一种氦质谱检漏装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种氦质谱检漏装置。


背景技术：

2.氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检产品的氦泄漏量测量。当被检产品密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄漏出来，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦气的泄漏量。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的是提供一种氦质谱检漏装置，旨在解决上述技术问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提出的一种氦质谱检漏装置包括用于容置被检产品的真空密封室、用于朝所述被检产品内充注氦气的氦气充注设备、用于抽真空所述真空密封室的抽真空设备、连接所述真空密封室与所述抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，所述抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，所述第一截流阀与所述第二截流阀之间的真空管道形成截流段，所述氦质谱检漏仪连接所述截流段，所述氦气充注设备包括安装架、滑动设置于所述安装架顶部的充注头，所述充注头与氦气存储筒相连通。
5.在一实施例中，所述安装架包括底座、设置于所述底座上的安装柱以及设置于所述底座上的滑架，所述充注头滑动连接于所述滑架。
6.在一实施例中，所述充注头包括相连接的连接部以及充气部，所述连接部与所述滑架连接，所述充气部的侧部设有进气口，所述进气口处设有进气管道，所述进气管道和所述氦气存储筒相连通。
7.在一实施例中，所述充注头的底部的外壁面凹陷形成有设有密封圈。
8.在一实施例中，所述连接部的底部设有呈u型的安装部，所述安装部上开设有贯穿孔，所述充气部的顶部凹陷形成有安装孔，紧固螺栓穿设所述贯穿孔后插装于所述安装孔内。
9.在一实施例中，所述截流段上设有一第一真空计。
10.在一实施例中，所述第一截流阀设于所述抽真空管道靠近所述真空密封室一侧的位置，所述第二截流阀设于所述抽真空管道靠近所述抽真空设备一侧的位置，所述真空密封室与所述第一截流阀之间的所述抽真空管道上设有一第二真空计。
11.在一实施例中，所述抽真空设备包括主真空泵及连接所述主真空泵的辅助前级泵。
12.在一实施例中，所述真空密封室上设有用于对所述真空密封室解除密封的破空管道，所述破空管道上设有破空阀。
13.本实用新型的技术方案中，通过在容置被检产品的真空密封室与抽真空设备之间
的抽真空管道上安装第一截流阀和第二截流阀，使第一截流阀与第二截流阀之间的抽真空管道形成截流段，在真空密封室达到检测真空度时，通过关闭第一截流阀和第二截流阀，将真空密封室内的抽真空气体截流采集在截流段内，完成取样，然后移走被检产品，使被检产品能够迅速回到生产线，再利用氦质谱检漏仪对截流段内的抽真空气体进行检漏，若被检产品存在漏孔，就能从抽真空气体中检测到氦气的泄漏量，同时，检漏时被检产品已经脱离检测系统，提高生产效率，实现了生产线上的高速在线检测，氦质谱检漏仪检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检产品的真实泄漏量。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
15.图1为本实用新型实施例的氦质谱检漏装置的结构示意图；
16.图2为本实用新型实施例的氦气充注设备的结构示意图；
17.图3为本实用新型实施例的氦气充注设备的剖面示意图；
18.图4为本实用新型实施例的氦气充注设备的另一视角的剖面示意图。
19.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
22.另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
23.并且，本实用新型各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
24.本实用新型提供一种氦质谱检漏装置。
25.本实用新型的截流取样法氦质谱检漏方法主要是利用最新研制的截流取样法氦质谱检漏装置在真空箱法氦质谱检漏过程中，增加了截流取样的步骤，首先利用真空箱法对生产线上的被检产品进行快速地抽真空气体的取样，然后，将被检产品迅速投入下一生产线，同时利用氦质谱检漏仪对取样的抽真空气体进行检漏，检漏时被检产品已经脱离检
测系统，从而提高生产效率，实现了生产线上的高速在线检测。
26.首先参阅图1-4所示，本实用新型的截流取样法氦质谱检漏装置主要由用于容置被检产品20的真空密封室11、用于朝被检产品20内充注氦气的氦气充注设备17、用于抽真空该真空密封室11的抽真空设备12、连接真空密封室11与抽真空设备12的抽真空管道13、以及用于检测氦气泄漏量的氦质谱检漏仪14构成，氦气充注设备17包括安装架171、滑动设置于所述安装架171顶部的充注头172，所述充注头172与氦气存储筒相连通。
