检测组件和检测方法与流程

1.本发明涉及测试工装技术领域，具体涉及一种检测组件和检测方法。


背景技术：

2.目前，在相关技术中，在对功率器件进行检测时，需要手动的方式将检测探针与功率器件的检测端子相接触，但是手动控制检测探针与测试端子相接触的方式，很难保证每一次检测探针与测试端子相接触的压力，从而导致测量出现误差。


技术实现要素：

3.本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
4.为此，本发明的第一方面提出一种检测组件。
5.本发明的第二方面提出一种检测方法。
6.有鉴于此，本发明的第一方面提供了一种检测组件，检测组件与扫频组件相连接，用于对功率器件进行检测，检测组件包括基座、第一安装组件、支架组件、第一套筒、第二套筒、探针组件和压力检测组件。第一安装组件设置于基座；支架组件设置于基座；第一套筒与支架组件连接，能够相对于支架组件移动；第二套筒与第一套筒相连接，能够相对于第一套筒运动；探针组件的与第一套筒连接；压力检测组件包括压力检测部件和弹性件；弹性件的一端与第二套筒连接，弹性件的另一端与第一套筒连接；在对功率器件进行检测的情况下，功率器件放置于第一安装组件，压力检测组件能够检测弹性件的第一压力值，以控制探针组件与功率器件的接触状态。
7.在该技术方案中，检测组件与扫频组件相连接，用于对功率器件进行检测，从而使得检测组件可以对功率器件在不同频率下的阻抗变化，从而实现对功率器件的检测。检测组件包括基座、第一安装组件、支架组件、第一套筒、第二套筒、探针组件和压力检测组件。第一安装组件设置于基座，以实现对第一安装组件的安装，使得第一安装组件可以对功率器件进行安装。支架组件设置于基座，以实现对支架组件的安装和固定。第一套筒与支架组件连接，能够相对于支架组件移动，以实现对第一套筒的安装，从而使得支架组件可以对第一套筒的位置进行调整。探针组件的与第一套筒连接，以实现将探针组件安装在第一套筒上。第二套筒与第一套筒相连接，能够相对于第一套筒运动，进而在第二套筒运动时，探针组件可以随第二套筒运动，使得第二套筒可以控制探针组件的运动。压力检测组件包括压力检测部件和弹性件；弹性件的一端与第二套筒连接，弹性件的另一端与第一套筒连接，使得第一套筒与第二套筒之间通过弹性件进行连接，并且压力检测部件可以对弹性件的压力进行检测。在对功率器件进行检测的情况下，功率器件放置于第一安装组件，使得探针组件的探针端子与功率器件的测试端子接触，然后，控制第二套筒相对于第一套筒运动，在弹性件被压缩后，压力检测组件能够检测弹性件的第一压力值，在每一次压力检测部件检测到第一压力值后，从而可以确定探针组件的探针端子运动得到预定的位置，进而可以控制探针组件与功率器件的接触状态，以此来保证探针组件的探针端子与功率器件的接触压力保
持一致性，从而可以避免在每一次测量时出现的误差，进而提升对功率器件检测时的精准度。
8.另外，本发明提供的上述技术方案中的检测组件还可以具有如下附加技术特征：
9.在本发明的一个技术方案中，第一套筒的底壁上设置有安装槽，安装槽的开口朝向弹性件，安装槽向远离第一套筒的方向凹陷，弹性件的一端位于安装槽内。
10.在该技术方案中，第一套筒的底壁上设置有安装槽，安装槽的开口朝向弹性件，安装槽向远离第一套筒的方向凹陷，弹性件的一端位于安装槽内，进而使得安装槽可以对弹性件进行安装，以便于安装槽对弹性件的一端进行固定，使得弹性件可以按照预设的方向进行压缩，以此可以避免压力检测部件对弹性件的压力检测出现误差。
11.在本发明的一个技术方案中，支架组件包括第一支撑部件、支座、第一转动杆、齿轮、第一安装板、第二安装板、丝杆和滑动件。第一支撑部件设置于基座；支座与第一支撑部件连接；第一转动杆穿设于支座；齿轮套设于第一转动杆；第一安装板的一侧设置有齿条，齿条与齿轮啮合；第二安装板的一端与第一安装板背离齿条的一侧相连接，且与第一安装板具有夹角；丝杆安装于第二安装板朝向基座的一侧，能够相对于第二安装板转动；滑动件的一端与第一套筒连接，滑动件的另一端与丝杆配合，能够沿丝杆的轴向运动。
12.在该技术方案中，支架组件包括第一支撑部件、支座、第一转动杆、齿轮、第一安装板、第二安装板、丝杆和滑动件。第一支撑部件设置于基座，以实现对第一支撑部件的安装和固定，支座与第一支撑部件连接，以实现对支座的安装。第一转动杆穿设于支座，齿轮套设于第一转动杆，以使第一转动杆相对于支座转动时，第一转动杆可以带动齿轮转动。第一安装板的一侧设置有齿条，齿条与齿轮啮合，以实现对齿条的安装，在第一转动杆转动时，第一安装板可以沿第一支撑部件的轴向运动。第二安装板的一端与第一安装板背离齿条的一侧相连接，且与第一安装板具有夹角，以使第一安装板与第二安装板呈l形。丝杆安装于第二安装板朝向基座的一侧，能够相对于第二安装板转动，以实现对丝杆的安装。滑动件的一端与第一套筒连接，滑动件的另一端与丝杆配合，能够沿丝杆的轴向运动，通过丝杆的转动来实现滑动件的水平位置的前后调节，从而使得滑动件运动时可以对探针组件在水平方向上的位置进行调整，第一转动件运动时可以对探针组件在竖直方向上的位置进行调整，通过设置丝杆传动结构、齿轮齿条传动结构，实现滑动件的竖向和水平移动，进而实现探针组件对待测器件的快速定位测量。
13.在本发明的一个技术方案中，第二套筒包括筒体和第一定位部件。筒体位于第一套筒内；第一定位部件位于筒体远离基座一侧，且与探针组件相连接。
14.在该技术方案中，第二套筒包括筒体和第一定位部件。筒体位于第一套筒内，以使第一套筒套设于筒体，使得筒体可以相对于第一套筒运动。第一定位部件位于筒体远离基座一侧，且与探针组件相连接，以实现对第一定位部件的安装，使得第一定位部件可以对探针组件进行固定和定位，以便于探针组件可以随筒体一起运动。
