负压流体控制装置和微型负压设备的制作方法

1.本实用新型涉及流体控制装置技术领域，尤其涉及一种负压流体控制装置和微型负压设备。


背景技术：

2.现有负压流体控制装置通常采用隔膜泵方式，结构复杂，体积大，耗能大，噪音大，控制精度相对较低，应用受到限制，难以满足小型产品或精度要求较高的产品的应用需求。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种负压流体控制装置和微型负压设备，用以解决现有技术中负压流体控制装置体积大、噪音大、功耗大、控制精度相对较低的缺陷。
4.第一方面，本实用新型提供的一种负压流体控制装置，包括：
5.进流板，包括板体及设于所述板体的进流接口，所述板体设有第一侧面，所述第一侧面设有第一导流槽和第一导流孔，所述第一导流孔设于所述第一导流槽内并与所述进流接口连通；
6.第一从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第一导流槽，所述第一从动板上开设有第一抽吸孔，所述第一抽吸孔与所述第一导流槽的位置相对应；
7.第一压电致动板，叠设于所述第一从动板背离所述板体的一侧，所述第一压电致动板可受驱振动，以在所述第一从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及
8.第一罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第一压电致动板和所述第一从动板，所述第一罩壳设有第一排气孔，所述第一排气孔与所述第一抽吸孔连通。
9.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面设有第二导流槽和第二导流孔，所述第二导流孔设于所述第二导流槽内并与所述进流接口连通；
10.所述负压流体控制装置还包括：
11.第二从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第二导流槽，所述第二从动板上开设有第二抽吸孔，所述第二抽吸孔与所述第二导流槽的位置相对应；
12.第二压电致动板，叠设于所述第二从动板背离所述板体的一侧，所述第二压电致动板可受驱振动，以在所述第二从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及
13.第二罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第二压电致动板和所述第二从动板，所述第二罩壳设有第二排气孔，所述第二排气孔与所述第二抽吸孔连通。
14.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面凸出设置所述进流接口。
15.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述第一导流孔的孔径大于所述第一抽吸孔的孔径。
16.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述第一压电致动板包括第一振动
板、第一固定板、第一连接臂和第一压电元件，所述第一振动板对应所述第一抽吸孔设置；所述第一固定板围绕于所述第一振动板的外周，所述第一固定板与所述第一振动板之间具有第一间隔，所述第一固定板与所述第一从动板固定连接；所述第一连接臂设于所述第一间隔内，所述第一连接臂连接所述第一振动板和所述第一固定板；所述第一压电元件设于所述第一振动板，以在被施加电压时驱动所述第一振动板振动。
17.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述第一压电致动板还包括第一引气板，所述第一引气板设于所述第一振动板朝向所述第一从动板的一侧，所述第一引气板与所述第一抽吸孔的位置相对应；和/或，
18.所述第一压电致动板还包括多个第一抵接部，所述多个第一抵接部凸设于所述第一振动板朝向所述第一从动板的表面，所述多个第一抵接部围绕所述第一抽吸孔布置。
19.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，
20.所述第一压电致动板还包括第一外电极，所述第一外电极凸伸于所述第一固定板的外缘，所述第一外电极与所述第一压电元件电性连接；
