用于矩形薄脆材料的清洗工装的制作方法

1.本实用新型涉及一种用于矩形薄脆材料的清洗工装。


背景技术：

2.目前，因cmp(chemicalmechanicalpolishing，化学机械研磨)后硅表面清洗不干净引起的电子元器件失效已超过制造过程中损失量的一半以上。清洗质量的高低已严重影响到电子器件的性能、可靠性和稳定性。
3.现有的工装清洗篮，方形小硅片清洗的量小，填装需要靠手(穿戴乳胶手套)拿取，放入洗净槽内清洗，随着槽内清洗液的流动，硅片之间有磕碰，有划伤的风险。清洗完毕，再次取出仍需手动操作，虽穿戴乳胶手套，但手套的洁净影响着产品品质，仍有再次污染的风险。


技术实现要素：

4.本实用新型提供了一种用于矩形薄脆材料的清洗工装解决上述提到的技术问题，具体采用如下的技术方案：
5.一种用于矩形薄脆材料的清洗工装，包含：
6.框体，所述框体包含相对平行设置的两个固定板以及相对平行设置的两个连接板，所述连接板的两端分别连接至两个所述固定板的一端的下部，所述固定板上设有若干圆孔；
7.第一装载组件，固定连接至所述框体；
8.第二装载组件，可拆卸连接至所述框体且位于所述第一装载组件的上方；
9.所述第一装载组件包含底板和设置于所述底板上的第一梳齿插片机构，所述底板的四个侧面分别连接至两个所述固定板和两个所述连接板的底部，所述底板设有若干长条形的通槽；
10.所述第二装载组件包含活动板和设置于所述活动板上的第二梳齿插片机构，两个所述固定板的内壁设有若干相对应的滑动引导槽，所述活动板滑动安装至所述滑动引导槽内，所述活动板设有若干长条形的通槽。
11.进一步地，所述第一梳齿插片机构包含两个平行相对设置的第一安装架，所述第一安装架垂直连接至所述底板，所述第一安装架上间隔设置有若干第一安装槽；
12.所述第二梳齿插片机构包含两个平行相对设置的第二安装架，所述第二安装架垂直连接至所述活动板，所述第二安装架上间隔设置有若干第二安装槽。
13.进一步地，所述第一装载组件上设有若干第一分隔板，若干所述第一分隔板相互平行设置且连接至所述底板上，所述第一分隔板的两侧均设有所述第一梳齿插片机构。
14.进一步地，所述第二装载组件上设有若干第二分隔板，若干所述第二分隔板相互平行设置且连接至所述活动板上，所述第二分隔板的两侧均设有所述第二梳齿插片机构。
15.进一步地，所述第一分隔板和所述第二分隔板上设有若干圆孔。
16.进一步地，所述用于矩形薄脆材料的清洗工装还包含上盖，所述上盖滑动连接至所述滑动引导槽且位于所述第二装载组件的上方。
17.进一步地，所述上盖设有若干长条形的通槽。
18.进一步地，所述用于矩形薄脆材料的清洗工装还包含两个侧板，所述侧板的两端分别连接至两个所述固定板的一端，两个所述侧板分别位于两个所述连接板的上方。
19.进一步地，所述侧板设有若干圆孔。
20.进一步地，所述固定板的上方设有把手。
21.本实用新型的有益之处在于所提供的用于矩形薄脆材料的清洗工装，结构简单，清洗效率较高。
附图说明
22.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1是本实用新型的一种用于矩形薄脆材料的清洗工装的示意图；
24.图2是本实用新型的一种用于矩形薄脆材料的清洗工装的爆炸图；
25.框体10，固定板11，滑动引导槽111，把手112，连接板12，第一装载组件20，第一安装架22，第一安装槽221，第一分隔板23，第二装载组件30，活动板31，第二安装架32，第二安装槽321，第二分隔板33，上盖40，侧板50，圆孔60，通槽70，矩形片80，真空吸笔90。
具体实施方式
26.下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
27.在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
28.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
29.如图1和2所示为本技术的一种用于矩形薄脆材料的清洗工装，包含：框体10、第一装载组件20和第二装载组件30，
30.具体而言，框体10包含相对平行设置的两个固定板11以及相对平行设置的两个连
接板12，连接板12的两端分别连接至两个固定板11的一端的下部，这样，两个连接板12和两个固定板11交替的相互连接构成一个矩形结构。固定板11上设有若干圆孔60，供清洗液穿过。
31.第一装载组件20固定连接至框体10。第二装载组件30可拆卸连接至框体10且位于第一装载组件20的上方。
32.具体而言，第一装载组件20包含底板(未示出)和设置于底板上的第一梳齿插片机构。底板的四个侧面分别连接至两个固定板11和两个连接板12的底部。底板设有若干长条形的通槽70，供清洗液穿过。
33.第二装载组件30包含活动板31和设置于活动板31上的第二梳齿插片机构，两个固定板11的内壁设有若干相对应的滑动引导槽111，活动板31滑动安装至一对相对应的滑动引导槽111内。活动板31设有若干长条形的通槽70供清洗液穿过。
34.作为一种优选的实施方式，第一梳齿插片机构包含两个平行相对设置的第一安装架22，第一安装架22垂直连接至底板，第一安装架22上间隔设置有若干第一安装槽221。这样，将待清洗的矩形片80穿过两个第一安装架22相对应的第一安装槽221，可以将矩形片80固定至第一安装架22上。在本技术中，通过真空吸笔90抓取矩形片80。
35.同样的，第二梳齿插片机构包含两个平行相对设置的第二安装架32，第二安装架32垂直连接至活动板31，第二安装架32上间隔设置有若干第二安装槽321。将待清洗的矩形片80穿过两个第二安装架32相对应的第二安装槽321，可以将矩形片80固定至第二安装架32上。
36.作为一种优选的实施方式，第一装载组件20上设有若干第一分隔板23，若干第一分隔板23相互平行设置且连接至底板上。第一分隔板23将底板分割成多个隔离的区域，每个隔离的区域都分别设有第一梳齿插片机构。即，第一分隔板23的两侧均设有第一梳齿插片机构。
37.作为一种优选的实施方式，第二装载组件30上设有若干第二分隔板33，若干第二分隔板33相互平行设置且连接至活动板31上。第二分隔板将活动板31分割成多个隔离的区域，每个隔离的区域都分别设有第二梳齿插片机构。即，第二分隔板33的两侧均设有第二梳齿插片机构。
38.作为一种优选的实施方式，第一分隔板和第二分隔板上设有若干圆孔60，便于清洗液穿过。
39.作为一种优选的实施方式，用于矩形薄脆材料的清洗工装还包含上盖40，上盖40滑动连接至对应的一对滑动引导槽111。且上盖40位于第二装载组件30的上方。上盖40设有若干长条形的通槽70，便于清洗液穿过。
40.作为一种优选的实施方式，用于矩形薄脆材料的清洗工装还包含两个侧板50，侧板50的两端分别连接至两个固定板11的一端，两个侧板50分别位于两个连接板12的上方。侧板50设有若干圆孔60，便于清洗液穿过。
41.作为一种优选的实施方式，固定板11的上方设有把手112，便于工作人员抓握以移动用于矩形薄脆材料的清洗工装。
42.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，上述实施例不以任何形式限制本实用新型，凡采用等同替换或等效变换的方式
所获得的技术方案，均落在本实用新型的保护范围内。