27.安装架171包括底座1711、设置于底座1711上的安装柱1712以及设置于底座1711上的滑架1713，充注头172滑动连接于滑架1713。在本实施例中，由于充注头172可以进行滑动，使得充注头172可以根据不同型号的真空箱7进行调节，来适配真空箱7顶部的充注口。
28.具体地，充注头172包括相连接的连接部1721以及充气部1722，连接部1721与滑架1713连接，充气部1722的侧部设有进气口，进气口处设有进气管道1723，进气管道1723和氦气存储筒相连通。在本实施例中，连接部1721作为安装部件与滑架1713进行连接，同时在连接部1721的顶部设有限位把手1725来防止连接部1721掉落，充气部1722通过进气管道1723和氦气存储桶相连通以在需要充注氦气时对真空箱7进行充注。可以理解的是在进气管道1723上可设置电磁阀等导通部件来关闭或导通进气管道1723。
29.为了提高充注头172和充注口的密封性，在一实施例中，充注头172的底部的外壁面凹陷形成有设有密封圈1724。
30.另外，在底座1711上设置固定座173，固定座173上设有固定槽，固定槽的形状可根据真空箱7的形状进行匹配，以达到提高真空箱7稳定性的目的。
31.请参考图4，所述连接部1721的底部设有呈u型的安装部1723，所述安装部1723上开设有贯穿孔，所述充气部1722的顶部凹陷形成有安装孔1724，紧固螺栓1725穿设所述贯穿孔后插装于所述安装孔1724内。在本实施例中，连接部1721和充气部1722之间为可拆卸连接，在需要更换部件或者拆卸检修时，可以通过拆卸紧固螺栓1725来分离连接部1721和充气部1722。同时此种连接方式可以确保工作时不会发生脱离现象，以此提高稳定性。
32.其中，抽真空管道13上安装有一第一截流阀131和一第二截流阀132，第一截流阀131和第二截流阀132均为电磁阀，第一截流阀131设于抽真空管道13靠近真空密封室11一侧的位置，而第二截流阀132设于抽真空管道13靠近抽真空设备12一侧的位置，使得第一截流阀131与第二截流阀132之间的抽真空管道13形成一段截流段15，氦质谱检漏仪14就连接于该段截流段15上。
33.通过无氦气环境下的真空密封室11来密闭被检产品20，通过氦气充注设备17对被检产品20内部注入氦气，而后利用抽真空设备12将真空密封室11内的气体抽真空至抽真空管道13内，若被检产品20存在漏孔，在抽真空过程中，体积极小的氦分子就会通过漏孔进入真空密封室11内，既而随气压变化，由压力较高的真空密封室11内向压力较小的抽真空管道13内流动。接着利用关闭第一截流阀131与第二截流阀132，将抽真空得到的抽真空气体采集在第一截流阀131与第二截流阀132之间的截流段15内，最后利用与截流段15相连接的氦质谱检漏仪14对采集到的抽真空气体进行检漏，就能从抽真空气体中检测到氦气的泄漏量，同时，检漏时被检产品已经脱离检测系统，从而提高了生产效率，实现了生产线上的高速在线检测。在第一截流阀131和第二截流阀132之间的截流段15上还安装有一第一真空计161，在利用氦质谱检漏仪14对截流段15采集到的抽真空气体进行氦质谱检漏后，利用第一
真空计161监控截流段15内的真空度，必须使截流段15内的真空度《0.2～1mbar。
34.抽真空设备12由一主真空泵121及连接主真空泵121的两个或多个辅助前级泵122构成，共同实现对真空密封室11的抽真空作业。并且在第一截流阀131与真空密封室11之间的抽真空管道13上安装一第二真空计162，用于实时监测真空密封室11的真空度，在真空密封室11的真空度抽到《0.1～0.2mbar时，同时关闭第一截流阀131和第二截流阀132，进行抽真空气体的采样，同时利用第二真空计162实时监测真空密封室11及抽真空管道13的真空度，还能起到保护装置的作用，延长装置的使用寿命。
35.本实用新型的截流取样法氦质谱检漏装置的检漏方法具体包括如下步骤：
36.将被检产品置入真空密封室内进行密封：
37.在真空密封室11上设有用于抽真空的一抽真空口和用于解除密封的一破真空口，在抽真空口上连接抽真空管道13的一端，抽真空管道13的另一端连接抽真空设备12，抽真空设备12采用主真空泵121与辅助前级泵122相连接的改进抽真空设备，具有较大的抽真空力，实现的抽真空效果较佳。设于真空密封室11顶部的破真空口上设有破空管道111，破空管道111上设有一破空阀112，用破空阀112的启闭来控制真空密封室11的破空和密封状态。
38.于所述被检产品内部充入氦气：
39.被检产品20置于真空密封室11内进行密封，真空密封室11内部为无氦气环境，被检产品20上连接一注射管道201，真空管道201和充注头1722相连通，用来向被检产品20内部注入氦气(可以注入含氦气的高压气体)，注射管道201要求与真空密封室11相互隔离，避免氦气进入真空密封室11内部。
40.对所述真空密封室进行抽真空：
41.利用抽真空设备12对真空密封室11进行抽真空，将真空密封室11内的气体抽至抽真空管道13内，若被检产品20存在漏孔，在抽真空过程中，体积极小的氦气分子就会通过漏孔进入真空密封室11内，既而随气压变化，由压力较高的真空密封室11内向压力较小的抽真空管道13内流动。
