水洗式尾气处理设备的制作方法

1.本技术涉及尾气处理领域，尤其涉及一种水洗式尾气处理设备。


背景技术：

2.在半导体工业生产中，往往会用到许多化学气体，如氯气、硅烷及硼烷等有毒有害气体。根据环保相关法律法规，这些气体必须经过特殊处理达到排放标准后才可排放到大气中，所以在生产工艺的后端通常需要设置尾气处理设备对尾气进行无害化处理。针对如氯气等具有腐蚀性的尾气，通常采用的是水洗式尾气处理设备。
3.现有的水洗式尾气处理设备，平均每周需要对前端的生产设备停机一次，并安排人员对水洗式尾气处理设备的进气管路保养，以清理附着于进气管路内壁的结晶和粉尘，从而保证进气通路。由于现有的水洗式尾气处理设备需要人工进行保养操作，不仅增加了工作量，而且进气管路残留的有害气体还可能会对工作人员的身体造成一定伤害。


技术实现要素：

4.鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种水洗式尾气处理设备，以降低人员工作量，并避免工作人员与有害气体接触而对身体造成伤害。
5.第一方面，本技术提供了一种水洗式尾气处理设备，包括依次连通的进气塔、水箱和洗涤塔，水箱位于进气塔和洗涤塔的底部；进气塔设有喷淋装置，用于洗涤和部分吸收进气塔内的尾气中的粉尘和有害物质；进入洗涤塔内的尾气经洗涤塔洗涤和部分吸收剩余的粉尘和有害物质后排出；水箱用于盛接进气塔和洗涤塔洗涤后产生的废液；进气塔的部分侧壁向外凸出以形成收容腔，收容腔内设有自动清洁装置，自动清洁装置包括清洁头，清洁头伸出收容腔并相对进气塔的内壁运动，以刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
6.本技术的水洗式尾气处理设备通过设置进气塔，并在进气塔设置喷淋装置以对来自前端设备的尾气进行初步处理，从而降低尾气中的粉尘和有害物质的含量。通过设置洗涤塔以对尾气进行二次处理，从而进一步降低尾气中粉尘和有害气体的含量，以使得尾气达到排放标准。同时在进气塔和洗涤塔的底部设置水箱，以盛接进气塔和洗涤塔对尾气洗涤后产生的废液。
7.本技术的水洗式尾气处理设备还通过在进气塔侧壁设置收容腔，以承载并收容自动清洁装置。通过设置自动清洁装置，以代替人工对附着于进气塔内壁的结晶和粉尘进行清除。具体的，通过在自动清洁装置中设置清洁头，并使得清洁头可伸出收容腔，同时还使得清洁头相对进气塔内壁运动，以刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘，从而避免进气管路堵塞。可以理解的，由于使用自动清洁装置代替人工清除结晶和粉尘，无需工作人员操作，从而减少了工作人员的工作量，同时还并避免工作人员与有害气体接触而对身体造成伤害。
8.在一种实施例中，进气塔包括用于流通尾气的入口端和出口端，喷淋装置位于入口端和出口端之间，收容腔位于入口端和喷淋装置之间。
9.在本实施例中，通过将喷淋装置设置在入口端和出口端之间，以保证喷淋装置能对尾气初步洗涤，同时避免结晶附着于入口端堵塞进气管路。同时通过将收容腔设置于入口端和喷淋装置之间，也即将自动清洁装置设置于入口端和喷淋装置之间，以便于清除结晶和粉尘并减少腐蚀性气体对自动清洁装置造成的损害。
10.在一种实施例中，自动清洁装置还包括电机和传动机构，传动机构连接于电机和清洁头之间，电机通过传动机构带动清洁头伸出或收回收容腔，并带动清洁头相对进气塔的内壁运动。
11.在本实施例中，通过设置电机以提供动力。同时通过设置连接于电机和清洁头之间的传动机构，以带动清洁头伸出或收回收容腔，并带动清洁头相对进气塔的内壁运动，从而使得清洁头能刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
12.在一种实施例中，传动机构包括第一传动组和第二传动组，第一传动组的运动方向垂直于进气塔的侧壁，第二传动组的运动方向平行于进气塔的侧壁。
