处理槽、处理设备及供液方法与流程

1.本技术涉及处理技术领域，特别是涉及一种处理槽、处理设备及供液方法。


背景技术：

2.处理设备包括处理槽，处理槽为一种容器，其能够容纳处理液。工件与处理液接触，处理液能够对工件进行相应腐蚀，去除掉工件上不必要的物质，而提高工件性能。其中，刻蚀槽作为一种处理槽，在太阳能电池片制备过程中得到了广泛应用。
3.太阳能电池片制备包括以下步骤：硅片检测、制绒、扩散制结、刻蚀、镀减反射膜、印刷电极和快速烧结等。在制备过程中需要使用液体对硅片进行处理，例如，对硅片采用刻蚀液对硅片表面进行制绒，而在扩散制结工序中由于气流的关系，不可避免地在硅片的非扩散面边缘同样形成n区，从而导致硅片短路。因此，需要后续的刻蚀工序，将硅片上下表面阻断。由于湿法刻蚀对设备的要求低且刻蚀表面光滑平整，在刻蚀工序中得到了广泛的应用。
4.湿法刻蚀通过储存于刻蚀槽中的处理液对太阳能电池片进行刻蚀，当处理腔中的处理液达到使用寿命时，需要将刻蚀槽中的处理液排出，并更换新的处理液。而由于太阳能电池片生产过程中每个步骤之间需要互相配合，单个环节的停顿将影响整个生产线的产能，传统的刻蚀槽需要将槽内处理液排出后再充满新的处理液，这种方式将导致换液时间长，从而影响了生产线的整体产能。


技术实现要素：

5.基于此，有必要针对传统的处理槽换液时间长而影响产能的问题，提供一种能够提高换液效率的处理槽、处理设备及供液方法。
6.一种处理槽，包括槽体，所述槽体具有处理腔及至少两个相互独立的储液腔，所述处理腔及所述储液腔均能够容纳用于处理工件的处理液；
7.每一所述储液腔具有可控地打开或闭合的进液口及排液口，每一所述储液腔可控地与所述处理腔连通或断开。
8.在其中一个实施例中，全部所述储液腔在竖直方向上均位于所述处理腔的下方，且全部所述储液腔在水平方向上依次排布。
9.在其中一个实施例中，所述槽体还具有预留腔，所述预留腔在竖直方向上位于所述处理腔的下方，且与全部所述储液腔在水平方向上依次排布；
10.所述预留腔用于放置配液机构，所述配液机构用于配置处理液以供向所述储液腔。
11.在其中一个实施例中，所述预留腔内还用于放置液体浓度检测机构及液体流量检测机构，所述液体浓度检测机构用于检测经所述预留腔流向每个所述储液腔的处理液的浓度，所述液体流量检测机构用于检测所述预留腔流向每个所述储液腔的处理液的流量。
12.在其中一个实施例中，所述槽体具有两个所述储液腔。
13.在其中一个实施例中，所述槽体包括本体及隔板，所述隔板设于所述本体内，以将所述本体的内腔分隔为所述处理腔及所述储液腔。
14.在其中一个实施例中，所述槽体还包括与所述储液腔一一对应的开关件，所述开关件用于控制所述储液腔与所述处理腔的连通与断开。
15.在其中一个实施例中，所述开关件与所述槽体铰接，以相对于所述槽体在第一位置与第二位置之间切换；
16.在所述开关件处于所述第一位置时，相对应的所述储液腔与所述处理腔连通；在所述开关件处于所述第二位置时，相对应的所述储液腔与所述处理腔断开。
17.在其中一个实施例中，各所述储液腔的容积可调。
18.在其中一个实施例中，所述槽体包括本体及隔板，所述隔板设于所述本体内，以将所述本体的内腔分隔为所述处理腔及所述储液腔；
19.所述隔板在所述本体内的位置可调，以改变所述储液腔的容积。
20.在其中一个实施例中，每一所述储液腔内活动设有推液件，所述推液件在相对于所述储液腔的腔壁靠近所述处理腔运动时，能够将所述储液腔内的处理液推入所述处理腔内。
21.在其中一个实施例中，所述推液件为活动设于所述储液腔内的推液板。
22.在其中一个实施例中，每一所述储液腔内设有循环件，所述循环件促使处理液在所述储液腔与所述处理腔之间循环流动。
23.在其中一个实施例中，所述循环件为抽吸泵。
24.在其中一个实施例中，所述处理腔内设有用于输送工件的滚轮结构。
25.在其中一个实施例中，每一所述储液腔内设有控温机构，以用于控制处理液的温度。