15.在本发明的一个技术方案中，探针组件接地探针和至少一个检测探针。接地探针远离基座的一侧设置于第一定位部件；至少一个检测探针远离基座的一侧设置于第一定位部件，且与接地探针并列设置，能够与接地探针相互远离或靠近。
16.在该技术方案中，探针组件接地探针和至少一个检测探针。接地探针远离基座的一侧设置于第一定位部件，以实现对接地探针的安装；至少一个检测探针远离基座的一侧
设置于第一定位部件，且与接地探针并列设置，以实现对至少一个检测探针的安装，使得第一定位部件可以对至少一个检测探针的安装位置进行固定。至少一个检测探针能够与接地探针相互远离或靠近，从而使得第一定位部件可以对至少一个检测探针与接地探针之间的距离进行调整，由于不同的功率器件上的测试端子之间的距离是不同的，以使探针组件可以根据测试端子相应地调整探针之间的距离，从而能够适应不同封装结构功率器件，即器件端子之间的间距不同的功率器件，实现对功率器件的通用性测试需求。
17.在本发明的一个技术方案中，第二套筒还包括限位柱，限位柱位于弹性件内，限位柱的一端与第二套筒的底壁相连接，弹性件的另一端能够与第一套筒的底壁接触。
18.在该技术方案中，第二套筒还包括限位柱，限位柱位于弹性件内，限位柱的一端与第二套筒的底壁相连接，以实现对限位柱的安装和固定，弹性件的另一端能够与第一套筒的底壁接触，从而使得限位柱可以限制第二套筒的运动距离，起到了限制弹性件压缩距离的作用，在弹性件的另一端能够与第一套筒的底壁接触时，通过检测弹性件的压力值，从而可以保证每一次探针端子与测试端子接触压力保持一致性良好的欧姆接触测试要求，以减小测量误差。
19.本发明第二方面提供了一种检测方法，利用上述任一技术方案中的检测组件对功率器件进行检测，检测方法包括：根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对；控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触；控制第二套筒相对于第一套筒运动；根据第一压力值控制探针组件与功率器件的接触状态；控制探针组件对功率器件进行检测。
20.在该技术方案中，根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对，进而可以根据功率器件的位置，将探针组件向靠近功率器件的位置进行运动，以便于探针组件对功率器件进行测量。控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触，控制第二套筒相对于第一套筒运动，从而可以保证第二套筒运动后，弹性件的压缩量与探针组件相对于功率器件的运动的距离是相同，进而在弹性件压缩后通过检测弹性件的第一压力值来确定探针组件是否运动到每次检测时压力一致的位置，从而根据第一压力值控制探针组件与功率器件的接触状态，在探针组件相对于功率器件运动到压力一致的位置，再控制探针组件对功率器件进行检测，从而可以避免在每一次测量时出现的误差，进而提升对功率器件检测时的精准度。
21.在本发明的一个技术方案中，控制第二套筒相对于第一套筒运动之前，检测方法还包括：控制压力检测部件检测探针组件与功率器件的测试端子相接触时弹性件的初始压力值。
22.在该技术方案中，第二套筒相对于第一套筒运动之前，控制压力检测部件检测探针组件与功率器件的测试端子相接触时弹性件的初始压力值，可以避免第二套筒相对于第一套筒运动之前弹簧就被压缩，从而可以进一步地保证第二套筒相对于第一套筒运动后，压力检测部件对弹性件压力值检测准确性，保证探针端子可以运动至每次检测压力一致的位置，较小检测的误差。
23.在本发明的一个技术方案中，若第一压力值等于第一压力阈值，控制探针组件对功率器件进行检测；若第一压力值大于或小于第一压力阈值，校准弹性件的初始压力值。
24.在该技术方案中，在弹性件压缩后，若第一压力值等于第一压力阈值，则探针组件
的探针端子已经运动到压力一致的位置，控制探针组件对功率器件进行检测。若第一压力值大于或小于第一压力阈值，则弹性件在压缩后，探针组件的探针端子不是压力一致的位置，此时需要校准弹性件的初始压力值，在此控制第二套筒相对于第一套筒运动，使得探针组件的探针端子运动到压力一致的位置，从而可以保证在每一次对功率器件进行检测时，探针端子都处于压力一致的位置，从而减小测量误差。
25.在本发明的一个技术方案中，根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对，包括：获取功率器件的位置；根据功率器件的位置，控制滑动件带动探针组件运动至功率器件的位置；获取测试端子的位置；根据测试端子的位置调整接地探针和至少一个检测探针之间的间距。
26.在该技术方案中，获取功率器件的位置；根据功率器件的位置，控制滑动件带动探针组件运动至功率器件的位置，从而使得探针组件可以运动至靠近功率器件的位置。获取测试端子的位置，根据测试端子的位置调整接地探针和至少一个检测探针之间的间距，由于不同的功率器件上的测试端子之间的距离是不同的，以使探针组件可以根据测试端子相应地调整探针之间的距离，以此可以对不同的功率器件进行检测。
27.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
28.本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
29.图1示出了根据本发明的一个实施例的检测组件的结构示意图之一；
