喷墨印刷设备的制作方法

喷墨印刷设备
1.本技术要求于2021年7月12日递交的韩国专利申请第10-2021-0091243号的优先权以及从其获得的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用整体并入本文。
技术领域
2.本公开涉及一种喷墨印刷设备、使用该喷墨印刷设备印刷油墨的方法和制造显示装置的方法。


背景技术：

3.随着多媒体技术的发展，显示装置的重要性稳步提高。响应于此，已经使用诸如有机发光显示器(“oled”)和液晶显示器(“lcd”)等的各种类型的显示装置。
4.作为显示装置的用于显示图像的装置，有包括发光元件的自发光显示装置。自发光显示装置包括作为发光元件的将有机材料用作发光材料的有机发光显示器件或将无机材料用作发光材料的无机发光显示器件等。
5.为了形成包括在显示装置中的有机材料层或设置无机发光二极管，可以使用喷墨印刷设备。在印刷其中分散有颗粒的油墨之后，可以执行后处理工艺以将颗粒设置在特定区域中或形成其中分散有颗粒的有机材料层。
6.当使用喷墨印刷设备制造显示装置时，可能期望在印刷工艺期间喷射的每单位墨滴包括的颗粒的浓度是均匀的，以确保显示装置的产品完美。


技术实现要素：

7.本公开的方面提供一种能够实时测量从喷墨头喷射的液滴或油墨中的颗粒的浓度的喷墨印刷设备、使用该喷墨印刷设备印刷油墨的方法和制造显示装置的方法。
8.然而，本公开的方面不限于本文阐述的那些。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加显而易见。
9.根据一个实施例的喷墨印刷设备可以通过利用不同波段的每种光照射从喷嘴喷射的油墨来实时感测油墨中的颗粒的浓度变化。
10.在根据一个实施例的印刷油墨的方法中，可以在使用喷墨印刷设备感测油墨中的颗粒的浓度的同时喷射油墨，并且通过控制与颗粒的浓度变化相对应的、注入到喷墨头中的油墨的颗粒浓度或者控制安置在特定区域中的油墨中的颗粒的浓度，可以制造均匀质量的产品。
11.然而，本公开的效果不限于上述效果，并且各种其他效果包括在本说明书中。
12.根据本公开的实施例，一种印刷油墨的方法包括：从喷墨头喷射其中分散有多个颗粒的油墨；利用具有不同波长的第一光和第二光照射被喷射的油墨，以获取关于从油墨发射的第一出射光和第二出射光的数据；根据关于第一出射光和第二出射光的数据计算油墨中的颗粒的浓度；以及确定浓度是否超出参考值的误差范围，其中，第一光具有大约500
纳米(nm)或更小的波长，并且第二光具有大约1000nm或更大的波长。
13.第一出射光可以是通过散射被照射到油墨的第一光而获得的光，并且第二出射光可以是通过折射被照射到油墨的第二光而获得的光。
14.颗粒的浓度的计算可以包括：根据关于第一出射光的数据获取关于油墨中的颗粒的数量的数据；以及根据关于第二出射光的数据获取关于油墨的体积的数据。
15.印刷油墨的方法可以进一步包括：根据关于第一出射光和第二出射光的数据计算油墨中的颗粒的浓度变化值。
16.方法可以进一步包括：基于确定浓度超出参考值的误差范围，控制注入到喷墨头中的油墨中的颗粒的浓度。
17.方法可以进一步包括：在从喷墨头喷射油墨之前，设置参考值。
18.参考值可以包括当将第一光和第二光照射到具有不同颗粒浓度的油墨时从油墨发射的光的归一化散射强度和归一化散射强度的标准偏差值，关于第一出射光和第二出射光的数据的获取包括获取第一出射光和第二出射光的归一化散射强度和归一化散射强度的标准偏差值，并且油墨中的颗粒的浓度的计算包括通过将参考值的归一化散射强度和标准偏差值与关于第一出射光和第二出射光的数据进行比较，来计算油墨中的颗粒的浓度。
19.油墨可以在第一方向上从喷墨头被喷射，第一光可以在垂直于第一方向的第二方向上被照射，并且第二光可以在第一光被照射之后被照射。
20.从油墨发射的第一出射光可以被反射器反射，反射器具有在通过其喷射油墨的路径中的曲率中心并且具有弯曲的外表面。
21.油墨可以在第一方向上从喷墨头被喷射，并且第一光和第二光可以分别在不同方向上被照射并且被同时照射到油墨。
22.根据本公开的实施例，一种喷墨印刷设备包括：喷墨头，喷射其中分散有多个颗粒的油墨；第一光照射装置和第二光照射装置，分别将不同波段的光照射到被喷射的油墨；第一感测装置，第一出射光入射在第一感测装置上，其中，第一出射光是通过散射从第一光照射装置照射并且入射在油墨上的第一光而获得的；第二感测装置，第二出射光入射在第二感测装置上，其中，第二出射光是通过折射从第二光照射装置照射并且入射在油墨上的第二光而获得的；以及处理器，关于分别入射在第一感测装置和第二感测装置的第一出射光和第二出射光的数据被输入到处理器，其中，从第一光照射装置照射的第一光具有大约500nm或更小的波长，并且从第二光照射装置照射的第二光具有大约1000nm或更大的波长。
23.油墨可以在第一方向上从喷墨头被喷射，并且第一光照射装置可以在垂直于第一方向的第二方向上照射第一光。
24.第二光照射装置可以被设置为在第一方向上与第一光照射装置间隔开，并且在第二方向上照射第二光。
25.第一光照射装置和第二光照射装置可以分别将第一光和第二光照射到通过其喷射油墨的路径中的不同区域。
26.第一感测装置可以关于通过其喷射油墨的路径与第一光照射装置相对设置并且被设置为面对第一光照射装置，并且第二感测装置可以关于通过其喷射油墨的路径与第二光照射装置相对设置并且被设置为面对第二光照射装置。
27.喷墨印刷设备可以进一步包括第一反射器，第一反射器被设置为与第一光照射装
置间隔开，并且第一反射器可以具有在通过其喷射油墨的路径中的曲率中心并且具有弯曲的外表面，其中，第一出射光可以从第一反射器被反射并且入射在第一感测装置上。
28.第一感测装置可以关于通过其喷射油墨的路径被设置在与第一反射器被定位的第二侧相对的第一侧。
29.喷墨印刷设备可以进一步包括第二反射器，第二反射器被设置为与第二光照射装置间隔开，并且第二反射器可以具有在通过其喷射油墨的路径中的曲率中心并且具有弯曲的外表面，其中，第二出射光可以从第二反射器被反射并且入射在第二感测装置上。
30.第二光照射装置可以被设置为在第一方向上与第一光照射装置间隔开并且在第一方向与第二方向之间的方向上照射第二光，并且第一光照射装置和第二光照射装置可以分别将第一光和第二光照射到被喷射的油墨。
31.处理器可以根据油墨中的颗粒的不同浓度存储关于第一出射光和第二出射光的数据。
32.根据本公开的实施例，一种制造显示装置的方法包括：制备包括第一区域和第二区域的目标基板；从第一喷嘴将其中分散有颗粒的第一油墨喷射到目标基板的第一区域；将具有不同波长的第一光和第二光照射到从第一喷嘴喷射的油墨，以获取关于从第一油墨发射的第一出射光和第二出射光的数据；根据关于第一出射光和第二出射光的数据计算第一油墨中的颗粒的浓度；确定浓度是否超出参考值的误差范围；以及从不同于第一喷嘴的第二喷嘴喷射其中分散有颗粒的第二油墨。
33.第一光可以具有大约500nm或更小的波长，并且第二光具有大约1000nm或更大的波长。
34.颗粒可以包括氧化钛(tio2)。
35.第二油墨的喷射可以包括：当确定浓度超出参考值的误差范围时，从第二喷嘴将第二油墨喷射到第一区域。
36.喷射到第一区域的第一油墨和第二油墨可以形成第一油墨图案。
37.第二油墨的喷射可以包括：当确定浓度未超出参考值的误差范围时，从第二喷嘴将第二油墨喷射到第二区域。
38.喷射到第一区域的第一油墨可以形成第一油墨图案，并且喷射到第二区域的第二油墨可以形成与第一油墨图案不同的第二油墨图案。
39.制造显示装置的方法可以进一步包括：从不同于第一喷嘴的第三喷嘴将其中分散有颗粒的第三油墨喷射到第一区域。
40.制造显示装置的方法可以进一步包括：从不同于第一喷嘴的第三喷嘴将其中分散有颗粒的第三油墨喷射到第二区域。
41.制造显示装置的方法可以进一步包括：将第一光和第二光照射到从第三喷嘴喷射的第三油墨，以获取关于从第三油墨发射的第三出射光和第四出射光的数据，并且根据关于第三出射光和第四出射光的数据计算第三油墨中的颗粒的浓度，并且确定浓度是否超出参考值的误差范围。
附图说明
42.通过参考附图详细描述本公开的实施例，本公开的上述和其他方面以及特征将变
得更加显而易见，附图中：
43.图1是示出根据一个实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图；
44.图2是示出根据一个实施例的油墨浓度测量装置的构造的示意图；
45.图3和图4是示出照射在分散在油墨中的颗粒上的光被散射的示意图；
46.图5是示出根据一个实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图；
47.图6是示出根据另一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图；
48.图7是示出根据又一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图；
49.图8是示出被图7的喷墨印刷设备中的反射器反射的光的传播的示意图；
50.图9和图10是示出根据另一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图；
51.图11是示出根据另一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图；
52.图12是示出根据一个实施例的使用喷墨印刷设备印刷油墨的方法的流程图；
53.图13至图16是顺序示出根据一个实施例的印刷油墨的方法的示意图；
54.图17和图18是示出根据使用喷墨印刷设备测量的油墨中的颗粒的浓度的出射光数据的图表；
55.图19是示出根据另一实施例的使用喷墨印刷设备印刷油墨的方法的流程图；
56.图20是示出根据一个实施例的喷墨印刷设备的喷墨头中包括的多个喷嘴的设置的图；
57.图21是示出从图20的喷墨头中包括的多个喷嘴的油墨喷射的图；
58.图22是示出根据一个实施例的印刷油墨的方法的一些步骤的顺序的流程图；
59.图23是示出图22的一个步骤的顺序的流程图；
60.图24是示出图23的一个步骤的图；
61.图25是示出根据一个实施例的制造显示装置的方法的流程图；
62.图26至图29是示出根据一个实施例的使用印刷油墨的方法制造显示装置的方法的截面图；
63.图30是示出根据一个实施例的显示装置的一部分的截面图；
64.图31是示出根据另一实施例的制造显示装置的方法的流程图；并且
65.图32和图33是示出图31的制造显示装置的方法的一个步骤的截面图。
具体实施方式
66.现在，将在下文中参考其中示出本实用新型的优选实施例的附图更全面地描述本实用新型。然而，本实用新型可以以不同的形式实施，并且不应被解释为限于本文阐述的实施例。相反，提供这些实施例是使得本公开将是彻底和完全的，并且这些实施例将把本实用新型的范围充分地传达给本领域技术人员。
67.还将理解，当层被称为在另一层或基板“上”时，其可以直接在另一层或基板上，或者也可以存在居间层。在整个说明书中，相同的附图标记指示相同的部件。
68.将理解，尽管本文可能使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。例如，下面讨论的第一元件可以被称为第二元件，而不背离本实用新型的教导。类似地，第二元件也可以被称为第一元件。
69.本文使用的术语仅用于描述特定实施例的目的，并且不旨在限制。如本文所使用的，“一”、“该”和“至少一个”不表示数量的限制，并且，除非上下文另外明确地指示，否则旨在包括单数和复数两者。例如，除非上下文另外明确指示，否则“一元件”具有与“至少一个元件”的含义相同的含义。“至少一个”不应被解释为限制的“一”。“或”意指“和/或”。如本文所使用的，术语“和/或”包括相关列出项中的一个或多个的任何和所有组合。将进一步理解，当在本说明书中使用时，术语“包括”或“包含”指定所陈述的特征、区、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、区、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组合。考虑到所讨论的测量以及与特定量的测量相关联的误差(即，测量系统的限制)，如本文所使用的“大约”或“近似”包括所陈述的值并且意指在由本领域普通技术人员确定的该特定值的可接受的偏差范围内。例如，“大约”可以意指在一个或多个标准偏差内，或者在所陈述的值的
±
30％、
±
20％、
±
10％或
±
5％之内。在下文中，将参考附图描述实施例。
70.图1是示出根据一个实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图。图2是示出根据一个实施例的油墨浓度测量装置的构造的示意图。
71.参考图1和图2，喷墨印刷设备10包括喷墨头pa和油墨浓度测量装置100。喷墨头pa可以通过喷嘴(未示出)喷射其中分散有多个颗粒(图3中的“pt”)的油墨dl。从喷墨头pa喷射的油墨dl可以喷洒到印刷目标对象上，并且可以根据油墨dl的材料的种类在目标对象上形成层或图案。在附图中，仅在喷墨印刷设备10中示出从其喷射油墨dl的喷墨头pa和油墨浓度测量装置100，但是喷墨印刷设备10可以进一步包括除了喷墨头pa和油墨浓度测量装置100之外的装置。