21.所述负压流体控制装置还包括第一绝缘板和第一导电板，所述第一绝缘板和所述第一导电板依序叠设于所述第一压电致动板背离所述第一从动板的一侧，所述第一绝缘板设有第一避位孔，所述第一导电板设有第二避位孔、第一内电极和第二外电极，所述第二外电极凸伸于所述第一导电板的外缘，所述第一内电极凸伸于所述第二避位孔内，所述第一内电极与所述第一压电元件电性连接。
22.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，
23.所述第一罩壳设置有第一避位槽，所述第一外电极和所述第二外电极由所述第一避位槽凸伸至所述第一罩壳外侧；
24.和/或，所述第一罩壳朝向所述板体的内壁面上设有第一密封环，所述第一密封环与所述第二避位孔的位置相对应，所述第一密封环的直径大于所述第二避位孔的直径；
25.和/或，所述第一罩壳朝向所述板体的内壁面上设有多个第一支撑部，所述多个第一支撑部分布于所述内壁面的四周边角处，所述多个第一支撑部用于支撑所述第一导电板。
26.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述第一罩壳背离所述板体的一侧设有第一防尘透气膜，所述第一防尘透气膜遮盖所述第一排气孔。
27.根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述第一罩壳背离所述板体的一侧设有第一定位沉孔，所述第一排气孔设于所述第一定位沉孔内，所述第一防尘透气膜密封连接于所述第一定位沉孔内。
28.第二方面，本实用新型还提供一种微型负压设备，包括上述任一项所述的负压流体控制装置。
29.本实用新型的负压流体控制装置，通过设置进流板、第一从动板、第一压电致动板和第一罩壳形成压电泵体，并通过第一压电致动板的受驱振动，使得压电泵体的腔体内部气体快速流动，以便压电泵体的腔体内外形成压差，气体则在压差的作用下沿气路流动，实现负压流体控制的功能，整个装置结构紧凑，体积小，更加小巧轻便，可适用于空间狭小的应用场景，可满足负压流体控制装置的功能需求，产品可适配性和应用性更强，便于进行精度控制；同时，通过采用第一压电致动板振动驱动气体流动，形成负压流体控制，能耗低、工
作噪音低，产品体验感更好，有效解决了现有技术中负压流体控制装置体积大、噪音大、功耗大、控制精度相对较低的缺陷。
附图说明
30.为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
31.图1是本实用新型实施例提供的负压流体控制装置的立体结构示意图；
32.图2是本实用新型实施例提供的负压流体控制装置的剖视图；
33.图3是本实用新型实施例提供的负压流体控制装置的爆炸图；
34.图4是本实用新型实施例提供的负压流体控制装置的气流路径示意图；
35.图5是本实用新型另一实施例提供的负压流体控制装置的立体结构示意图；
36.图6是本实用新型另一实施例的负压流体控制装置的剖视图；
37.图7是本实用新型实施例提供的第一压电致动板的立体结构示意图；
38.图8是本实用新型实施例提供的第一压电致动板另一视角的立体结构示意图；
39.图9是本实用新型实施例提供的第一罩壳的立体结构示意图。
40.附图标记：
41.100：负压流体控制装置；
42.1：进流板；10：板体；101：第一侧面；102：第二侧面；11：进流接口；12：第一导流槽；13：第一导流孔；12a：第二导流槽；13a：第二导流孔；
43.2：第一从动板；21：第一抽吸孔；2a：第二从动板；21a：第二抽吸孔；
44.3：第一压电致动板；30：第一间隔；31：第一振动板；32：第一固定板；33：第一连接臂；34：第一压电元件；35：第一引气板；36：第一抵接部；37：第一外电极；3a：第二压电致动板；30a：第二间隔；31a：第二振动板；32a：第二固定板；33a：第二连接臂；35a：第二引气板；36a：第二抵接部；37a：第三外电极；
45.41：第一罩壳；410：第一进流槽；411：第一排气孔；412：第一避位槽；413：第一保护边；414：第一密封环；415：第一支撑部；416：第一定位沉孔；42：第一防尘透气膜；41a：第二罩壳；410a：第二进流槽；411a：第二排气孔；412a：第二避位槽；413a：第二保护边；414a：第二密封环；415a：第二支撑部；42a：第二防尘透气膜；
46.5：第一绝缘板；51：第一避位孔；5a：第二绝缘板；51a：第三避位孔；