26.一种处理设备，包括如上述任一项所述的处理槽。
27.在其中一个实施例中，所述处理设备包括多个所述处理槽。
28.一种采用如上述任一项所述的处理槽的供液方法，其特征在于，包括步骤：
29.当所述处理槽需要换液时，控制与所述处理腔连通的第一储液腔的所述排液口打开，并控制所述第一储液腔与所述处理腔断开；
30.控制至少一个第二储液腔与所述处理腔连通，并向所述处理腔内供液。
31.在其中一个实施例中，所述当所述处理槽需要换液时，控制与所述处理腔连通的第一储液腔的所述排液口打开，并控制所述第一储液腔与所述处理腔断开还包括步骤：
32.当所述处理腔内的处理液通过所述第一储液腔排空后，控制所述处理腔与所述第一储液腔断开。
33.在其中一个实施例中，每一所述储液腔内活动设有推液件，所述推液件在相对于所述储液腔的腔壁靠近所述处理腔运动时，能够将所述储液腔内的处理液推入所述处理腔内；
34.所述控制至少一个第二储液腔与所述处理腔连通，并向所述处理腔内供液还包括步骤：
35.控制所述推液件相对于所述第二储液腔的腔壁靠近所述处理腔运动，以向所述处理腔内供液。
36.上述处理槽、处理设备及供液方法，当处理腔需要换液时，通过与其相连通的储液腔的排液口将处理腔内的处理液排空。而在排空处理腔中处理液的过程中，或者在排空处理腔中处理液之前，向处于闲置状态的储液腔通入处理液。当处理腔中处理液排空后，使得处于闲置状态的至少一个储液腔与处理腔连通，向其通入处理液即可。与现有技术相比(现有技术只有处理腔)，不必等到处理腔排空后再向其通入新的处理液，减少了换液时长，提高了换液效率。同时，处理槽的结构紧凑及各腔室分布合理，设置预留腔以用于放置配液机构，以便于通过预留腔的配液机构配液后直接向储液腔供液。
附图说明
37.图1为本技术一实施例提供的处理槽的结构示意图；
38.图2为本技术一实施例提供的采用如图1所示的处理槽的供液方法的流程图。
39.附图标记说明：
40.100、处理槽；10、槽体；11、本体；12、隔板；20、处理腔；30、储液腔；40、开关件；50、循环件；60、推液件；70、滚轮结构。
具体实施方式
41.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
42.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
43.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
44.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
45.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
46.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
47.正如背景技术中所述，传统的刻蚀槽的结构设置，导致换液时间长，影响了产能的输出。申请人研究发现，产生上述问题的根本原因在于：传统的刻蚀槽只具有刻蚀腔，当需要换液时，首先将刻蚀腔排空，再将新的处理液注入处理腔中。就是这样排空后再重新换液的过程，导致了换液时间长，影响了产能的输出。
48.参阅图1，基于上述问题，本技术提供一种处理槽100，处理槽100内能够容纳处理液，工件与处理槽100内的处理液接触，处理液能够对工件进行相应腐蚀，去除掉工件上不必要的物质，从而提高工件性能。具体地，处理槽100为应用于太阳能电池的刻蚀工艺中的刻蚀槽，此时处理液为刻蚀液。应当理解的是，在另一些实施例中，对于处理槽100的应用场所不作限定，此时处理液也为与应用场所相适配的处理液。
49.下面以处理槽100为应用于太阳能电池的刻蚀工艺中的刻蚀槽为例，对本技术提供的处理槽100进行详细说明，但是该说明不会限制本技术的保护范围。