72.油墨浓度测量装置100包括光照射装置110、感测装置130和处理器150。油墨浓度测量装置100可以通过使用光照射装置110和感测装置130来获取作为测量目标的油墨dl的光学数据，并且可以根据获取的数据感测油墨dl中的颗粒的浓度和浓度变化。根据一个实施例的油墨浓度测量装置100可以获取诸如作为测量目标的油墨dl中包括的颗粒(图3中的“pt”)的数量变化以及油墨dl的液滴体积和速度的数据，并且可以根据该数据确定油墨dl的每单位液滴的分散的颗粒的浓度变化。
73.根据一个实施例的油墨浓度测量装置100的测量目标可以是其中分散有多个颗粒pt的油墨dl，并且可以是从喷墨头pa喷射的油墨dl。在实施例中，喷墨头pa可以包括多个喷嘴或喷射单元以同时从每个喷嘴喷射油墨dl。从喷墨头pa喷射的油墨dl可以包括溶剂(图3中的“sv”)和分散在其中的多个颗粒pt，并且被喷射的油墨dl可以喷射在印刷对象(例如，目标基板)上以形成包括颗粒pt的层或图案。为了保持由油墨dl形成的层或图案的均匀质量，期望在重复印刷过程时从喷墨头pa喷射的油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的数量或浓度是均匀的。具体地，分散在液态的油墨dl中的颗粒pt可能随着工艺的重复而在油墨dl中沉淀，并且从喷墨头pa喷射的油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的数量可能改变。
74.根据一个实施例的油墨浓度测量装置100可以嵌入到包括喷墨头pa的喷墨印刷设备10中，并且可以在执行喷墨头pa的印刷工艺的同时，实时感测从喷墨头pa喷射的油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的数量或油墨dl中颗粒pt的浓度变化。油墨浓度测量装置100可以基于感测到的颗粒pt的浓度变化将反馈提供给喷墨头pa，以保持从喷墨头pa喷射的油墨dl中的颗粒pt的均匀浓度。
75.光照射装置110可以利用光照射从喷墨头pa喷射的油墨dl。光照射装置110可以利用光l照射设置在从喷墨头pa喷射的油墨dl通过的路径中的照射区域sa，并且从光照射装置110照射的光l可以在通过照射区域sa的情况下入射在油墨dl上。光照射装置110可以设置在能够将光l照射在从喷墨头pa喷射的油墨dl通过的路径上的位置处。例如，当在第一方向dr1上从喷墨头pa喷射油墨dl时，光照射装置110可以在不同于第一方向dr1的方向上照射光l。例如，光照射装置110可以设置为在第二方向dr2上与通过其喷射油墨dl的路径间隔开，以在垂直于第一方向dr1的第二方向dr2上照射光l。光照射装置110可以不被设置在从喷墨头pa喷射油墨dl的第一方向dr1上，并且可以被设置为在第二方向dr2上与喷墨头pa的下部间隔开。然而，本公开不限于此，并且光照射装置110与喷墨头pa的设置关系可以不同于附图中示出的设置关系。
76.从光照射装置110照射到油墨dl的光l可以被油墨dl反射、折射或散射，并且出射光sl(在下文中，称为“来自油墨dl的出射光”)可以入射在感测装置130上。感测装置130可以感测来自油墨dl的出射光sl的量、强度和散射强度等。
77.光照射装置110和感测装置130可以设置在易于利用光l照射油墨dl或感测出射光sl的位置处。例如，当在第一方向dr1上从喷墨头pa喷射油墨dl时，光照射装置110可以在不同于第一方向dr1的方向上照射光l，并且感测装置130可以关于通过其喷射油墨dl的路径与光照射装置110相对设置。例如，当光照射装置110被设置为在第二方向dr2上的一侧与通过其喷射油墨dl的路径间隔开时，感测装置130被设置为在第二方向dr2上的另一侧与通过其喷射油墨dl的路径间隔开，使得光照射装置110和感测装置130可以彼此面对。尽管附图示出光照射装置110和感测装置130关于油墨dl的喷射路径设置在相反方向上，但是本公开不限于此。在一些实施例中，油墨浓度测量装置100可以进一步包括能够在特定方向上反射或会聚来自油墨dl的出射光sl的装置，并且在这种情况下，感测装置130的设置可以改变。
78.从光照射装置110照射的光l可以在通过油墨dl的同时，被分散在油墨dl中的颗粒pt散射或折射。入射在油墨dl上的光l的散射强度可以取决于分散在油墨dl中的颗粒pt的量或浓度而改变。当光照射装置110照射预定强度范围或波段中的光l时，由感测装置130感测的出射光sl的强度和散射强度可以取决于分散在油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度而改变。
79.图3和图4是示出照射在分散在油墨中的颗粒上的光被散射的示意图。图3和图4中的每一个示出从光照射装置110照射的光l被油墨dl散射。图3例示油墨dl中的分散的颗粒pt的数量比图4中示出的油墨dl中的分散的颗粒pt的数量少的情况。
80.参考图3和图4，从喷墨头pa喷射的油墨dl可以处于溶液或胶体状态。油墨dl可以包括溶剂sv和分散在溶剂sv中的多个颗粒pt。在一个实施例中，溶剂sv可以是丙酮、水、乙醇、甲苯、丙二醇(“pg”)或丙二醇乙酸甲酯(“pgma”)、三甘醇单丁醚(“tgbe”)、二甘醇单苯醚(“dgpe”)、酰胺溶剂、二羰基溶剂、二甘醇二苯甲酸酯、三羰基溶剂、柠檬酸三乙酯、邻苯二甲酸酯溶剂、邻苯二甲酸苄丁酯、邻苯二甲酸二(2-乙基己基)酯、间苯二甲酸二(2-乙基己基)酯或邻苯二甲酸单乙二醇酯等，但是不限于此。多个颗粒pt可以是无机颗粒或有机颗粒，例如量子点、散射体或无机半导体颗粒。分散在油墨dl中并被喷射的颗粒pt的类型可以取决于要使用喷墨头pa形成的层或图案的类型而改变。在实施例中，分散在油墨dl中并由喷墨头pa喷射的颗粒pt可以是诸如氧化钛(tio2)、氧化锆(zro2)、氧化铝(al2o3)、氧化铟
(in2o3)、氧化锌(zno)、氧化锡(sno2)的散射体或者诸如丙烯酸树脂或聚氨酯树脂、iv族纳米晶体、ii-vi族化合物纳米晶体、iii-v族化合物纳米晶体、iv-vi族化合物纳米晶体或其组合的量子点材料。可替代地，当颗粒pt是无机半导体颗粒时，颗粒pt可以是包括作为具有微米至纳米尺寸的无机发光元件的镓(ga)的无机半导体颗粒。
81.无论分散在油墨dl中的颗粒pt的类型如何，通过散射入射在油墨dl上的光l而获得的散射光的强度或量和散射强度可以取决于颗粒pt的数量或浓度而改变。随着油墨dl中的颗粒pt的数量增加，入射在油墨dl上的光l的散射强度以及散射光的强度和散射强度可以增大。油墨浓度测量装置100可以进一步包括用于根据从感测装置130获得的光学数据来感测或计算油墨dl中的颗粒pt的浓度变化的处理器150。
82.处理器150可以接收关于入射在感测装置130上的出射光sl的数据。处理器150可以根据已经输入的出射光数据感测油墨dl中的颗粒pt的浓度变化。处理器150可以包括从由感测装置130获取的光学数据中选择关于来自油墨dl的出射光sl的数据的算法和根据关于出射光sl的数据计算油墨dl中的颗粒pt的浓度变化的算法。例如，不仅来自油墨dl的出射光sl，而且根据感测装置130和光照射装置110的设置从光照射装置110照射的光l，可以入射在感测装置130上。处理器150可以基于从光照射装置110照射的光l的诸如行进路径、强度和散射强度的数据，从入射在感测装置130上的光的数据中选择关于来自油墨dl的出射光sl的数据。可以基于关于来自油墨dl的出射光sl的数据感测油墨dl中的颗粒pt的浓度变化。
83.通过使用油墨浓度测量装置100执行的油墨dl中的颗粒pt的浓度测量是要在执行喷墨头pa中的油墨dl的喷射工艺的同时，感测油墨dl中的颗粒pt的浓度变化，并且保持由喷墨头pa喷射的油墨dl包括每单位液滴的均匀数量的颗粒pt。在上述工艺中，可以由感测装置130获取的数据是关于来自油墨dl的出射光sl的强度和量以及散射强度的数据。油墨浓度测量装置100可以基于获取的光学数据提取或计算关于油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的数量和浓度的数据，并且根据该数据确定颗粒pt的浓度变化是否超过参考值，使得可以执行控制喷墨头pa的算法。稍后将参照其他附图描述由油墨浓度测量装置100执行的浓度测量方法的描述。
84.另一方面，将由油墨浓度测量装置100感测的油墨dl中的颗粒pt的变化数据是从喷墨头pa喷射的油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的数量变化，并且可以是油墨dl中的颗粒pt的浓度变化数据。从喷墨头pa喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度变化可以与一次喷射的油墨dl的液滴体积和包括在一次喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量中的每一个有关。当颗粒pt在喷墨头pa中包括的管道中流动的油墨dl中沉淀时，一次喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量可能改变。另外，当一次喷射的油墨dl的体积因在喷墨头pa中的从其喷射油墨dl的喷嘴中形成异物而改变时，每单位时间喷射的颗粒pt的数量也可能改变。这些变化可能导致从喷墨头pa一次喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度变化，使得使用喷墨头pa形成的层或图案的质量可能不均匀。油墨浓度测量装置100可以实时感测从喷墨头pa一次喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度变化，并且将反馈提供给喷墨头pa。
85.根据一个实施例的油墨浓度测量装置100可以包括多个光照射装置110和多个感测装置130，使得它们可以获取关于油墨dl的不同数据。油墨浓度测量装置100可以通过从喷墨头pa一次喷射的油墨dl的体积和速度以及与包括在油墨dl中的颗粒pt的数量相关的
数据来感测油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的浓度变化，并且可以将该变化反馈给喷墨头pa。
86.图5是示出根据一个实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图。
87.参考图5，根据一个实施例的油墨浓度测量装置100可以包括照射不同光l1和l2的多个光照射装置110(111和113)以及分别通过从光照射装置111和113照射的光l1和l2来感测来自油墨dl的出射光sl1和sl2的多个感测装置130(131和133)。彼此不同的光照射装置110和感测装置130可以分别从由喷墨头pa喷射的油墨dl获取彼此不同的数据。
88.根据一个实施例，光照射装置110可以包括照射不同波段的光的第一光照射装置111和第二光照射装置113。感测装置130可以包括第一感测装置131和第二感测装置133，从第一光照射装置111照射并且从油墨dl发射的第一出射光sl1入射在第一感测装置131上，从第二光照射装置113照射并且从油墨dl发射的第二出射光sl2入射在第二感测装置133上。第一光照射装置111和第一感测装置131可以形成用于获取与分散在油墨dl中的颗粒pt的数量有关的数据的对，并且第二光照射装置113和第二感测装置133可以形成用于获取与一次喷射的油墨dl的体积和速度有关的数据的对。
89.如上所述，第一光照射装置111和第二光照射装置113可以被分别设置为在与从喷墨头pa喷射油墨dl的第一方向dr1不同的方向上照射光l1和l2。例如，第一光照射装置111和第二光照射装置113中的每一个可以被设置为在第二方向dr2上的一侧与从喷墨头pa喷射的油墨dl通过的路径间隔开。第一光照射装置111和第二光照射装置113可以分别利用光l1和l2在第二方向dr2上照射设置在通过其喷射油墨dl的路径中的照射区域sa1和sa2。第一光照射装置111和第二光照射装置113可以设置在通过其喷射油墨dl的路径的在同一方向上的一侧，并且可以在第一方向dr1上彼此平行设置，但是本公开不限于此。在一些实施例中，第一光照射装置111和第二光照射装置113可以不彼此平行设置，或者可以关于通过其喷射油墨dl的路径彼此相对设置。
90.附图例示第一光照射装置111被设置为在第一方向dr1上与第二光照射装置113的一侧间隔开，并且因此被设置为比第二光照射装置113更靠近喷墨头pa。在设置在其中喷射油墨dl的路径中的照射区域sa1和sa2中，利用第一光照射装置111的第一光l1照射的第一照射区域sa1可以比利用第二光照射装置113的第二光l2照射的第二照射区域sa2更靠近喷墨头pa定位。然而，本公开不限于此，并且在一些实施例中，第二光照射装置113可以比第一光照射装置111更靠近喷墨头pa设置。
91.多个感测装置130可以设置在来自油墨dl的出射光sl1和sl2可以入射在其上的位置处。例如，可以在第一方向dr1上从喷墨头pa喷射油墨dl，第一光照射装置111和第二光照射装置113可以在第二方向dr2上照射光l1和l2，并且感测装置130可以关于通过其喷射油墨dl的路径与光照射装置110相对设置。第一感测装置131可以在第二方向dr2上与第一光照射装置111间隔开，以与通过其喷射油墨dl的路径相对设置，并且第二感测装置133可以在第二方向dr2上与第二光照射装置113间隔开，以关于通过其喷射油墨dl的路径相对设置。第一光照射装置111和第二光照射装置113可以分别在第二方向dr2上面对第一感测装置131和第二感测装置133。
92.根据一个实施例，第一光照射装置111和第二光照射装置113可以照射不同波段的光。例如，第一光照射装置111可以照射500纳米(nm)或更小的短波长的短波段的第一光l1，