30.图2示出了根据本发明的一个实施例的检测组件的剖面图；
31.图3示出了根据本发明的一个实施例的基座的结构示意图；
32.图4示出了根据本发明的一个实施例的检测组件的结构示意图之二；
33.图5示出了根据本发明的一个实施例的检测组件的结构示意图之三；
34.图6示出了根据本发明的一个实施例的检测组件的结构示意图之四；
35.图7示出了根据本发明的一个实施例的探针组件的结构示意图之一；
36.图8示出了根据本发明的一个实施例的探针组件的结构示意图之二；
37.图9示出了根据本发明的一个实施例的探针组件的结构示意图之三；
38.图10示出了根据本发明的一个实施例的探针组件剖面图；
39.图11示出了根据本发明的一个实施例的检测方法的流程图之一；
40.图12示出了根据本发明的一个实施例的检测方法的流程图之二；
41.图13示出了根据本发明的一个实施例的检测方法的流程图之三；
42.图14示出了根据本发明的一个实施例的检测方法的流程图之三。
43.其中，图1至图14图标记与部件名称之间的对应关系为：
44.100检测组件，110基座，112滑槽，114基体，116凸台，120第一安装组件，122第一转轴，124第二转轴，126第一夹持部件，128第二夹持部件，130支架组件，131第一支撑部件，132支座，133第一转动杆，134齿轮，135第一安装板，136第二安装板，137丝杆，138齿条，139轴承座，140滑动件，150第一套筒，152安装槽，160第二套筒，162筒体，164第一定位部件，
166限位柱，170探针组件，172接地探针，174检测探针，176第一探针，178第二探针，180压力检测组件，182弹性件，184压力检测部件，200扫频组件，700功率器件。
具体实施方式
45.为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
46.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
47.下面参照图1至图14根据本发明一些实施例的检测组件100和检测方法。
48.有鉴于此，如图1、图2和图3所示，本发明的第一方面提供了一种检测组件100，检测组件100与扫频组件200相连接，用于对功率器件700进行检测，检测组件100包括基座110、第一安装组件120、支架组件130、第一套筒150、第二套筒160、探针组件170和压力检测组件180。第一安装组件120设置于基座110；支架组件130设置于基座110；第一套筒150与支架组件130连接，能够相对于支架组件130移动；第二套筒160与第一套筒150相连接，能够相对于第一套筒150运动；探针组件170的与第一套筒150连接；压力检测组件180包括压力检测部件184和弹性件182；弹性件182的一端与第二套筒160连接，弹性件182的另一端与第一套筒150连接；在对功率器件700进行检测的情况下，功率器件700放置于第一安装组件120，压力检测部件184能够检测弹性件182的第一压力值，以控制探针组件170与功率器件700的接触状态。
49.在该实施例中，检测组件100与扫频组件200之间通过线缆相连接，用于对功率器件700进行检测，从而使得检测组件100可以对功率器件700在不同频率下的阻抗变化，从而实现对功率器件700的检测。检测组件100包括基座110、第一安装组件120、支架组件130、第一套筒150、第二套筒160、探针组件170和压力检测组件180。第一安装组件120设置于基座110，以实现对第一安装组件120的安装，使得第一安装组件120可以对功率器件700进行安装。支架组件130设置于基座110，以实现对支架组件130的安装和固定。第一套筒150与支架组件130连接，能够相对于支架组件130移动，以实现对第一套筒150的安装，从而使得支架组件130可以对第一套筒150的位置进行调整。探针组件170的与第一套筒150连接，以实现将探针组件170安装在第一套筒150上。第二套筒160与第一套筒150相连接，能够相对于第一套筒150运动，进而在第二套筒160运动时，探针组件170可以随第二套筒160运动，使得第二套筒160可以控制探针组件170的运动。压力检测组件180包括压力检测部件184和弹性件182；弹性件182的一端与第二套筒160连接，弹性件182的另一端与第一套筒150连接，使得第一套筒150与第二套筒160之间通过弹性件182进行连接，并且压力检测部件184可以对弹性件182的压力进行检测。在对功率器件700进行检测的情况下，功率器件700放置于第一安装组件120，使得探针组件170的探针端子与功率器件700的测试端子接触，然后，控制第二套筒160相对于第一套筒150运动，在弹性件182被压缩后，压力检测部件180能够检测弹性件182的第一压力值，在每一次压力检测部件184检测到第一压力值后，从而可以确定探针组件170的探针端子运动得到预定的位置，进而可以控制探针组件170与功率器件700的接
触状态，以此来保证探针组件170的探针端子与功率器件700的接触压力保持一致性，从而可以避免在每一次测量时出现的误差，进而提升对功率器件700检测时的精准度。
50.具体地，通过设置压力检测部件184与弹性件182相连接，使得压力检测部件184可以对弹性件182的压力值进行检测。
51.具体地，第二套筒160远离弹性件182的一端设置有把手，通过按压把手从而可以控制第二套筒160相对于第一套筒150运动。