13.在本实施例中，通过设置第一传动组并使得第一传动组的运动方向垂直于进气塔的侧壁，以带动清洁头沿垂直于进气塔侧壁方向运动，从而伸出或收回收容腔，并在垂直于进气塔侧壁的方向刷除部分附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。同时通过设置第二传动组，并使得第二传动组的运动方向平行于进气塔的侧壁，以带动清洁头沿平行于进气塔侧壁方向运动，从而进一步刷除部分附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
14.在一种实施例中，传动机构包括第三传动组，第三传动组的运动方向同时垂直于第一传动组和第二传动组的运动方向。
15.在本实施例中，通过设置第三传动组并使得第三传动组的运动方向同时垂直于第一传动组和第二传动组的运动方向，以带动清洁头在同时垂直于第一传动组和第二传动组的运动方向的方向上运动，从而增大清洁头的工作面积。
16.在一种实施例中，传动机构包括旋转组件，旋转组件与清洁头固定连接，用于带动清洁头转动。
17.在本实施例中，通过设置旋转组件，并使得旋转组件与清洁头固定连接，从而带动清洁头转动，以提高自动清洁装置的效率。
18.在一种实施例中，水洗式尾气处理设备包括两个收容腔，两个收容腔沿进气塔的周向间隔设置，且两个收容腔内分别设有一个自动清洁装置。
19.在本实施例中，通过沿进气塔的周向间隔设置两个收容腔，并在每个收容腔内设一个自动清洁装置，以提高对附着于进气塔内壁的结晶和粉尘的清除效率。
20.在一种实施例中，两个自动清洁装置的清洁头朝向垂直于进气塔侧壁的方向的运动轨迹夹角为90
°
，且当其中一个自动清洁装置的清洁头伸出对应的收容腔时，另一个自动清洁装置的清洁头收回对应的收容腔。
21.在本实施例中，通过设置两个清洁头朝向垂直于进气塔侧壁的方向的运动轨迹夹角为90
°
，以减小单个收容腔和自动清洁装置的体积，增大清洁面积。同时设置其中一个清洁头伸出对应的收容腔时，另一个清洁头收回对应的收容腔，以避免两个清洁头相互碰撞。
22.在一种实施例中，进气塔的外壁设有加热装置，加热装置用于加热附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
23.在本实施例中，通过在进气塔外壁设置加热装置，以提高进气塔内的温度，进而降
低尾气进入进气塔后因温度骤降而结晶的速率，从而减少结晶附着，降低保养频率，延长保养周期。
24.在一种实施例中，进气塔的内壁上设有升降挡板，升降挡板用于打开或遮蔽收容腔。
25.在本实施例中，通过在进气塔的内壁设置升降挡板，以使得当自动清洁装置工作时，打开升降挡板从而打开收容腔，以保证自动清洁装置正常工作；当自动清洁装置工作结束收回收容腔时，关闭升降挡板从而遮蔽收容腔，以避免结晶或粉尘附着于自动清洁装置上，对自动清洁装置造成损坏。
26.在一种实施例中，清洁头采用耐腐蚀材料制作。
27.在本实施例中，通过采用耐腐蚀材料制作清洁头，以避免清洁头在工作过程中被尾气中的腐蚀性气体腐蚀，从而提高自动清洁装置的可靠性。
附图说明
28.图1为本技术一种实施例中水洗式尾气处理设备的外观结构示意图；
29.图2为本技术一种实施例中水洗式尾气处理设备的内部结构示意图；
30.图3为自动清洁装置的结构示意图；
31.图4为自动清洁装置工作过程示意图；
32.图5为自动清洁装置平面结构示意图；
33.图6为一种实施例中自动清洁装置的结构示意图。
34.附图标号：
35.100-水洗式尾气处理设备；1-底座；2-外壳；201-防护门；202-控制面板；3-进气塔；10-喷淋装置；20-自动清洁装置；21-清洁头；22-传动机构；221-导轨；222-滑块；223-第一传动组；224-第二传动组；225-第三传动组；30-入口端；40-出口端；50-收容腔；60-加热装置；70-升降挡板；4-水箱；41-进水阀；42-排水阀；5-洗涤塔；6-进气口；7-出气口；8-进水管。
具体实施方式
36.为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施方式。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本技术的公开内容理解的更加透彻全面。