并且第二光照射装置113可以照射大约1000nm或更大的长波长的长波段的第二光l2。照射到油墨dl的光l1和l2可以被油墨dl和油墨dl中的颗粒pt折射或散射以入射在感测装置130上。由于光l1和l2的波长越短，光l1和l2可以被颗粒pt散射得越多，因此其波长比第二光l2的长波段的波长短的短波段的第一光l1可以在测量油墨dl中的颗粒pt的数量变化中有优势。另一方面，长波段的第二光l2可以在测量被喷射的油墨dl的尺寸、体积和速度中有优势。在一些实施例中，由第一光照射装置111照射的第一光l1可以是入射在油墨dl上的第一入射光，并且从油墨dl发射的来自第一光l1的第一出射光sl1可以是从油墨dl散射的光。由第二光照射装置113照射的第二光l2可以是入射在油墨dl上的第二入射光，并且从油墨dl发射的来自第二光l2的第二出射光sl2可以是被油墨dl折射的光。油墨浓度测量装置100可以包括分别发射不同波段的光l1和l2的第一光照射装置111和第二光照射装置113，并且可以分别获取与油墨dl中的颗粒pt的数量有关的数据以及与从喷墨头pa喷射的油墨dl的尺寸、体积和速度有关的数据。
93.从被油墨dl散射的、从第一光照射装置111照射的第一光l1产生的第一出射光sl1可以入射在第一感测装置131上，并且可以从其获取与油墨dl中的颗粒pt的数量有关的数据。与第一光l1相比，第一出射光sl1的强度和散射强度越强，油墨dl中的颗粒pt的数量可以越大。第一出射光sl1的强度和散射强度越小，油墨dl中的颗粒pt的数量可以越小。从被油墨dl折射的、从第二光照射装置113照射的第二光l2产生的第二出射光sl2可以入射在第二感测装置133上，并且可以从其获取与油墨dl中的尺寸、体积和速度有关的数据。
94.油墨浓度测量装置100的处理器150可以基于从第一感测装置131和第二感测装置133获取的关于出射光sl1和sl2的数据来感测油墨dl中的颗粒pt的浓度变化。由第一感测装置131和第二感测装置133分别获取的关于出射光sl1和sl2的数据可以是关于光强度、散射强度和光的入射方向等的数据。当执行从喷墨头pa喷射油墨dl的工艺时，处理器150可以处理通过针对每次喷射工艺利用光照射油墨dl而获得的数据，可以计算与初始值或预设值相比的差，并且可以计算油墨dl中的颗粒pt的浓度。
95.例如，当使用与在喷墨头pa的初始喷射工艺中喷射的油墨dl的颗粒pt的尺寸、体积和速度以及数量有关的数据来设置与油墨dl中的颗粒pt的浓度有关的数据时，处理器150可以根据与针对每次喷射工艺改变的油墨dl的颗粒pt的尺寸、体积和速度以及数量相关的数据来计算与油墨dl中的颗粒pt的浓度变化量有关的数据。可替代地，当在处理器150中存储与对于在喷墨头pa的印刷工艺中一次喷射的油墨dl所期望的颗粒pt的尺寸、体积和速度以及数量有关的数值时，处理器150可以通过将针对每次喷射工艺获取的关于油墨dl的数据与存储的数据进行比较来计算与油墨dl中的颗粒pt的浓度有关的数据。稍后将参考其他附图对其进行更详细的描述。
96.根据一个实施例的喷墨印刷设备10可以包括油墨浓度测量装置100，油墨浓度测量装置100实时感测从喷墨头pa喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度，从而在重复的印刷工艺期间，均匀地保持油墨dl中的颗粒pt的浓度。当通过使用喷墨印刷设备10来形成包括颗粒pt的层或图案时，通过印刷工艺形成的产品具有可以均匀地保持层和图案的质量的优点。
97.图6是示出根据另一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图。
98.参考图6，在根据一个实施例的喷墨印刷设备10中，第二光照射装置113和第二感测装置133可以比第一光照射装置111和第一感测装置131更靠近喷墨头pa设置。当在第一
方向dr1上从喷墨头pa喷射油墨dl并且光照射装置110分别利用光l1和l2照射的照射区域sa1和sa2位于油墨dl的喷射路径中时，在实施例中，第二照射区域sa2可以比第一照射区域sa1更靠近喷墨头pa定位。当喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100包括第一光照射装置111和第二光照射装置113并且通过照射不同波段的光l1和l2来获取油墨dl的各种数据时，它们的相对设置可以不受特别限制。除了第二光照射装置113和第二感测装置133与第一光照射装置111和第一感测装置131之间的相对设置不同之外，本实施例与图5的实施例相同。
99.由于第二光照射装置113和第二感测装置133更靠近喷墨头pa设置，因此喷墨印刷设备10具有能够更容易地获取从喷墨头pa喷射的油墨dl的与尺寸、体积和速度有关的数据的优点。在从喷墨头pa喷射油墨dl之后，在被安置在目标基板上的同时，油墨dl的液滴的物理性质可能由于印刷目标对象或其他外部因素而改变。可以从第一光照射装置111和第一感测装置131获取的与油墨dl中的颗粒pt的数量有关的数据可以是几乎恒定的，而与从喷墨头pa喷射后的油墨dl的液滴的物理性质无关。因此，在喷墨印刷设备10中，第二光照射装置113和第二感测装置133可以更靠近喷墨头pa设置以获取作为关于刚从喷墨头pa喷射后的油墨dl的尺寸、体积和速度的数据的第二出射光sl2的数据。
100.图7是示出根据又一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图。图8是示出被图7的喷墨印刷设备中的反射器反射的光的传播的示意图。
101.参考图7和图8，在根据一个实施例的喷墨印刷设备10中，油墨浓度测量装置100可以进一步包括能够将通过光照射装置110的照射而来自油墨dl的出射光sl会聚到特定区域的反射器190。
102.反射器190可以具有带有弯曲外表面的半圆形形状，并且可以围绕从喷墨头pa喷射的油墨dl通过的喷射路径。从喷墨头pa喷射的油墨dl可以被喷射以通过反射器190的曲率中心，并且从光照射装置110照射的光l可以在油墨dl中被散射或折射以入射在反射器190上作为出射光sl。反射器190可以包括具有高反射率的材料以在与光l的入射方向相反的方向上反射来自油墨dl的出射光sl。
103.反射器190可以设置在能够反射来自油墨dl的出射光sl的位置处。例如，在其中光照射装置110被设置为在第二方向dr2上与油墨dl的喷射路径间隔开的实施例中，反射器190可以被形成为关于油墨dl的喷射路径朝向光照射装置110的相对侧弯曲。可以设置反射器190使得曲率中心位于油墨dl的喷射路径上，并且反射器190可以关于油墨dl的喷射路径在与设置光照射装置110的方向相反的方向上具有凸出的形状。从光照射装置110照射的、来自油墨dl的出射光sl可以朝向反射器190的凹入的内侧行进。
104.另外，出射光sl可以在设置光照射装置110的方向上从反射器190被反射。与图1和图5的实施例不同，出射光sl指向的方向是设置光照射装置110的方向，并且因此根据一个实施例的感测装置130可以关于油墨dl的喷射路径设置在与光照射装置110的方向相同的方向上。反射器190可以将来自油墨dl的出射光sl朝向设置在其中设置光照射装置110的部分中的任意区域(例如，感测区域ss)反射，并且感测装置130可以感测入射在感测区域ss上的出射光sl。光照射装置110和感测装置130可以不在第二方向dr2上彼此面对，而是可以平行地设置在油墨dl的喷射路径的一侧。
105.反射器190可以将从光照射装置110照射的光l和来自油墨dl的出射光sl朝向感测区域ss反射，并且因此可以引起光的会聚效应。感测装置130可以通过仅感测入射到由反射
器190反射的光被引导到的感测区域ss的光来获取关于来自油墨dl的出射光sl的数据。喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100进一步包括反射器190，并且具有能够提高由感测装置130获取的数据的准确度和精确度的优点。
106.图9和图10是示出根据另一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图。
107.参考图9和图10，在根据一个实施例的喷墨印刷设备10中，油墨浓度测量装置100可以包括至少一个反射器190(191和193)，以提高由第一感测装置131和第二感测装置133获取的数据的准确度和精确度。
108.在图9的实施例中，油墨浓度测量装置100可以包括一个反射器190并且可以被设置为面对第一光照射装置111。第一光照射装置111和反射器190可以被设置为在第二方向dr2上彼此相对且面对，并且第一感测装置131可以与第一光照射装置111平行地设置在油墨dl的喷射路径的一侧，而不在第二方向dr2上彼此面对。另一方面，如在图6的实施例中，第二光照射装置113和第二感测装置133可以被设置为在第二方向dr2上彼此面对。
109.在图10的实施例中，油墨浓度测量装置100可以包括第一反射器191和第二反射器193。第一反射器191可以被设置为面对第一光照射装置111，并且第二反射器193可以被设置为面对第二光照射装置113。第一感测装置131和第一光照射装置111可以平行地设置在油墨dl的喷射路径的一侧，而不在第二方向dr2上彼此面对。第二感测装置133和第二光照射装置113可以平行地设置在油墨dl的喷射路径的一侧，而不在第二方向dr2上彼此面对。
110.图11是示出根据另一实施例的喷墨印刷设备的操作的示意图。
111.参考图11，在根据一个实施例的喷墨印刷设备10中，第一光照射装置111和第二光照射装置113可以分别利用光l1和l2照射同一照射区域sa。当第一光照射装置111和第二光照射装置113分别照射光l1和l2以在不同方向上引导时，尽管第一光照射装置111和第二光照射装置113利用光l1和l2照射同一照射区域sa，但是不同的感测装置131和133可以分别感测不同的出射光sl1和sl2。当一个光照射装置111通过绕过另一光照射装置113的光传播路径来利用光l1照射油墨dl时，不同的光照射装置111和113可以同时利用光l1和l2照射位于同一区域中的油墨dl，并且不同的感测装置131和133可以分别获取出射光sl1和sl2的数据。
112.例如，当油墨dl从喷墨头pa被喷射并且位于任意照射区域sa中时，第一光照射装置111可以在第二方向dr2上照射第一光l1。在第二方向dr2上照射的第一光l1可以从油墨dl被散射，并且可以朝向反射器190被引导。当从反射器190反射的第一出射光sl1入射在感测区域(未示出)上时，第一感测装置131可以感测第一出射光sl1。第一感测装置131可以与第一光照射装置111平行地设置在油墨dl的喷射路径的一侧。从第一光照射装置111照射的第一光l1可以是具有短波长的激光，并且从第一感测装置131获取的关于第一出射光sl1的数据可以是与油墨dl中的颗粒pt的数量有关的数据。
113.与图5的实施例不同，当油墨dl从喷墨头pa被喷射且位于任意照射区域sa中时，第二光照射装置113可以在第一方向dr1与第二方向dr2之间的方向上照射第二光l2。从第二光照射装置113照射的第二光l2可以不朝向反射器190被引导，而是可以朝向被设置为面对第二光照射装置113的第二感测装置133被引导。
114.当第二光照射装置113被设置为在第一方向dr1上与第一光照射装置111间隔开并且利用第二光l2照射第一光照射装置111的位于第二方向dr2上的照射区域sa时，第二光l2
可以从第一光照射装置111的下侧(例如，在第一方向dr1上的另一侧)被引导到反射器190的上侧(例如，在第一方向dr1上的一侧)。第二感测装置133可以被设置为关于照射区域sa面对第二光照射装置113，并且可以设置在反射器190的上侧(在第一方向dr1上的一侧)。朝向照射区域sa被引导的第二光l2可以不被引导到反射器190，而是可以被引导到第二感测装置133。从第二光照射装置113照射的第二光l2可以是具有长波长的激光，并且从第二感测装置133获取的关于第二出射光sl2的数据可以是与油墨dl的尺寸、体积和速度有关的数据。
115.当第一光照射装置111利用第一光l1照射反射器190时，第一光照射装置111和第一感测装置131可以平行地设置在油墨dl的喷射路径的一侧。另一方面，由于第二光照射装置113在倾斜方向上照射第二光l2以不被引导到反射器190，因此第二光照射装置113和第二感测装置133可以关于油墨dl的喷射路径彼此相对设置并且可以彼此面对。在根据实施例的喷墨印刷设备10中，不同的光照射装置111和113可以同时利用光l1和l2照射位于同一照射区域sa中的油墨dl，并且可以获取出射光sl1和sl2的数据。光照射装置111和113以及感测装置131和133可以具有对应的设置。
116.在下文中，将进一步参考其他附图来描述使用喷墨印刷设备10印刷油墨的方法。
117.图12是示出根据一个实施例的使用喷墨印刷设备印刷油墨的方法的流程图。
118.参考图12，根据一个实施例的使用喷墨印刷设备10印刷油墨的方法包括从喷墨头pa喷射油墨dl(步骤s10)、利用光l1和l2照射被喷射的油墨dl以获得出射光sl1和sl2的数据(步骤s20)以及确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否偏离参考值(步骤s30)。在油墨浓度测量装置100中，处理器150感测油墨dl中的颗粒pt的浓度和浓度变化，并且根据感测到的浓度的值是否偏离参考值，印刷工艺可以继续从喷墨头pa喷射油墨dl(步骤s10)，或者可以包括通过将当前浓度反馈到喷墨头pa来控制将被喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度(步骤s40)。