52.具体地，压力检测部件184由传感器、信号检测处理部和显示面板组成，从而在弹性件182被压缩时可以直接了解到弹性件182的压力值，通过检测弹性件182拉伸压缩量，保证每次检测探针组件170相对于功率器件700可以运动到接触压力保持一致的位置。
53.具体地，基座110包括基体114和凸台116，凸台116的数量为两个，基体114上设置有滑槽112，滑槽112沿远离探针组件170的方向凹陷，两个凸台116分别位于滑槽112严长度方向上的两侧，且与基体114连接。第一安装组件120包括第一转轴122、第二转轴124、第一夹持部件126和第二夹持部件128，两个凸台116分别设置有通孔，通孔为圆形，通孔内设置有螺纹，第一转轴122和第二转轴124的外壁上也设置有螺纹，能够与通孔内的螺纹进行配合，第一夹持部件126和第二夹持部件128位于两个凸台116之间，第一转轴122穿过两个凸台116中一个凸台116上的通孔以及第一夹持部件126，从而使得转轴在转动时，第一夹持部件126可以沿第一转轴122的轴向运动；第二转轴124穿过两个凸台116中另一个凸台116上的通孔以及第二夹持部件128，从而使得转轴在转动时，第二夹持部件128可以沿第二转轴124的轴向运动；进而通过转动第一转轴122和第二转轴124使得第一夹持部件126和第二夹持部件128可以夹紧或松开功率器件700，第一夹持部件126和第二夹持部件128的一侧位于滑槽112内，能够在滑槽112内沿滑槽112的长度方向滑动。
54.具体地，通过压力检测部件184来校准探针组件170中的探针和测试端子的初始接触压力，一般初始接触压力设置为0，即此时探针组件170的探针刚好与功率器件700接触，再通过进一步压缩弹性件182来保证探针针尖在端子上的接触压力保持一致性。
55.具体地，具体地，功率半导体器件长期服役在严酷的工作环境中，在长时间的电-热-振动冲击作用下，器件很容易老化出现可靠性问题进而影响器件的正常工作，相关研究表明：在电力系统故障中，约38％的故障源于功率半导体器件的失效。鉴于功率器件700在电子电力系统中的重要作用，功率器件700的可靠性研究中的在线检测技术需求变得尤为重要，本技术中的探针组件170和扫频组件200系统通过螺纹啮合连，探针组件170内是50ω的内部传输线和扫频组件200的50ω线缆通过sma转接口实现了压合互连。调整探针间距可以实现不同封装的不同端子间距的分立器件的在线频域测量，第一安装组件120在一次性加持多个待测功率器件700，本技术中的检测组件100可实现批量快速检测，探针组件170可通过自带的sma口可直接实现与扫频组件200(如：矢量网络分析仪或阻抗分析仪)信号端口的互连，与频域反射仪器互连后即可通过装置的探针微调定位结构、待测器件夹持结构和限位弹簧压紧结构实现对待测器件的固定、定位和点触测量。
56.并且，本技术中通过进一步压缩弹性件182来保证探针针尖在端子上的接触压力保持一致性的方式解决了传统频域测量技术无法实现半导体功率器件700在线测量的难题，并将频域测量技术成功的拓展到半导体功率器件700的在线质量筛选和在线质量检测领域。实现了多种封装形式的半导体功率器件700的在线频域测量需求，避免了传统频域测
量中必须集成外部阻抗匹配夹具以及测量夹具需要和待测器件焊接互连的繁琐操作流程，极大的降低了频域测量难度、时间和成本。
57.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
58.如图2所示，第一套筒150的底壁上设置有安装槽152，安装槽152的开口朝向弹性件182，安装槽152向远离第一套筒150的方向凹陷，弹性件182的一端位于安装槽152内。
59.在该实施例中，第一套筒150的底壁上设置有安装槽152，安装槽152的开口朝向弹性件182，安装槽152向远离第一套筒150的方向凹陷，弹性件182的一端位于安装槽152内，进而使得安装槽152可以对弹性件182进行安装，以便于安装槽152对弹性件182的一端进行固定，使得弹性件182可以按照预设的方向进行压缩，以此可以避免压力检测部件184对弹性件182的压力检测出现误差。
60.具体地，弹性件182为弹簧，安装槽152的开口为圆形，圆形槽可以对弹性件182的一端进行固定。
61.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
62.如图1、图4和图5所示，支架组件130包括第一支撑部件131、支座132、第一转动杆133、齿轮134、第一安装板135、第二安装板136、丝杆137和滑动件140。第一支撑部件131设置于基座110；支座132与第一支撑部件131连接；第一转动杆133穿设于支座132；齿轮134套设于第一转动杆133；第一安装板135的一侧设置有齿条138，齿条138与齿轮134啮合；第二安装板136的一端与第一安装板135背离齿条138的一侧相连接，且与第一安装板135具有夹角；丝杆137安装于第二安装板136朝向基座110的一侧，能够相对于第二安装板136转动；滑动件140的一端与第一套筒150连接，滑动件140的另一端与丝杆137配合，能够沿丝杆137的轴向运动。
