1所述的一种卡扣式芯片检测头定位装置，其特征在于，所述弹性卡件（11）的底部设置有防滑海绵垫（3）。

技术总结
本实用新型提供了一种卡扣式芯片检测头定位装置，属于芯片检测工具的技术领域，包括检测定位组件，检测定位组件包括弹性卡件，弹性卡件为U型，弹性卡件的内壁上侧和下侧均设置有锯齿形状的弹性防滑垫，靠近每个弹性防滑垫一侧均设置有滑槽，两个滑槽共同滑动连接有移动块，弹性卡件上侧通过螺钉连接有接线板，接线板上等间距线性设置有若干个针座，且每个针座内均设置有检测探针，通过本实用新型，实现了在对芯片的检测过程中，可以快速的将检测探针的针头定位在被测晶圆的衬垫上，对晶圆的电性能测试，避免了传统的在接触衬垫的时间段内，需要工作人员手持探针，防止了由于手抖而造成的接触点偏差，提高了检测的精度。提高了检测的精度。提高了检测的精度。


技术研发人员：孙家硕
受保护的技术使用者：安徽腾达微电子有限公司
技术研发日：2023.02.20
技术公布日：2023/7/14