119.喷墨印刷设备10可以用于在将包括颗粒pt的层或图案形成在印刷目标产品(例如，目标基板)上的工艺中执行喷墨印刷工艺。喷墨印刷设备10可以将其中分散有颗粒pt的油墨dl从喷墨头pa喷射到目标基板上，并且可以对安置在目标基板上的油墨dl执行后处理工艺以形成包括颗粒pt的层或图案。
120.根据一个实施例的印刷油墨的方法可以包括在形成包括颗粒pt的层或图案的印刷工艺期间感测包括在油墨dl中的颗粒pt的浓度变化或者测量浓度。如在上述实施例中，包括油墨浓度测量装置100的喷墨印刷设备10可以通过测量从喷墨头pa喷射的油墨dl的液滴和颗粒pt的变化来感测油墨dl中的颗粒pt的浓度，并且可以通过将浓度反馈给喷墨头pa来保持将被喷射的油墨dl中的颗粒pt的均匀浓度。在下文中，将进一步参考其他附图来描述使用喷墨印刷设备10印刷油墨的方法。
121.图13至图16是顺序示出根据一个实施例的印刷油墨的方法的示意图。图13至图16顺序示出使用图9的喷墨印刷设备10印刷油墨dl的方法。
122.首先，参考图13，从喷墨印刷设备10的喷墨头pa喷射油墨dl(步骤s10)。如上所述，油墨dl可以包括溶剂sv和分散在溶剂sv中的多个颗粒pt。尽管未在附图中示出，但是油墨dl可以容纳在喷墨印刷设备10中包括的油墨存储单元中，并且然后可以通过管道注入到喷墨头pa中。油墨dl可以通过喷墨头pa中包括的多个喷嘴被喷射，并且可以被喷洒到作为印
刷目标对象的目标基板(未示出)上。
123.可以在第一方向dr1上从喷墨头pa喷射油墨dl。油墨dl可以从喷墨头pa被喷射，通过利用油墨浓度测量装置100的光照射装置110(111和113)的光照射的照射区域sa1和sa2，并且被喷洒到目标基板上。
124.接下来，参考图14，当从喷墨头pa喷射的油墨dl通过第一照射区域sa1时，第一光照射装置111可以利用第一光l1照射第一照射区域sa1，并且第一感测装置131可以获得关于从油墨dl散射的第一出射光sl1的数据(步骤s20)。在其中喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100包括面对第一光照射装置111的一个反射器190的实施例中，油墨dl被喷射以通过反射器190的曲率中心，并且当油墨dl位于第一照射区域sa1中时，第一光照射装置111可以照射第一光l1。
125.在一些实施例中，反射器190的曲率中心可以与第一照射区域sa1重叠，并且当油墨dl置于反射器190的曲率中心处时，第一光l1可以被照射。从第一光照射装置111照射的第一光l1可以被油墨dl散射并且可以作为第一出射光sl1朝向反射器190被引导。反射器190可以反射第一出射光sl1，并且第一感测装置131可以感测从反射器190反射的第一出射光sl1。
126.由第一感测装置131感测的第一出射光sl1的数据可以是与油墨dl中的颗粒pt的数量有关的数据。当油墨dl中的颗粒pt的数量大时，第一出射光sl1的强度和散射强度可以大，并且当油墨dl中的颗粒pt的数量小时，第一出射光sl1的强度和散射强度可以小。
127.接下来，参考图15，当从喷墨头pa喷射的油墨dl通过第二照射区域sa2时，第二光照射装置113可以利用第二光l2照射第二照射区域sa2，并且第二感测装置133可以获得关于从油墨dl折射的第二出射光sl2的数据(步骤s20)。在其中喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100被设置使得第二光照射装置113和第二感测装置133彼此面对的实施例中，照射到第二照射区域sa2的第二光l2可以被油墨dl折射以作为第二出射光sl2入射在第二感测装置133上。第二感测装置133可以感测第二出射光sl2以获取关于油墨dl的尺寸、体积和速度的数据。
128.接下来，参考图16，油墨浓度测量装置100的处理器150可以根据由感测装置130获取的出射光sl1和sl2的数据感测油墨dl中的颗粒pt的浓度，并且可以确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否偏离参考值(步骤s30)。处理器150可以根据由第一感测装置131获取的第一出射光sl1的数据计算油墨dl中的颗粒pt的数量的变化量，可以根据由第二感测装置133获取的第二出射光sl2的数据计算从喷墨头pa喷射的油墨dl的尺寸和体积，并且可以根据计算的值计算颗粒pt的浓度和浓度变化量。
129.根据一个实施例，由处理器150计算的颗粒pt的浓度变化量可以通过将由感测装置130获取的出射光sl1和sl2的数据与每次印刷工艺中获取的数据进行比较来计算，并且颗粒pt的浓度可以是通过与印刷工艺之前存储在处理器150中的参考值进行比较而计算的值。在处理器150中，当油墨dl中的颗粒pt的浓度具有印刷工艺所需的范围时，可以存储当利用光l1和l2照射对应的油墨dl时出现的出射光sl1和sl2的数据。随着油墨dl的印刷工艺的进行，处理器150可以以与先前存储的参考值数据的格式相同的格式对从感测装置130获取的出射光sl1和sl2的数据进行过滤，并且可以通过相互比较的方法确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出参考值的误差范围(步骤s30)。
130.图17和图18是示出根据使用喷墨印刷设备测量的油墨中的颗粒的浓度的出射光数据的图表。
131.图17和图18是示出当从光照射装置110照射的光l1和l2被油墨dl散射或折射并且作为出射光sl1和sl2入射在感测装置130上时的、根据油墨dl中的颗粒pt的浓度的出射光sl1和sl2的归一化散射强度的图表。在图17的图表中，作为纵轴坐标的“归一化散射强度”通过归一化当照射作为短波长光的第一光l1时的、第一出射光sl1的散射强度来显示。可以看出，当第一出射光sl1的归一化散射强度具有接近“1.0”的值时，光被油墨dl散射的程度较小，并且当第一出射光sl1的归一化散射强度指示远离“1.0”的值时，光被油墨dl较大程度地散射。
132.图18示出关于图17的第一出射光sl1的归一化散射强度的标准偏差值的计算。在图18中，大的标准偏差值可以意指由油墨dl进行的大的散射强度，并且小的标准偏差值可以意指由油墨dl进行的小的散射强度。
133.参考图17和图18，可以看出，随着油墨dl中的颗粒pt的浓度增大，检测到展示第一出射光sl1的归一化散射强度具有远离“1.0”的值的更多的光。相反，可以看出，随着油墨dl中的颗粒pt的浓度降低，检测到展示第一出射光sl1的归一化散射强度具有接近“1.0”的值的更多的光。另外，可以看出，随着油墨dl中的颗粒pt的浓度降低，散射光的归一化散射强度的标准偏差值变小，并且随着油墨dl中的颗粒pt的浓度增大，散射光的归一化散射强度的标准偏差值变大。
134.在喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100中包括的处理器150中，可以存储根据油墨dl中的颗粒pt的浓度的出射光数据。例如，当将从喷墨印刷设备10的喷墨头pa喷射的油墨dl具有4重量百分比(wt％)的颗粒pt的浓度的情况设置为参考值时，可以将其中油墨dl的颗粒pt的浓度为4wt％的数据值作为如图17和图18中所示的数据存储在处理器150中。
135.可以将在执行油墨的印刷工艺的同时从第一感测装置131和第二感测装置133获取的出射光sl1和sl2的数据作为如图17和图18中所示的散射光的归一化散射强度和归一化散射强度的标准偏差值包括在处理器150中。在第一感测装置131中，获取关于颗粒pt的数量的数据作为通过短波长光产生的第一出射光sl1的数据，其可以通过作为第二感测装置133处的通过长波长光产生的第二出射光sl2的数据的、关于油墨dl的体积的数据来补偿。当简单地忽略油墨dl的体积和尺寸并且仅将参考值数据与第一出射光sl1的数据进行比较时，不考虑根据油墨dl的每单位液滴的体积变化的变化量，并且因此，在误差范围确定方面可能存在误差。因此，处理器150可以综合对从第一感测装置131和第二感测装置133中的每一个获取的数据进行过滤，以计算出射光sl1和sl2的强度以及强度的标准偏差值。
136.接下来，处理器150将根据出射光数据计算的值与存储的参考值进行比较，以确定这些值是否超出误差范围。这里，存储在处理器150中的参考值可以是由用户使用喷墨印刷设备10设置的值。然而，本公开不限于此，并且参考值可以是喷墨印刷设备10在重复印刷工艺时学习的设定值。
137.根据一个实施例，除了油墨dl中的颗粒pt的浓度的参考值数据之外，处理器150可以进一步存储误差范围的数据值。可以存储在处理器150中的参考值数据可以是作为油墨dl的出射光数据的、关于散射光的归一化散射强度(图17)的数据和归一化散射强度的标准偏差值(图18)，并且处理器150可以存储基于每个数据的误差范围。处理器150可以根据油
墨dl中的颗粒pt的浓度将出射光sl1和sl2的归一化散射强度和标准偏差值存储为一个或多个数据。例如，除了充当参考值的4wt％浓度的油墨dl的数据之外，处理器150可以进一步存储1wt％、2wt％、3wt％、5wt％和6wt％等的数据作为与参考值的误差范围内的数据以及误差范围外的数据。
138.除了参考附图示出的情况之外，可以在处理器150中存储大量数据值。因此，与仅将在印刷工艺期间计算的值与误差范围内的参考值进行比较的情况相比，通过与不同浓度范围的数据值进行比较，处理器150可以更准确地计算在该工艺中喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度。
139.当处理器150在将根据出射光数据计算的值与存储的参考值和另外的数据进行比较时确定计算的值与参考值相比超出误差范围时，处理器150可以通过将对应的结果反馈给喷墨头pa来控制油墨dl中的颗粒pt的浓度(步骤s40)。例如，当由处理器150根据出射光数据计算的值指示颗粒pt的浓度低于参考值时，处理器150可以将反馈提供给喷墨头pa以增大油墨dl中的颗粒pt的浓度。相反地，当由处理器150根据出射光数据计算的值指示颗粒pt的浓度高于参考值时，处理器150可以将反馈提供给喷墨头pa以降低油墨dl中的颗粒pt的浓度。可替代地，当确定由处理器150根据出射光数据计算的值与参考值相比在误差范围内时，可以重复印刷工艺而不调整油墨dl中的颗粒pt的浓度。
140.通过上述工艺，可以执行使用喷墨印刷设备10印刷油墨的方法。根据一个实施例的喷墨印刷设备10可以包括用于在执行印刷工艺的同时，实时计算并感测油墨dl中的颗粒pt的浓度变化量的油墨浓度测量装置100。喷墨印刷设备10具有通过将实时感测到的变化量反馈给喷墨头pa而可以均匀地保持由印刷工艺形成的产品的质量的优点。
141.在上述实施例中，喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100可以经历将由用户设置的参考值数据存储在处理器150中的过程。然而，本公开不限于此，并且使用喷墨印刷设备10印刷油墨的方法可以进一步包括在将油墨dl印刷在目标产品上之前，将与油墨dl中的颗粒pt的浓度有关的初始值存储在处理器150中。
142.图19是示出根据另一实施例的使用喷墨印刷设备印刷油墨的方法的流程图。
143.参考图19，根据一个实施例的印刷油墨的方法可以进一步包括作为在图12的实施例中在目标产品上印刷油墨dl的步骤s10至s40之前执行的步骤的、将初始值数据存储在处理器150中(步骤s0)。存储初始值数据的步骤s0可以包括从喷墨头pa喷射其中分散有颗粒pt的油墨dl(步骤s1)、利用光l1和l2照射被喷射的油墨dl以获得出射光sl1和sl2的数据(步骤s2)以及设置油墨dl中的颗粒pt的浓度的初始值(步骤s3)。尽管附图示出存储初始值数据的步骤s0被执行一次，但是本公开不限于此。可以执行至少一次存储初始值数据的步骤s0，并且可以根据喷墨印刷设备10的产品规格重复执行该步骤若干次。实施例可以包括通过喷墨印刷设备10的试运行来存储初始值，而不在处理器150中存储单独的参考值。喷射其中分散有颗粒pt的油墨dl的步骤s1以及利用光l1和l2照射被喷射的油墨dl以获得出射光sl1和sl2的数据的步骤s2与上面参考图12至图18描述的基本相同。将省略其详细描述。
144.当其中分散有颗粒pt的油墨dl被制造时，可以设置使用喷墨印刷设备10来存储在处理器150中的初始值，而不经历用于从作为单独样品产生的油墨dl生成出射光数据的实验。因此，优点在于可以设置满足对应的喷墨印刷设备10的规格的初始值并且可以比如图12的实施例中那样存储单独的参考值数据更准确地感测颗粒pt的浓度。
145.当确定完成了存储初始值数据的步骤s0时，处理器150如图12的实施例中那样将油墨dl喷射在目标产品上，并且针对每次印刷工艺确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出被存储的初始值的误差范围。根据由处理器150确定的结果，喷墨头pa可以重复油墨dl的喷射，或者可以执行控制注入到喷墨头pa中的油墨dl中颗粒pt的浓度的步骤s40。