63.在该实施例中，支架组件130包括第一支撑部件131、支座132、第一转动杆133、齿轮134、第一安装板135、第二安装板136、丝杆137和滑动件140。第一支撑部件131设置于基座110，以实现对第一支撑部件131的安装和固定，支座132与第一支撑部件131连接，以实现对支座132的安装。第一转动杆133穿设于支座132，齿轮134套设于第一转动杆133，以使第一转动杆133相对于支座132转动时，第一转动杆133可以带动齿轮134转动。第一安装板135的一侧设置有齿条138，齿条138与齿轮134啮合，以实现对齿条138的安装，在第一转动杆133转动时，第一安装板135可以沿第一支撑部件131的轴向运动。第二安装板136的一端与第一安装板135背离齿条138的一侧相连接，且与第一安装板135具有夹角，以使第一安装板135与第二安装板136呈l形。丝杆137安装于第二安装板136朝向基座110的一侧，能够相对于第二安装板136转动，以实现对丝杆137的安装。滑动件140的一端与第一套筒150连接，滑动件140的另一端与丝杆137配合，能够沿丝杆137的轴向运动，通过丝杆137的转动来实现滑动件140的水平位置的前后调节，从而使得滑动件140运动时可以对探针组件170在水平方向上的位置进行调整，第一转动件运动时可以对探针组件170在竖直方向上的位置进行调整，通过设置丝杆137传动结构、齿轮134齿条138传动结构，实现滑动件140的竖向和水平移动，进而实现探针组件170对待测器件的快速定位测量。
64.具体地，第一支撑部件131为长方形竖杆。
65.具体地，支座132的数量为两个，两个支座132固定安装在第一支撑部件131上，两个支座132之间具有间隙，第一转动杆133穿设于两个支座132，齿轮134位于间隙内，且支座132与第一支撑部件131之间通过螺钉进行连接，以实现对支座132的固定。
66.具体地，支架组件130还包括齿条138座，齿条138座与第一安装板135朝向齿轮134的一侧相连接，齿条138与齿条138座相连接，从而使得齿条138座可以对齿条138进行安装和固定。
67.具体地，支架组件130还包括两个轴承座139，两个轴承座139与第二安装板136朝向基座110的一侧相连接，丝杆137穿设于连个轴承座139，以实现对丝杆137的安装，使得丝杆137转动时滑动件140可以沿丝杆137的轴向运动，从而实现对探针组件170在水平方向上的调节。
68.具体地，通过设置支架组件130和第一安装组件120实现了对检测探针移动距离的可控和微调，第一安装组件120可以加紧待测功率器件700器件，消除器件在测试过程中的微小振动位移带来的测试误差。丝杆137用于实现对探针组件170水平位置的微调，第一转动杆133转动时用于实现探针模组的上下距离微调。整个装置采用一体化的结构设计，通过机械传动结构对探针组件170进行位置的微调定位，相比于手持探针直接接触测试端子的测试方式得到的测试结果更加稳定。
69.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
70.如图6和图7所示，第二套筒160包括筒体162和第一定位部件164。筒体162位于第一套筒150内；第一定位部件164位于筒体162远离基座110一侧，且与探针组件170相连接。
71.在该实施例中，第二套筒160包括筒体162和第一定位部件164。筒体162位于第一套筒150内，以使第一套筒150套设于筒体162，使得筒体162可以相对于第一套筒150运动。第一定位部件164位于筒体162远离基座110一侧，且与探针组件170相连接，以实现对第一定位部件164的安装，使得第一定位部件164可以对探针组件170进行固定和定位，以便于探针组件170可以随筒体162一起运动。
72.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
73.如图7、图8、图9和图10所示，探针组件170接地探针172和至少一个检测探针174。接地探针172远离基座110的一侧设置于第一定位部件164；至少一个检测探针174远离基座110的一侧设置于第一定位部件164，且与接地探针172并列设置，能够与接地探针172相互远离或靠近。
74.在该实施例中，探针组件170接地探针172和至少一个检测探针174。接地探针172远离基座110的一侧设置于第一定位部件164，以实现对接地探针172的安装；至少一个检测探针174远离基座110的一侧设置于第一定位部件164，且与接地探针172并列设置，以实现对至少一个检测探针174的安装，使得第一定位部件164可以对至少一个检测探针174的安装位置进行固定。至少一个检测探针174能够与接地探针172相互远离或靠近，从而使得第一定位部件164可以对至少一个检测探针174与接地探针172之间的距离进行调整，由于不同的功率器件700上的测试端子之间的距离是不同的，以使探针组件170可以根据测试端子相应地调整探针之间的距离，从而能够适应不同封装结构功率器件700，即器件端子之间的
间距不同的功率器件700，实现对功率器件700的通用性测试需求。
75.具体地，第一定位部件164包括第一导轨、第二导轨、第三导轨和第四导轨，第一导轨、第二导轨、第三导轨和第四导轨并列设置，第一导轨与第二导轨之间具有第一间隙，第二导轨和第三导轨之间具有第二间隙，第三导轨和第四导轨之间具有第三间隙，接地探针172和至少一个检测探针174位于第二间隙内，接地探针172和至少一个检测探针174位能够相对于第二导轨和第三导轨的长度方向运动，使得接地探针172和至少一个检测探针174的距离可调节，从而可以对测试端子不同的功率器件700检测，例如：to-247、to-220、to-92等封装结构。