50.处理槽100包括槽体10，槽体10具有处理腔20及至少两个相互独立的储液腔30，处理腔20与储液腔30均能够容纳用于处理工件的处理液。在本实施例中，处理腔20与储液腔30中均能够容纳刻蚀液，具体地，刻蚀液为氢氟酸、硝酸和硫酸按特殊配比配成的混合液。应当理解的是，在另一些实施例中，当处理槽100用于其他处理时，处理液可以依需选择。
51.进一步，每一储液腔30具有可控打开或闭合的进液口及排液口。当进液口打开时，处理液能够通过进液口流向储液腔30，当排液口打开时，储液腔30内的处理液能够经过排液口排出。每一储液腔30可控地与处理腔20连通或断开。当其中一个储液腔30与处理腔20连通时，处理液能够在该储液腔30与处理腔20之间流动。当其中一个储液腔30与处理腔20断开时，处理液将不能在该储液腔30与处理腔20之间流动。
52.上述处理槽100，槽体10不但具有处理腔20还具有至少两个相互独立的储液腔30。在工作时，控制部分储液腔30与处理腔20连通，向处理腔20内通处理液，剩余部分储液腔30处于闲置状态。当处理腔20需要换液时，通过与其相连通的储液腔30的排液口将处理腔20内的处理液排空。而在排空处理腔20中处理液的过程中，或者在排空处理腔20中处理液之前，向处于闲置状态的储液腔30通入处理液。当处理腔20中处理液排空后，使得处于闲置状态的至少一个储液腔30与处理腔20连通，向其通入处理液即可。与现有技术相比(现有技术只有处理腔20)，不必等到处理腔20排空后再向其通入新的处理液，减少了换液时长，提高了换液效率。
53.一实施例中，继续参阅图1，全部储液腔30在竖直方向上均位于处理腔20的下方，且全部储液腔30在水平方向上依次布设。如此设置，当需要排空处理腔20中的处理液时，处理液直接在重力作用下流向储液腔30，并从储液腔30排出。同时，由于全部储液腔30在水平方向上依次布设，还便于向储液腔30内通入处理液，且便于处理液从储液腔30内排出。
54.一个具体实施方式中，槽体10具有两个储液腔30。这样，一个储液腔30与处理槽100连通时，另一个储液腔30作为备用储液腔30，使得槽体10的结构简单，且切换方便。
55.一实施例中，槽体10还具有预留腔，预留腔在竖直方向上位于处理腔20的下方，且与全部储液腔30在水平方向上依次排布，预留腔用于放置配液机构，配液机构用于配置处理液以供向储液腔30。如此，将预留腔及储液腔30均设于处理腔20的下方，使得处理槽100的各腔室分布合理，优化处理槽100的结构，以减少占地面积。
56.进一步地，预留腔内还用于放置液体浓度检测机构及液体流量检测机构，液体浓度检测机构用于检测经预留腔流向储液腔30的处理液的浓度，以便于对流向储液腔30的处理液的浓度进行控制。液体流量检测机构用于检测预留腔流向每个储液腔30的处理液的流量，以便于对流向储液腔30的处理液的流量进行控制。
57.进一步，槽体10包括本体11及隔板12，隔板12设于本体11内，以将本体11内的内腔分给为处理腔20及储液腔30。应当理解的是，在另一些实施例中，也可以省略隔板12，而是直接在本体11内开设处理腔20及储液腔30。
58.槽体10还包括与储液腔30一一对应的开关件40，开关件40用于控制储液腔30与处理腔20的连通与断开。
59.一个实施例中，开关件40为开合板，开合板与隔板12铰接，以相对于隔板12在第一位置与第二位置之间切换。在开合板处于第一位置时，相对应的储液腔30与处理腔20连通。在开合板处于第二位置时，相对应的储液腔30与处理腔20断开。另一个实施例中，开关件40还可以为采用其他设置方式，如设置开关件40为电控开关，以用于控制储液腔30与处理腔的连通与断开。
60.当然，在另一些实施例中，还可以通过其他方式实现储液腔30与处理腔20的连通或断开，如设置阀门以控制储液腔30与处理腔20的连通或断开。
61.一实施例中，每一储液腔30内设有循环件50，循环件50促使处理液在储液腔30与处理腔20之间循环流动。这样，使得处理液各处的浓度更均匀，以保证处理工件的处理效果。