47.6：第一导电板；61：第二避位孔；62：第一内电极；63：第二外电极；6a：第二导电板；61a：第四避位孔；62a：第二内电极；63a：第四外电极。
具体实施方式
48.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范
围。
49.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”“第二”是为了清楚说明产品部件进行的编号，不代表任何实质性区别。“上”“下”“左”“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
50.需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
51.下面结合图1-图9描述本实用新型的负压流体控制装置。
52.如图1至图6所示，本实用新型提供的负压流体控制装置100，包括进流板1、第一从动板2、第一压电致动板3和第一罩壳41；进流板1包括板体10及设于板体10的进流接口11，板体10设有第一侧面101，第一侧面101设有第一导流槽12和第一导流孔13，第一导流孔13设于第一导流槽12内并与进流接口11连通；第一从动板2叠设于板体10上并封闭第一导流槽12，第一从动板2上开设有第一抽吸孔21，第一抽吸孔21与第一导流槽12的位置相对应；第一压电致动板3叠设于第一从动板2背离板体10的一侧，第一压电致动板3可受驱振动，以在第一从动板2背离板体10的一侧形成负压；第一罩壳41罩设于板体10，并遮盖第一压电致动板3和第一从动板2，第一罩壳41设有第一排气孔411，第一排气孔411与第一抽吸孔21连通。
53.在本实施例中，进流板1的板体10设置连通的进流接口11、第一导流槽12和第一导流孔13，从而在进流板1的板体10内形成连通的气路；第一从动板2叠设于板体10上并对第一导流槽12进行封闭，第一压电致动板3叠设于第一从动板2背离板体10的一侧，第一罩壳41罩设于板体10并遮盖第一压电致动板3和第一从动板2，从而板体10、第一从动板2、第一压电致动板3和第一罩壳41形成一个压电泵体，进流接口11与压电泵体的腔体连通，以供吸气，第一罩壳41上的第一排气孔411与压电泵体的腔体连通，以供排气，第一从动板2将压电泵体的腔体分隔为两侧腔室，第一从动板2两侧气体通过第一抽吸孔21连通；同时，通过设置第一压电致动板3受驱振动，带动第一压电致动板3两侧的气体快速流动，以在第一从动板2背离板体10一侧形成负压，使第一从动板2两侧的气体形成压差，气体在压差的作用下沿气路流动，具体来说，气体从进流接口11吸入，经由第一导流槽12流向第一抽吸孔21，最后从第一排气孔411排出，从而在进流接口11处形成负压，实现负压流体控制的功能，可满足负压流体控制装置100的使用需求；并且第一压电致动板3可在有限的体积内振动实现负压流体控制功能，体积小，产品可适配性强，而且振动能耗低，工作噪音低；此外，第一罩壳41还对负压流体控制装置100的内部元器件进行保护，避免灰尘等杂物进入负压流体控制装置100内堵塞气路，保证抽吸效果，可靠性强。
54.本实用新型的负压流体控制装置100，通过设置进流板1、第一从动板2、第一压电致动板3和第一罩壳41形成压电泵体，并通过第一压电致动板3的受驱振动，使得压电泵体的腔体内部气体快速流动，以便压电泵体的腔体内外形成压差，气体则在压差的作用下沿气路流动，实现负压流体控制的功能，整个装置结构紧凑，体积小，更加小巧轻便，可适用于空间狭小的应用场景，可满足负压流体控制装置100的功能需求，产品可适配性和应用性更
强，便于进行精度控制；同时，通过采用第一压电致动板3振动驱动气体流动，形成负压流体控制，能耗低、工作噪音低，产品体验感更好，有效解决了现有技术中负压流体控制装置体积大、噪音大、功耗大、控制精度相对较低的缺陷。
55.本实用新型的负压流体控制装置100，可以应用于负压治疗、负压除尘等领域。具体地，第一抽吸孔21开设于第一从动板2的中部位置。
56.在一个具体实施例中，板体10、第一从动板2及第一压电致动板3依次重叠粘接形成压电泵体。
57.可选地，负压流体控制装置100可以包含多个由第一压电致动板3、第一从动板2和进流板1形成的压电泵体，在有限体积内将多个压电泵体进行叠加，便于在有限的体积内叠加更多功能。根据不同产品以及性能的需求，可以采用多个不同压电泵体进行叠加，充分满足不同产品和/或不同应用场景的需求。
58.作为一种示例，可以在进流板1的一侧形成一个压电泵体；作为另一种示例，也可以在进流板1的相对两侧形成两个压电泵体。