76.具体地，接地探针172的一端具有第一安装部，以使接地探针172呈十字形，第一安装部的一端位于第一导轨和第二导轨上，能够相对于第一导轨和第二导轨滑动，第一安装部的另一端位于第三导轨和第四导轨上，能够相对于第三导轨和第四导轨滑动，在对接地探针172进行固定时，利用第一螺栓从第一间隙的位置穿设于第一安装部的一端，并通过第一螺母与第一螺栓相连接，利用第二螺栓从第三间隙的位置穿设于第一安装部的另一端，并通过第二螺母与第二螺栓相连接，接地探针172为十字形结构用螺栓和螺母的结构与导轨相连实现在导轨上水平滑动和固定。
77.具体地，至少一个检测探针174的一端具有第二安装部，以使至少一个检测探针174呈十字形，第二安装部的一端位于第一导轨和第二导轨上，能够相对于第一导轨和第二导轨滑动，第二安装部的另一端位于第三导轨和第四导轨上，能够相对于第三导轨和第四导轨滑动，在对至少一个检测探针174进行固定时，利用第三螺栓从第一间隙的位置穿设于第二安装部的一端，并通过第三螺母与第三螺栓相连接，利用第四螺栓从第三间隙的位置穿设于第二安装部的另一端，并通过第四螺母与第四螺栓相连接，至少一个检测探针174为十字形结构用螺栓和螺母的结构与导轨相连实现在导轨上水平滑动，以实现水平距离的可调和固定。
78.具体地，探针组件170可依实际需要确定装置内的探针数，至少一个检测探针174包括第一探针176和第二探针178，从而使得探针组件170包括接地探针172、第一探针176和第二探针178三个探针。接地探针172、第一探针176和第二探针178三个探针尾部设计为sma结构用于和扫频组件200的输入和输出端口直接互连，接地探针172、第一探针176和第二探针178的针尖和功率器件700的测试端子通过欧姆接触互连，接地探针172、第一探针176和第二探针178的针尖与测试端子连接时通过人为施加压力，接地探针172、第一探针176和第二探针178的探针头为刚性不可伸缩。
79.具体地，第一安装部和第二安装部的两端上均设置有通孔，便于利用螺栓和螺母的结构对接地探针172和至少一个检测探针174进行放松和锁紧固定。
80.接地探针172、第一探针176和第二探针178三个探针尾部设计为螺纹结构实现了探针组件170和扫频组件200(如：矢量网络分析仪或阻抗分析仪)port1(输入端口)和port2(输出端口)的互连，第一探针176和第二探针178按照常规的50ω的特征阻抗设计(由50ω内部走线、绝缘层和金属外壳组成)。接地探针172通过第一定位部件164实现了与扫频组件200共地。
81.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
82.如图2所示，第二套筒160还包括限位柱166，限位柱166位于弹性件182内，限位柱166的一端与第二套筒160的底壁相连接，弹性件182的另一端能够与第一套筒150的底壁接触。
83.在该实施例中，第二套筒160还包括限位柱166，限位柱166位于弹性件182内，限位柱166的一端与第二套筒160的底壁相连接，以实现对限位柱166的安装和固定，弹性件182的另一端能够与第一套筒150的底壁接触，从而使得限位柱166可以限制第二套筒160的运动距离，起到了限制弹性件182压缩距离的作用，在弹性件182的另一端能够与第一套筒150的底壁接触时，通过检测弹性件182的压力值，从而可以保证每一次探针端子与测试端子接触压力保持一致性良好的欧姆接触测试要求，以减小测量误差。
84.弹性件182套在弹性件182限位柱166上，限制了弹性件182的压缩量，从而实现了每次下压压力保持一个固定值。弹性件182连接着一个压力检测部件184，压力检测部件184用于校准下压探针之前的探针初始接触压力，同时也可时间下压压力值得监测，确保每次下压探针的压力都保持在一个固定压力值。从而能够保证探针和器件端子之间的欧姆接触应力的一致性，减小测试结果的误差值。
85.本发明第二方面提供了一种检测方法，利用上述任一实施例中的检测组件对功率器件进行检测，如图11所示，检测方法包括：
86.s302，根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对；
87.s304，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触；
88.s306，控制第二套筒相对于第一套筒运动；
89.s308，根据第一压力值控制探针组件与功率器件的接触状态；
90.s310，控制探针组件对功率器件进行检测。
91.在该实施例中，根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对，进而可以根据功率器件的位置，将探针组件向靠近功率器件的位置进行运动，以便于探针组件对功率器件进行测量。控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触，控制第二套筒相对于第一套筒运动，从而可以保证第二套筒运动后，弹性件的压缩量与探针组件相对于功率器件的运动的距离是相同，进而在弹性件压缩后通过检测弹性件的第一压力值来确定探针组件是否运动到每次检测时压力一致的位置，从而根据第一压力值控制探针组件与功率器件的接触状态，在探针组件相对于功率器件运动到压力一致的位置，再控制探针组件对功率器件进行检测，从而可以避免在每一次测量时出现的误差，进而提升对功率器件检测时的精准度。
92.具体地，在根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对之前，检测方法还包括：控制探针组件与扫频组件相连接；控制扫频组件对探针组件进行校准；控制第一安装组件夹持功率器件。通过探针组件与扫频组件相连接，使得扫频组件对探针组件进行校准，从而可以减小探针组件在检测时的误差，从而提升检测的准确性。通过第一安装组件夹持功率器件，从而可以对功率器件进行固定，以保证检测时的稳定性。