146.在上述实施例中，喷墨头pa被例示为从一个喷嘴喷射油墨dl，但是本公开不限于此。在另一实施例中，喷墨头pa可以通过包括多个喷嘴(图20中的“nz”)来同时喷射多个油墨dl。从喷墨头pa的多个喷嘴nz喷射的油墨dl中的一些可以安置在同一区域中，并且从多个不同喷嘴nz喷射的油墨dl可以在预定区域内形成一个层或图案。根据一个实施例的喷墨印刷设备10不仅可以针对每个喷嘴nz感测被喷射的油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的数量或浓度，而且可以感测包括在从多个喷嘴nz喷射的多个油墨dl中的颗粒pt的总数的变化或者从喷嘴nz喷射的油墨dl中包括的颗粒pt的数量之间的差。
147.图20是示出根据一个实施例的喷墨印刷设备的喷墨头中包括的多个喷嘴的设置的图。图21是示出从图20的喷墨头中包括的多个喷嘴的油墨喷射的图。图20是当从在其上提供多个喷嘴nz的一个表面观察时的喷墨头pa的平面图。
148.参考图20和图21，喷墨印刷设备10的喷墨头pa可以具有在一个方向上延伸的形状并且包括在一个方向和另一方向上布置的多个喷嘴nz。多个喷嘴nz可以设置在喷墨头pa的基底部分的一个表面(例如，设置在基底部分的底表面)上。多个喷嘴nz可以具有从喷墨头pa的底表面部分地突出的形状，但是不限于此。例如，多个喷嘴nz可以穿透喷墨头pa的基底部分的底表面并且连接到设置在喷墨头pa内部的管道(未示出)。
149.多个喷嘴nz可以布置在喷墨头pa延伸的一个方向和垂直于该一个方向的另一方向上。多个喷嘴nz可以布置成布置在一个方向上的一排或者两排或更多排。在一个喷墨头pa中，可以从多个喷嘴nz同时喷射多个油墨dl，并且从不同喷嘴nz喷射的油墨dl可以分别安置在形成在充当印刷目标的目标基板sub上的不同区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中。
150.例如，设置在喷墨头pa中的多个喷嘴nz可以被分为分别将油墨dl喷射到形成在目标基板sub上的多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn。喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的每一个可以由一个或多个喷嘴nz构成，并且从一个或多个喷嘴nz同时喷射的油墨dl可以分别一起安置在目标基板sub的预定区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中。
151.属于喷墨头pa的第一喷嘴组ng1的多个喷嘴nz可以将油墨dl喷射到目标基板sub的第一区域ja1。属于第二喷嘴组ng2的多个喷嘴nz可以将油墨dl喷射到目标基板sub的第二区域ja2，并且属于第三喷嘴组ng3和第n喷嘴组ngn的多个喷嘴nz可以分别将油墨dl喷射到目标基板sub的第三区域ja3和第n区域jan。多个喷嘴nz可以根据设置喷嘴nz中的每一个的位置以及在目标基板sub上将被喷射的油墨dl安置在其中的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan被分为不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn。然而，本公开不限于此，并且每个喷嘴nz可以根据喷墨印刷设备10的喷墨头pa中的预设条件被分为不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn。
152.当多个喷嘴nz同时将油墨dl喷射到任何一个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan时，通过将油墨dl安置在目标基板sub上而形成的层或图案的质量可以通过均匀地保持每个喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度来实现，但是也可以通过均匀地保持从属于每个喷嘴组
ng1、ng2、ng3、
……
ngn的多个喷嘴nz同时喷射的多个油墨dl中包括的颗粒pt的总数来实现。例如，由安置在目标基板sub的第一区域ja1中的油墨dl形成的层或图案的质量可以通过均匀地保持从属于第一喷嘴组ng1的喷嘴nz喷射的油墨dl中包括的颗粒pt的总数来实现。尽管未在附图中示出，但是可以通过油墨浓度测量装置100及其操作将从类似于上述实施例的喷墨头pa喷射的多个油墨dl保持为具有油墨dl中的颗粒pt的恒定数量或浓度。根据一个实施例，在喷墨印刷设备10中，油墨浓度测量装置100可以感测从每个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的全部油墨dl中的颗粒pt的浓度变化或者从其他喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度变化，并且可以将该变化反馈给喷墨印刷设备10。
153.图22是示出根据一个实施例的印刷油墨的方法的一些步骤的顺序的流程图。图22更详细地示出在图12和图19的印刷油墨的方法中确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否偏离参考值的步骤s30中执行的步骤。
154.参考图22，在根据一个实施例的印刷油墨的方法中，确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否偏离参考值的步骤s30可以包括在多个出射光数据中对从属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl的出射光数据进行分类(步骤s31)、根据多个出射光数据计算每滴油墨dl中的颗粒pt的浓度(步骤s32)、计算从属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量的相加数据(步骤s33)和基于相加数据确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出误差范围(步骤s34)。该实施例与其中感测每滴油墨dl的颗粒pt的浓度的上述实施例的不同之处在于，感测从包括多个喷嘴nz的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的全部油墨dl中的颗粒pt的数量变化。
155.当从多个喷嘴nz喷射油墨dl时，在喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100中，光照射装置110和感测装置130可以允许获得来自每滴油墨dl的出射光数据。这与参照上述实施例描述的相同。当光照射装置110利用光照射每滴油墨dl时，感测装置130可以获得关于来自油墨dl的散射或折射光的数据。
156.然后，油墨浓度测量装置100的处理器150将由感测装置130获得的每滴油墨dl的多个出射光数据分类为从属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl的出射光数据(步骤s31)。例如，关于从属于第一喷嘴组ng1的喷嘴nz喷射的油墨dl的数据可以被分类为第一喷嘴组ng1的出射光数据，并且关于从属于第二喷嘴组ng2的喷嘴nz喷射的油墨dl的数据可以被分类为第二喷嘴组ng2的出射光数据。关于从属于不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl的数据也可以被分别分类为不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的出射光数据。分类为同一喷嘴组的出射光数据与关于从其他喷嘴nz喷射的油墨dl的数据一起，可以被认为是关于从属于对应的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的全部油墨dl的数据。
157.接下来，根据多个出射光数据中的每一个计算油墨dl中的颗粒pt的浓度(步骤s32)，并且根据属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的出射光数据计算从属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量的相加数据(步骤s33)。在本步骤中，计算关于从同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的全部油墨dl的颗粒浓度的数据，而不是关于从每个喷嘴nz喷射的油墨dl中的每一个的颗粒浓度的数据。例如，除了从属于第一喷嘴组ng1的多个喷嘴nz喷射的油墨dl的颗粒pt的浓度之外，从第一
喷嘴组ng1同时喷射的所有油墨dl中的颗粒pt的浓度或数量可以通过将每滴油墨dl的颗粒pt的浓度相加来计算。可以根据从第一喷嘴组ng1喷射的油墨dl计算第一相加数据，并且可以根据从第二喷嘴组ng2喷射的油墨dl计算第二相加数据。对于其他喷嘴组ng3、
……
ngn中的每一个，类似地，可以根据同时喷射的所有油墨dl计算第三相加数据至第n相加数据。第n相加数据可以是油墨dl中的颗粒pt的浓度的参考数据。
158.如上所述，最终由于从属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl在目标基板sub上形成包括颗粒pt的层或图案，因此层或图案的质量可以取决于从属于喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的任何一组的喷嘴nz喷射的全部油墨dl中的颗粒pt的浓度而改变，而不是取决于一个油墨dl中的颗粒pt的浓度而改变。尽管针对每个喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度有变化，但是当从属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的全部油墨dl中的颗粒pt的浓度或数量没有变化时，由从对应的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl形成的层或图案可以保持均匀的质量。
159.根据一个实施例，喷墨印刷设备10可以基于关于从同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl的出射光数据的相加数据，确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出误差范围(步骤s34)。尽管从每个喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度有变化，但是从同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl的浓度可以由于从属于同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的其他喷嘴nz产生的颗粒pt的数量或浓度的变化而没有变化。在这种情况下，在对应的印刷工艺中喷射的油墨dl具有在参考值的范围内的喷射的颗粒pt，并且因此，可以在不控制油墨dl中的颗粒pt的数量的情况下，重复同一工艺。
160.相反，尽管在每滴油墨dl中产生的颗粒pt的数量或浓度变化落入参考值的范围内，但是当从同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的所有油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度变化偏离参考值时，可以在下一次工艺中控制油墨dl中的颗粒pt的浓度。根据一个实施例，在喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100中，除了每滴油墨dl的每单位液滴的颗粒pt的数量或浓度的参考值之外，处理器150可以进一步存储从同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的全部油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度的参考值。在印刷工艺中，除了被喷射的油墨dl中的每一个油墨dl的颗粒pt的浓度变化之外，处理器150可以计算从同一喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的全部油墨dl的颗粒pt的浓度变化。因此，在根据一个实施例的喷墨印刷设备10中，当针对在其上执行印刷工艺的目标基板sub中的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个喷射油墨dl时，通过从多个喷嘴nz同时喷射油墨dl，可以均匀地保持在区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个中形成的层或图案的质量。
161.另一方面，包括多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的目标基板sub可以具有通过一次油墨印刷工艺形成在区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个中的、具有相同数量的颗粒pt的层或图案，但是本公开不限于此。在另一实施例中，例如，当从第一喷嘴组ng1和第二喷嘴组ng2喷射的油墨dl在目标基板sub的第一区域ja1和第二区域ja2中形成层或图案时，形成在第一区域ja1中的层和形成在第二区域ja2中的层可以包括或者可以不包括基本相同数量的颗粒pt。这可以取决于形成在目标基板sub上的层或图案的设计条件而改变。当在一个印刷工艺中，无论区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个的位置如何，都应形成相同的层或图案时，从不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度应被保持为彼此一致。反之，当在一个印刷工艺中，应根据区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每