62.具体地，循环件50为抽吸泵。处理液在抽吸泵的抽吸作用下，在储液腔30与处理腔20之间循环流动。应当理解的是，在另一些实施例中，循环件50还可以为设置于储液腔30内的搅拌棒，通过搅拌棒的搅拌，促使处理液在储液腔30与处理腔20之间循环流动。
63.一实施例中，在换液时，处理腔20排空后，为了便于处理腔20快速填满处理液。每一储液腔30内活动设有推液件60，推液件60在相对于储液腔30的腔壁向靠近处理腔20运动时，能够将储液腔30的处理液推入处理腔20内。这样，当储液腔30内的处理液的容量不多时仍然能够进入处理腔20中。
64.推液件60为活动设于储液腔30内的推液板，如图1所示，当推液板向上靠近处理腔20运动时，其能够将储液腔30内的处理液推入处理腔20内。可以想到的是，在另一些实施例中，推液件60还可以采用其他方式设置，在此亦不作限定。
65.在此需要说明的是，当储液腔30内设有推液板时，为了不影响循环件50的工作，可以将循环件50设于推液板上，能够与推液板共同运动。或者，将循环件50设于储液腔30靠近处理腔20的一端。在此还需要说明的是，当不需要将储液腔30内的液体推入处理腔20中时，推液板一般设于储液腔30远离处理腔20的一端。如本具体实施例中，推液板一般设于储液腔30的底部。
66.一实施例中，各储液腔30的容积可调。如此，通过调节，能够得到不同容积的储液
腔30，以满足不同的需求。
67.具体地，隔板12在本体11内的位置可调，以改变储液腔30的容积。
68.每一储液腔30内设有控温机构，用于控制处理液的温度。这样，通过设置控温机构能够使储液腔30内的处理液的温度保持在恒定范围内，以使得处理液稳定发挥作用。
69.处理腔20内设有用于输送工件的滚轮结构70。在本实施例中，由于处理槽100为刻蚀槽，则工件为硅片。在滚轮结构70输送硅片的过程中，硅片与处理液接触，处理液对其进行刻蚀。
70.本技术另一实施例还提供一种处理设备，包括上述处理槽100。具体地，该处理设备为用于太阳能电池制备中的湿法链式机台。
71.进一步，处理设备包括多个处理槽100。具体地，每个处理槽100中容纳的处理液的种类可以相同也可以不同。当全部处理槽100中容纳的处理液的种类相同时，处理设备一次能够处理多个相同的工件。当处理槽100中容纳的处理液的种类不同时，处理设备能够在不同工序对工件进行处理。如当处理设备用于硅片制备时，设置处理设备包括两个处理槽100，一个处理槽100应用于制绒工序对硅片进行处理，另一个处理槽100应用于刻蚀工序对硅片进行刻蚀处理。
72.参阅图2，本技术另一实施例提供一种采用上述处理槽100的供液方法，包括步骤：
73.s110：当处理槽100需要换液时，控制与处理腔20连通的第一储液腔的排液口打开，控制第一储液腔与处理腔20断开；
74.在此需要说明的是，部分储液腔30形成第一储液腔。如当储液腔30有两个时，一个储液腔30形成第一储液腔；当储液腔30多于两个时，一个储液腔30形成第一储液腔或者多于一个储液腔30形成第一储液腔。
75.s120：控制至少一个第二储液腔与处理腔20连通，并向处理腔20内供液。
76.在此还需要说明的是，剩余部分储液腔30形成第二储液腔。如当储液腔30有两个时，一个储液腔30形成第一储液腔，另一个储液腔30形成第二储液腔；当储液腔30多于两个时，一个储液腔30或者多于一个储液腔30形成第一储液腔，剩余部分储液腔30形成第二储液腔。
77.上述采用上述处理槽100的供液方法，当处理槽100需要换液时，通过第一储液腔将处理腔20内的处理液排气孔，而在排空处理腔20中的处理液的过程中，或者在排空处理腔20中的处理液之前，向第二储液腔通入处理液。当处理腔20中处理液排空后，控制至少一个第二储液腔与处理腔20连通，向其通入处理液即可。与现有技术相比(现有技术只有处理腔20)，不必等到处理腔20排空后再向其通入新的处理液，减少了换液时长，提高了产能。