93.本实施例提供了一种检测的方法，如图12所示，检测方法还包括：
94.s402，根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对；
95.s404，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触；
96.s406，控制压力检测部件检测探针组件与功率器件的测试端子相接触时弹性件的
初始压力值；
97.s408，控制第二套筒相对于第一套筒运动；
98.s410，根据第一压力值控制探针组件与功率器件的接触状态；
99.s412，控制探针组件对功率器件进行检测。
100.在该实施例中，第二套筒相对于第一套筒运动之前，控制压力检测部件检测探针组件与功率器件的测试端子相接触时弹性件的初始压力值，可以避免第二套筒相对于第一套筒运动之前弹簧就被压缩，从而可以进一步地保证第二套筒相对于第一套筒运动后，压力检测部件对弹性件压力值检测准确性，保证探针端子可以运动至每次检测压力一致位置，减小检测的误差，通过利用压力检测部件可以校准探针组件与测试端子接触时的初始压力值。
101.在本发明的一个实施例中，若第一压力值等于第一压力阈值，控制探针组件对功率器件进行检测；若第一压力值大于或小于第一压力阈值，校准弹性件的初始压力值。
102.在该实施例中，在弹性件压缩后，若第一压力值等于第一压力阈值，则探针组件的探针端子已经运动到压力一致的位置，控制探针组件对功率器件进行检测。若第一压力值大于或小于第一压力阈值，则弹性件在压缩后，探针组件的探针端子不是压力一致的位置，此时需要校准弹性件的初始压力值，在此控制第二套筒相对于第一套筒运动，使得探针组件的探针端子运动到压力一致的位置，从而可以保证在每一次对功率器件进行检测时，探针端子都处于压力一致的位置，从而减小测量误差。
103.本实施例提供了一种检测的方法，如图13所示，检测方法还包括：
104.s502，获取功率器件的位置；
105.s504，根据功率器件的位置，控制滑动件带动探针组件运动至功率器件的位置；
106.s506，获取测试端子的位置；
107.s508，根据测试端子的位置调整接地探针和至少一个检测探针之间的间距；
108.s510，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触；
109.s512，控制第二套筒相对于第一套筒运动；
110.s514，根据第一压力值控制探针组件与功率器件的接触状态；
111.s516，控制探针组件对功率器件进行检测。
112.在该实施例中，获取功率器件的位置；根据功率器件的位置，控制滑动件带动探针组件运动至功率器件的位置，从而使得探针组件可以运动至靠近功率器件的位置。获取测试端子的位置，根据测试端子的位置调整接地探针和至少一个检测探针之间的间距，由于不同的功率器件上的测试端子之间的距离是不同的，以使探针组件可以根据测试端子相应地调整探针之间的距离，以此可以对不同的功率器件进行检测。
113.本实施例提供了一种检测的方法，如图14所示，检测方法还包括：
114.s602，控制探针组件与扫频组件相连接；
115.s604，控制扫频组件对探针组件进行校准；
116.s606，控制第一安装组件夹持功率器件；
117.s608，根据功率器件的位置，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子相对；
118.s610，控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触；
119.s612，控制压力检测部件校准探针组件与功率器件的测试端子相接触时弹性件的
初始压力值；
120.s614，控制第二套筒相对于第一套筒运动；
121.s616，判断压力检测部件的显示值是否为固定值，若是，执行s618，若否，执行s610；
122.s618，控制探针组件对功率器件进行检测；
123.s620，获取扫频组件对功率器件的检测结果。
124.在该实施例中，在检测的过程中，通过下压第二套筒的把手，使得第二套筒可以相对于第一套筒进行运动，在运动后，判断压力检测部件对弹性件进行检测的显示值是否为固定值，如果显示值为固定值，则表示探针组件相对于功率器件已经运动到压力一致的位置，进而可以对功率器件进行检测。如果显示值不是固定值，则表示探针组件相对于功率器件未运动到压力一致的位置，此时需要重新控制探针组件的检测部与功率器件的测试端子接触，来对探针组件与功率器件的测试端子相接触时弹性件的初始压力值进行校准，从而保证每次检测时探针组件都处于压力一致的位置。
125.在本发明的权利要求书、说明书和说明书附图中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非有额外的明确限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了更方便地描述本发明和使得描述过程更加简便，而不是为了指示或暗示所指的装置或元件必须具有所描述的特定方位、以特定方位构造和操作，因此这些描述不能理解为对本发明的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，举例来说，“连接”可以是多个对象之间的固定连接，也可以是多个对象之间的可拆卸连接，或一体地连接；可以是多个对象之间的直接相连，也可以是多个对象之间的通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据上述数据地具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