42.采集所述真空密封室内的抽真空气体：
43.在抽真空过程中实时利用第二真空计162检测真空密封室11内的真空度，并在真空密封室11内真空度抽到《0.1～0.2mbar时，同时关闭第一截流阀131与第二截流阀132，将抽真空得到的抽真空气体采集在第一截流阀131与第二截流阀132之间的截流段15内。
44.将所述被检产品移出所述真空密封室：
45.待气体采集完毕后，打开真空密封室11底部的破空阀112，利用破空管道111连通大气与真空密封室11的内部，进行破空，解除真空密封室11的密封，从破空后的真空密封室11内取出被检产品20，使被检产品20能迅速进入下一生产线，而不必等待检漏完成后再进行下一生产线的操作，提高了被检产品20的生产效率，使得检漏系统与生产系统可以
46.如图1所示，本实用新型实施例提供的氦质谱检漏装置包括。
47.进一步地，本实用新型还提供一种生产流水线，且该生产流水线包括至少一个直角输送装置。由于该直角输送装置采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
48.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或
直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：
1.一种氦质谱检漏装置，其特征在于，所述氦质谱检漏装置包括用于容置被检产品的真空密封室、用于朝所述被检产品内充注氦气的氦气充注设备、用于抽真空所述真空密封室的抽真空设备、连接所述真空密封室与所述抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，所述抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，所述第一截流阀与所述第二截流阀之间的真空管道形成截流段，所述氦质谱检漏仪连接所述截流段，所述氦气充注设备包括安装架、滑动设置于所述安装架顶部的充注头，所述充注头与氦气存储筒相连通。2.根据权利要求1所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述安装架包括底座、设置于所述底座上的安装柱以及设置于所述底座上的滑架，所述充注头滑动连接于所述滑架。3.根据权利要求2所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述充注头包括相连接的连接部以及充气部，所述连接部与所述滑架连接，所述充气部的侧部设有进气口，所述进气口处设有进气管道，所述进气管道和所述氦气存储筒相连通。4.根据权利要求3所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述充注头的底部的外壁面凹陷形成有设有密封圈。5.根据权利要求3所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述连接部的底部设有呈u型的安装部，所述安装部上开设有贯穿孔，所述充气部的顶部凹陷形成有安装孔，紧固螺栓穿设所述贯穿孔后插装于所述安装孔内。6.根据权利要求1所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述截流段上设有一第一真空计。7.根据权利要求6所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述第一截流阀设于所述抽真空管道靠近所述真空密封室一侧的位置，所述第二截流阀设于所述抽真空管道靠近所述抽真空设备一侧的位置，所述真空密封室与所述第一截流阀之间的所述抽真空管道上设有一第二真空计。8.根据权利要求7所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述抽真空设备包括主真空泵及连接所述主真空泵的辅助前级泵。9.根据权利要求8所述的氦质谱检漏装置，其特征在于，所述真空密封室上设有用于对所述真空密封室解除密封的破空管道，所述破空管道上设有破空阀。

技术总结
本实用新型公开了一种截流取样法氦质谱检漏装置，包括用于容置被检产品的真空密封室、用于朝所述被检产品内充注氦气的氦气充注设备、用于抽真空密封室的抽真空设备、连接真空密封室与抽真空设备的抽真空管道、以及氦质谱检漏仪，抽真空管道上安装有第一截流阀和第二截流阀，第一截流阀与第二截流阀之间的真空管道形成截流段，氦质谱检漏仪连接截流段。通过在抽真空管道上安装第一截流阀和第二截流阀，使第一截流阀与第二截流阀之间的抽真空管道形成截流段，通过关闭第一截流阀和第二截流阀，将真空密封室内的抽真空气体截流采集在截流段内，对取样的抽真空气体进行检漏，检漏时被检产品已经脱离检测系统，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。


技术研发人员：张和毅 廖玲
受保护的技术使用者：贤日测控科技（深圳）有限公司
技术研发日：2023.02.22
技术公布日：2023/7/17