78.进一步，s110还包括步骤：
79.当处理腔20内的处理液通过第一储液腔排空后，控制处理腔20与第一储液腔断开。这样，将处理腔20内的处理液排空，以便于通入新的处理液，保证了处理液的洁净度。
80.另一些实施例中，s110还包括步骤：当处理腔20内的处理液未排空时，控制处理腔20与第一储液腔断开。这样设置，当通过第二储液腔向处理腔20中通入处理液时，新的处理液与之前的处理液进行混合，相当于给之前的处理液进行补液，以提高供液速度。
81.进一步，每一储液腔30内活动设有推液件60，推液件60在相对于储液腔30的腔壁靠近处理腔20运动时，能够将储液腔30内的处理液推入处理腔20内。s120还包括步骤：控制
推液件60相对于第二储液腔的腔壁靠近处理腔20运动，以向处理腔20内供液。如此，当第二储液腔内的处理液的容量不多时仍然能够进入处理腔20中，不必采用外部设备向第二储液腔内供液，来使处理液充满第二储液腔后再填充至处理腔20内。
82.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
83.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种处理槽，其特征在于，包括槽体(10)，所述槽体(10)具有处理腔(20)及至少两个相互独立的储液腔(30)，所述处理腔(20)及所述储液腔(30)均能够容纳用于处理工件的处理液；每一所述储液腔(30)具有可控地打开或闭合的进液口及排液口，每一所述储液腔(30)可控地与所述处理腔(20)连通或断开。2.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，全部所述储液腔(30)在竖直方向上均位于所述处理腔(20)的下方，且全部所述储液腔(30)在水平方向上依次排布。3.根据权利要求2所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)还具有预留腔，所述预留腔在竖直方向上位于所述处理腔(20)的下方，且与全部所述储液腔(30)在水平方向上依次排布；所述预留腔用于放置配液机构，所述配液机构用于配置处理液以供向所述储液腔(30)。4.根据权利要求3所述的处理槽，其特征在于，所述预留腔内还用于放置液体浓度检测机构及液体流量检测机构，所述液体浓度检测机构用于检测经所述预留腔流向每个所述储液腔(30)的处理液的浓度，所述液体流量检测机构用于检测所述预留腔流向每个所述储液腔(30)的处理液的流量。5.根据权利要求1-4任一项所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)具有两个所述储液腔(30)。6.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)包括本体(11)及隔板(12)，所述隔板(12)设于所述本体(11)内，以将所述本体(11)的内腔分隔为所述处理腔(20)及所述储液腔(30)。7.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)还包括与所述储液腔(30)一一对应的开关件(40)，所述开关件(40)用于控制所述储液腔(30)与所述处理腔(20)的连通与断开。8.根据权利要求7所述的处理槽，其特征在于，所述开关件为开合板，所述开合板与所述槽体(10)铰接，以相对于所述槽体(10)在第一位置与第二位置之间切换；在所述开合板处于所述第一位置时，相对应的所述储液腔(30)与所述处理腔(20)连通；在所述开合板处于所述第二位置时，相对应的所述储液腔(30)与所述处理腔(20)断开。9.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，各所述储液腔(30)的容积可调。