59.在一个实施例中，如图1至图4所示，板体10还设有与第一侧面101相对的第二侧面102，第二侧面102设有第二导流槽12a和第二导流孔13a，第二导流孔13a设于第二导流槽12a内并与进流接口11连通。负压流体控制装置100还包括第二从动板2a、第二压电致动板3a和第二罩壳41a，第二从动板2a叠设于板体10上并封闭第二导流槽12a，第二从动板2a上开设有第二抽吸孔21a，第二抽吸孔21a与第二导流槽12a的位置相对应；第二压电致动板3a叠设于第二从动板2a背离板体10的一侧，第二压电致动板3a可受驱振动，以在第二从动板2a背离板体10的一侧形成负压；第二罩壳41a罩设于板体10，并遮盖第二压电致动板3a和第二从动板2a，第二罩壳41a设有第二排气孔411a，第二排气孔411a与第二抽吸孔21a连通。
60.在本实施例中，通过在板体10的相对两个侧面分别设置第一导流槽12和第一导流孔13以及第二导流槽12a和第二导流孔13a，并分别罩设有第一罩壳41和第二罩壳41a，即板体10的第一侧面101上设有第一导流槽12和第一导流孔13，并罩设第一罩壳41，形成第一压电泵体，板体10的第二侧面102上设有第二导流槽12a和第二导流孔13a，并罩设有第二罩壳41a，形成第二压电泵体；从而在进流板1的相对两侧形成两个压电泵体，负压流体控制装置100的气体抽吸流量更大，使进流接口11处对气体的抽吸效果更好，可以满足大流量应用场景的使用需求。
61.可选地，第一导流孔13与第二导流孔13a同轴。
62.具体地，板体10还设有连接第一侧面101和第二侧面102的周侧面，进流接口11凸出设置于周侧面上。
63.具体地，如图2至图4所示，第一罩壳41对应进流接口11的位置设有第一进流槽410，第二罩壳41a对应进流接口11的位置设有第二进流槽410a，第一进流槽410和第二进流槽410a均用于避让进流接口11，以使第一罩壳41和第二罩壳41a可以相互扣合，进流接口11可由第一进流槽410和第二进流槽410a凸伸至第一罩壳41和第二罩壳41a外侧，可以增大第一罩壳41和第二罩壳41a与板体10的连接面积，连接更牢固，密封性能和保护效果更好。
64.在另一个实施例中，如图5和图6所示，板体10还设有与第一侧面101相对的第二侧面102，第二侧面102凸出设置进流接口11。
65.在本实施例中，通过将进流接口11设置于板体10的第二侧面102，第一导流槽12和
第一导流孔13设置于板体10的第一侧面101，并罩设第一罩壳41，从而仅在板体10的第一侧面101构成一个压电泵体，形成单压电泵体结构，负压流体控制装置100的结构更加简单紧凑，节省空间，体积小，适用于空间狭小的应用场景，满足小型产品或精度要求较高产品的应用需求。
66.具体地，如图2、图4和图6所示，第一导流孔13的孔径大于第一抽吸孔21的孔径。
67.在本实施例中，通过设置第一导流孔13的孔径大于第一抽吸孔21的孔径，使得由第一导流孔13进入第一从动板2与板体10间腔室的气体流量，大于由第一抽吸孔21进入第一从动板2远离板体10一侧腔室的气体流量，从而在第一从动板2的两侧形成压差；当气体从第一导流孔13通入第一抽吸孔21时，由于第一抽吸孔21的孔径缩小，使得气流的气压降低，配合第一压电致动板3在背离板体10一侧振动形成的负压，第一从动板2两侧的压差更大，对进流板1内气体的抽吸作用更强，即进流接口11处的负压更大，抽吸效果更好。
68.基于相同的理由，设置第二导流孔13a的孔径大于第二抽吸孔21a的孔径。
69.具体地，如图3、图7和图8所示，第一压电致动板3包括第一振动板31、第一固定板32、第一连接臂33和第一压电元件34，第一振动板31对应第一抽吸孔21设置，其中，“对应”可以是指第一振动板31正对第一抽吸孔21设置，也即第一振动板31沿其厚度方向的投影可以覆盖第一抽吸孔21；第一固定板32围绕于第一振动板31的外周，第一固定板32与第一振动板31之间具有第一间隔30，第一固定板32与第一从动板2固定连接；第一连接臂33设于第一间隔30内，第一连接臂33连接第一振动板31和第一固定板32；第一压电元件34设于第一振动板31，以在被施加电压时驱动第一振动板31振动。