一个的位置形成不同的层或图案时，从不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度应分别保持一致。
162.在根据一个实施例的印刷油墨的方法中，确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出误差范围(步骤s34)的方法可以根据在其上执行油墨印刷工艺的目标基板sub上形成的层或图案的设计值而不同。
163.图23是示出图22的一个步骤的顺序的流程图。图23更详细地示出图22的基于相加数据确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出误差范围的步骤s34。
164.结合图22参考图23，在其中在一次印刷工艺中，无论区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个的位置如何，都在油墨印刷工艺在其上被执行的目标基板sub上形成相同的层或图案的实施例中，确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出误差范围的步骤s34可以包括确定从不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量是否彼此相等(步骤s341)和确定从喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的任何一个喷嘴组的喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量是否超出参考值的误差范围(步骤s342)。
165.在确定从多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的每一个喷嘴组喷射的油墨dl是否超出参考值的误差范围之前，可以通过将关于从不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl的数据彼此进行比较，来确定从哪个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl是否具有不同的数据值。由于在一个印刷工艺中，无论区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个的位置如何，都应形成相同的层或图案，因此尽管从不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射油墨dl，但是期望油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度相同。
166.例如，将从第一喷嘴组ng1、第二喷嘴组ng2和第三喷嘴组ng3喷射的油墨dl的第一相加数据、第二相加数据和第三相加数据彼此比较，使得可以选择具有相加数据当中的不同的相加数据的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn。当第一喷嘴组ng1具有与第二喷嘴组ng2和第三喷嘴组ng3的数据值不同的数据值时，在后续步骤中，确定从第一喷嘴组ng1的喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量是否超出参考值的误差范围(步骤s342)。当从第一喷嘴组ng1喷射的油墨dl的第一相加数据超出参考值的误差范围时，控制从第一喷嘴组ng1的喷嘴喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度或数量(步骤s40)。另一方面，当从第一喷嘴组ng1喷射的油墨dl的第一相加数据未超出参考值的误差范围时，控制从具有与第一喷嘴组ng1的相加数据值不同的相加数据值的、包括第二喷嘴组ng2和第三喷嘴组ng3的喷嘴组ng2、ng3、
……
ngn的喷嘴喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度或数量(步骤s40)。
167.尽管将从第一喷嘴组ng1、第二喷嘴组ng2和第三喷嘴组ng3喷射的油墨dl的相加数据彼此进行比较并且它们基本上彼此相等或者具有在误差范围内的数据值，但是在后续步骤中，确定从喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的任何一个喷嘴组的喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量是否超出参考值的误差范围(步骤s342)。当第一喷嘴组ng1喷射的油墨dl的数据未超出参考值的误差范围时，在不控制油墨dl中的颗粒pt的数量的情况下，重复印刷工艺，并且当数据超出参考值的误差范围时，可以控制所有多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的油墨dl中的颗粒pt的数量(步骤s40)并且可以执行印刷工艺。在这种情况下，在喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100中，处理器150可以将多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的参考值存储为相同的值。由于不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn应该喷射相同数量的颗粒pt，因此可以同等地应用存储在处理器150中的参考值，而与喷嘴组ng1、
ng2、ng3、
……
ngn无关。
168.另一方面，在其中在一次印刷工艺中，在油墨印刷工艺在其上被执行的目标基板sub上形成根据区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的位置的不同的层或图案的实施例中，确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否超出误差范围的步骤s34可以包括确定从喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的每一个喷嘴组的喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量是否超出不同的参考值的误差范围(步骤s343)。
169.由于在一个印刷工艺中，应根据区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的位置形成不同的层或图案，因此当从不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射油墨dl时，期望根据不同的预设参考值控制每滴油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度。
170.图24是示出图23的一个步骤的图。
171.结合图22和图23参考图24，分别喷射到目标基板sub的不同区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的油墨dl(dl1、dl2和dl3)可以具有不同数量的颗粒pt。例如，在第一区域ja1中，第一喷嘴组ng1的喷嘴nz可以喷射第一油墨dl1，并且在第二区域ja2中，第二喷嘴组ng2的喷嘴nz可以喷射第二油墨dl2。如上所述，在第三区域ja3和第n区域jan中，第三喷嘴组ng3和第n喷嘴组ngn的喷嘴nz可以分别喷射第三油墨dl3和其他油墨dl。第一油墨dl1、第二油墨dl2和第三油墨dl3中的每一个可以被设定为包括每单位液滴的不同数量或浓度的颗粒pt。另外，在从不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的所有油墨dl中，颗粒pt的数量或浓度可以不同。
172.当计算从第一喷嘴组ng1、第二喷嘴组ng2和第三喷嘴组ng3喷射的油墨dl的相加数据时，将每个相加数据与不同的参考值进行比较，以确定相加数据是否超出误差范围(步骤s343)。针对从第一喷嘴组ng1喷射的第一油墨dl1，基于第一参考值确定相加数据是否超出误差范围，并且针对从第二喷嘴组ng2喷射的第二油墨dl2，基于第二参考值确定相加数据是否超出误差范围。即使在其他喷嘴组ng3、
……
ngn的情况下，也基于不同的参考值来确定每个喷嘴组是否超出误差范围。基于喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的每一个喷嘴组的数据与参考值进行比较的结果是，当一些喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的油墨dl超出误差范围时，可以控制从对应的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl中的颗粒pt的数量(步骤s40)。
173.在这种情况下，在喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100中，处理器150可以针对多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn存储彼此不同的参考值或者其中至少一些彼此不同的参考值。当在目标基板sub的多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个中形成包括不同数量的颗粒pt的层或图案时，存储在处理器150中的参考值的数量可以与目标基板sub的不同的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的数量相同。另一方面，当在目标基板sub的多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的一些区域中形成包括相同数量的颗粒pt的层或图案时，存储在处理器150中的参考值的数量可以不同于目标基板sub的不同的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的数量。
174.在根据一个实施例的喷墨印刷设备10中，喷墨头pa包括可以被分类为多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn的多个喷嘴nz。因此，油墨浓度测量装置100可以以多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn为单位感测油墨dl中的颗粒pt的数量或浓度变化。
175.根据一个实施例的喷墨印刷设备10可以用于制造针对区域ja1、ja2、ja3、
……
jan
中的每一个包括不同的层或图案的显示装置(图29中的“1000”)。显示装置1000可以包括多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan，并且可以在区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个中形成不同的层或图案，或者可以在多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的一些区域中形成相同的层或图案并且可以在多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的至少一些区域中形成不同的层或图案。在下文中，将参照其他附图描述使用喷墨印刷设备10制造显示装置1000的方法。
176.图25是示出根据一个实施例的制造显示装置的方法的流程图。图26至图29是示出根据一个实施例的使用印刷油墨的方法制造显示装置的方法的截面图。图26至图29是顺序示出根据一个实施例的制造显示装置1000的方法中的形成多个油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln的工艺的视图。
177.参考图25至图29，根据一个实施例的制造显示装置1000的方法可以包括制备目标基板sub(步骤s101)、从喷墨头pa将油墨dl喷射到目标基板sub的不同的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个(步骤s102)、通过利用光l1和l2照射被喷射的油墨dl来获得出射光sl1和sl2的数据(步骤s103)以及确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否偏离参考值(步骤s104)。在油墨浓度测量装置100中，处理器150感测油墨dl中的颗粒pt的浓度变化，并且根据感测值是否偏离参考值，印刷工艺可以继续从喷墨头pa喷射油墨dl(步骤s102)，或者可以包括通过将浓度变化反馈给喷墨头pa来控制要喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度(步骤s105)。在制造显示装置1000的方法中，喷射油墨dl(步骤s102)、获得出射光数据(步骤s103)以及基于该数据确定其是否超出参考值的误差范围(步骤s104)的步骤与上面参考图12至图16描述的基本相同。另外，通过在包括多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的目标基板sub上执行油墨印刷工艺来制造显示装置1000与上面参考图21至图24描述的基本相同。在下文中，将简化重复内容的描述，并且将主要针对不同之处进行描述。