37.以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本技术可用以实施的特定实施例。本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。本技术中所提到的方向用语，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向，因此，使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本技术，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
38.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相
连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸地连接，或者一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，本技术中使用的术语“包括”、“可以包括”、“包含”、或“可以包含”表示公开的相应功能、操作、元件等的存在，并不限制其他的一个或多个更多功能、操作、元件等。此外，术语“包括”或“包含”表示存在说明书中公开的相应特征、数目、步骤、操作、元素、部件或其组合，而并不排除存在或添加一个或多个其他特征、数目、步骤、操作、元素、部件或其组合，意图在于覆盖不排他的包含。
39.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。
40.请参阅图1所示的本技术一种实施例所提供的水洗式尾气处理设备100的外观结构示意图，请参阅图2所示的本技术一种实施例所提供的水洗式尾气处理设备100的内部结构示意图。
41.如图1和图2所示，本技术水洗式尾气处理设备100包括底座1、外壳2、进气塔3、水箱4、洗涤塔5。其中底座1作为水洗式尾气处理设备100的安装支撑装置，在底座1靠近地面一侧固定连接有支撑腿以支撑底座1。外壳2支承于底座1，进气塔3、水箱4、洗涤塔5均设置于外壳2内部。且进气塔3与洗涤塔5间隔设置，水箱4则位于进气塔3和洗涤塔5的底部。外壳2上设有防护门201和控制面板202。控制面板202位于防护门201背离底座1一侧，控制面板202作为水洗式尾气处理设备100的控制枢纽，可以控制该设备的运行状态。防护门201可作为水洗式尾气处理设备100的检修口，以便于对位于外壳2内部的结构进行检修。
42.本技术水洗式尾气处理设备100还设有压力监测系统、流量监测系统、温度监测系统等(图中未示)，以针对水洗式尾气处理设备100运行时的各种状况进行实时监测，以避免泄漏等事故发生。控制面板202上具有显示屏，以显示各项监测数据，便于随时观察水洗式尾气处理设备的工况。
43.本技术水洗式尾气处理设备100还包括进气口6、出气口7和进水管8，进气口6分别与前端的设备和进气塔3连通，出气口7与洗涤塔5连通，进气塔3、水箱4和洗涤塔5依次连通，以使得来自前端设备的尾气从进气口6进入水洗式尾气处理设备100，并依次经进气塔3、水箱4、洗涤塔5，最后从出气口7排出。进水管8与该设备的各处供水系统连通，以对用于给供水系统补水，用水洗涤和吸收尾气，对尾气除杂。
44.在一种实施例中，出气口7处设有变频风机(图中未示)，可以根据进气口6和出气口7压力对应调整风机的转速，从而避免尾气回流，以保护系统及设备安全。
45.本技术水洗式尾气处理设备100在进行使用时，首先将进气口6和前端设备的排气管连接，并向进水管8通入新鲜水，然后打开控制面板202上的电源开关，设备开始工作，尾气从进气口6进入，并与进水管8提供的水接触，新鲜水可将尾气中的粉尘洗刷，并吸收尾气中部分溶于水的有害气体。
46.进气塔3作为本技术水洗式尾气处理设备100的预处理装置，包括喷淋装置10和自动清洁装置20。在一种实施例中，进气塔3还包括入口端30和出口端40，入口端30和进气口6
连接，出口端40和水箱4连通。喷淋装置10位于入口端30和出口端40之间。进气塔3还设有收容腔50，收容腔50由进气塔3的部分侧壁向外凸出形成。收容腔50位于入口端30和喷淋装置10之间，且自动清洁装置20设置于收容腔50内。