70.在本实施例中，通过在第一振动板31上设置第一压电元件34，当通电在第一压电元件34上施加电压时，第一压电元件34可驱动第一振动板31振动；通过设置第一振动板31对应第一抽吸孔21，当第一振动板31在第一压电元件34驱动下产生振动时，可直接带动第一抽吸孔21处的气体快速流动，形成负压，以对第一抽吸孔21另一侧第一导流槽12内的气体进行抽吸，抽吸效果更好；通过设置第一固定板32与第一从动板2固定连接，以固定安装第一压电致动板3；第一振动板31的周向边缘通过第一连接臂33与第一固定板32连接，通过在第一固定板32和第一振动板31之间设置第一间隔30，方便第一振动板31相对于第一固定板32振动，以驱动腔体内的气体快速流动，避免干涉，而且第一间隔30中的空隙可供从第一抽吸孔21流过的气体穿过第一压电致动板3，进而从第一排气孔411中排出，气路通畅，抽吸效果好，结构简单紧凑，实用性强。
71.具体地，第一压电元件34可以为陶瓷振动片。通过压电泵体的腔体内的陶瓷振动片进行快速而有规律的振动，使得压电泵体的腔体内部气体快速流动，进而使压电泵体的腔体内外形成压差。
72.具体地，第一振动板31通过若干个第一连接臂33与第一固定板32连接，若干个第一连接臂33沿第一振动板31的周向边缘等间距布置。例如，第一振动板31通过四个第一连接臂33与第一固定板32连接，四个第一连接臂33沿第一振动板31的周向边缘等间距布置。
73.在一些实施例中，如图3和图8所示，第一压电致动板3还包括第一引气板35，第一引气板35设于第一振动板31朝向第一从动板2的一侧，第一引气板35与第一抽吸孔21的位置相对应。
74.在本实施例中，通过在第一振动板31朝向第一从动板2的一侧设置第一引气板35，
当第一振动板31振动驱动气体从第一抽吸孔21流向第一振动板31时，气体接触第一引气板35，并在第一引气板35的引导下向第一振动板31边缘流动，之后通过第一间隔30穿过第一振动板31，结构简单，有利于减小气流能量损失，提高抽吸效果。
75.在一个具体实施例中，第一振动板31、第一固定板32、第一连接臂33和第一引气板35一体化成型为一个零件，结构强度高，不易损坏，使用寿命长，而且便于生产制造，有利于降低成本。
76.可选地，第一压电致动板3还包括多个第一抵接部36，多个第一抵接部36凸设于第一振动板31朝向第一从动板2的表面，多个第一抵接部36可以围绕第一抽吸孔21布置。
77.在本实施例中，通过设置多个第一抵接部36凸出于第一振动板31朝向第一从动板2的表面，当第一振动板31振动向第一从动板2运动靠近时，第一抵接部36可抵接第一从动板2，避免第一振动板31进一步靠近第一从动板2而封闭第一抽吸孔21，确保气路畅通，使抽吸效果更加稳定，结构简单，实用性强。
78.在一个具体实施例中，第一压电元件34可以粘贴于第一振动板31背离第一从动板2的表面，多个第一抵接部36围绕第一引气板35设置。
79.具体地，如图3所示，第一压电致动板3还包括第一外电极37，第一外电极37凸伸于第一固定板32的外缘，第一外电极37与第一压电元件34电性连接。负压流体控制装置100还包括第一绝缘板5和第一导电板6，第一绝缘板5和第一导电板6依序叠设于第一压电致动板3背离第一从动板2的一侧，第一绝缘板5设有第一避位孔51，第一导电板6设有第二避位孔61、第一内电极62和第二外电极63，第二外电极63凸伸于第一导电板6的外缘，第一内电极62凸伸于第二避位孔61内，第一内电极62与第一压电元件34电性连接。
80.在本实施例中，负压流体控制装置100通过第一压电致动板3上的第一外电极37和第一导电板6上的第二外电极63与外部电源电性连接，第一导电板6的第一内电极62可以与第一压电元件34电性连接，第一振动板31通过第一连接臂33与第一固定板32电性连接，第一压电元件34与第一振动板31电性连接，从而形成供电闭合回路，以对第一压电元件34供电，第一外电极37和第二外电极63接入电压时第一压电元件34驱动第一振动板31快速有规律地振动；通过设置第一绝缘板5绝缘隔离第一导电板6与第一压电致动板3的第一固定板32，避免第一外电极37和第二外电极63直接电性连接而导致短路，确保负压流体控制装置100工作稳定可靠；第一绝缘板5通过第一避位孔51避让第一振动板31，第一导电板6通过第二避位孔61避让第一振动板31，避免干涉第一振动板31的振动，以使第一振动板31可在有限体积内有更大的振动幅度，抽吸效果更好。
81.具体地，第一绝缘板5两侧覆有绝缘胶，第一绝缘板5与第一固定板32和第一导电板6接触的位置可以采用绝缘胶粘接，结构简单，固定效果好，保证绝缘效果。