178.首先，如图26中所示，制备在其上执行油墨印刷工艺并且包括多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的目标基板sub(步骤s101)。显示装置1000可以包括目标基板sub和形成在目标基板sub上的图29的多个油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln。在实施例中，通过使用喷墨印刷设备10来制造的显示装置1000可以指任何能够显示运动图像或静止图像的电子装置。显示装置1000的示例可以包括提供显示屏的电视、膝上型计算机、监视器、广告牌、物联网装置、移动电话、智能电话、平板个人计算机(“pc”)、电子表、智能手表、手表电话、头戴式显示器、移动通信终端、电子笔记本、电子书、便携式多媒体播放器(“pmp”)、导航装置、游戏机、数码相机和摄像机等。
179.显示装置1000包括提供显示屏的显示面板。显示面板的示例可以包括无机发光二极管显示面板、有机发光显示面板、量子点发光显示面板、等离子体显示面板和场发射显示面板。在以下描述中，将以将有机发光二极管显示面板用作显示面板的情况为例进行说明，但是本公开不限于此，并且在相同的技术精神的范围内，可以应用其他显示面板。
180.目标基板sub可以包括基底部分1001、设置在基底部分1001上的显示层1003和设置在显示层1003上的绝缘层1004。目标基板sub可以包括限定在绝缘层1004上的多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan，并且使用喷墨印刷设备10的印刷工艺被执行以形成显示装置1000。
181.参考目标基板sub的结构，基底部分1001可以包括由透明材料制成的基底基板和设置在基底基板上的电路层。基底基板可以由诸如玻璃、石英或聚合物树脂的绝缘材料制成。另外，基底基板可以是刚性基板，但是也可以是可以弯曲、折叠或卷曲的柔性基板。
182.设置在基底基板上的电路层可以包括多个开关元件。开关元件中的每一个可以是包括多晶硅的薄膜晶体管或包括氧化物半导体的薄膜晶体管。尽管未在附图中示出，但是可以在目标基板sub上进一步设置将信号传输到开关元件中的每一个的多条信号线(例如，栅线、数据线或电力线等)。
183.显示层1003可以设置在基底部分1001上并且包括电连接到电路层的多个发光元件。在实施例中，显示层1003可以包括多个电极和设置在多个电极之间的有机发光层，并且显示装置1000可以是包括有机材料作为发光材料的有机发光显示(oled)装置。多个电极中的每一个可以电连接到基底部分1001的电路层，并且有机发光层可以从电极接收电信号以发光。然而，本公开不限于此。在其中显示装置1000不是有机发光显示装置的实施例中，显示层可以包括除了有机发光层之外的发光层或发光元件。另外，尽管未在附图中详细示出，但是目标基板sub可以进一步包括设置在基底部分1001和显示层1003上的多个层或图案。
184.绝缘层1004可以设置在显示层1003上。绝缘层1004可以直接设置在显示层1003上以完全覆盖显示层1003。然而，本公开不限于此，并且可以在绝缘层1004与显示层1003之间进一步设置其他层。
185.在一个实施例中，绝缘层1004可以由多层构成，并且绝缘层1004的每层可以包括无机绝缘材料或有机绝缘材料。例如，无机绝缘材料可以包括氮化硅、氮化铝、氮化锆、氮化钛、氮化铪、氮化钽、氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化锡、氧化铈、氧氮化硅(sio
x
ny)和氟化锂中的至少一种。有机绝缘材料可以包括丙烯酸树脂、甲基丙烯酸树脂、聚异戊二烯、乙烯基树脂、环氧树脂、聚氨酯树脂、纤维素树脂和苝树脂中的至少一种。然而，绝缘层1004的结构和材料不限于上述描述，并且可以对堆叠结构或材料进行各种修改。
186.目标基板sub可以包括限定在绝缘层1004上的多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan，并且根据使用喷墨印刷设备10的印刷工艺，多个油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln可以分别形成在区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中。分别形成在区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln可以无论位置如何都相同，或者可以根据位置而彼此不同。在其中油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln无论位置如何都相同的实施例中，制造显示装置1000的方法可以通过图23的实施例中的步骤s341和步骤s342来执行。可替代地，在其中油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln根据位置而不同的同一实施例中，制造显示装置1000的方法可以通过图23的实施例中的步骤s343来执行。在以下附图中，将例示并且描述制造显示装置1000的方法通过图23的实施例中的步骤s341和步骤s342来执行的情况。
187.参考图27和图28，喷墨头pa将油墨dl喷射到目标基板sub的不同的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个(步骤s102)，并且通过利用光l1和l2照射被喷射的油墨dl来获得出射光sl1和sl2的数据(步骤s103)。
188.第一喷嘴组ng1可以将油墨dl喷射到第一区域ja1，第二喷嘴组ng2可以将油墨dl喷射到第二区域ja2，并且第三喷嘴组ng3可以将油墨dl喷射到第三区域ja3。在其中在目标基板sub上的多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个中形成相同的油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln的实施例中，可以从第一喷嘴组ng1、第二喷嘴组ng2、第三喷嘴组ng3、
……
第n喷嘴组ngn中的每一个喷嘴组喷射具有相同浓度的颗粒pt的油墨dl。然而，可替代地，在其中在目标基板sub上的多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中形成不同的油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln的实施例中，可以从第一喷嘴组ng1、第二喷嘴组ng2、第三喷嘴组ng3、
……
第n
喷嘴组ngn中的每一个喷嘴组喷射具有不同浓度的颗粒pt的油墨dl。
189.可以在第一方向dr1上从喷墨头pa喷射油墨dl。油墨dl可以从喷墨头pa被喷射，通过利用油墨浓度测量装置100的光照射装置110(111和113)的光照射的照射区域sa1和sa2，并且被喷洒到目标基板sub上。当从喷墨头pa喷射的油墨dl通过第一照射区域sa1时，第一光照射装置111可以利用第一光l1照射第一照射区域sa1，并且第一感测装置131可以获得关于从油墨dl散射的第一出射光sl1的数据。当从喷墨头pa喷射的油墨dl通过第二照射区域sa2时，第二光照射装置113可以利用第二光l2照射第二照射区域sa2，并且第二感测装置133可以获得关于从油墨dl折射的第二出射光sl2的数据。其描述与上述相同。
190.油墨浓度测量装置100的处理器150可以根据由感测装置130获取的出射光sl1和sl2的数据感测油墨dl中的颗粒pt的浓度变化，并且可以确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否偏离参考值(步骤s104)。在将相同的油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln形成在多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个中的实施例中，在本步骤中，可以执行图23中的步骤s341和步骤s342。在其中在多个区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中分别形成不同的油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln的实施例中，在本步骤中，可以执行图23的步骤s343。其详细描述与上述相同，并且因此将被省略。基于从喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的每一个喷嘴组喷射的油墨dl获得的数据，当需要控制油墨dl中的颗粒pt的浓度时，控制浓度(步骤s105)，否则重复印刷工艺。
191.然后，参考图29，可以通过执行上述工艺在目标基板sub上形成多个油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln来制造显示装置1000。
192.图30是示出根据一个实施例的显示装置的一部分的截面图。
193.结合图29参考图30，根据一个实施例的显示装置1000可以包括目标基板sub、以及设置在目标基板sub上并且使用喷墨印刷设备10形成的多个波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu。另外，显示装置1000可以进一步包括划分其中形成波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu中的每一个的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的堤层bk以及覆盖堤层bk、波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu的封盖层cap。
194.堤层bk可以围绕其中在目标基板sub上设置波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu的部分。堤层bk可以被设置为在目标基板sub上具有预定高度。在实施例中，堤层bk可以包括有机绝缘材料并且可以具有4微米(μm)至20μm范围内的高度和4μm至20μm范围内的宽度。然而，本公开不限于此。附图中例示堤层bk的侧表面与目标基板sub的顶表面垂直的情况，但是本公开不限于此。在一些实施例中，堤层bk的侧表面可以是倾斜的或弯曲的形状。在一个示例中，堤层bk可以具有其中顶表面的宽度大于底表面的宽度的倒锥形形状。
195.波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu可以设置在由堤层bk围绕的区域中。波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu可以在目标基板sub上形成岛状图案。然而，本公开不限于此，并且波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu中的每一个可以被设置为在一个方向上延伸以形成线性图案。
196.波长转换层wlc1和wlc2可以包括设置在第一区域ja1中的第一波长转换层wlc1和设置在第二区域ja2中的第二波长转换层wlc2。透光层ltu可以设置在第三区域ja3中。在附图中，示出其中逐一设置第一波长转换层wlc1、第二波长转换层wlc2和透光层ltu中的每一个的部分，但是本公开不限于此。显示装置1000可以包括提供为多个的第一波长转换层
wlc1、第二波长转换层wlc2和透光层ltu中的每一个。
197.第一波长转换层wlc1可以包括第一基底树脂bs1和在第一基底树脂bs1中提供的第一波长转换材料wls1。第二波长转换层wlc2可以包括第二基底树脂bs2和在第二基底树脂bs2中提供的第二波长转换材料wls2。第一波长转换层wlc1和第二波长转换层wlc2可以分别进一步包括分散在基底树脂中的第一散射体sct1和第二散射体sct2。
198.透光层ltu可以包括第三基底树脂bs3和包含在第三基底树脂bs3中的第三散射体sct3。透光层ltu在保持从发光元件入射的第三颜色的蓝光的波长的同时透射该蓝光。透光层ltu的第三散射体sct3可以用于调整通过透光层ltu发射的光的发射路径。透光层ltu可以不包括波长转换材料。
199.第一至第三散射体sct1、sct2和sct3可以是金属氧化物颗粒或有机颗粒。其描述与上述相同。第一至第三基底树脂bs1、bs2和bs3可以包括透光有机材料。例如，第一至第三基底树脂bs1、bs2和bs3可以包括环氧树脂、丙烯酸树脂、cardo树脂或酰亚胺树脂等。第一至第三基底树脂bs1、bs2和bs3可以由相同的材料形成，但是本公开不限于此。