47.喷淋装置10与进水管8连通，由外接的新鲜水给喷淋装置10提供系统供水，喷淋装置10对进入进气塔3内的尾气进行初步洗涤，也即初步吸收尾气中的粉尘和水溶性有害气体。在一种实施例中，喷淋装置10的数量为多个，多个喷淋装置10可在进气塔3的四周均匀分布，各个喷淋装置10同时工作，以形成水幕，进而提高初步吸收效果。
48.需要说明的是，水洗式尾气处理设备100前端尾气的出腔温度较高，当从进气口6流入进气塔3时，一方面由于喷淋装置10喷洒的水使得进气塔3内的温度降低，尾气温度骤降，从而产生结晶；另一方面由于尾气中的部分气体与水接触会发生反应从而产生结晶。结晶和粉尘如果在进气塔3内沉积，有可能会导致进气塔3堵塞，甚至会造成事故。
49.可以理解的，在本实施例中，将喷淋装置10设置在入口端30和出口端40之间，以保证喷淋装置10能对尾气初步洗涤，同时避免结晶附着于入口端30堵塞进气管路。同时将收容腔50设置于入口端30和喷淋装置10之间，也即将自动清洁装置20设置于入口端30和喷淋装置10之间，以便于清除结晶和粉尘并减少腐蚀性气体对自动清洁装置20造成的损害。
50.尾气中的部分粉尘被喷淋装置10洗刷至水箱4，水箱4设有进水阀41和排水阀42，同时水箱4还设有液位计(图中未示)以监测水箱4内的液位。当水箱4内的液位处于低水位时，打开进水阀41，注入新鲜水，此时排水阀42处于关闭状态，待水位到达正常水位后关闭进水阀41；当水箱4内液位处于高水位时，打开排水阀42，排出废液，此时进水阀41处于关闭状态，待水位处于正常水位后关闭排水阀42。水箱4内还设有搅拌器(图中未示)，以对沉积的粉尘和结晶进行搅拌，防止粉尘或结晶结垢堵塞排水口。
51.洗涤塔5作为水洗式尾气处理设备100的后系统，其设有多级喷淋装置和填料，以对尾气进行最终处理，使其到达排放标准。洗涤塔5内的多级喷淋装置喷洒的水流方向与尾气流动方向相反，以利于更好的洗刷和吸收尾气中的可溶性气体。
52.可以理解的，对于现有技术中的水洗式尾气处理设备，平均每周需要对前端的生产设备停机一次，并安排人员对水洗式尾气处理设备的进气管路保养，以清理附着于进气管路内壁的结晶和粉尘，从而保证进气通路。由于现有的水洗式尾气处理设备需要人工进行保养操作，不仅增加了工作量，而且进气管路残留的有害气体还可能会对工作人员的身体造成一定伤害。
53.本技术水洗式尾气处理设备100在进气塔3易结晶区域的上方设置自动清洁装置20，同时在自动清洁装置20中设清洁头21。由于清洁头21可伸出收容腔50，并可对进气塔3内壁运动，从而可以刷除附着于进气塔3内壁的结晶和粉尘，进而避免进气管路堵塞。可以理解的，本技术水洗式尾气处理设备100由于使用自动清洁装置20代替人工清除结晶和粉尘，无需工作人员操作，从而减少了工作人员的工作量，同时还并避免工作人员与有害气体接触而对身体造成伤害。
54.如图3所示，在一种实施例中，自动清洁装置20包括电机(图中未示)和传动机构22，电机与传动机构22连接，以用于给传动机构22提供动力。传动机构22包括导轨221和滑块222，滑块222分别与导轨221和电机连接，清洁头21连接于导轨221上。在电机的驱动下，导轨221以滑块222之间可以相对滑动，进而带动清洁头21运动。当导轨221以垂直于进气塔
3的内壁的方向移动，同时以靠近进气塔3中心轴的方向移动时，清洁头21可伸出收容腔50，同时清洁头21相对进气塔3的内壁运动，从而对附着于进气塔3内壁的结晶和粉尘进行清除。当导轨221以垂直于进气塔3的内壁的方向移动，同时以远离进气塔3中心轴的方向移动时，清洁头21可收回收容腔50内，停止工作。
55.如图4所示，在一种实施例中，传动机构22包括第一传动组223和第二传动组224。其中，第一传动组223和第二传动组224通过滑块222连接，且第一传动组223沿垂直于进气塔3侧壁的方向延伸，第二传动组224沿平行于进气塔3侧壁的方向延伸。滑块222可以使得第一传动组223和第二传动组224相对运动。第一传动组223与清洁头21连接，清洁头21可以随第一传动组223相对第二传动组224运动。
56.可以理解的，在本实施例中，清洁头21随第一传动组223相对第二传动组224沿第一传动组223的延伸方向运动，以伸出或收回收容腔50，并沿第一传动组223的延伸方向刷除部分附着于进气塔3内壁的结晶和粉尘。同时第一传动组223可随第二传动组224的延伸方向运动，以使得清洁头21可以在第二传动组224的延伸方向上运动，以进一步刷除部分附着于进气塔3内壁的结晶和粉尘。