10.根据权利要求9所述的处理槽，其特征在于，所述槽体(10)包括本体(11)及隔板(12)，所述隔板(12)设于所述本体(11)内，以将所述本体(11)的内腔分隔为所述处理腔(20)及所述储液腔(30)；所述隔板(12)在所述本体(11)内的位置可调，以改变所述储液腔(30)的容积。11.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，每一所述储液腔(30)内活动设有推液件(60)，所述推液件(60)在相对于所述储液腔(30)的腔壁靠近所述处理腔(20)运动时，能够将所述储液腔(30)内的处理液推入所述处理腔(20)内。12.根据权利要求11所述的处理槽，其特征在于，所述推液件为活动设于所述储液腔(30)内的推液板。13.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，每一所述储液腔(30)内设有循环件
(50)，所述循环件(50)促使处理液在所述储液腔(30)与所述处理腔(20)之间循环流动。14.根据权利要求13所述的处理槽，其特征在于，所述循环件(50)为抽吸泵。15.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，所述处理腔(20)内设有用于输送工件的滚轮结构(70)。16.根据权利要求1所述的处理槽，其特征在于，每一所述储液腔(30)内设有控温机构，以用于控制处理液的温度。17.一种处理设备，其特征在于，包括如权利要求1-16任一项所述的处理槽。18.根据权利要求17所述的处理设备，其特征在于，所述处理设备包括多个所述处理槽。19.一种采用如权利要求1-18任一项所述的处理槽的供液方法，其特征在于，包括步骤：当所述处理槽需要换液时，控制与所述处理腔(20)连通的第一储液腔(30)的所述排液口打开，并控制所述第一储液腔(30)与所述处理腔(20)断开；控制至少一个第二储液腔(30)与所述处理腔(20)连通，并向所述处理腔(20)内供液。20.根据权利要求19所述的供液方法，其特征在于，所述当所述处理槽需要换液时，控制与所述处理腔(20)连通的第一储液腔(30)的所述排液口打开，并控制所述第一储液腔(30)与所述处理腔(20)断开还包括步骤：当所述处理腔(20)内的处理液通过所述第一储液腔(30)排空后，控制所述处理腔(20)与所述第一储液腔(30)断开。21.根据权利要求19所述的供液方法，其特征在于，每一所述储液腔(30)内活动设有推液件，所述推液件在相对于所述储液腔(30)的腔壁靠近所述处理腔(20)运动时，能够将所述储液腔(30)内的处理液推入所述处理腔(20)内；所述控制至少一个第二储液腔(30)与所述处理腔(20)连通，并向所述处理腔(20)内供液还包括步骤：控制所述推液件相对于所述第二储液腔(30)的腔壁靠近所述处理腔(20)运动，以向所述处理腔(20)内供液。

技术总结
本申请涉及一种处理槽、处理设备及供液方法，包括槽体，槽体具有处理腔及至少两个相互独立的储液腔，处理腔及储液腔均能够容纳用于处理工件的处理液；每一储液腔具有可控地打开或闭合的进液口及排液口，每一储液腔可控地与处理腔连通或断开。当处理腔需要换液时，通过与其相连通的储液腔的排液口将处理腔内的处理液排空。而在排空处理腔中处理液的过程中，或者在排空处理腔中处理液之前，向处于闲置状态的储液腔通入处理液。当处理腔中处理液排空后，使得处于闲置状态的至少一个储液腔与处理腔连通，向其通入处理液即可。与现有技术相比(现有技术只有处理腔)，不必等到处理腔排空后再向其通入新的处理液，减少了换液时长，提高了产能。了产能。了产能。


技术研发人员：罗成 廖宝臣 姚森 杨博 李志云
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：2023.03.17
技术公布日：2023/7/18