82.具体地，第一导电板6的中部位置设置第二避位孔61和第一内电极62，第一导电板6的外边缘设有第二外电极63。第一绝缘板5的中部位置设有第一避位孔51。
83.具体地，如图3所示，第二压电致动板3a具有与第一压电致动板3相同的结构，第二压电致动板3a包括第二振动板31a、第二固定板32a、第二连接臂33a、第二压电元件(图中未示出)、第二引气板35a、第二抵接部36a、第三外电极37a以及第二间隔30a。第二压电致动板3a的具体结构和功能可参考上述对第一压电致动板3的具体结构和功能的描述，在此不再赘述。
84.进一步地，如图3所示，第二绝缘板5a具有与第一绝缘板5相同的结构，第二绝缘板5a具有第三避位孔51a；第二导电板6a具有与第一导电板6相同的结构，第二导电板6a包括第四避位孔61a、第二内电极62a和第四外电极63a。第二绝缘板5a的具体结构和功能可参考上述对第一绝缘板5的具体结构和功能的描述，第二导电板6a的具体结构和功能可参考上述对第一导电板6的具体结构和功能的描述，在此均不再赘述。
85.在一些实施例中，如图1、图3、图5和图9所示，第一罩壳41设置有第一避位槽412，第一外电极37和第二外电极63由第一避位槽412凸伸至第一罩壳41外侧。
86.在本实施例中，第一外电极37和第二外电极63通过第一避位槽412伸至第一罩壳41外侧，以便连接外部电源，结构简单，方便实用。
87.具体地，第一罩壳41设有第一保护边413，第一保护边413一侧设有第一避位槽412，第一保护边413可包覆住整个压电泵体，并对压电泵体起到保护作用。
88.可选地，如图2、图3、图4、图6和图9所示，第一罩壳41朝向板体10的内壁面上设有第一密封环414，第一密封环414与第二避位孔61的位置相对应，第二密封环414的直径大于第二避位孔61的直径。
89.在本实施例中，通过在第一罩壳41朝向板体10的内壁面上设置第一密封环414，使第一密封环414可抵接第一导电板6的板面，并且第一密封环414的直径大于第二避位孔61的直径，使得第一密封环414可包围第二避位孔61的外边缘，从而对第二避位孔61进行有效密封，使气体仅能从第一排气孔411排出，避免气体从第一避位槽412泄漏，有利于维持负压流体控制装置100内的气压，保证抽吸效果；同时，也可以避免灰尘等杂质从第一避位槽412进入气路造成堵塞而影响抽吸效果，确保负压流体控制装置100工作稳定可靠。
90.具体地，第一密封环414可以为弹性密封件，例如橡胶圈或硅胶圈。
91.可选地，如图3和图9所示，第一罩壳41朝向板体10的内壁面上设有多个第一支撑部415，多个第一支撑部415分布于内壁面的四周边角处，多个第一支撑部415用于支撑第一导电板6。
92.在本实施例中，通过在第一罩壳41内壁面四周边角处设置多个第一支撑部415，第一支撑部415可抵接第一导电板6，对第一导电板6起到支撑作用，第一导电板6在第一支撑部415和第一绝缘板5的夹持下安装更加稳定，在第一振动板31振动时确保第一内电极62与第一压电元件34的稳定可靠电性连接，确保负压流体控制装置100工作稳定可靠。
93.在一个具体实施例中，第一罩壳41设有四个第一支撑部415。
94.在一些实施例中，如图1至图4和图6所示，第一罩壳41背离板体10的一侧设有第一防尘透气膜42，第一防尘透气膜42遮盖第一排气孔411。
95.在本实施例中，通过在第一罩壳上41设置第一防尘透气膜42以遮盖第一排气孔411，第一防尘透气膜42可对气体中的灰尘等杂质进行过滤，防止外部灰尘等杂质从第一排气孔411进入负压流体控制装置100内，避免杂质堵塞气路而影响抽吸效果，有效提高负压流体控制装置100的可靠性。
96.具体地，如图3所示，第一罩壳41背离板体10的一侧设有第一定位沉孔416，第一排气孔411设于第一定位沉孔416内，第一防尘透气膜42密封连接于第一定位沉孔416内。
97.在本实施例中，第一罩壳41通过第一定位沉孔416与第一防尘透气膜42连接形成防护罩；通过设置第一定位沉孔416，方便第一防尘透气膜42的安装定位，第一防尘透气膜
42密封连接于第一定位沉孔416内，可以将第一防尘透气膜42嵌入第一罩壳41表面，有利于防止因摩擦磕碰导致第一防尘透气膜42脱落，确保第一防尘透气膜42更牢固可靠地固定于第一罩壳41上，保证过滤防护效果，而且有利于进一步减小第一罩壳41的体积，整个负压流体控制装置100更加轻便小巧，产品可适配性更强。
98.可选地，第一防尘透气膜42与第一定位沉孔416接触的一侧边缘设置有一圈双面胶，第一防尘透气膜42通过双面胶粘接在第一定位沉孔416内。