57.如图4和图5所示，在一种实施例中，传动机构22还包括第三传动组225，且第三传动组225的延伸方向同时垂直于第一传动组223和第二传动组224的运动方向，以带动清洁头21在同时垂直于第一传动组223和第二传动组224的运动方向的方向上运动，从而增大清洁头21的工作面积。
58.在一种实施例中，传动机构22包括旋转组件，旋转组件与清洁头21固定连接，旋转组件相对于进气塔3侧壁旋转，以带动清洁头21转动。可以理解的，由于清洁头21可相对进气塔3侧壁旋转，进而可以提高自动清洁装置20的效率。
59.如图6所示，在一种实施例中，收容腔50的数量为两个，两个收容腔50沿进气塔3的周向间隔设置，每个收容腔50内分别设有一个自动清洁装置20。可以理解的，两个自动清洁装置20可以同时对不同位置的结晶和粉尘进行清除，从而提高清洁效果同时也可提高清除效率。
60.在图6所示的实施例中，两个自动清洁装置20的中心轴的延长线相交，且其中心轴延长线的夹角为90
°
，也即两个清洁头21朝向垂直于进气塔3侧壁的方向的运动轨迹夹角为90
°
。同时，在自动清洁装置20工作时，其中一个清洁头21伸出对应的收容腔50时，另一个清洁头21收回对应的收容腔50。也即两个清洁头21可交替工作。
61.可以理解的，在本实施例中，将两个清洁头21朝向垂直于进气塔3侧壁的方向的运动轨迹夹角设置为90
°
，有利于更全面地清洁附着于进气塔3内壁的结晶和粉尘，还可以减小单个收容腔50和自动清洁装置20的体积，增大清洁面积。同时设置其中一个清洁头21伸出对应的收容腔50时，另一个清洁头21收回对应的收容腔50，以避免两个清洁头21相互碰撞。
62.需要说明的，上述实施例中自动清洁装置20的数量和位置仅作为示例性介绍，在其他的实施例中，自动清洁装置20的数量和位置可以改变，只要能清除附着于进气塔3内壁的结晶和粉尘即可。
63.如图2所示，在一种实施例中，进气塔3的外壁设有加热装置60，加热装置60位于喷淋装置10靠近水箱4一侧，以提高进气塔3内的温度，进而降低尾气进入进气塔3后因温度骤
降而结晶的速率，从而减少结晶附着，降低保养频率，延长保养周期。在其他的实施例中，加热装置60也可设置在进气塔3外壁的其他任何地方，只要能提高进气塔3内的温度即可，本技术对此不作特别限定。
64.如图2所示，在一种实施例中，进气塔3的内壁上设有升降挡板70，升降挡板70对应收容腔50的位置设置。当自动清洁装置20工作时，升降挡板70朝向远离水箱4的一侧移动，以打开收容腔50，从而保证自动清洁装置20的清洁头21顺利伸出收容腔50以正常工作；当自动清洁装置20工作结束且清洁头21收回收容腔50时，升降挡板70朝向靠近水箱4的一侧移动，以遮蔽收容腔50，从而避免结晶或粉尘附着于自动清洁装置20上，对自动清洁装置20造成损坏。
65.可以理解的，在一种实施例中，升降挡板70安装有自动控制装置，可实现远程控制升降挡板70的升降。而在另一种实施例中，升降挡板70和自动清洁装置20之间设有联动机构，当传动机构22带动清洁头21朝向进气塔3的中心轴移动时，升降挡板70在联动机构的作用下逐渐打开；当传动机构22带动清洁头21以远离进气塔3的中心轴的方向移动时，升降挡板70在联动机构的作用下逐渐关闭。本技术对升降挡板70的打开方式并不作特别限定。
66.在一种实施例中，清洁头21采用耐腐蚀材料制作。可以理解的，由于尾气中的部分气体具有腐蚀性，可能会在清洁头21工作过程中对其造成损坏。采用耐腐蚀材料制作清洁头21，可以避免清洁头21被尾气中的腐蚀性气体腐蚀，从而提高自动清洁装置20的可靠性。
67.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例以合适的方式结合。
68.应当理解的是，本技术的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本技术所附权利要求的保护范围。本领域的一般技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本技术权利要求所作的等同变化，仍属于本技术所涵盖的范围。