126.在本发明的权利要求书、说明书和说明书附图中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本发明的权利要求书、说明书和说明书附图中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
127.以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种检测组件，其特征在于，所述检测组件与扫频组件相连接，用于对功率器件进行检测，所述检测组件包括：基座；第一安装组件，所述第一安装组件设置于所述基座；支架组件，所述支架组件设置于所述基座；第一套筒，所述第一套筒与所述支架组件连接，能够相对于所述支架组件移动；第二套筒，所述第二套筒与所述第一套筒相连接，能够相对于所述第一套筒运动；探针组件，所述探针组件的与所述第一套筒连接；压力检测组件，所述压力检测组件包括压力检测部件和弹性件；所述弹性件的一端与所述第二套筒连接，所述弹性件的另一端与所述第一套筒连接；在对所述功率器件进行检测的情况下，所述功率器件放置于所述第一安装组件，所述压力检测部件能够检测所述弹性件的第一压力值，以控制所述探针组件与所述功率器件的接触状态。2.根据权利要求1所述的检测组件，其特征在于，所述第一套筒的底壁上设置有安装槽，所述安装槽的开口朝向所述弹性件，所述安装槽向远离所述第一套筒的方向凹陷，所述弹性件的一端位于所述安装槽内。3.根据权利要求1所述的检测组件，其特征在于，所述支架组件包括：第一支撑部件，所述第一支撑部件设置于所述基座；支座，所述支座与所述第一支撑部件连接；第一转动杆，所述第一转动杆穿设于所述支座；齿轮，所述齿轮套设于所述第一转动杆；第一安装板，所述第一安装板的一侧设置有齿条，所述齿条与所述齿轮啮合；第二安装板，所述第二安装板的一端与所述第一安装板背离所述齿条的一侧相连接，且与所述第一安装板具有夹角；丝杆，所述丝杆安装于所述第二安装板朝向所述基座的一侧，能够相对于所述第二安装板转动；滑动件，所述滑动件的一端与所述第一套筒连接，所述滑动件的另一端与所述丝杆配合，能够沿所述丝杆的轴向运动。4.根据权利要求1所述的检测组件，其特征在于，所述第二套筒包括：筒体，所述筒体位于所述第一套筒内；第一定位部件，所述第一定位部件位于所述筒体远离所述基座一侧，且与所述探针组件相连接。5.根据权利要求4所述的检测组件，其特征在于，所述探针组件：接地探针，所述接地探针远离所述基座的一侧设置于所述第一定位部件；至少一个检测探针，至少一个所述检测探针远离所述基座的一侧设置于所述第一定位部件，且与所述接地探针并列设置，能够与所述接地探针相互远离或靠近。6.根据权利要求1至5中任一项所述的检测组件，其特征在于，所述第二套筒还包括：限位柱，所述限位柱位于所述弹性件内，所述限位柱的一端与所述第二套筒的底壁相连接，所述弹性件的另一端能够与所述第一套筒的底壁接触。
7.一种检测方法，其特征在于，利用权利要求1至6中任一项所述的检测组件对功率器件进行检测，所述检测方法包括：根据所述功率器件的位置，控制所述探针组件的检测部与所述功率器件的测试端子相对；控制所述探针组件的检测部与所述功率器件的测试端子接触；控制所述第二套筒相对于所述第一套筒运动；根据所述第一压力值控制所述探针组件与所述功率器件的接触状态；控制所述探针组件对所述功率器件进行检测。8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，控制所述第二套筒相对于所述第一套筒运动之前，所述检测方法还包括：控制所述压力检测部件检测所述探针组件与所述功率器件的测试端子相接触时所述弹性件的初始压力值。9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，若所述第一压力值等于第一压力阈值，控制所述探针组件对所述功率器件进行检测；若所述第一压力值大于或小于所述第一压力阈值，校准所述弹性件的初始压力值。10.根据权利要求7至9中任一项所述的检测方法，其特征在于，根据所述功率器件的位置，控制所述探针组件的检测部与所述功率器件的测试端子相对，包括：获取所述功率器件的位置；根据所述功率器件的位置，控制滑动件带动所述探针组件运动至所述功率器件的位置；获取所述测试端子的位置；根据所述测试端子的位置调整接地探针和至少一个检测探针之间的间距。

技术总结
本发明提供了一种检测组件和检测方法，检测组件与扫频组件相连接，用于对功率器件进行检测，检测组件包括基座、第一安装组件、支架组件、第一套筒、第二套筒、探针组件和压力检测组件。第一安装组件设置于基座；支架组件设置于基座；第一套筒与支架组件连接，能够相对于支架组件移动；第二套筒与第一套筒相连接，能够相对于第一套筒运动；探针组件的与第一套筒连接；压力检测组件包括压力检测部件和弹性件；弹性件的一端与第二套筒连接，弹性件的另一端与第一套筒连接；在对功率器件进行检测的情况下，功率器件放置于第一安装组件，压力检测部件能够检测弹性件的第一压力值，以控制探针组件与功率器件的接触状态。件与功率器件的接触状态。件与功率器件的接触状态。


技术研发人员：蔡苗 韦金秀 贠明辉 刘孟源 罗银银 肖经 张玉婷
受保护的技术使用者：桂林研创半导体科技有限责任公司
技术研发日：2023.03.14
技术公布日：2023/7/19