99.进一步地，如图3所示，第二罩壳41a具有与第一罩壳41相同的结构，第二罩壳41a还设有第二避位槽412a、第二保护边413a、第二密封环414a和第二支撑部415a；还包括第二防尘透气膜42a。第二罩壳41a的具体结构和功能可参考上述对第一罩壳41的具体结构和功能的描述，第二防尘透气膜42a的具体结构和功能可参考上述对第一防尘透气膜42的具体结构和功能的描述，在此均不再赘述。
100.在一个具体实施例中，如图4所示，图中箭头指示气流的流动方向；负压流体控制装置100的工作过程为：当第一外电极37和第二外电极63接入电压时，第一压电元件34带动第一振动板31快速有规律地振动，从而带动第一振动板31两侧的气体快速流动，在第一从动板2背离板体10的一侧形成负压，在压差的作用下气体不断从进流接口11被吸入进流板1，气体流经第一导流槽12和第一导流孔13，再由第一抽吸孔21通过第一从动板2流出，最后经第一排气孔411排出气体，实现负压流体控制的功能。同时，当第三外电极37a和第四外电极63a接入电压时，第二压电元件34a带动第二振动板31a快速有规律地振动，从而带动第二振动板31a两侧的气体快速流动，在第二从动板2a背离板体10的一侧形成负压，在压差的作用下气体不断从进流接口11被吸入进流板1，气体流经第二导流槽12a和第二导流孔13a，再由第二抽吸孔21a通过第二从动板2a流出，最后经第二排气孔411a排出气体，同样实现负压流体控制的功能。
101.另一方面，本实用新型实施例还提供一种微型负压设备，包括上述任一实施例的负压流体控制装置100。通过采用上述实施例提供的负压流体控制装置100，本实用新型的微型负压设备也具有上述负压流体控制装置100的优点，在此不再赘述。
102.具体地，微型负压设备可以为微型负压治疗仪，在对部分比较脆弱的皮肤表面(例如婴幼儿皮肤)进行治疗时，使用常规负压理疗装置由于体积大，容易对治疗部位周边皮肤造成二次损伤，因此使用本实用新型提供的负压流体控制装置100的微型负压治疗仪，可以达到无损伤类型的局部治疗效果。
103.可选地，微型负压设备还可以为微型负压真空吸尘器，在对有些高精密电子产品或元器件清洁除尘时，使用常规方式进行除尘会对精密元器件造成影响，因此使用本实用新型提供的负压流体控制装置100的微型负压真空吸尘器，体积更加轻便小巧，可以对清洁部位进行更精细地清理，对高精密电子产品或元器件表面的清洁效果更好。
104.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征：
1.一种负压流体控制装置，其特征在于，包括：进流板，包括板体及设于所述板体的进流接口，所述板体设有第一侧面，所述第一侧面设有第一导流槽和第一导流孔，所述第一导流孔设于所述第一导流槽内并与所述进流接口连通；第一从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第一导流槽，所述第一从动板上开设有第一抽吸孔，所述第一抽吸孔与所述第一导流槽的位置相对应；第一压电致动板，叠设于所述第一从动板背离所述板体的一侧，所述第一压电致动板可受驱振动，以在所述第一从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及第一罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第一压电致动板和所述第一从动板，所述第一罩壳设有第一排气孔，所述第一排气孔与所述第一抽吸孔连通。2.根据权利要求1所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面设有第二导流槽和第二导流孔，所述第二导流孔设于所述第二导流槽内并与所述进流接口连通；所述负压流体控制装置还包括：第二从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第二导流槽，所述第二从动板上开设有第二抽吸孔，所述第二抽吸孔与所述第二导流槽的位置相对应；第二压电致动板，叠设于所述第二从动板背离所述板体的一侧，所述第二压电致动板可受驱振动，以在所述第二从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及第二罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第二压电致动板和所述第二从动板，所述第二罩壳设有第二排气孔，所述第二排气孔与所述第二抽吸孔连通。