技术特征：
1.一种水洗式尾气处理设备，其特征在于，包括依次连通的进气塔、水箱和洗涤塔，所述水箱位于所述进气塔和所述洗涤塔的底部；所述进气塔设有喷淋装置，用于洗涤和部分吸收所述进气塔内的尾气中的粉尘和有害物质；进入所述洗涤塔内的尾气经所述洗涤塔洗涤和部分吸收剩余的粉尘和有害物质后排出；所述水箱用于盛接所述进气塔和所述洗涤塔洗涤后产生的废液；所述进气塔的部分侧壁向外凸出以形成收容腔，所述收容腔内设有自动清洁装置，所述自动清洁装置包括清洁头，所述清洁头伸出所述收容腔并相对所述进气塔的内壁运动，以刷除附着于所述进气塔内壁的结晶和粉尘。2.根据权利要求1所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述进气塔包括用于流通尾气的入口端和出口端，所述喷淋装置位于所述入口端和所述出口端之间，所述收容腔位于所述入口端和所述喷淋装置之间。3.根据权利要求1所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述自动清洁装置还包括电机和传动机构，所述传动机构连接于所述电机和所述清洁头之间，所述电机通过所述传动机构带动所述清洁头伸出或收回所述收容腔，并带动所述清洁头相对所述进气塔的内壁运动。4.根据权利要求3所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述传动机构包括第一传动组和第二传动组，所述第一传动组的运动方向垂直于所述进气塔的侧壁，所述第二传动组的运动方向平行于所述进气塔的侧壁。5.根据权利要求4所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述传动机构包括第三传动组，所述第三传动组的运动方向同时垂直于所述第一传动组和所述第二传动组的运动方向。6.根据权利要求3所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述传动机构包括旋转组件，所述旋转组件与所述清洁头固定连接，用于带动所述清洁头转动。7.根据权利要求1所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述水洗式尾气处理设备包括两个所述收容腔，两个所述收容腔沿所述进气塔的周向间隔设置，且两个所述收容腔内分别设有一个所述清洁装置。8.根据权利要求1-7任一项所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述进气塔的外壁设有加热装置，所述加热装置用于提高所述进气塔内的温度。9.根据权利要求1-7任一项所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述进气塔的内壁上设有升降挡板，所述升降挡板用于打开或遮蔽所述收容腔。10.根据权利要求1-7任一项所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述清洁头采用耐腐蚀材料制作。

技术总结
本申请涉及一种水洗式尾气处理设备，包括依次连通的进气塔、水箱和洗涤塔，水箱位于进气塔和洗涤塔的底部；进气塔设有喷淋装置，用于洗涤和部分吸收进气塔内的尾气中的粉尘和有害物质；进入洗涤塔内的尾气经洗涤塔洗涤和部分吸收剩余的粉尘和有害物质后排出；水箱用于盛接进气塔和洗涤塔洗涤后产生的废液；进气塔的部分侧壁向外凸出以形成收容腔，收容腔内设有自动清洁装置，自动清洁装置包括清洁头，清洁头伸出收容腔并相对进气塔的内壁运动，以刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。本申请的水洗式尾气处理设备通过设置自动清洁装置，以代替人工清除结晶和粉尘，从而减少工作人员的工作量，同时还并避免工作人员与有害气体接触而对身体造成伤害。而对身体造成伤害。而对身体造成伤害。


技术研发人员：王鹏鹏 伍修颀 张涛 苟先华 苏财钰
受保护的技术使用者：重庆康佳光电技术研究院有限公司
技术研发日：2023.02.14
技术公布日：2023/7/17