200.第一波长转换材料wls1可以将蓝光转换为红光，并且第二波长转换材料wls2可以将蓝光转换为绿光。第一波长转换材料wls1和第二波长转换材料wls2可以是量子点、量子棒或荧光体等。量子点的示例可以包括iv族纳米晶体、ii-vi族化合物纳米晶体、iii-v族化合物纳米晶体、iv-vi族化合物纳米晶体及其组合。
201.封盖层cap可以设置在波长转换层wlc1和wlc2、透光层ltu以及堤层bk上。封盖层cap可以防止诸如湿气或空气的杂质从外部渗透而损坏或污染波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu。封盖层cap可以由无机绝缘材料形成。
202.在显示装置1000的制造工艺中，不同的波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu中的每一个可以包括不同的材料。另外，尽管不同的波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu中的每一个包括相同的散射体sct1、sct2和sct3，但是各层中包括的散射体sct1、sct2和sct3的浓度可以彼此不同。例如，第一波长转换层wlc1的第一散射体sct1的浓度可以不同于第二波长转换层wlc2的第二散射体sct2的浓度，并且这些浓度可以不同于透光层ltu的第三散射体sct3的浓度。
203.在一个实施例中，在使用喷墨印刷设备10制造显示装置1000的方法中，不同的波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu中的每一个可以通过印刷工艺单独地形成。在这种情况下，在第一印刷工艺中，可以形成设置在目标基板sub上的多个第一波长转换层wlc1，并且在第二印刷工艺和第三印刷工艺中，可以分别形成第二波长转换层wlc2和透光层ltu。在实施例中，由于从喷墨头pa的不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl中的每一个形成相同的波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu，因此可以执行图23的步骤s341和步骤s342。在第一印刷工艺中，可以设置喷墨印刷设备10的用于形成显示装置1000的多个第一波长转换层wlc1的参考值，并且可以执行印刷工艺。在第一印刷工艺中，由于不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn中的每一个喷嘴组喷射油墨dl以形成第一波长转换层wlc1，因此从喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度可以基本上保持彼此一致。
204.然后，当执行第二印刷工艺和第三印刷工艺中的每一个时，可以设置用于形成显示装置1000的多个第二波长转换层wlc2和多个透光层ltu的参考值，并且可以执行印刷工
艺。在第二印刷工艺和第三印刷工艺的每一个中设置的参考值可以不同，但是可以同样地应用于多个喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn。
205.然而，本公开不限于此。在一些实施例中，在第一印刷工艺中，喷墨印刷设备10可以执行用于同时形成多个第一波长转换层wlc1、多个第二波长转换层wlc2和多个透光层ltu的工艺。在实施例中，由于从喷墨头pa的不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl形成不同的波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu，因此可以执行图23的步骤s343。在印刷工艺中，可以以用于在不同的喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn处形成显示装置1000的不同的波长转换层wlc1和wlc2以及透光层ltu的参考值设置喷墨印刷设备10的喷墨头pa，并且可以执行印刷工艺。例如，可以从第一喷嘴组ng1喷射用于在第一区域ja1中形成第一波长转换层wlc1的第一油墨dl1，可以从第二喷嘴组ng2喷射用于在第二区域ja2中形成第二波长转换层wlc2的第二油墨dl2，并且可以从第三喷嘴组ng3喷射用于在第三区域ja3中形成透光层ltu的第三油墨dl3。从喷嘴组ng1、ng2、ng3、
……
ngn喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度可以具有不同的值，并且可以被单独地保持一致。
206.在上述实施例中，当在油墨dl的印刷工艺期间，改变油墨dl中的颗粒pt的浓度时，调整引入到喷墨头pa中的油墨dl的颗粒pt的浓度的情况已被描述。然而，如上所述，最终形成在目标基板sub上的油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln可以取决于喷射到目标基板sub的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan中的每一个的全部油墨dl中的颗粒pt的数量而改变。根据一个实施例，在使用喷墨印刷设备10制造显示装置1000的方法中，当从任何一个喷嘴nz喷射的油墨dl中的颗粒pt的浓度低时，为了对此进行补偿，可以从另一喷嘴nz将油墨dl喷射到对应的区域。即，在根据一个实施例的制造显示装置1000的方法中，可以将不同的油墨dl作为具有不同浓度的颗粒pt的油墨dl喷射在目标基板sub的一个区域中。
207.图31是示出根据另一实施例的制造显示装置的方法的流程图。图32和图33是示出图31的制造显示装置的方法的一个步骤的截面图。
208.参考图31至图33，根据一个实施例的制造显示装置1000的方法可以包括制备包括不同区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的目标基板sub(步骤s101)、从第一喷嘴nz1将油墨喷射到目标基板sub的一个区域(步骤s102)、通过利用光l1和l2照射被喷射的油墨dl来获得出射光sl1和sl2的数据(步骤s103)、确定油墨dl中的颗粒pt的浓度是否偏离参考值(步骤s104)以及从第二喷嘴nz2将油墨dl喷射到对应的区域(步骤s105)。该实施例与图25的实施例的不同之处在于，步骤s105实质上不同。在以下的描述中，将省略冗余描述，同时关注不同之处。
209.当将第一油墨dl1从第一喷嘴nz1喷射到第一区域ja1时，通过照射第一光l1和第二光l2来获取出射光数据，以计算油墨dl的颗粒pt的浓度。本步骤的描述与上述相同。
210.接下来，当基于获取的出射光数据确定喷射到第一区域ja1的油墨dl中的颗粒pt的浓度偏离参考值时，将第二油墨dl2通过不同于第一喷嘴nz1的第二喷嘴nz2喷射到第一区域ja1。在第一区域ja1中，可以混合从第一喷嘴nz1喷射的第一油墨dl1和从第二喷嘴nz2喷射的第二油墨dl2。当第一油墨dl1的颗粒pt的浓度具有偏离参考值的值时，喷墨印刷设备10的油墨浓度测量装置100可以感测偏差，该偏差可以通过不同于第一喷嘴nz1的第二喷嘴nz2来补偿。第二喷嘴nz2可以将第二油墨dl2喷射到已经将第一油墨dl1喷射到其的第一区域ja1。
211.尽管未在附图中示出，但是当将第一油墨dl1从第一喷嘴nz1喷射到第一区域ja1时，第二喷嘴nz2可以将第二油墨dl2喷射到除了第一区域ja1之外的第二区域ja2。当喷射第二油墨dl2时，可以以与第一油墨dl1的方式相同的方式通过照射第一光l1和第二光l2来获取第二油墨dl2的出射光数据。当根据第一油墨dl1的出射光数据感测到第一油墨dl1的颗粒pt的浓度低时，油墨浓度测量装置100可以找到喷射具有在第一区域ja1中额外期望的颗粒pt的浓度的油墨dl的喷嘴nz。当第二油墨dl2具有与从第一喷嘴nz1喷射的第一油墨dl1的不足的浓度一样多的颗粒pt的浓度时，在喷射第一油墨dl1之后，可以使用第二喷嘴nz2将油墨进一步喷射到第一区域ja1。在不同的工艺中喷射第一油墨dl1和第二油墨dl2，但是可以喷射到相同的区域(例如，第一区域ja1)以形成一个油墨图案jl1、jl2、jl3、
……
jln。通过实时感测喷射到预定区域的油墨dl中的颗粒pt的浓度，喷墨印刷设备10不仅可以控制通过喷嘴nz喷射的油墨dl的颗粒pt的浓度，而且可以通过其他相邻的喷嘴nz来调整或补偿喷射到对应的区域ja1、ja2、ja3、
……
jan的油墨dl中的颗粒pt的浓度。
212.在结束详细描述时，本领域技术人员将理解，可以对优选实施例进行许多变化和修改，而不实质上脱离本实用新型的原理。因此，本实用新型的公开的优选实施例仅在一般性和描述性意义上使用，而不是出于限制的目的使用。

技术特征：
1.一种喷墨印刷设备，包括：喷墨头，喷射其中分散有多个颗粒的油墨，其特征在于，所述喷墨印刷设备进一步包括：第一光照射装置和第二光照射装置，分别将不同波段的光照射到被喷射的所述油墨；第一感测装置，第一出射光入射在所述第一感测装置上，其中，所述第一出射光是通过散射从所述第一光照射装置照射并且入射在所述油墨上的第一光而获得的；第二感测装置，第二出射光入射在所述第二感测装置上，其中，所述第二出射光是通过折射从所述第二光照射装置照射并且入射在所述油墨上的第二光而获得的；以及处理器，关于分别入射在所述第一感测装置和所述第二感测装置上的所述第一出射光和所述第二出射光的数据被输入到所述处理器。2.根据权利要求1所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述油墨在第一方向上从所述喷墨头被喷射，其中，所述第一光照射装置在垂直于所述第一方向的第二方向上照射所述第一光，并且其中，从所述第一光照射装置照射的所述第一光具有500nm或更小的波长，并且从所述第二光照射装置照射的所述第二光具有1000nm或更大的波长。3.根据权利要求2所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述第二光照射装置被设置为在所述第一方向上与所述第一光照射装置间隔开，并且在所述第二方向上照射所述第二光。4.根据权利要求3所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述第一光照射装置和所述第二光照射装置分别将所述第一光和所述第二光照射到通过其喷射所述油墨的路径中的不同区域。5.根据权利要求2所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述第一感测装置关于通过其喷射所述油墨的路径与所述第一光照射装置相对设置并且被设置为面对所述第一光照射装置，并且所述第二感测装置关于通过其喷射所述油墨的所述路径与所述第二光照射装置相对设置并且被设置为面对所述第二光照射装置。6.根据权利要求2所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述喷墨印刷设备进一步包括：第一反射器，被设置为与所述第一光照射装置间隔开，其中，所述第一反射器具有在通过其喷射所述油墨的路径中的曲率中心并且具有弯曲的外表面，其中，所述第一出射光从所述第一反射器被反射并且入射在所述第一感测装置上。7.根据权利要求6所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述第一感测装置关于通过其喷射所述油墨的所述路径被设置在与所述第一反射器被定位的第二侧相对的第一侧。8.根据权利要求6所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述喷墨印刷设备进一步包括：第二反射器，被设置为与所述第二光照射装置间隔开，其中，所述第二反射器具有在通过其喷射所述油墨的所述路径中的曲率中心并且具有弯曲的外表面，其中，所述第二出射光从所述第二反射器被反射并且入射在所述第二感测装置上。9.根据权利要求2所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述第二光照射装置被设置为在
所述第一方向上与所述第一光照射装置间隔开并且在所述第一方向与所述第二方向之间的方向上照射所述第二光，并且所述第一光照射装置和所述第二光照射装置分别将所述第一光和所述第二光照射到被喷射的所述油墨。10.根据权利要求1-9中任一项所述的喷墨印刷设备，其特征在于，所述处理器根据所述油墨中的所述颗粒的不同浓度存储关于所述第一出射光和所述第二出射光的所述数据。

技术总结
提供了一种喷墨印刷设备。该喷墨印刷设备包括：喷墨头，喷射其中分散有多个颗粒的油墨；第一光照射装置和第二光照射装置，分别将不同波段的光照射到被喷射的油墨；第一感测装置，第一出射光入射在第一感测装置上，其中，第一出射光是通过散射从第一光照射装置照射并且入射在油墨上的第一光而获得的；第二感测装置，第二出射光入射在第二感测装置上，其中，第二出射光是通过折射从第二光照射装置照射并且入射在油墨上的第二光而获得的；以及处理器，关于分别入射在第一感测装置和第二感测装置上的第一出射光和第二出射光的数据被输入到处理器。到处理器。到处理器。


技术研发人员：李东俊 林菜镐 申昊容 鱼庆恩 林峻辉 李善旭
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2022.07.11
技术公布日：2023/7/17