3.根据权利要求1所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面凸出设置所述进流接口。4.根据权利要求1所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一导流孔的孔径大于所述第一抽吸孔的孔径。5.根据权利要求1至4中任一项所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一压电致动板包括第一振动板、第一固定板、第一连接臂和第一压电元件，所述第一振动板对应所述第一抽吸孔设置；所述第一固定板围绕于所述第一振动板的外周，所述第一固定板与所述第一振动板之间具有第一间隔，所述第一固定板与所述第一从动板固定连接；所述第一连接臂设于所述第一间隔内，所述第一连接臂连接所述第一振动板和所述第一固定板；所述第一压电元件设于所述第一振动板，以在被施加电压时驱动所述第一振动板振动。6.根据权利要求5所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一压电致动板还包括第一引气板，所述第一引气板设于所述第一振动板朝向所述第一从动板的一侧，所述第一引气板与所述第一抽吸孔的位置相对应；和/或，所述第一压电致动板还包括多个第一抵接部，所述多个第一抵接部凸设于所述第一振动板朝向所述第一从动板的表面，所述多个第一抵接部围绕所述第一抽吸孔布置。7.根据权利要求5所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一压电致动板还包括第一外电极，所述第一外电极凸伸于所述第一固定板的外缘，所述第一外电极与所述第一压电元件电性连接；所述负压流体控制装置还包括第一绝缘板和第一导电板，所述第一绝缘板和所述第一
导电板依序叠设于所述第一压电致动板背离所述第一从动板的一侧，所述第一绝缘板设有第一避位孔，所述第一导电板设有第二避位孔、第一内电极和第二外电极，所述第二外电极凸伸于所述第一导电板的外缘，所述第一内电极凸伸于所述第二避位孔内，所述第一内电极与所述第一压电元件电性连接。8.根据权利要求7所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一罩壳设置有第一避位槽，所述第一外电极和所述第二外电极由所述第一避位槽凸伸至所述第一罩壳外侧；和/或，所述第一罩壳朝向所述板体的内壁面上设有第一密封环，所述第一密封环与所述第二避位孔的位置相对应，所述第一密封环的直径大于所述第二避位孔的直径；和/或，所述第一罩壳朝向所述板体的内壁面上设有多个第一支撑部，所述多个第一支撑部分布于所述内壁面的四周边角处，所述多个第一支撑部用于支撑所述第一导电板。9.根据权利要求1至4中任一项所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一罩壳背离所述板体的一侧设有第一防尘透气膜，所述第一防尘透气膜遮盖所述第一排气孔。10.根据权利要求9所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一罩壳背离所述板体的一侧设有第一定位沉孔，所述第一排气孔设于所述第一定位沉孔内，所述第一防尘透气膜密封连接于所述第一定位沉孔内。11.一种微型负压设备，其特征在于，包括如权利要求1至10任一项所述的负压流体控制装置。

技术总结
本实用新型涉及流体控制装置技术领域，提供一种负压流体控制装置和微型负压设备，负压流体控制装置包括进流板、第一从动板、第一压电致动板和第一罩壳；进流板包括板体及设于板体的进流接口，板体的第一侧面设有第一导流槽和第一导流孔，第一导流孔设于第一导流槽内并与进流接口连通；第一从动板叠设于板体并封闭第一导流槽，第一从动板开设有第一抽吸孔，第一抽吸孔与第一导流槽位置相对应；第一压电致动板叠设于第一从动板背离板体的一侧，第一压电致动板可受驱振动，以在第一从动板背离板体的一侧形成负压；第一罩壳罩设于板体并遮盖第一压电致动板和第一从动板，第一罩壳的第一排气孔与第一抽吸孔连通。本实用新型实现负压流体控制的功能。体控制的功能。体控制的功能。


技术研发人员：戚付生
受保护的技术使用者：未来穿戴健康科技股份有限公司
技术研发日：2023.01.18
技术公布日：2023/7/17