技术特征：
1.一种用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，包含：框体，所述框体包含相对平行设置的两个固定板以及相对平行设置的两个连接板，所述连接板的两端分别连接至两个所述固定板的一端的下部，所述固定板上设有若干圆孔；第一装载组件，固定连接至所述框体；第二装载组件，可拆卸连接至所述框体且位于所述第一装载组件的上方；所述第一装载组件包含底板和设置于所述底板上的第一梳齿插片机构，所述底板的四个侧面分别连接至两个所述固定板和两个所述连接板的底部，所述底板设有若干长条形的通槽；所述第二装载组件包含活动板和设置于所述活动板上的第二梳齿插片机构，两个所述固定板的内壁设有若干相对应的滑动引导槽，所述活动板滑动安装至所述滑动引导槽内，所述活动板设有若干长条形的通槽。2.根据权利要求1所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述第一梳齿插片机构包含两个平行相对设置的第一安装架，所述第一安装架垂直连接至所述底板，所述第一安装架上间隔设置有若干第一安装槽；所述第二梳齿插片机构包含两个平行相对设置的第二安装架，所述第二安装架垂直连接至所述活动板，所述第二安装架上间隔设置有若干第二安装槽。3.根据权利要求1所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述第一装载组件上设有若干第一分隔板，若干所述第一分隔板相互平行设置且连接至所述底板上，所述第一分隔板的两侧均设有所述第一梳齿插片机构。4.根据权利要求3所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述第二装载组件上设有若干第二分隔板，若干所述第二分隔板相互平行设置且连接至所述活动板上，所述第二分隔板的两侧均设有所述第二梳齿插片机构。5.根据权利要求4所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述第一分隔板和所述第二分隔板上设有若干圆孔。6.根据权利要求1所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述用于矩形薄脆材料的清洗工装还包含上盖，所述上盖滑动连接至所述滑动引导槽且位于所述第二装载组件的上方。7.根据权利要求6所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述上盖设有若干长条形的通槽。8.根据权利要求1所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述用于矩形薄脆材料的清洗工装还包含两个侧板，所述侧板的两端分别连接至两个所述固定板的一端，两个所述侧板分别位于两个所述连接板的上方。9.根据权利要求8所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述侧板设有若干圆孔。10.根据权利要求1所述的用于矩形薄脆材料的清洗工装，其特征在于，所述固定板的上方设有把手。

技术总结
本实用新型公开了一种用于矩形薄脆材料的清洗工装，包含：框体，包含相对平行设置的两个固定板以及相对平行设置的两个连接板，连接板的两端分别连接至两个固定板的一端的下部，固定板上设有若干圆孔；第一装载组件，固定连接至框体；第二装载组件，可拆卸连接至框体；第一装载组件包含底板和设置于底板上的第一梳齿插片机构，底板的四个侧面分别连接至两个固定板和两个连接板的底部；第二装载组件包含活动板和设置于活动板上的第二梳齿插片机构，两个固定板的内壁设有若干相对应的滑动引导槽，活动板滑动安装至滑动引导槽内，活动板设有若干长条形的通槽。本实用新型提供的用于矩形薄脆材料的清洗工装，结构简单，清洗效率较高。清洗效率较高。清洗效率较高。


技术研发人员：丁鼎 祝郑庆 王杨波
受保护的技术使用者：杭州睿昇半导体科技有限公司
技术研发日：2023.03.24
技术公布日：2023/7/19